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결정 성장로
50kg SiC 원료 합성로 고순도 탄화규소 결정 준비
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결정 성장로
세척 및 재장착 루프를 갖춘 6-8인치 실리콘 및 SiC 웨이퍼 쿼드 폴리싱 자동화 라인
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결정 성장로
첨단 반도체 제조를 위한 6/8/12인치 LPCVD 산화 용광로 고균일 박막 증착
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결정 성장로
키로풀로스(KY) 방법을 사용한 80-400kg 결정용 사파이어 결정 성장로
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결정 성장로
고품질 실리콘 카바이드 단결정 생산을 위한 SiC 결정 성장로(PVT/LPE/HT-CVD)
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결정 성장로
6-12인치 실리콘 카바이드 결정 생산을 위한 SiC 성장로(PVT 방식)
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결정 성장로
PVT, Lely 및 TSSG 방법을 사용하는 6인치 및 8인치 결정을 위한 SiC 단결정 성장로
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결정 성장로
6인치, 8인치 및 12인치 웨이퍼 생산을 위한 SiC 단결정 저항 가열 성장로(PVT 방식)
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