Štítek: Semiconductor Fabrication Equipment
-
Zařízení pro iontovou implantaci
Systém Ai250 (střední paprsek) pro iontovou implantaci při pokojové teplotě pro zpracování 6-8palcových křemíkových destiček
-
Zařízení pro iontovou implantaci
Vysokoteplotní iontový implantační systém Ai300 (střední paprsek) pro zpracování 12palcových destiček
-
Zařízení pro iontovou implantaci
Vysoce účinné zařízení Ai80HC (High Beam) pro iontovou implantaci pro pokročilé dopování křemíkových destiček
