{"id":2346,"date":"2026-04-22T05:56:29","date_gmt":"2026-04-22T05:56:29","guid":{"rendered":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/?post_type=product&p=2346"},"modified":"2026-04-22T07:25:08","modified_gmt":"2026-04-22T07:25:08","slug":"ai250-medium-beam-room-temperature-ion-implantation-system-for-6-8-inch-silicon-wafer-processing","status":"publish","type":"product","link":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/th\/product\/ai250-medium-beam-room-temperature-ion-implantation-system-for-6-8-inch-silicon-wafer-processing\/","title":{"rendered":"Ai250 (\u0e25\u0e33\u0e41\u0e2a\u0e07\u0e1b\u0e32\u0e19\u0e01\u0e25\u0e32\u0e07) \u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1d\u0e31\u0e07\u0e44\u0e2d\u0e2d\u0e2d\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34\u0e2b\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e21\u0e27\u0e25\u0e1c\u0e25\u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e02\u0e19\u0e32\u0e14 6\u20138 \u0e19\u0e34\u0e49\u0e27"},"content":{"rendered":"

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\n\n\n\n\n\n\n\n\n
\u0e23\u0e32\u0e22\u0e01\u0e32\u0e23<\/th>\n\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e01\u0e33\u0e2b\u0e19\u0e14<\/th>\n<\/tr>\n<\/thead>\n
\u0e02\u0e19\u0e32\u0e14\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c<\/td>\n\u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e02\u0e19\u0e32\u0e14 6\u20138 \u0e19\u0e34\u0e49\u0e27<\/td>\n<\/tr>\n
\u0e0a\u0e48\u0e27\u0e07\u0e1e\u0e25\u0e31\u0e07\u0e07\u0e32\u0e19<\/td>\n5\u2013250 \u0e01\u0e34\u0e42\u0e25\u0e2d\u0e34\u0e40\u0e25\u0e47\u0e01\u0e15\u0e23\u0e2d\u0e19\u0e42\u0e27\u0e25\u0e15\u0e4c<\/td>\n<\/tr>\n
\u0e2d\u0e07\u0e04\u0e4c\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e01\u0e2d\u0e1a\u0e17\u0e35\u0e48\u0e1d\u0e31\u0e07\u0e44\u0e27\u0e49<\/td>\nB+, P+, As+, Ar+, N+, H+<\/td>\n<\/tr>\n
\u0e0a\u0e48\u0e27\u0e07\u0e02\u0e19\u0e32\u0e14\u0e22\u0e32<\/td>\n\u0e44\u0e2d\u0e2d\u0e2d\u0e19 5E11\u20131E16\/\u0e0b\u0e21.\u00b2<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<\/div>\n<\/div>\n

\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e34\u0e17\u0e18\u0e34\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e04\u0e32\u0e19<\/h3>\n
\n
\n\n\n\n\n\n\n\n
\u0e23\u0e32\u0e22\u0e01\u0e32\u0e23<\/th>\n\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e01\u0e33\u0e2b\u0e19\u0e14<\/th>\n<\/tr>\n<\/thead>\n
\u0e01\u0e23\u0e30\u0e41\u0e2a\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e2a\u0e38\u0e14\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e25\u0e33\u0e41\u0e2a\u0e07<\/td>\nAr+ \u2265 1300 \u03bcA @ \u2265220 keV
\nB+ \u2265 1000 \u03bcA @ \u2265220 keV
\nP+ \u2265 1300 \u03bcA @ \u2265220 keV
\nN+ \u2265 1000 \u03bcA @ \u2265220 keV<\/td>\n<\/tr>\n
\u0e40\u0e2a\u0e16\u0e35\u0e22\u0e23\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e04\u0e32\u0e19<\/td>\n\u2264 15% \/ \u0e0a\u0e31\u0e48\u0e27\u0e42\u0e21\u0e07 (\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2b\u0e22\u0e38\u0e14\u0e0a\u0e30\u0e07\u0e31\u0e01\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e25\u0e33\u0e41\u0e2a\u0e07\u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e01\u0e34\u0e14\u0e2d\u0e32\u0e23\u0e4c\u0e04 \u2264 1 \u0e04\u0e23\u0e31\u0e49\u0e07\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e0a\u0e31\u0e48\u0e27\u0e42\u0e21\u0e07)<\/td>\n<\/tr>\n
\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e02\u0e19\u0e32\u0e19\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e25\u0e33\u0e41\u0e2a\u0e07<\/td>\n\u2264 0.2\u00b0<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<\/div>\n<\/div>\n

