{"id":2354,"date":"2026-04-22T06:34:59","date_gmt":"2026-04-22T06:34:59","guid":{"rendered":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/?post_type=product&p=2354"},"modified":"2026-04-22T07:16:34","modified_gmt":"2026-04-22T07:16:34","slug":"ai300-medium-beam-high-temperature-ion-implantation-system-for-12-inch-wafer-processing","status":"publish","type":"product","link":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/th\/product\/ai300-medium-beam-high-temperature-ion-implantation-system-for-12-inch-wafer-processing\/","title":{"rendered":"Ai300 (\u0e25\u0e33\u0e41\u0e2a\u0e07\u0e02\u0e19\u0e32\u0e14\u0e01\u0e25\u0e32\u0e07) \u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1d\u0e31\u0e07\u0e44\u0e2d\u0e2d\u0e2d\u0e19\u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e21\u0e27\u0e25\u0e1c\u0e25\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e02\u0e19\u0e32\u0e14 12 \u0e19\u0e34\u0e49\u0e27"},"content":{"rendered":"

\"Ai300\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e1d\u0e31\u0e07\u0e44\u0e2d\u0e2d\u0e2d\u0e19\u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34\u0e2a\u0e39\u0e07 Ai300 (Medium Beam) \u0e44\u0e14\u0e49\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2d\u0e2d\u0e01\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e21\u0e32\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e2a\u0e32\u0e22\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e1a\u0e19\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e02\u0e19\u0e32\u0e14 12 \u0e19\u0e34\u0e49\u0e27 \u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e40\u0e04\u0e23\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e1d\u0e31\u0e07\u0e44\u0e2d\u0e2d\u0e2d\u0e19\u0e01\u0e23\u0e30\u0e41\u0e2a\u0e1b\u0e32\u0e19\u0e01\u0e25\u0e32\u0e07\u0e17\u0e35\u0e48\u0e1e\u0e31\u0e12\u0e19\u0e32\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e42\u0e14\u0e1b\u0e02\u0e31\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e43\u0e19\u0e41\u0e2d\u0e1b\u0e1e\u0e25\u0e34\u0e40\u0e04\u0e0a\u0e31\u0e19\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e17\u0e31\u0e49\u0e07\u0e17\u0e35\u0e48\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e41\u0e25\u0e30\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e35\u0e0a\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e27\u0e48\u0e32\u0e07\u0e1e\u0e25\u0e31\u0e07\u0e07\u0e32\u0e19\u0e01\u0e27\u0e49\u0e32\u0e07 \u0e23\u0e27\u0e21\u0e16\u0e36\u0e07\u0e2a\u0e32\u0e22\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15 SiC.<\/p>\n

\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e23\u0e2d\u0e07\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e0a\u0e48\u0e27\u0e07\u0e1e\u0e25\u0e31\u0e07\u0e07\u0e32\u0e19\u0e15\u0e31\u0e49\u0e07\u0e41\u0e15\u0e48 5 keV \u0e16\u0e36\u0e07 300 keV \u0e17\u0e33\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e1d\u0e31\u0e07\u0e44\u0e2d\u0e2d\u0e2d\u0e19\u0e44\u0e14\u0e49\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e22\u0e37\u0e14\u0e2b\u0e22\u0e38\u0e48\u0e19\u0e15\u0e31\u0e49\u0e07\u0e41\u0e15\u0e48\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e23\u0e2d\u0e22\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e15\u0e37\u0e49\u0e19\u0e44\u0e1b\u0e08\u0e19\u0e16\u0e36\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e08\u0e37\u0e2d\u0e2a\u0e32\u0e23\u0e43\u0e19\u0e23\u0e30\u0e14\u0e31\u0e1a\u0e25\u0e36\u0e01 \u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e15\u0e34\u0e14\u0e15\u0e31\u0e49\u0e07\u0e41\u0e17\u0e48\u0e19\u0e27\u0e32\u0e07\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e44\u0e14\u0e49\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e16\u0e36\u0e07 400\u00b0C \u0e0a\u0e48\u0e27\u0e22\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e40\u0e01\u0e34\u0e14\u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e23\u0e30\u0e15\u0e38\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e32\u0e23\u0e40\u0e08\u0e37\u0e2d\u0e44\u0e14\u0e49\u0e14\u0e35\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19\u0e41\u0e25\u0e30\u0e25\u0e14\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e2a\u0e35\u0e22\u0e2b\u0e32\u0e22\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e42\u0e04\u0e23\u0e07\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e1c\u0e25\u0e36\u0e01\u0e43\u0e19\u0e23\u0e30\u0e2b\u0e27\u0e48\u0e32\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1d\u0e31\u0e07\u0e44\u0e2d\u0e2d\u0e2d\u0e19.<\/p>\n

