{"id":1968,"date":"2026-03-23T06:01:20","date_gmt":"2026-03-23T06:01:20","guid":{"rendered":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/?post_type=product&p=1968"},"modified":"2026-03-23T06:03:52","modified_gmt":"2026-03-23T06:03:52","slug":"lpcvd-oxidation-furnace","status":"publish","type":"product","link":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/th\/product\/lpcvd-oxidation-furnace\/","title":{"rendered":"\u0e40\u0e15\u0e32\u0e2d\u0e2d\u0e01\u0e0b\u0e34\u0e40\u0e14\u0e0a\u0e31\u0e19 LPCVD \u0e02\u0e19\u0e32\u0e14 6\/8 \u0e19\u0e34\u0e49\u0e27 \u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e04\u0e25\u0e37\u0e2d\u0e1a\u0e1f\u0e34\u0e25\u0e4c\u0e21\u0e1a\u0e32\u0e07\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e21\u0e48\u0e33\u0e40\u0e2a\u0e21\u0e2d\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e02\u0e31\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07"},"content":{"rendered":"

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  • \u0e01\u0e32\u0e23\u0e2d\u0e2d\u0e01\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e40\u0e04\u0e23\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e1b\u0e0f\u0e34\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e41\u0e19\u0e27\u0e15\u0e31\u0e49\u0e07:<\/strong> \u0e23\u0e2d\u0e07\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e08\u0e31\u0e14\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c 150\u2013200 \u0e0a\u0e34\u0e49\u0e19\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e0a\u0e38\u0e14 \u0e0a\u0e48\u0e27\u0e22\u0e40\u0e1e\u0e34\u0e48\u0e21\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e34\u0e17\u0e18\u0e34\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e41\u0e25\u0e30\u0e1b\u0e23\u0e34\u0e21\u0e32\u0e13\u0e07\u0e32\u0e19\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e43\u0e19\u0e23\u0e30\u0e14\u0e31\u0e1a\u0e2d\u0e38\u0e15\u0e2a\u0e32\u0e2b\u0e01\u0e23\u0e23\u0e21.<\/li>\n
  • \u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e15\u0e01\u0e15\u0e30\u0e01\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19 (500\u2013900\u00b0C):<\/strong> \u0e43\u0e2b\u0e49\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e04\u0e25\u0e37\u0e2d\u0e1a\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2d\u0e48\u0e2d\u0e19\u0e42\u0e22\u0e19 \u0e1b\u0e23\u0e32\u0e28\u0e08\u0e32\u0e01\u0e1e\u0e25\u0e32\u0e2a\u0e21\u0e32 \u0e40\u0e1e\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e1b\u0e01\u0e1b\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e17\u0e35\u0e48\u0e1a\u0e2d\u0e1a\u0e1a\u0e32\u0e07\u0e41\u0e25\u0e30\u0e23\u0e31\u0e01\u0e29\u0e32\u0e04\u0e38\u0e13\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e1f\u0e34\u0e25\u0e4c\u0e21\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e2a\u0e39\u0e07.<\/li>\n
  • \u0e01\u0e32\u0e23\u0e04\u0e27\u0e1a\u0e04\u0e38\u0e21\u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34\u0e2d\u0e31\u0e08\u0e09\u0e23\u0e34\u0e22\u0e30:<\/strong> \u0e01\u0e32\u0e23\u0e15\u0e23\u0e27\u0e08\u0e2a\u0e2d\u0e1a\u0e41\u0e25\u0e30\u0e1b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e40\u0e23\u0e35\u0e22\u0e25\u0e44\u0e17\u0e21\u0e4c\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33 \u00b11\u00b0C \u0e40\u0e1e\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e44\u0e14\u0e49\u0e1c\u0e25\u0e25\u0e31\u0e1e\u0e18\u0e4c\u0e17\u0e35\u0e48\u0e40\u0e2a\u0e16\u0e35\u0e22\u0e23\u0e41\u0e25\u0e30\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e17\u0e33\u0e0b\u0e49\u0e33\u0e44\u0e14\u0e49.<\/li>\n
  • \u0e2b\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2a\u0e30\u0e2d\u0e32\u0e14\u0e1e\u0e34\u0e40\u0e28\u0e29<\/strong> \u0e25\u0e14\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e19\u0e40\u0e1b\u0e37\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e2d\u0e19\u0e38\u0e20\u0e32\u0e04 \u0e23\u0e2d\u0e07\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e02\u0e31\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07 \u0e40\u0e0a\u0e48\u0e19 \u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e04\u0e32\u0e23\u0e4c\u0e44\u0e1a\u0e14\u0e4c (SiC) \u0e41\u0e25\u0e30\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e2d\u0e37\u0e48\u0e19 \u0e46.<\/li>\n
  • \u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e33\u0e2b\u0e19\u0e14\u0e04\u0e48\u0e32\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e1b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e41\u0e15\u0e48\u0e07\u0e44\u0e14\u0e49:<\/strong> \u0e01\u0e32\u0e23\u0e2d\u0e2d\u0e01\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e17\u0e35\u0e48\u0e22\u0e37\u0e14\u0e2b\u0e22\u0e38\u0e48\u0e19\u0e23\u0e2d\u0e07\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e15\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e15\u0e48\u0e32\u0e07\u0e46 \u0e23\u0e27\u0e21\u0e16\u0e36\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2d\u0e2d\u0e01\u0e0b\u0e34\u0e40\u0e14\u0e0a\u0e31\u0e19\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e41\u0e2b\u0e49\u0e07\u0e2b\u0e23\u0e37\u0e2d\u0e40\u0e1b\u0e35\u0e22\u0e01\u0e41\u0e25\u0e30\u0e02\u0e19\u0e32\u0e14\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e17\u0e35\u0e48\u0e41\u0e15\u0e01\u0e15\u0e48\u0e32\u0e07\u0e01\u0e31\u0e19.<\/li>\n<\/ul>\n