\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1d\u0e31\u0e07\u0e15\u0e31\u0e27<\/h3>\n
\n
\n\n\n\n\n\n\n\n\n
\u0e23\u0e32\u0e22\u0e01\u0e32\u0e23<\/th>\n\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e01\u0e33\u0e2b\u0e19\u0e14<\/th>\n<\/tr>\n<\/thead>\n
\u0e0a\u0e48\u0e27\u0e07\u0e21\u0e38\u0e21\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e23\u0e32\u0e01\u0e1f\u0e31\u0e19\u0e40\u0e17\u0e35\u0e22\u0e21<\/td>\n0\u00b0\u201345\u00b0<\/td>\n<\/tr>\n
\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e21\u0e38\u0e21<\/td>\n\u2264 0.2\u00b0<\/td>\n<\/tr>\n
\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e21\u0e48\u0e33\u0e40\u0e2a\u0e21\u0e2d (1\u03c3)<\/td>\n\u2264 0.5% (B+, 2E14, 150 keV)<\/td>\n<\/tr>\n
\u0e01\u0e32\u0e23\u0e17\u0e33\u0e0b\u0e49\u0e33\u0e44\u0e14\u0e49 (1\u03c3)<\/td>\n\u2264 0.5%<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<\/div>\n<\/div>\n

\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e34\u0e17\u0e18\u0e34\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a<\/h3>\n
\n
\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n
\u0e23\u0e32\u0e22\u0e01\u0e32\u0e23<\/th>\n\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e01\u0e33\u0e2b\u0e19\u0e14<\/th>\n<\/tr>\n<\/thead>\n
\u0e1b\u0e23\u0e34\u0e21\u0e32\u0e13\u0e07\u0e32\u0e19<\/td>\n\u2265 200 \u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e0a\u0e31\u0e48\u0e27\u0e42\u0e21\u0e07<\/td>\n<\/tr>\n
\u0e23\u0e30\u0e14\u0e31\u0e1a\u0e2a\u0e38\u0e0d\u0e0d\u0e32\u0e01\u0e32\u0e28<\/td>\n< 5E-7 \u0e17\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e23<\/td>\n<\/tr>\n
\u0e01\u0e32\u0e23\u0e23\u0e31\u0e48\u0e27\u0e44\u0e2b\u0e25\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e23\u0e31\u0e07\u0e2a\u0e35\u0e40\u0e2d\u0e01\u0e0b\u0e4c<\/td>\n\u2264 0.6 \u03bcSv\/\u0e0a\u0e31\u0e48\u0e27\u0e42\u0e21\u0e07<\/td>\n<\/tr>\n
\u0e42\u0e2b\u0e21\u0e14\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2a\u0e41\u0e01\u0e19<\/td>\n\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2a\u0e41\u0e01\u0e19\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32\u0e2a\u0e16\u0e34\u0e15\u0e41\u0e19\u0e27\u0e19\u0e2d\u0e19 + \u0e01\u0e32\u0e23\u0e2a\u0e41\u0e01\u0e19\u0e40\u0e0a\u0e34\u0e07\u0e01\u0e25\u0e41\u0e19\u0e27\u0e15\u0e31\u0e49\u0e07<\/td>\n<\/tr>\n
\u0e02\u0e19\u0e32\u0e14\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c<\/td>\n5600 \u00d7 3300 \u00d7 2600 \u0e21\u0e21.<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<\/div>\n<\/div>\n
\n

\u0e2a\u0e32\u0e02\u0e32\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e22\u0e38\u0e01\u0e15\u0e4c\u0e43\u0e0a\u0e49<\/h2>\n

\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c<\/h3>\n

\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e43\u0e19\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e25\u0e2d\u0e08\u0e34\u0e01 CMOS \u0e42\u0e14\u0e22\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1d\u0e31\u0e07\u0e2a\u0e32\u0e23\u0e40\u0e08\u0e37\u0e2d\u0e1b\u0e19\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e17\u0e23\u0e32\u0e19\u0e0b\u0e34\u0e2a\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c.<\/p>\n

\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e27\u0e07\u0e08\u0e23\u0e23\u0e27\u0e21<\/h3>\n

\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e43\u0e19\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15 LSI \u0e41\u0e25\u0e30 IC \u0e02\u0e31\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e17\u0e35\u0e48\u0e15\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e32\u0e23\u0e04\u0e27\u0e1a\u0e04\u0e38\u0e21\u0e01\u0e32\u0e23\u0e42\u0e14\u0e1b\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33\u0e2a\u0e39\u0e07.<\/p>\n

\u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e48\u0e2d\u0e15\u0e31\u0e27\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e08\u0e38\u0e14\u0e40\u0e0a\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e21\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e15\u0e37\u0e49\u0e19\u0e41\u0e25\u0e30\u0e25\u0e36\u0e01<\/h3>\n