\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e34\u0e17\u0e18\u0e34\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e25\u0e33\u0e41\u0e2a\u0e07\u0e17\u0e35\u0e48\u0e40\u0e2a\u0e16\u0e35\u0e22\u0e23 \u0e01\u0e32\u0e23\u0e04\u0e27\u0e1a\u0e04\u0e38\u0e21\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33\u0e2a\u0e39\u0e07 \u0e41\u0e25\u0e30\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e02\u0e49\u0e32\u0e01\u0e31\u0e19\u0e44\u0e14\u0e49\u0e01\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e27\u0e07\u0e08\u0e23\u0e23\u0e27\u0e21\u0e02\u0e19\u0e32\u0e14\u0e43\u0e2b\u0e0d\u0e48 \u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a Ai300 \u0e08\u0e36\u0e07\u0e40\u0e2b\u0e21\u0e32\u0e30\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e2a\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e41\u0e27\u0e14\u0e25\u0e49\u0e2d\u0e21\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e02\u0e31\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07.<\/p>\n

\n

\u0e04\u0e38\u0e13\u0e2a\u0e21\u0e1a\u0e31\u0e15\u0e34<\/h2>\n

\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1d\u0e31\u0e07\u0e43\u0e19\u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34\u0e2a\u0e39\u0e07<\/h3>\n

\u0e15\u0e34\u0e14\u0e15\u0e31\u0e49\u0e07\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e41\u0e17\u0e48\u0e19\u0e27\u0e32\u0e07\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e23\u0e2d\u0e07\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34\u0e44\u0e14\u0e49\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e16\u0e36\u0e07 400\u00b0C \u0e0a\u0e48\u0e27\u0e22\u0e40\u0e1e\u0e34\u0e48\u0e21\u0e04\u0e38\u0e13\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1d\u0e31\u0e07\u0e15\u0e31\u0e27\u0e41\u0e25\u0e30\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e34\u0e17\u0e18\u0e34\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e23\u0e30\u0e15\u0e38\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e32\u0e23\u0e40\u0e08\u0e37\u0e2d\u0e43\u0e19\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15.<\/p>\n

\u0e0a\u0e48\u0e27\u0e07\u0e1e\u0e25\u0e31\u0e07\u0e07\u0e32\u0e19\u0e01\u0e27\u0e49\u0e32\u0e07<\/h3>\n

\u0e0a\u0e48\u0e27\u0e07\u0e1e\u0e25\u0e31\u0e07\u0e07\u0e32\u0e19 5\u2013300 keV \u0e23\u0e2d\u0e07\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e17\u0e31\u0e49\u0e07\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1d\u0e31\u0e07\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e15\u0e37\u0e49\u0e19\u0e41\u0e25\u0e30\u0e25\u0e36\u0e01\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e42\u0e04\u0e23\u0e07\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e02\u0e31\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07.<\/p>\n

\u0e01\u0e32\u0e23\u0e04\u0e27\u0e1a\u0e04\u0e38\u0e21\u0e25\u0e33\u0e41\u0e2a\u0e07\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33\u0e2a\u0e39\u0e07<\/h3>\n

\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1d\u0e31\u0e07\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e1e\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e21\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e21\u0e38\u0e21 \u2264 0.1\u00b0, \u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e02\u0e19\u0e32\u0e19\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e25\u0e33\u0e41\u0e2a\u0e07 \u2264 0.1\u00b0, \u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e21\u0e48\u0e33\u0e40\u0e2a\u0e21\u0e2d \u2264 0.5% \u0e41\u0e25\u0e30\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e0b\u0e49\u0e33\u0e44\u0e14\u0e49 \u2264 0.5%.<\/p>\n

