{"id":2419,"date":"2026-04-27T02:15:07","date_gmt":"2026-04-27T02:15:07","guid":{"rendered":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/?post_type=product&p=2419"},"modified":"2026-06-11T09:57:44","modified_gmt":"2026-06-11T09:57:44","slug":"6-inch-n-type-6h-sic-epitaxy-wafer-for-mems-uv-sensors-graphene-growth","status":"publish","type":"product","link":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/th\/product\/6-inch-n-type-6h-sic-epitaxy-wafer-for-mems-uv-sensors-graphene-growth\/","title":{"rendered":"\u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c SiC Epitaxy \u0e0a\u0e19\u0e34\u0e14 N-Type \u0e02\u0e19\u0e32\u0e14 6 \u0e19\u0e34\u0e49\u0e27 \u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e02\u0e47\u0e07 6H \u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a MEMS, \u0e40\u0e0b\u0e47\u0e19\u0e40\u0e0b\u0e2d\u0e23\u0e4c UV \u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e15\u0e34\u0e1a\u0e42\u0e15\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e23\u0e32\u0e1f\u0e35\u0e19"},"content":{"rendered":"

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\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e40\u0e2a\u0e49\u0e19\u0e1c\u0e48\u0e32\u0e19\u0e28\u0e39\u0e19\u0e22\u0e4c\u0e01\u0e25\u0e32\u0e07\u0e21\u0e32\u0e15\u0e23\u0e10\u0e32\u0e19 150 \u0e21\u0e21. (6 \u0e19\u0e34\u0e49\u0e27) \u0e41\u0e25\u0e30\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2b\u0e19\u0e32\u0e17\u0e35\u0e48\u0e04\u0e27\u0e1a\u0e04\u0e38\u0e21\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33\u0e17\u0e35\u0e48 350 \u0e44\u0e21\u0e42\u0e04\u0e23\u0e40\u0e21\u0e15\u0e23 \u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e19\u0e35\u0e49\u0e08\u0e36\u0e07\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e2a\u0e16\u0e35\u0e22\u0e23\u0e17\u0e32\u0e07\u0e01\u0e25\u0e41\u0e25\u0e30\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e02\u0e49\u0e32\u0e01\u0e31\u0e19\u0e44\u0e14\u0e49\u0e01\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e2a\u0e21\u0e31\u0e22\u0e43\u0e2b\u0e21\u0e48\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e22\u0e2d\u0e14\u0e40\u0e22\u0e35\u0e48\u0e22\u0e21 \u0e0a\u0e19\u0e34\u0e14\u0e42\u0e1e\u0e25\u0e35\u0e44\u0e17\u0e1b\u0e4c 6H \u0e21\u0e35\u0e0a\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e27\u0e48\u0e32\u0e07\u0e1e\u0e25\u0e31\u0e07\u0e07\u0e32\u0e19\u0e01\u0e27\u0e49\u0e32\u0e07\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e21\u0e32\u0e13 2.96 eV \u0e0a\u0e48\u0e27\u0e22\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e17\u0e33\u0e07\u0e32\u0e19\u0e44\u0e14\u0e49\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e21\u0e35\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e34\u0e17\u0e18\u0e34\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e43\u0e19\u0e2a\u0e20\u0e32\u0e27\u0e30\u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34\u0e2a\u0e39\u0e07 \u0e23\u0e31\u0e07\u0e2a\u0e35\u0e2a\u0e39\u0e07 \u0e41\u0e25\u0e30\u0e2a\u0e32\u0e23\u0e40\u0e04\u0e21\u0e35\u0e17\u0e35\u0e48\u0e23\u0e38\u0e19\u0e41\u0e23\u0e07.<\/p>\n

