نظرة عامة على المنتج
إن فرن النمو بالتسخين المقاوم بالتسخين المقاوم لبلورة واحدة من كربيد السيليكون ZMSH SiC هو نظام نمو بلوري عالي الحرارة مصمم خصيصًا لإنتاج بلورات كربيد السيليكون أحادية القطر، ويدعم تصنيع رقاقة كربيد السيليكون أحادية القطر بقطر كبير بحجم 6 بوصة و8 بوصة و12 بوصة
خلال.
تم تصميم الفرن استنادًا إلى مبدأ نمو البلورات الفيزيائية الناقلة للبخار (PVT)، ودمج التحكم الدقيق في التسخين بالمقاومة، والتوزيع المستقر للمجال الحراري، وإدارة بيئة التفريغ العالي، والتنظيم الدقيق للضغط.
ويتيح هذا التكوين نمو بلورات مفردة عالية النقاء ومنخفضة الكثافة من SiC مناسبة لتطبيقات أشباه الموصلات المتقدمة لأشباه الموصلات والأجهزة الإلكترونية.
تم تطوير النظام لتلبية متطلبات الإنتاج الصناعي، مما يضمن استقرار العملية وقابلية التكرار والموثوقية التشغيلية طويلة الأجل في بيئات نمو بلورات SiC واسعة النطاق.
القدرات التقنية الأساسية
نظام التسخين بالمقاومة العالية الاستقرار
يعتمد الفرن على هيكل تسخين مقاوم متعدد المناطق لتحقيق توزيع موحد لدرجات الحرارة المحورية والشعاعية. وهذا يقلل من التدرجات الحرارية، ويقلل من الإجهاد الداخلي، ويحسن السلامة الهيكلية البلورية أثناء عملية النمو.
تحكم دقيق في الحرارة والضغط
-
درجة حرارة تشغيل قصوى تصل إلى 2500 درجة مئوية
-
دقة التحكم في درجة الحرارة: ± 1 درجة مئوية
-
نطاق واسع لتنظيم الضغط: 1-700 ملي بار
توفر هذه البارامترات بيئة ديناميكية حرارية مستقرة ضرورية للتحكم في التسامي وانتقال البخار وإعادة التبلور البلوري في نمو سيكلوريد الكربون.
قدرة نمو البلورات ذات القطر الكبير
وبفضل قطر البوتقة الذي يبلغ 900 مم، يدعم النظام نمو الجيل التالي من سبائك SiC مقاس 8 بوصة و12 بوصة من الجيل التالي، مما يمكّن الشركات المصنعة من زيادة الإنتاج مع تحسين الإنتاجية واتساق الرقاقة.
بيئة نمو عالية الفراغ
يحافظ الفرن على غرفة نمو منخفضة التسرب وعالية التفريغ، مما يضمن تقليل مخاطر التلوث وتحسين نقاء البلورات والتشغيل المستقر لفترة طويلة.
التطبيقات الصناعية
-
ركائز أشباه موصلات الطاقة
-
وحدات الطاقة الكهربائية للمركبات الكهربائية
-
أجهزة MOSFET والصمام الثنائي MOSFET ذات الجهد العالي
-
أنظمة تحويل الطاقة المتجددة
-
المكونات الإلكترونية عالية التردد والترددات اللاسلكية
-
إلكترونيات الطاقة الصناعية
المواصفات الفنية
| لا يوجد. | المواصفات | التفاصيل |
|---|---|---|
| 1 | الطراز | PVT-RS-40 |
| 2 | أبعاد الفرن (الطول × العرض × الارتفاع) | 2500 × 2400 × 3456 مم |
| 3 | قطر البوتقة | 900 مم |
| 4 | ضغط التفريغ النهائي | 6 × 10 × 10⁴ باسكال (بعد تفريغ 1.5 ساعة) |
| 5 | معدل التسرب | ≤5 باسكال / 12 ساعة (خبز خارجي) |
| 6 | قطر عمود الدوران | 50 مم |
| 7 | سرعة الدوران | 0.5 - 5 لفة في الدقيقة |
| 8 | طريقة التسخين | التدفئة الكهربائية المقاومة |
| 9 | درجة حرارة الفرن القصوى | 2500°C |
| 10 | طاقة التدفئة | 40 كيلوواط × 2 × 2 + 20 كيلوواط |
| 11 | قياس درجة الحرارة | مقياس حرارة بالأشعة تحت الحمراء مزدوج اللون |
| 12 | نطاق درجة الحرارة | 900-3000°C |
| 13 | دقة درجة الحرارة | ±1°C |
| 14 | نطاق الضغط | 1-700 ملي بار |
| 15 | دقة التحكم في الضغط | مقياس كامل ± 0.5% |
| 16 | نوع العملية | التحميل من الأسفل، أوضاع الأمان اليدوية أو الآلية |
| 17 | التكوينات الاختيارية | تدفئة متعددة المناطق، مراقبة مزدوجة لدرجة الحرارة |
أداء نمو الكريستال
يتيح هذا النظام إنتاج بلورات مفردة عالية الجودة من SiC مع:
-
كثافة خلع منخفضة
-
اتساق هيكلي عالٍ
-
خصائص كهربائية مستقرة
-
أداء حراري وميكانيكي ممتاز
هذه الخصائص ضرورية لرقائق أشباه الموصلات المستخدمة في تصنيع الأجهزة عالية الطاقة والجهد العالي والتردد العالي.
شركة ZMSH للخدمات الهندسية
تكوين النظام المخصص
يمكن تخصيص هيكل الفرن، ومناطق التسخين، وأنظمة التحكم، وأبعاد الحجرة وفقًا لمتطلبات حجم الإنتاج وحجم الرقاقة.
التركيب والتشغيل
يتم توفير تركيب النظام والمعايرة والتحقق من التشغيل في الموقع من قبل فرق هندسية محترفة.
التدريب التقني
تشمل برامج تدريب المشغلين تشغيل المعدات، والتحكم في العمليات، والصيانة، وتشخيص الأعطال.
الدعم طويل الأجل
يضمن الدعم الفني طوال دورة الحياة، وخدمات الصيانة، وتوريد قطع الغيار التشغيل المستقر على المدى الطويل.
الأسئلة الشائعة
س1: ما هي طريقة نمو البلورات التي يستخدمها هذا الفرن؟
ج: يعمل الفرن استنادًا إلى طريقة النقل الفيزيائي للبخار (PVT)، والتي تتيح التحكم في التسامي وإعادة بلورة كربيد السيليكون في درجات حرارة عالية، مما يجعله مناسبًا لنمو البلورة المفردة عالية الجودة.
س2: ما هي أحجام الرقائق التي يمكن أن يدعمها الفرن؟
ج: تم تصميم النظام لنمو البلورات الأحادية من كربيد السيليكون مقاس 6 بوصات و8 بوصات و12 بوصة، مما يدعم متطلبات تصنيع الرقاقات الحالية والجيل القادم من الرقائق.
س3: هل الفرن مناسب للإنتاج على نطاق صناعي؟
ج: نعم. صُمم النظام للتشغيل الصناعي المستمر، مما يوفر ثباتًا حراريًا عاليًا وإمكانية تكرار العملية وموثوقية طويلة الأجل لخطوط إنتاج بلورات SiC واسعة النطاق.
المراجعات
لا توجد مراجعات بعد.