\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e34\u0e17\u0e18\u0e34\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e21\u0e27\u0e25\u0e1c\u0e25<\/h3>\n

\u0e23\u0e2d\u0e07\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e1b\u0e23\u0e34\u0e21\u0e32\u0e13\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e44\u0e14\u0e49\u0e16\u0e36\u0e07 \u2265 500 \u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e0a\u0e31\u0e48\u0e27\u0e42\u0e21\u0e07 \u0e40\u0e2b\u0e21\u0e32\u0e30\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e1b\u0e23\u0e34\u0e21\u0e32\u0e13\u0e2a\u0e39\u0e07.<\/p>\n

\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e41\u0e2b\u0e25\u0e48\u0e07\u0e01\u0e33\u0e40\u0e19\u0e34\u0e14\u0e44\u0e2d\u0e2d\u0e2d\u0e19\u0e02\u0e31\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07<\/h3>\n

\u0e23\u0e2d\u0e07\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e2d\u0e07\u0e04\u0e4c\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e01\u0e2d\u0e1a\u0e17\u0e35\u0e48\u0e1d\u0e31\u0e07\u0e2b\u0e25\u0e32\u0e22\u0e0a\u0e19\u0e34\u0e14 \u0e23\u0e27\u0e21\u0e16\u0e36\u0e07 C, B, P, N, He \u0e41\u0e25\u0e30 Ar \u0e40\u0e1e\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e15\u0e2d\u0e1a\u0e2a\u0e19\u0e2d\u0e07\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e15\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2b\u0e25\u0e32\u0e01\u0e2b\u0e25\u0e32\u0e22.<\/p>\n

\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e02\u0e49\u0e32\u0e01\u0e31\u0e19\u0e44\u0e14\u0e49\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23 LSI<\/h3>\n

\u0e40\u0e02\u0e49\u0e32\u0e01\u0e31\u0e19\u0e44\u0e14\u0e49\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e2a\u0e21\u0e1a\u0e39\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e01\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e27\u0e07\u0e08\u0e23\u0e23\u0e27\u0e21\u0e02\u0e19\u0e32\u0e14\u0e43\u0e2b\u0e0d\u0e48\u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e02\u0e31\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07.<\/p>\n

\"\" \"\"<\/p>\n

\n

\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e21\u0e39\u0e25\u0e08\u0e33\u0e40\u0e1e\u0e32\u0e30\u0e2b\u0e25\u0e31\u0e01<\/h2>\n

\u0e1e\u0e32\u0e23\u0e32\u0e21\u0e34\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23<\/h3>\n
\n
\n\n\n\n\n\n\n\n\n
\u0e23\u0e32\u0e22\u0e01\u0e32\u0e23<\/th>\n\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e01\u0e33\u0e2b\u0e19\u0e14<\/th>\n<\/tr>\n<\/thead>\n
\u0e02\u0e19\u0e32\u0e14\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c<\/td>\n12 \u0e19\u0e34\u0e49\u0e27<\/td>\n<\/tr>\n
\u0e0a\u0e48\u0e27\u0e07\u0e1e\u0e25\u0e31\u0e07\u0e07\u0e32\u0e19<\/td>\n5\u2013300 \u0e01\u0e34\u0e42\u0e25\u0e2d\u0e34\u0e40\u0e25\u0e47\u0e01\u0e15\u0e23\u0e2d\u0e19\u0e42\u0e27\u0e25\u0e15\u0e4c<\/td>\n<\/tr>\n
\u0e2d\u0e07\u0e04\u0e4c\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e01\u0e2d\u0e1a\u0e17\u0e35\u0e48\u0e1d\u0e31\u0e07\u0e44\u0e27\u0e49<\/td>\n\u0e0b\u0e35, \u0e1a\u0e35, \u0e1e\u0e35, \u0e40\u0e2d\u0e47\u0e19, \u0e40\u0e2e, \u0e2d\u0e32\u0e23\u0e4c<\/td>\n<\/tr>\n
\u0e0a\u0e48\u0e27\u0e07\u0e02\u0e19\u0e32\u0e14\u0e22\u0e32<\/td>\n\u0e44\u0e2d\u0e2d\u0e2d\u0e19 1E11\u20131E16\/\u0e0b\u0e21.\u00b2<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<\/div>\n<\/div>\n