\u0e41\u0e15\u0e48\u0e25\u0e30\u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e08\u0e30\u0e16\u0e39\u0e01\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e21\u0e27\u0e25\u0e1c\u0e25\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e21\u0e35\u0e1e\u0e37\u0e49\u0e19\u0e1c\u0e34\u0e27\u0e17\u0e35\u0e48\u0e1e\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e21\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e04\u0e25\u0e37\u0e2d\u0e1a\u0e0a\u0e31\u0e49\u0e19\u0e1a\u0e32\u0e07 (epi-ready surface) \u0e42\u0e14\u0e22\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e40\u0e17\u0e04\u0e42\u0e19\u0e42\u0e25\u0e22\u0e35\u0e01\u0e32\u0e23\u0e02\u0e31\u0e14\u0e1c\u0e34\u0e27\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e2a\u0e32\u0e23\u0e40\u0e04\u0e21\u0e35\u0e40\u0e0a\u0e34\u0e07\u0e01\u0e25\u0e02\u0e31\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07 (Chemical Mechanical Polishing \u0e2b\u0e23\u0e37\u0e2d CMP) \u0e0b\u0e36\u0e48\u0e07\u0e0a\u0e48\u0e27\u0e22\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e1e\u0e37\u0e49\u0e19\u0e1c\u0e34\u0e27\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2b\u0e22\u0e32\u0e1a\u0e15\u0e48\u0e33\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e1e\u0e34\u0e40\u0e28\u0e29 \u0e25\u0e14\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e2a\u0e35\u0e22\u0e2b\u0e32\u0e22\u0e43\u0e15\u0e49\u0e1c\u0e34\u0e27\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e19\u0e49\u0e2d\u0e22\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e38\u0e14 \u0e41\u0e25\u0e30\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e2a\u0e20\u0e32\u0e27\u0e30\u0e17\u0e35\u0e48\u0e40\u0e2b\u0e21\u0e32\u0e30\u0e2a\u0e21\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e2a\u0e38\u0e14\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e08\u0e23\u0e34\u0e0d\u0e40\u0e15\u0e34\u0e1a\u0e42\u0e15\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e0a\u0e31\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e32\u0e23\u0e40\u0e04\u0e25\u0e37\u0e2d\u0e1a \u0e40\u0e0a\u0e48\u0e19 \u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e04\u0e25\u0e37\u0e2d\u0e1a\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e44\u0e2d\u0e40\u0e04\u0e21\u0e35 (Chemical Vapor Deposition \u0e2b\u0e23\u0e37\u0e2d CVD) \u0e1c\u0e25\u0e25\u0e31\u0e1e\u0e18\u0e4c\u0e17\u0e35\u0e48\u0e44\u0e14\u0e49\u0e04\u0e37\u0e2d\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e34\u0e17\u0e18\u0e34\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e17\u0e35\u0e48\u0e14\u0e35\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19 \u0e2d\u0e31\u0e15\u0e23\u0e32\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19 \u0e41\u0e25\u0e30\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e19\u0e48\u0e32\u0e40\u0e0a\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e16\u0e37\u0e2d\u0e17\u0e35\u0e48\u0e40\u0e1e\u0e34\u0e48\u0e21\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e07\u0e32\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e33\u0e04\u0e31\u0e0d\u0e2a\u0e39\u0e07.<\/p>\n

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\"\u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e04\u0e38\u0e13\u0e2a\u0e21\u0e1a\u0e31\u0e15\u0e34\u0e40\u0e14\u0e48\u0e19<\/strong><\/span><\/h3>\n

\u0e1e\u0e37\u0e49\u0e19\u0e1c\u0e34\u0e27\u0e1e\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e21\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e04\u0e25\u0e37\u0e2d\u0e1a\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e40\u0e2d\u0e1e\u0e34\u0e41\u0e17\u0e01\u0e0b\u0e35\u0e40\u0e1e\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e15\u0e34\u0e1a\u0e42\u0e15\u0e04\u0e38\u0e13\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e2a\u0e39\u0e07<\/strong>
\u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e16\u0e39\u0e01\u0e2a\u0e48\u0e07\u0e21\u0e2d\u0e1a\u0e1e\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e21\u0e1e\u0e37\u0e49\u0e19\u0e1c\u0e34\u0e27\u0e17\u0e35\u0e48\u0e02\u0e31\u0e14\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22 CMP \u0e08\u0e19\u0e40\u0e23\u0e35\u0e22\u0e1a\u0e40\u0e2b\u0e21\u0e37\u0e2d\u0e19\u0e01\u0e23\u0e30\u0e08\u0e01 \u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2b\u0e22\u0e32\u0e1a\u0e15\u0e48\u0e33\u0e01\u0e27\u0e48\u0e32\u0e2b\u0e19\u0e36\u0e48\u0e07\u0e19\u0e32\u0e42\u0e19\u0e40\u0e21\u0e15\u0e23 \u0e0b\u0e36\u0e48\u0e07\u0e0a\u0e48\u0e27\u0e22\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e02\u0e49\u0e32\u0e01\u0e31\u0e19\u0e44\u0e14\u0e49\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e22\u0e2d\u0e14\u0e40\u0e22\u0e35\u0e48\u0e22\u0e21\u0e01\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e15\u0e34\u0e1a\u0e42\u0e15\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e40\u0e2d\u0e1e\u0e34\u0e41\u0e17\u0e01\u0e40\u0e0b\u0e35\u0e22\u0e25 \u0e42\u0e14\u0e22\u0e40\u0e09\u0e1e\u0e32\u0e30\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e01\u0e23\u0e32\u0e1f\u0e35\u0e19\u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e17\u0e35\u0e48\u0e44\u0e27\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e23\u0e31\u0e07\u0e2a\u0e35\u0e22\u0e39\u0e27\u0e35.<\/p>\n

