{"id":2360,"date":"2026-04-22T07:08:49","date_gmt":"2026-04-22T07:08:49","guid":{"rendered":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/?post_type=product&#038;p=2360"},"modified":"2026-04-22T07:13:29","modified_gmt":"2026-04-22T07:13:29","slug":"ai350ht-medium-beam-high-temperature-ion-implantation-system-for-6-8-inch-sic-and-silicon-wafer-processing","status":"publish","type":"product","link":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/th\/product\/ai350ht-medium-beam-high-temperature-ion-implantation-system-for-6-8-inch-sic-and-silicon-wafer-processing\/","title":{"rendered":"\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e1d\u0e31\u0e07\u0e44\u0e2d\u0e2d\u0e2d\u0e19\u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e04\u0e32\u0e19\u0e01\u0e25\u0e32\u0e07 Ai350HT \u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e21\u0e27\u0e25\u0e1c\u0e25\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c SiC 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Ai350HT \u0e23\u0e2d\u0e07\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e02\u0e19\u0e32\u0e14\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e2d\u0e30\u0e44\u0e23\u0e1a\u0e49\u0e32\u0e07<\/h3>\n<p data-start=\"3876\" data-end=\"4002\">\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e23\u0e2d\u0e07\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e02\u0e19\u0e32\u0e14 6 \u0e19\u0e34\u0e49\u0e27\u0e41\u0e25\u0e30 8 \u0e19\u0e34\u0e49\u0e27 \u0e41\u0e25\u0e30\u0e40\u0e2b\u0e21\u0e32\u0e30\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e2a\u0e32\u0e22\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e17\u0e31\u0e49\u0e07\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e41\u0e25\u0e30 SiC.<\/p>\n<h3 data-section-id=\"1fcyssk\" data-start=\"4004\" data-end=\"4074\">2. \u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e2a\u0e38\u0e14\u0e17\u0e35\u0e48\u0e23\u0e2d\u0e07\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e44\u0e14\u0e49\u0e23\u0e30\u0e2b\u0e27\u0e48\u0e32\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1d\u0e31\u0e07\u0e15\u0e31\u0e27\u0e04\u0e37\u0e2d\u0e40\u0e17\u0e48\u0e32\u0e44\u0e23<\/h3>\n<p data-start=\"4075\" data-end=\"4197\">\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e23\u0e2d\u0e07\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1d\u0e31\u0e07\u0e15\u0e31\u0e27\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e44\u0e14\u0e49\u0e16\u0e36\u0e07 500\u00b0C \u0e42\u0e14\u0e22\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e2b\u0e31\u0e27\u0e08\u0e31\u0e1a\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32\u0e2a\u0e16\u0e34\u0e15\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e1e\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e21\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e22\u0e36\u0e14\u0e08\u0e31\u0e1a\u0e40\u0e0a\u0e34\u0e07\u0e01\u0e25.<\/p>\n<h3 data-section-id=\"1pcs3bs\" data-start=\"4199\" 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