\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e34\u0e17\u0e18\u0e34\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e04\u0e32\u0e19<\/h3>\n
\n
\n\n\n\n\n\n\n
\u0e23\u0e32\u0e22\u0e01\u0e32\u0e23<\/th>\n\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e01\u0e33\u0e2b\u0e19\u0e14<\/th>\n<\/tr>\n<\/thead>\n
\u0e40\u0e2a\u0e16\u0e35\u0e22\u0e23\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e04\u0e32\u0e19<\/td>\n\u2264 10% \/ \u0e0a\u0e31\u0e48\u0e27\u0e42\u0e21\u0e07 (\u22641 \u0e04\u0e23\u0e31\u0e49\u0e07\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2b\u0e22\u0e38\u0e14\u0e25\u0e33\u0e41\u0e2a\u0e07\u0e2b\u0e23\u0e37\u0e2d\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e01\u0e34\u0e14\u0e2d\u0e32\u0e23\u0e4c\u0e04\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e0a\u0e31\u0e48\u0e27\u0e42\u0e21\u0e07)<\/td>\n<\/tr>\n
\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e02\u0e19\u0e32\u0e19\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e25\u0e33\u0e41\u0e2a\u0e07<\/td>\n\u2264 0.1\u00b0<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<\/div>\n<\/div>\n

\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1d\u0e31\u0e07\u0e15\u0e31\u0e27<\/h3>\n
\n
\n\n\n\n\n\n\n\n\n
\u0e23\u0e32\u0e22\u0e01\u0e32\u0e23<\/th>\n\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e01\u0e33\u0e2b\u0e19\u0e14<\/th>\n<\/tr>\n<\/thead>\n
\u0e0a\u0e48\u0e27\u0e07\u0e21\u0e38\u0e21\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e23\u0e32\u0e01\u0e1f\u0e31\u0e19\u0e40\u0e17\u0e35\u0e22\u0e21<\/td>\n0\u00b0\u201345\u00b0<\/td>\n<\/tr>\n
\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e21\u0e38\u0e21<\/td>\n\u2264 0.1\u00b0<\/td>\n<\/tr>\n
\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e21\u0e48\u0e33\u0e40\u0e2a\u0e21\u0e2d (1\u03c3)<\/td>\n\u2264 0.5% (P+, 1E14, 100 keV)<\/td>\n<\/tr>\n
\u0e01\u0e32\u0e23\u0e17\u0e33\u0e0b\u0e49\u0e33\u0e44\u0e14\u0e49 (1\u03c3)<\/td>\n\u2264 0.5%<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<\/div>\n<\/div>\n

\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e34\u0e17\u0e18\u0e34\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a<\/h3>\n
\n
\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n
\u0e23\u0e32\u0e22\u0e01\u0e32\u0e23<\/th>\n\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e01\u0e33\u0e2b\u0e19\u0e14<\/th>\n<\/tr>\n<\/thead>\n
\u0e1b\u0e23\u0e34\u0e21\u0e32\u0e13\u0e07\u0e32\u0e19<\/td>\n\u2265 500 \u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e0a\u0e31\u0e48\u0e27\u0e42\u0e21\u0e07<\/td>\n<\/tr>\n
\u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e2a\u0e38\u0e14\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e23\u0e32\u0e01\u0e1f\u0e31\u0e19\u0e40\u0e17\u0e35\u0e22\u0e21<\/td>\n400\u00b0C<\/td>\n<\/tr>\n
\u0e02\u0e19\u0e32\u0e14\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c<\/td>\n6400 \u00d7 3640 \u00d7 3100 \u0e21\u0e21.<\/td>\n<\/tr>\n
\u0e23\u0e30\u0e14\u0e31\u0e1a\u0e2a\u0e38\u0e0d\u0e0d\u0e32\u0e01\u0e32\u0e28<\/td>\n5E-7 \u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e23<\/td>\n<\/tr>\n
\u0e01\u0e32\u0e23\u0e23\u0e31\u0e48\u0e27\u0e44\u0e2b\u0e25\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e23\u0e31\u0e07\u0e2a\u0e35\u0e40\u0e2d\u0e01\u0e0b\u0e4c<\/td>\n\u2264 0.3 \u03bcSv\/\u0e0a\u0e31\u0e48\u0e27\u0e42\u0e21\u0e07<\/td>\n<\/tr>\n
\u0e42\u0e2b\u0e21\u0e14\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2a\u0e41\u0e01\u0e19<\/td>\n\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2a\u0e41\u0e01\u0e19\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32\u0e2a\u0e16\u0e34\u0e15\u0e41\u0e19\u0e27\u0e19\u0e2d\u0e19 + \u0e01\u0e32\u0e23\u0e2a\u0e41\u0e01\u0e19\u0e40\u0e0a\u0e34\u0e07\u0e01\u0e25\u0e41\u0e19\u0e27\u0e15\u0e31\u0e49\u0e07<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<\/div>\n<\/div>\n
\n