\u0e1b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e40\u0e2b\u0e21\u0e32\u0e30\u0e2a\u0e21\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a MEMS \u0e41\u0e25\u0e30\u0e2a\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e41\u0e27\u0e14\u0e25\u0e49\u0e2d\u0e21\u0e17\u0e35\u0e48\u0e23\u0e38\u0e19\u0e41\u0e23\u0e07<\/strong>
\u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e40\u0e2d\u0e1e\u0e34\u0e41\u0e17\u0e01\u0e0b\u0e35 SiC \u0e0a\u0e19\u0e34\u0e14 N-Type \u0e02\u0e19\u0e32\u0e14 6 \u0e19\u0e34\u0e49\u0e27 6H \u0e41\u0e2a\u0e14\u0e07\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e40\u0e2b\u0e47\u0e19\u0e16\u0e36\u0e07\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e2a\u0e16\u0e35\u0e22\u0e23\u0e17\u0e32\u0e07\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e22\u0e2d\u0e14\u0e40\u0e22\u0e35\u0e48\u0e22\u0e21 \u0e42\u0e14\u0e22\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e23\u0e31\u0e01\u0e29\u0e32\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e34\u0e17\u0e18\u0e34\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e01\u0e32\u0e23\u0e17\u0e33\u0e07\u0e32\u0e19\u0e44\u0e14\u0e49\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e01\u0e27\u0e48\u0e32 500\u00b0C \u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e19\u0e35\u0e49\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e02\u0e47\u0e07\u0e41\u0e23\u0e07\u0e17\u0e32\u0e07\u0e01\u0e25\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e41\u0e25\u0e30\u0e40\u0e09\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e22\u0e17\u0e32\u0e07\u0e40\u0e04\u0e21\u0e35 \u0e17\u0e33\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e40\u0e2b\u0e21\u0e32\u0e30\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c MEMS \u0e17\u0e35\u0e48\u0e17\u0e33\u0e07\u0e32\u0e19\u0e43\u0e19\u0e2a\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e41\u0e27\u0e14\u0e25\u0e49\u0e2d\u0e21\u0e17\u0e35\u0e48\u0e23\u0e38\u0e19\u0e41\u0e23\u0e07 \u0e40\u0e0a\u0e48\u0e19 \u0e2d\u0e27\u0e01\u0e32\u0e28 \u0e1e\u0e25\u0e31\u0e07\u0e07\u0e32\u0e19 \u0e41\u0e25\u0e30\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e15\u0e23\u0e27\u0e08\u0e2a\u0e2d\u0e1a\u0e2d\u0e38\u0e15\u0e2a\u0e32\u0e2b\u0e01\u0e23\u0e23\u0e21.<\/p>\n

\u0e0a\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e27\u0e48\u0e32\u0e07\u0e1e\u0e25\u0e31\u0e07\u0e07\u0e32\u0e19\u0e01\u0e27\u0e49\u0e32\u0e07\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e07\u0e32\u0e19\u0e40\u0e0b\u0e47\u0e19\u0e40\u0e0b\u0e2d\u0e23\u0e4c UV<\/strong>
\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e04\u0e48\u0e32\u0e41\u0e1a\u0e19\u0e14\u0e4c\u0e41\u0e01\u0e47\u0e1b\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e21\u0e32\u0e13 2.96 eV \u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e19\u0e35\u0e49\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e44\u0e27\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e41\u0e2a\u0e07\u0e2d\u0e31\u0e25\u0e15\u0e23\u0e32\u0e44\u0e27\u0e42\u0e2d\u0e40\u0e25\u0e15\u0e15\u0e32\u0e21\u0e18\u0e23\u0e23\u0e21\u0e0a\u0e32\u0e15\u0e34 \u0e43\u0e19\u0e02\u0e13\u0e30\u0e17\u0e35\u0e48\u0e22\u0e31\u0e07\u0e04\u0e07\u0e44\u0e21\u0e48\u0e44\u0e27\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e22\u0e32\u0e27\u0e04\u0e25\u0e37\u0e48\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e2d\u0e07\u0e40\u0e2b\u0e47\u0e19\u0e44\u0e14\u0e49 \u0e17\u0e33\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e40\u0e2b\u0e21\u0e32\u0e30\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e22\u0e34\u0e48\u0e07\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e40\u0e0b\u0e47\u0e19\u0e40\u0e0b\u0e2d\u0e23\u0e4c UV \u0e17\u0e35\u0e48\u0e44\u0e21\u0e48\u0e44\u0e27\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e41\u0e2a\u0e07\u0e2d\u0e32\u0e17\u0e34\u0e15\u0e22\u0e4c \u0e0b\u0e36\u0e48\u0e07\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e43\u0e19\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e15\u0e23\u0e27\u0e08\u0e08\u0e31\u0e1a\u0e40\u0e1b\u0e25\u0e27\u0e44\u0e1f \u0e01\u0e32\u0e23\u0e15\u0e23\u0e27\u0e08\u0e2a\u0e2d\u0e1a\u0e2a\u0e34\u0e48\u0e07\u0e41\u0e27\u0e14\u0e25\u0e49\u0e2d\u0e21 \u0e41\u0e25\u0e30\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e1b\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e31\u0e19.<\/p>\n

