Метка: SiC Implantation Equipment
-
Оборудование для ионной имплантации
Система высокотемпературной ионной имплантации Ai300 (средний луч) для обработки 12-дюймовых пластин
-
Оборудование для ионной имплантации
Среднелучевая высокотемпературная система ионной имплантации Ai350HT для обработки 6/8-дюймовых SiC и кремниевых пластин