\u0e2a\u0e32\u0e02\u0e32\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e22\u0e38\u0e01\u0e15\u0e4c\u0e43\u0e0a\u0e49<\/h2>\n

\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e21\u0e27\u0e25\u0e1c\u0e25\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c SiC<\/h3>\n

\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e43\u0e19\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e04\u0e32\u0e23\u0e4c\u0e44\u0e1a\u0e14\u0e4c \u0e23\u0e2d\u0e07\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1d\u0e31\u0e07\u0e15\u0e31\u0e27\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e0b\u0e36\u0e48\u0e07\u0e08\u0e33\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e35\u0e0a\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e27\u0e48\u0e32\u0e07\u0e1e\u0e25\u0e31\u0e07\u0e07\u0e32\u0e19\u0e01\u0e27\u0e49\u0e32\u0e07.<\/p>\n

\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e17\u0e35\u0e48\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19<\/h3>\n

\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e44\u0e14\u0e49\u0e01\u0e31\u0e1a\u0e2a\u0e32\u0e22\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e02\u0e19\u0e32\u0e14 12 \u0e19\u0e34\u0e49\u0e27 \u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15 CMOS \u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e27\u0e07\u0e08\u0e23\u0e23\u0e27\u0e21\u0e02\u0e31\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07.<\/p>\n

\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1d\u0e31\u0e07\u0e15\u0e31\u0e27\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34\u0e2a\u0e39\u0e07<\/h3>\n

\u0e23\u0e2d\u0e07\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1d\u0e31\u0e07\u0e15\u0e31\u0e27\u0e17\u0e35\u0e48\u0e15\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e40\u0e1e\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e25\u0e14\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e1a\u0e01\u0e1e\u0e23\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e41\u0e25\u0e30\u0e1b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e1b\u0e23\u0e38\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e23\u0e30\u0e15\u0e38\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e32\u0e23\u0e40\u0e08\u0e37\u0e2d.<\/p>\n

\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32<\/h3>\n

\u0e40\u0e2b\u0e21\u0e32\u0e30\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e01\u0e33\u0e25\u0e31\u0e07\u0e17\u0e35\u0e48\u0e15\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e08\u0e37\u0e2d\u0e1b\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33\u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1d\u0e31\u0e07\u0e1e\u0e25\u0e31\u0e07\u0e07\u0e32\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07.<\/p>\n

\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e27\u0e07\u0e08\u0e23\u0e23\u0e27\u0e21\u0e02\u0e31\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07<\/h3>\n

\u0e23\u0e2d\u0e07\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e2a\u0e32\u0e19\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23 LSI \u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e41\u0e25\u0e30\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e01\u0e33\u0e2b\u0e19\u0e14\u0e14\u0e49\u0e32\u0e19\u0e1b\u0e23\u0e34\u0e21\u0e32\u0e13\u0e07\u0e32\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07.<\/p>\n

