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結晶成長炉
50kg SiC原料の統合の炉の高純度の炭化ケイ素の結晶の準備
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結晶成長炉
6-8インチシリコン＆SiCウェハ洗浄・再マウントループ付きクワッドポリッシング自動化ライン
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6/8/12インチLPCVD酸化炉 先端半導体製造用高均一性薄膜蒸着装置
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6-12インチ炭化ケイ素結晶製造用SiC成長炉（PVT法
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結晶成長炉
6インチ、8インチ、12インチウェーハ製造用SiC単結晶抵抗加熱成長炉（PVT法）
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