\u0e2a\u0e19\u0e31\u0e1a\u0e2a\u0e19\u0e38\u0e19\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1d\u0e31\u0e07\u0e15\u0e31\u0e27\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e27\u0e34\u0e28\u0e27\u0e01\u0e23\u0e23\u0e21\u0e41\u0e2b\u0e25\u0e48\u0e07\/\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e32\u0e22\u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e04\u0e27\u0e1a\u0e04\u0e38\u0e21\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e25\u0e36\u0e01\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e23\u0e2d\u0e22\u0e15\u0e48\u0e2d.<\/p>\n

\u0e27\u0e34\u0e28\u0e27\u0e01\u0e23\u0e23\u0e21\u0e2a\u0e32\u0e23\u0e40\u0e08\u0e37\u0e2d<\/h3>\n

\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e04\u0e27\u0e1a\u0e04\u0e38\u0e21\u0e04\u0e38\u0e13\u0e2a\u0e21\u0e1a\u0e31\u0e15\u0e34\u0e17\u0e32\u0e07\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e01\u0e2d\u0e19\u0e1c\u0e48\u0e32\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1d\u0e31\u0e07\u0e44\u0e2d\u0e2d\u0e2d\u0e19\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33.<\/p>\n

\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1e\u0e31\u0e12\u0e19\u0e32\u0e41\u0e25\u0e30\u0e27\u0e34\u0e08\u0e31\u0e22\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23<\/h3>\n

\u0e40\u0e2b\u0e21\u0e32\u0e30\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1e\u0e31\u0e12\u0e19\u0e32\u0e02\u0e31\u0e49\u0e19\u0e15\u0e2d\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c \u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e19\u0e33\u0e23\u0e48\u0e2d\u0e07 \u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e17\u0e14\u0e25\u0e2d\u0e07.<\/p>\n

\n

\u0e04\u0e33\u0e16\u0e32\u0e21\u0e17\u0e35\u0e48\u0e1e\u0e1a\u0e1a\u0e48\u0e2d\u0e22<\/h2>\n

1. Ai250 \u0e23\u0e2d\u0e07\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e02\u0e19\u0e32\u0e14\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e2d\u0e30\u0e44\u0e23\u0e1a\u0e49\u0e32\u0e07<\/h3>\n

\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e23\u0e2d\u0e07\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e02\u0e19\u0e32\u0e14 6 \u0e19\u0e34\u0e49\u0e27\u0e41\u0e25\u0e30 8 \u0e19\u0e34\u0e49\u0e27 \u0e41\u0e25\u0e30\u0e40\u0e2b\u0e21\u0e32\u0e30\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e2a\u0e32\u0e22\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e2b\u0e25\u0e31\u0e01.<\/p>\n

2. \u0e0a\u0e48\u0e27\u0e07\u0e1e\u0e25\u0e31\u0e07\u0e07\u0e32\u0e19\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e04\u0e37\u0e2d\u0e2d\u0e30\u0e44\u0e23<\/h3>\n

\u0e0a\u0e48\u0e27\u0e07\u0e1e\u0e25\u0e31\u0e07\u0e07\u0e32\u0e19\u0e04\u0e37\u0e2d 5 keV \u0e16\u0e36\u0e07 250 keV \u0e23\u0e2d\u0e07\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e17\u0e31\u0e49\u0e07\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1d\u0e31\u0e07\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e15\u0e37\u0e49\u0e19\u0e41\u0e25\u0e30\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e25\u0e36\u0e01\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c.<\/p>\n

3. \u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e19\u0e23\u0e30\u0e14\u0e31\u0e1a\u0e43\u0e14<\/h3>\n

\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e21\u0e38\u0e21\u0e20\u0e32\u0e22\u0e43\u0e19 0.2\u00b0, \u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e02\u0e19\u0e32\u0e19\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e25\u0e33\u0e41\u0e2a\u0e07\u0e20\u0e32\u0e22\u0e43\u0e19 0.2\u00b0, \u0e41\u0e25\u0e30\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e21\u0e48\u0e33\u0e40\u0e2a\u0e21\u0e2d\u0e41\u0e25\u0e30\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e17\u0e33\u0e0b\u0e49\u0e33\u0e20\u0e32\u0e22\u0e43\u0e19 0.5%, \u0e0b\u0e36\u0e48\u0e07\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e01\u0e31\u0e19\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e34\u0e17\u0e18\u0e34\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e17\u0e35\u0e48\u0e40\u0e2a\u0e16\u0e35\u0e22\u0e23\u0e41\u0e25\u0e30\u0e21\u0e35\u0e1c\u0e25\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e2a\u0e39\u0e07.<\/p>","protected":false},"excerpt":{"rendered":"

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