\n

\u0e04\u0e33\u0e16\u0e32\u0e21\u0e17\u0e35\u0e48\u0e1e\u0e1a\u0e1a\u0e48\u0e2d\u0e22<\/h2>\n

1. \u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a Ai300 \u0e23\u0e2d\u0e07\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e02\u0e19\u0e32\u0e14\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e02\u0e19\u0e32\u0e14\u0e43\u0e14<\/h3>\n

\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e19\u0e35\u0e49\u0e2d\u0e2d\u0e01\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e21\u0e32\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e02\u0e19\u0e32\u0e14 12 \u0e19\u0e34\u0e49\u0e27 \u0e41\u0e25\u0e30\u0e40\u0e2b\u0e21\u0e32\u0e30\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e2a\u0e32\u0e22\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e02\u0e31\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07.<\/p>\n

2. \u0e02\u0e49\u0e2d\u0e44\u0e14\u0e49\u0e40\u0e1b\u0e23\u0e35\u0e22\u0e1a\u0e2b\u0e25\u0e31\u0e01\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1d\u0e31\u0e07\u0e15\u0e31\u0e27\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e04\u0e37\u0e2d\u0e2d\u0e30\u0e44\u0e23<\/h3>\n

\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e23\u0e2d\u0e07\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1d\u0e31\u0e07\u0e15\u0e31\u0e27\u0e44\u0e14\u0e49\u0e16\u0e36\u0e07 400\u00b0C \u0e0b\u0e36\u0e48\u0e07\u0e0a\u0e48\u0e27\u0e22\u0e25\u0e14\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e2a\u0e35\u0e22\u0e2b\u0e32\u0e22\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e42\u0e04\u0e23\u0e07\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e15\u0e32\u0e02\u0e48\u0e32\u0e22, \u0e1b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e1b\u0e23\u0e38\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e23\u0e30\u0e15\u0e38\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e32\u0e23\u0e40\u0e08\u0e37\u0e2d, \u0e41\u0e25\u0e30\u0e40\u0e1e\u0e34\u0e48\u0e21\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e34\u0e17\u0e18\u0e34\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e42\u0e14\u0e22\u0e23\u0e27\u0e21\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c.<\/p>\n

3. \u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e23\u0e30\u0e14\u0e31\u0e1a\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33\u0e41\u0e25\u0e30\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e34\u0e17\u0e18\u0e34\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e43\u0e19\u0e23\u0e30\u0e14\u0e31\u0e1a\u0e43\u0e14<\/h3>\n

\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e21\u0e38\u0e21\u0e20\u0e32\u0e22\u0e43\u0e19 0.1 \u0e2d\u0e07\u0e28\u0e32 \u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e02\u0e19\u0e32\u0e19\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e25\u0e33\u0e41\u0e2a\u0e07\u0e20\u0e32\u0e22\u0e43\u0e19 0.1 \u0e2d\u0e07\u0e28\u0e32 \u0e41\u0e25\u0e30\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e21\u0e48\u0e33\u0e40\u0e2a\u0e21\u0e2d\u0e41\u0e25\u0e30\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e17\u0e33\u0e0b\u0e49\u0e33\u0e20\u0e32\u0e22\u0e43\u0e19 0.5 \u0e40\u0e1b\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e40\u0e0b\u0e47\u0e19\u0e15\u0e4c \u0e42\u0e14\u0e22\u0e21\u0e35\u0e01\u0e33\u0e25\u0e31\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e2a\u0e38\u0e14\u0e16\u0e36\u0e07 500 \u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e0a\u0e31\u0e48\u0e27\u0e42\u0e21\u0e07.<\/p>","protected":false},"excerpt":{"rendered":"