\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e34\u0e17\u0e18\u0e34\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e17\u0e32\u0e07\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32\u0e17\u0e35\u0e48\u0e40\u0e2a\u0e16\u0e35\u0e22\u0e23<\/strong>
\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e08\u0e37\u0e2d\u0e44\u0e19\u0e42\u0e15\u0e23\u0e40\u0e08\u0e19\u0e0a\u0e48\u0e27\u0e22\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e21\u0e31\u0e48\u0e19\u0e43\u0e08\u0e43\u0e19\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e19\u0e33\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32\u0e0a\u0e19\u0e34\u0e14 N \u0e17\u0e35\u0e48\u0e40\u0e0a\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e16\u0e37\u0e2d\u0e44\u0e14\u0e49 \u0e2a\u0e48\u0e07\u0e1c\u0e25\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e25\u0e31\u0e01\u0e29\u0e13\u0e30\u0e17\u0e32\u0e07\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32\u0e2a\u0e21\u0e48\u0e33\u0e40\u0e2a\u0e21\u0e2d\u0e41\u0e25\u0e30\u0e40\u0e01\u0e34\u0e14\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e0a\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e21\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e42\u0e2d\u0e2b\u0e4c\u0e21\u0e34\u0e01\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e31\u0e48\u0e19\u0e04\u0e07 \u0e0b\u0e36\u0e48\u0e07\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e33\u0e04\u0e31\u0e0d\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e22\u0e34\u0e48\u0e07\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e15\u0e23\u0e27\u0e08\u0e27\u0e31\u0e14\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e22\u0e38\u0e01\u0e15\u0e4c\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e43\u0e19\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e2d\u0e2d\u0e1b\u0e42\u0e15\u0e2d\u0e34\u0e40\u0e25\u0e47\u0e01\u0e17\u0e23\u0e2d\u0e19\u0e34\u0e01\u0e2a\u0e4c.<\/p>\n

\u0e01\u0e32\u0e23\u0e04\u0e27\u0e1a\u0e04\u0e38\u0e21\u0e17\u0e34\u0e28\u0e17\u0e32\u0e07\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e1c\u0e25\u0e36\u0e01<\/strong>
\u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e21\u0e35\u0e01\u0e32\u0e23\u0e08\u0e31\u0e14\u0e27\u0e32\u0e07\u0e41\u0e19\u0e27\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e40\u0e2d\u0e35\u0e22\u0e07\u0e2d\u0e2d\u0e01\u0e08\u0e32\u0e01\u0e41\u0e01\u0e19 4\u00b0 \u0e44\u0e1b\u0e17\u0e32\u0e07 (\u00b10.5\u00b0) \u0e0b\u0e36\u0e48\u0e07\u0e0a\u0e48\u0e27\u0e22\u0e2a\u0e48\u0e07\u0e40\u0e2a\u0e23\u0e34\u0e21\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e15\u0e34\u0e1a\u0e42\u0e15\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e40\u0e2d\u0e1e\u0e34\u0e41\u0e17\u0e01\u0e40\u0e0b\u0e35\u0e22\u0e25\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e44\u0e2b\u0e25\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e02\u0e31\u0e49\u0e19\u0e41\u0e25\u0e30\u0e25\u0e14\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e1a\u0e01\u0e1e\u0e23\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e1a\u0e19\u0e1e\u0e37\u0e49\u0e19\u0e1c\u0e34\u0e27 \u0e04\u0e38\u0e13\u0e2a\u0e21\u0e1a\u0e31\u0e15\u0e34\u0e19\u0e35\u0e49\u0e0a\u0e48\u0e27\u0e22\u0e40\u0e1e\u0e34\u0e48\u0e21\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e21\u0e48\u0e33\u0e40\u0e2a\u0e21\u0e2d\u0e41\u0e25\u0e30\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e17\u0e33\u0e0b\u0e49\u0e33\u0e44\u0e14\u0e49\u0e23\u0e30\u0e2b\u0e27\u0e48\u0e32\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c.<\/p>\n

\n

\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e22\u0e38\u0e01\u0e15\u0e4c\u0e43\u0e0a\u0e49<\/strong><\/span><\/h3>\n

\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c MEMS \u0e43\u0e19\u0e2a\u0e20\u0e32\u0e27\u0e30\u0e2a\u0e38\u0e14\u0e02\u0e31\u0e49\u0e27<\/strong>
\u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e40\u0e2d\u0e1e\u0e34\u0e41\u0e17\u0e01\u0e0b\u0e35 SiC \u0e0a\u0e19\u0e34\u0e14 N-Type \u0e02\u0e19\u0e32\u0e14 6 \u0e19\u0e34\u0e49\u0e27 6H \u0e16\u0e39\u0e01\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e41\u0e1e\u0e23\u0e48\u0e2b\u0e25\u0e32\u0e22\u0e43\u0e19\u0e40\u0e0b\u0e47\u0e19\u0e40\u0e0b\u0e2d\u0e23\u0e4c MEMS \u0e40\u0e0a\u0e48\u0e19 \u0e40\u0e0b\u0e47\u0e19\u0e40\u0e0b\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e27\u0e31\u0e14\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e14\u0e31\u0e19\u0e41\u0e25\u0e30\u0e40\u0e04\u0e23\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e27\u0e31\u0e14\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e23\u0e48\u0e07\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2d\u0e2d\u0e01\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e21\u0e32\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e2a\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e41\u0e27\u0e14\u0e25\u0e49\u0e2d\u0e21\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e35\u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e41\u0e25\u0e30\u0e41\u0e23\u0e07\u0e40\u0e04\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07 \u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e40\u0e2b\u0e25\u0e48\u0e32\u0e19\u0e35\u0e49\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e33\u0e04\u0e31\u0e0d\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e22\u0e34\u0e48\u0e07\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2a\u0e33\u0e23\u0e27\u0e08\u0e19\u0e49\u0e33\u0e21\u0e31\u0e19\u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e4a\u0e32\u0e0b \u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e22\u0e32\u0e19\u0e22\u0e19\u0e15\u0e4c \u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e15\u0e23\u0e27\u0e08\u0e2a\u0e2d\u0e1a\u0e01\u0e31\u0e07\u0e2b\u0e31\u0e19\u0e43\u0e19\u0e2d\u0e27\u0e01\u0e32\u0e28.<\/p>\n

