6-12インチ炭化ケイ素結晶製造用SiC成長炉（PVT法

SiC成長炉（PVT法）は、6インチ、8インチ、12インチの炭化ケイ素（SiC）単結晶を製造するために設計された高性能システムです。.

高度な誘導加熱技術を用いたこの炉は、高速加熱、精密な温度制御、低エネルギー消費を実現し、工業規模のSiC結晶成長に理想的なソリューションとなっている。.

パワーエレクトロニクス、RFデバイス、次世代半導体アプリケーション用のSiC基板の製造に広く使用されている。.

主な特徴

• 誘導加熱システム
  黒鉛るつぼを直接電磁加熱することで、高効率と迅速な熱応答を実現

• 超精密温度制御
  最大±1℃の精度、安定した結晶成長条件を確保

• 低エネルギー消費
  最適化された熱設計により、運用コストを大幅に削減

• 高い安定性と低汚染性
  非接触加熱＋不活性ガス環境で不純物を最小化

• 大口径結晶に対応するスケーラブルさ
  6″、8″、12″のSiC結晶成長に対応

技術仕様

デザインの利点

• 半絶縁性および導電性SiC結晶成長に対応

• るつぼ回転システムが温度の均一性を向上

• 調整可能な誘導コイルの持ち上げにより、熱擾乱を低減

• 二重構造の水冷式石英チャンバーが機器の寿命を延ばす

• リアルタイム・デュアルポイント温度モニタリング

• 複数の制御モード：定電力／定電流／定温度

• 自動運転のためのワンクリック・インテリジェント・スタート

• コンパクトな構造で効率的な工場レイアウトを実現

• 高精度圧力制御（最大±1 Pa）

性能と用途

この炉は、高純度（≥99.999%）かつ低欠陥のSiC単結晶の成長を可能にする：

• SiC MOSFET

• ショットキーダイオード

• RF機器

• 電気自動車（EVパワーモジュール）

• ソーラー・インバータ

• 5G通信システム

安定した熱制御と最適化された成長条件により、このシステムは工業生産において高い収率、一貫性、スケーラビリティを保証する。.

当社の能力（ZMSH）

1.設備製造

• カスタムSiC成長炉の設計

• さまざまな結晶サイズとプロセス要件に対応

2.プロセスの最適化

• PVT成長パラメータの調整

• 歩留まりと欠陥密度の改善

3.インストールとトレーニング

• 現場での試運転

• オペレーション＆メンテナンス・トレーニング

4.アフターサービス

• 24時間365日の技術サポート

• 迅速なエンジニアリング・サポート

よくあるご質問

Q1: SiC結晶成長におけるPVT法とは何ですか？
A: PVT（Physical Vapor Transport）とは、SiC粉末を高温で昇華させ、種結晶上で再結晶させてバルク単結晶を形成するプロセスです。.

Q2: なぜSiCの成長に誘導加熱を選ぶのですか？
A: 誘導加熱は、低欠陥SiC結晶の安定成長に不可欠な高速応答、高効率、精密制御を提供します。.

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