\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e1d\u0e31\u0e07\u0e44\u0e2d\u0e2d\u0e2d\u0e19\u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34\u0e2a\u0e39\u0e07 Ai300 (Medium Beam) \u0e44\u0e14\u0e49\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2d\u0e2d\u0e01\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e21\u0e32\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e2a\u0e32\u0e22\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e1a\u0e19\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e02\u0e19\u0e32\u0e14 12 \u0e19\u0e34\u0e49\u0e27 \u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e40\u0e04\u0e23\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e1d\u0e31\u0e07\u0e44\u0e2d\u0e2d\u0e2d\u0e19\u0e01\u0e23\u0e30\u0e41\u0e2a\u0e1b\u0e32\u0e19\u0e01\u0e25\u0e32\u0e07\u0e17\u0e35\u0e48\u0e1e\u0e31\u0e12\u0e19\u0e32\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e42\u0e14\u0e1b\u0e02\u0e31\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e43\u0e19\u0e41\u0e2d\u0e1b\u0e1e\u0e25\u0e34\u0e40\u0e04\u0e0a\u0e31\u0e19\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e17\u0e31\u0e49\u0e07\u0e17\u0e35\u0e48\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e41\u0e25\u0e30\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e35\u0e0a\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e27\u0e48\u0e32\u0e07\u0e1e\u0e25\u0e31\u0e07\u0e07\u0e32\u0e19\u0e01\u0e27\u0e49\u0e32\u0e07 \u0e23\u0e27\u0e21\u0e16\u0e36\u0e07\u0e2a\u0e32\u0e22\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15 SiC.<\/p>","protected":false},"featured_media":2357,"comment_status":"open","ping_status":"closed","template":"","meta":{"site-sidebar-layout":"default","site-content-layout":"","ast-site-content-layout":"default","site-content-style":"default","site-sidebar-style":"default","ast-global-header-display":"","ast-banner-title-visibility":"","ast-main-header-display":"","ast-hfb-above-header-display":"","ast-hfb-below-header-display":"","ast-hfb-mobile-header-display":"","site-post-title":"","ast-breadcrumbs-content":"","ast-featured-img":"","footer-sml-layout":"","ast-disable-related-posts":"","theme-transparent-header-meta":"default","adv-header-id-meta":"","stick-header-meta":"default","header-above-stick-meta":"","header-main-stick-meta":"","header-below-stick-meta":"","astra-migrate-meta-layouts":"set","ast-page-background-enabled":"default","ast-page-background-meta":{"desktop":{"background-color":"var(--ast-global-color-4)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"tablet":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"mobile":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""}},"ast-content-background-meta":{"desktop":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"tablet":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"mobile":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""}}},"product_brand":[],"product_cat":[1177],"product_tag":[1160,1194,1178,1181,1186,1197,1196,1185,1195,1198],"class_list":{"0":"post-2354","1":"product","2":"type-product","3":"status-publish","4":"has-post-thumbnail","6":"product_cat-ion-implantation-equipment","7":"product_tag-12-inch-wafer-equipment","8":"product_tag-high-temperature-ion-implantation","9":"product_tag-ion-implantation-system","10":"product_tag-lsi-manufacturing-equipment","11":"product_tag-medium-beam-ion-implanter","12":"product_tag-power-semiconductor-processing","13":"product_tag-semiconductor-doping-machine","14":"product_tag-semiconductor-fabrication-equipment","15":"product_tag-sic-implantation-equipment","16":"product_tag-wide-bandgap-semiconductor-equipment","17":"desktop-align-left","18":"tablet-align-left","19":"mobile-align-left","20":"ast-product-gallery-layout-horizontal-slider","21":"ast-product-gallery-with-no-image","22":"ast-product-tabs-layout-horizontal","24":"first","25":"instock","26":"shipping-taxable","27":"product-type-simple"},"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/th\/wp-json\/wp\/v2\/product\/2354","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/th\/wp-json\/wp\/v2\/product"}],"about":[{"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/th\/wp-json\/wp\/v2\/types\/product"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/th\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=2354"}],"version-history":[{"count":5,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/th\/wp-json\/wp\/v2\/product\/2354\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":2370,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/th\/wp-json\/wp\/v2\/product\/2354\/revisions\/2370"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/th\/wp-json\/wp\/v2\/media\/2357"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/th\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=2354"}],"wp:term":[{"taxonomy":"product_brand","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/th\/wp-json\/wp\/v2\/product_brand?post=2354"},{"taxonomy":"product_cat","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/th\/wp-json\/wp\/v2\/product_cat?post=2354"},{"taxonomy":"product_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/th\/wp-json\/wp\/v2\/product_tag?post=2354"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}