\u0e40\u0e0b\u0e47\u0e19\u0e40\u0e0b\u0e2d\u0e23\u0e4c UV \u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e2d\u0e07\u0e44\u0e21\u0e48\u0e40\u0e2b\u0e47\u0e19\u0e41\u0e2a\u0e07\u0e2d\u0e32\u0e17\u0e34\u0e15\u0e22\u0e4c<\/strong>
\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e0a\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e27\u0e48\u0e32\u0e07\u0e1e\u0e25\u0e31\u0e07\u0e07\u0e32\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e01\u0e27\u0e49\u0e32\u0e07 \u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e19\u0e35\u0e49\u0e08\u0e36\u0e07\u0e40\u0e2b\u0e21\u0e32\u0e30\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e22\u0e34\u0e48\u0e07\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e15\u0e31\u0e27\u0e15\u0e23\u0e27\u0e08\u0e08\u0e31\u0e1a\u0e41\u0e2a\u0e07\u0e2d\u0e31\u0e25\u0e15\u0e23\u0e32\u0e44\u0e27\u0e42\u0e2d\u0e40\u0e25\u0e15\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e15\u0e23\u0e27\u0e08\u0e08\u0e31\u0e1a\u0e23\u0e31\u0e07\u0e2a\u0e35\u0e2d\u0e31\u0e25\u0e15\u0e23\u0e32\u0e44\u0e27\u0e42\u0e2d\u0e40\u0e25\u0e15\u0e44\u0e14\u0e49\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33\u0e42\u0e14\u0e22\u0e44\u0e21\u0e48\u0e16\u0e39\u0e01\u0e23\u0e1a\u0e01\u0e27\u0e19\u0e08\u0e32\u0e01\u0e41\u0e2a\u0e07\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e2d\u0e07\u0e40\u0e2b\u0e47\u0e19\u0e44\u0e14\u0e49 \u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e19\u0e35\u0e49\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e33\u0e04\u0e31\u0e0d\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e22\u0e34\u0e48\u0e07\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e15\u0e23\u0e27\u0e08\u0e08\u0e31\u0e1a\u0e40\u0e1b\u0e25\u0e27\u0e44\u0e1f\u0e41\u0e25\u0e30\u0e40\u0e17\u0e04\u0e42\u0e19\u0e42\u0e25\u0e22\u0e35\u0e01\u0e32\u0e23\u0e15\u0e23\u0e27\u0e08\u0e08\u0e31\u0e1a\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e41\u0e2a\u0e07\u0e02\u0e31\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07.<\/p>\n

\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e23\u0e2d\u0e07\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e15\u0e34\u0e1a\u0e42\u0e15\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e23\u0e32\u0e1f\u0e35\u0e19<\/strong>
\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e17\u0e33\u0e2b\u0e19\u0e49\u0e32\u0e17\u0e35\u0e48\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e10\u0e32\u0e19\u0e04\u0e38\u0e13\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e08\u0e23\u0e34\u0e0d\u0e40\u0e15\u0e34\u0e1a\u0e42\u0e15\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e23\u0e32\u0e1f\u0e35\u0e19\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e40\u0e2d\u0e1e\u0e34\u0e41\u0e17\u0e01\u0e40\u0e0b\u0e35\u0e22\u0e25 \u0e20\u0e32\u0e22\u0e43\u0e15\u0e49\u0e2a\u0e20\u0e32\u0e27\u0e30\u0e2a\u0e38\u0e0d\u0e0d\u0e32\u0e01\u0e32\u0e28\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e35\u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34\u0e2a\u0e39\u0e07 \u0e2d\u0e30\u0e15\u0e2d\u0e21\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e08\u0e30\u0e23\u0e30\u0e40\u0e2b\u0e34\u0e14\u0e08\u0e32\u0e01\u0e1e\u0e37\u0e49\u0e19\u0e1c\u0e34\u0e27\u0e02\u0e2d\u0e07 SiC \u0e17\u0e34\u0e49\u0e07\u0e44\u0e27\u0e49\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e0a\u0e31\u0e49\u0e19\u0e01\u0e23\u0e32\u0e1f\u0e35\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e35\u0e23\u0e30\u0e40\u0e1a\u0e35\u0e22\u0e1a\u0e14\u0e35 \u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e19\u0e35\u0e49\u0e16\u0e39\u0e01\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e41\u0e1e\u0e23\u0e48\u0e2b\u0e25\u0e32\u0e22\u0e43\u0e19\u0e2d\u0e34\u0e40\u0e25\u0e47\u0e01\u0e17\u0e23\u0e2d\u0e19\u0e34\u0e01\u0e2a\u0e4c\u0e02\u0e31\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07 \u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e23\u0e47\u0e27\u0e2a\u0e39\u0e07 \u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e27\u0e34\u0e08\u0e31\u0e22\u0e04\u0e27\u0e2d\u0e19\u0e15\u0e31\u0e21.<\/p>\n

\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e2d\u0e2d\u0e1b\u0e42\u0e15\u0e2d\u0e34\u0e40\u0e25\u0e47\u0e01\u0e17\u0e23\u0e2d\u0e19\u0e34\u0e01\u0e2a\u0e4c\u0e02\u0e31\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07<\/strong>
\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e42\u0e1b\u0e23\u0e48\u0e07\u0e43\u0e2a\u0e17\u0e32\u0e07\u0e41\u0e2a\u0e07\u0e41\u0e25\u0e30\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e2a\u0e16\u0e35\u0e22\u0e23\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e02\u0e2d\u0e07 6H-SiC \u0e17\u0e33\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e40\u0e2b\u0e21\u0e32\u0e30\u0e2a\u0e21\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e2d\u0e2d\u0e1b\u0e42\u0e15\u0e2d\u0e34\u0e40\u0e25\u0e47\u0e01\u0e17\u0e23\u0e2d\u0e19\u0e34\u0e01\u0e2a\u0e4c\u0e40\u0e09\u0e1e\u0e32\u0e30\u0e17\u0e32\u0e07 \u0e23\u0e27\u0e21\u0e16\u0e36\u0e07\u0e42\u0e1f\u0e42\u0e15\u0e44\u0e14\u0e42\u0e2d\u0e14 UV \u0e41\u0e25\u0e30\u0e2a\u0e48\u0e27\u0e19\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e01\u0e2d\u0e1a\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e16\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e39\u0e07.<\/p>\n

\"\"<\/p>\n

\n

\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e21\u0e39\u0e25\u0e08\u0e33\u0e40\u0e1e\u0e32\u0e30\u0e17\u0e32\u0e07\u0e40\u0e17\u0e04\u0e19\u0e34\u0e04<\/strong><\/span><\/h3>\n
\n
\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n
\u0e17\u0e23\u0e31\u0e1e\u0e22\u0e4c\u0e2a\u0e34\u0e19<\/th>\n\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e01\u0e33\u0e2b\u0e19\u0e14<\/th>\n<\/tr>\n<\/thead>\n
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\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2b\u0e19\u0e32<\/td>\n350 \u0e44\u0e21\u0e42\u0e04\u0e23\u0e40\u0e21\u0e15\u0e23<\/td>\n<\/tr>\n
\u0e42\u0e1e\u0e25\u0e35\u0e44\u0e17\u0e1b\u0e4c<\/td>\n6H<\/td>\n<\/tr>\n
\u0e0a\u0e19\u0e34\u0e14\u0e01\u0e32\u0e23\u0e19\u0e33\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32<\/td>\n\u0e0a\u0e19\u0e34\u0e14 N (\u0e40\u0e08\u0e37\u0e2d\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e44\u0e19\u0e42\u0e15\u0e23\u0e40\u0e08\u0e19)<\/td>\n<\/tr>\n
\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e10\u0e21\u0e19\u0e34\u0e40\u0e17\u0e28<\/td>\n4\u00b0 \u0e44\u0e1b\u0e17\u0e32\u0e07 \u00b10.5\u00b0<\/td>\n<\/tr>\n
\u0e1c\u0e34\u0e27\u0e2a\u0e33\u0e40\u0e23\u0e47\u0e08<\/td>\nSSP \/ DSP \/ CMP \/ MP<\/td>\n<\/tr>\n
\u0e04\u0e38\u0e13\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e1c\u0e34\u0e27<\/td>\n\u0e1e\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e21\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e04\u0e25\u0e37\u0e2d\u0e1a\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e40\u0e2d\u0e1e\u0e34\u0e41\u0e17\u0e01\u0e0b\u0e35\u0e48 (\u0e02\u0e31\u0e14\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e27\u0e34\u0e18\u0e35\u0e40\u0e04\u0e21\u0e35\u0e40\u0e0a\u0e34\u0e07\u0e01\u0e25)<\/td>\n<\/tr>\n
\u0e41\u0e1a\u0e19\u0e14\u0e4c\u0e41\u0e01\u0e1b<\/td>\n\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e21\u0e32\u0e13 2.96 \u0e2d\u0e34\u0e40\u0e25\u0e47\u0e01\u0e15\u0e23\u0e2d\u0e19\u0e42\u0e27\u0e25\u0e15\u0e4c<\/td>\n<\/tr>\n
\u0e08\u0e38\u0e14\u0e40\u0e19\u0e49\u0e19\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2a\u0e21\u0e31\u0e04\u0e23<\/td>\nMEMS \/ \u0e40\u0e0b\u0e47\u0e19\u0e40\u0e0b\u0e2d\u0e23\u0e4c UV \/ \u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e15\u0e34\u0e1a\u0e42\u0e15\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e23\u0e32\u0e1f\u0e35\u0e19<\/td>\n<\/tr>\n
\u0e1a\u0e23\u0e23\u0e08\u0e38\u0e20\u0e31\u0e13\u0e11\u0e4c<\/td>\n\u0e01\u0e25\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e1a\u0e23\u0e23\u0e08\u0e38\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e04\u0e32\u0e2a\u0e40\u0e0b\u0e47\u0e15\u0e2b\u0e23\u0e37\u0e2d\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e0a\u0e34\u0e49\u0e19\u0e40\u0e14\u0e35\u0e22\u0e27<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<\/div>\n<\/div>\n
\n

\u0e15\u0e31\u0e27\u0e40\u0e25\u0e37\u0e2d\u0e01\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e41\u0e15\u0e48\u0e07<\/strong><\/span><\/h3>\n

\u0e40\u0e23\u0e32\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e1a\u0e23\u0e34\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e41\u0e15\u0e48\u0e07\u0e17\u0e35\u0e48\u0e22\u0e37\u0e14\u0e2b\u0e22\u0e38\u0e48\u0e19\u0e40\u0e1e\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e15\u0e2d\u0e1a\u0e2a\u0e19\u0e2d\u0e07\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e15\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e09\u0e1e\u0e32\u0e30\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e07\u0e32\u0e19 \u0e15\u0e31\u0e27\u0e40\u0e25\u0e37\u0e2d\u0e01\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e35\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e1a\u0e23\u0e34\u0e01\u0e32\u0e23\u0e44\u0e14\u0e49\u0e41\u0e01\u0e48:<\/p>\n

    \n
  • \u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2b\u0e19\u0e32\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e15\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e31\u0e48\u0e07<\/li>\n
  • \u0e21\u0e38\u0e21\u0e15\u0e31\u0e14\u0e40\u0e09\u0e35\u0e22\u0e07\u0e17\u0e35\u0e48\u0e41\u0e15\u0e01\u0e15\u0e48\u0e32\u0e07\u0e01\u0e31\u0e19 (\u0e41\u0e19\u0e27\u0e41\u0e01\u0e19\u0e2b\u0e23\u0e37\u0e2d\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e17\u0e34\u0e28\u0e17\u0e32\u0e07\u0e40\u0e09\u0e1e\u0e32\u0e30)<\/li>\n
  • \u0e01\u0e32\u0e23\u0e04\u0e27\u0e1a\u0e04\u0e38\u0e21\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e02\u0e49\u0e21\u0e02\u0e49\u0e19\u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e15\u0e49\u0e32\u0e19\u0e17\u0e32\u0e19\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e2a\u0e32\u0e23\u0e42\u0e14\u0e1b<\/li>\n
  • \u0e1c\u0e34\u0e27\u0e2a\u0e33\u0e40\u0e23\u0e47\u0e08\u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e02\u0e31\u0e14\u0e40\u0e01\u0e23\u0e14<\/li>\n<\/ul>\n

    \u0e2a\u0e34\u0e48\u0e07\u0e19\u0e35\u0e49\u0e0a\u0e48\u0e27\u0e22\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e21\u0e31\u0e48\u0e19\u0e43\u0e08\u0e16\u0e36\u0e07\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e02\u0e49\u0e32\u0e01\u0e31\u0e19\u0e44\u0e14\u0e49\u0e01\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e2d\u0e1e\u0e34\u0e41\u0e17\u0e01\u0e40\u0e0b\u0e35\u0e22\u0e25\u0e41\u0e25\u0e30\u0e42\u0e04\u0e23\u0e07\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2b\u0e25\u0e32\u0e01\u0e2b\u0e25\u0e32\u0e22 \u0e44\u0e21\u0e48\u0e27\u0e48\u0e32\u0e08\u0e30\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e27\u0e34\u0e08\u0e31\u0e22 \u0e01\u0e32\u0e23\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e15\u0e49\u0e19\u0e41\u0e1a\u0e1a \u0e2b\u0e23\u0e37\u0e2d\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e43\u0e19\u0e23\u0e30\u0e14\u0e31\u0e1a\u0e19\u0e33\u0e23\u0e48\u0e2d\u0e07.<\/p>\n

    \n

    \u0e04\u0e33\u0e16\u0e32\u0e21\u0e17\u0e35\u0e48\u0e1e\u0e1a\u0e1a\u0e48\u0e2d\u0e22<\/strong><\/span><\/h3>\n

    Q1: \u201cepi-ready\u201d \u0e2b\u0e21\u0e32\u0e22\u0e16\u0e36\u0e07\u0e2d\u0e30\u0e44\u0e23\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e19\u0e35\u0e49?<\/strong>
    A: \u0e2b\u0e21\u0e32\u0e22\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e27\u0e48\u0e32\u0e1e\u0e37\u0e49\u0e19\u0e1c\u0e34\u0e27\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e44\u0e14\u0e49\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e02\u0e31\u0e14\u0e40\u0e07\u0e32\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e40\u0e17\u0e04\u0e42\u0e19\u0e42\u0e25\u0e22\u0e35 CMP \u0e40\u0e1e\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e44\u0e14\u0e49\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e02\u0e23\u0e38\u0e02\u0e23\u0e30\u0e15\u0e48\u0e33\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e1e\u0e34\u0e40\u0e28\u0e29 \u0e17\u0e33\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e40\u0e2b\u0e21\u0e32\u0e30\u0e2a\u0e21\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e08\u0e23\u0e34\u0e0d\u0e40\u0e15\u0e34\u0e1a\u0e42\u0e15\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e2d\u0e34\u0e1e\u0e34\u0e41\u0e17\u0e01\u0e40\u0e0b\u0e35\u0e22\u0e25\u0e44\u0e14\u0e49\u0e17\u0e31\u0e19\u0e17\u0e35\u0e42\u0e14\u0e22\u0e44\u0e21\u0e48\u0e15\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e1c\u0e48\u0e32\u0e19\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e1e\u0e34\u0e48\u0e21\u0e40\u0e15\u0e34\u0e21.<\/p>\n

    \u0e04\u0e33\u0e16\u0e32\u0e21\u0e17\u0e35\u0e48 2: \u0e17\u0e33\u0e44\u0e21\u0e08\u0e36\u0e07\u0e43\u0e0a\u0e49 6H-SiC \u0e41\u0e17\u0e19\u0e42\u0e1e\u0e25\u0e35\u0e44\u0e17\u0e1b\u0e4c\u0e2d\u0e37\u0e48\u0e19?<\/strong>
    A: 6H-SiC \u0e21\u0e35\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e44\u0e14\u0e49\u0e40\u0e1b\u0e23\u0e35\u0e22\u0e1a\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e15\u0e23\u0e27\u0e08\u0e08\u0e31\u0e1a\u0e23\u0e31\u0e07\u0e2a\u0e35\u0e2d\u0e31\u0e25\u0e15\u0e23\u0e32\u0e44\u0e27\u0e42\u0e2d\u0e40\u0e25\u0e15 \u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e08\u0e23\u0e34\u0e0d\u0e40\u0e15\u0e34\u0e1a\u0e42\u0e15\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e23\u0e32\u0e1f\u0e35\u0e19 \u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e22\u0e38\u0e01\u0e15\u0e4c\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e17\u0e32\u0e07\u0e41\u0e2a\u0e07 \u0e40\u0e19\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e08\u0e32\u0e01\u0e0a\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e27\u0e48\u0e32\u0e07\u0e1e\u0e25\u0e31\u0e07\u0e07\u0e32\u0e19\u0e41\u0e25\u0e30\u0e42\u0e04\u0e23\u0e07\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e1c\u0e25\u0e36\u0e01\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e21\u0e31\u0e19.<\/p>\n

    \u0e04\u0e33\u0e16\u0e32\u0e21\u0e17\u0e35\u0e48 3: \u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e19\u0e35\u0e49\u0e40\u0e2b\u0e21\u0e32\u0e30\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e43\u0e19\u0e2d\u0e38\u0e15\u0e2a\u0e32\u0e2b\u0e01\u0e23\u0e23\u0e21\u0e2b\u0e23\u0e37\u0e2d\u0e44\u0e21\u0e48?<\/strong>
    A: \u0e43\u0e0a\u0e48, \u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e02\u0e19\u0e32\u0e14 6 \u0e19\u0e34\u0e49\u0e27\u0e16\u0e39\u0e01\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e41\u0e1e\u0e23\u0e48\u0e2b\u0e25\u0e32\u0e22\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e19\u0e33\u0e23\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e27\u0e34\u0e08\u0e31\u0e22\u0e41\u0e25\u0e30\u0e1e\u0e31\u0e12\u0e19\u0e32\u0e02\u0e31\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07 \u0e02\u0e36\u0e49\u0e19\u0e2d\u0e22\u0e39\u0e48\u0e01\u0e31\u0e1a\u0e40\u0e01\u0e23\u0e14\u0e04\u0e38\u0e13\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e41\u0e25\u0e30\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e15\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e07\u0e32\u0e19.<\/p>\n

    \u0e04\u0e33\u0e16\u0e32\u0e21\u0e17\u0e35\u0e48 4: \u0e09\u0e31\u0e19\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e02\u0e2d\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e21\u0e39\u0e25\u0e08\u0e33\u0e40\u0e1e\u0e32\u0e30\u0e17\u0e35\u0e48\u0e1b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e41\u0e15\u0e48\u0e07\u0e44\u0e14\u0e49\u0e2b\u0e23\u0e37\u0e2d\u0e44\u0e21\u0e48?<\/strong>
    A: \u0e43\u0e0a\u0e48, \u0e40\u0e23\u0e32\u0e2a\u0e19\u0e31\u0e1a\u0e2a\u0e19\u0e38\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e41\u0e15\u0e48\u0e07\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e40\u0e15\u0e47\u0e21\u0e23\u0e39\u0e1b\u0e41\u0e1a\u0e1a \u0e23\u0e27\u0e21\u0e16\u0e36\u0e07\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2b\u0e19\u0e32, \u0e17\u0e34\u0e28\u0e17\u0e32\u0e07, \u0e01\u0e32\u0e23\u0e42\u0e14\u0e1b, \u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e15\u0e01\u0e41\u0e15\u0e48\u0e07\u0e1c\u0e34\u0e27.<\/p>\n

    \n

    \u0e17\u0e33\u0e44\u0e21\u0e15\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e40\u0e25\u0e37\u0e2d\u0e01\u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c SiC Epitaxy N-Type \u0e02\u0e19\u0e32\u0e14 6 \u0e19\u0e34\u0e49\u0e27 6H \u0e19\u0e35\u0e49<\/strong><\/span><\/h3>\n

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