    \u0e02\u0e49\u0e2d\u0e21\u0e39\u0e25\u0e08\u0e33\u0e40\u0e1e\u0e32\u0e30\u0e17\u0e32\u0e07\u0e40\u0e17\u0e04\u0e19\u0e34\u0e04<\/strong><\/span><\/h2>\n
    \n
    \n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n
    \u0e04\u0e38\u0e13\u0e2a\u0e21\u0e1a\u0e31\u0e15\u0e34<\/th>\n\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e01\u0e33\u0e2b\u0e19\u0e14<\/th>\n<\/tr>\n<\/thead>\n
    \u0e02\u0e19\u0e32\u0e14\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c<\/td>\n6\/8\/12 \u0e19\u0e34\u0e49\u0e27<\/td>\n<\/tr>\n
    \u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e17\u0e35\u0e48\u0e40\u0e02\u0e49\u0e32\u0e01\u0e31\u0e19\u0e44\u0e14\u0e49<\/td>\n\u0e42\u0e1e\u0e25\u0e35\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19, \u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e44\u0e19\u0e44\u0e15\u0e23\u0e14\u0e4c, \u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e2d\u0e2d\u0e01\u0e44\u0e0b\u0e14\u0e4c<\/td>\n<\/tr>\n
    \u0e1b\u0e23\u0e30\u0e40\u0e20\u0e17\u0e2d\u0e2d\u0e01\u0e0b\u0e34\u0e40\u0e14\u0e0a\u0e31\u0e19<\/td>\n\u0e2d\u0e2d\u0e01\u0e0b\u0e34\u0e40\u0e08\u0e19\u0e41\u0e2b\u0e49\u0e07 \/ \u0e2d\u0e2d\u0e01\u0e0b\u0e34\u0e40\u0e08\u0e19\u0e40\u0e1b\u0e35\u0e22\u0e01 (DCE, HCL)<\/td>\n<\/tr>\n
    \u0e0a\u0e48\u0e27\u0e07\u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23<\/td>\n500\u00b0C\u2013900\u00b0C<\/td>\n<\/tr>\n
    \u0e42\u0e0b\u0e19\u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34\u0e04\u0e07\u0e17\u0e35\u0e48<\/td>\n\u2265800 \u0e21\u0e21.<\/td>\n<\/tr>\n
    \u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e04\u0e27\u0e1a\u0e04\u0e38\u0e21\u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34<\/td>\n\u00b11\u00b0C<\/td>\n<\/tr>\n
    \u0e01\u0e32\u0e23\u0e04\u0e27\u0e1a\u0e04\u0e38\u0e21\u0e2d\u0e19\u0e38\u0e20\u0e32\u0e04<\/td>\n0.32\u03bcm), 0.32\u03bcm), 0.226\u03bcm)<\/td>\n<\/tr>\n
    \u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2b\u0e19\u0e32\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e1f\u0e34\u0e25\u0e4c\u0e21<\/td>\nNIT1500 \u00b150 \u00c5<\/td>\n<\/tr>\n
    \u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e21\u0e48\u0e33\u0e40\u0e2a\u0e21\u0e2d<\/td>\n\u0e20\u0e32\u0e22\u0e43\u0e19\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c <2.5%, \u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c <2.5%, \u0e0a\u0e38\u0e14\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e0a\u0e38\u0e14 <2%<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<\/div>\n<\/div>\n

    \u0e04\u0e38\u0e13\u0e2a\u0e21\u0e1a\u0e31\u0e15\u0e34\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e2a\u0e34\u0e19\u0e04\u0e49\u0e32<\/strong><\/span><\/h2>\n
      \n
    • \u0e01\u0e32\u0e23\u0e08\u0e31\u0e14\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e2d\u0e31\u0e15\u0e42\u0e19\u0e21\u0e31\u0e15\u0e34\u0e0a\u0e48\u0e27\u0e22\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e21\u0e31\u0e48\u0e19\u0e43\u0e08\u0e43\u0e19\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e1b\u0e25\u0e2d\u0e14\u0e20\u0e31\u0e22\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e41\u0e25\u0e30\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e34\u0e17\u0e18\u0e34\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e14\u0e33\u0e40\u0e19\u0e34\u0e19\u0e07\u0e32\u0e19.<\/li>\n
    • \u0e2b\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e30\u0e2d\u0e32\u0e14\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e1e\u0e34\u0e40\u0e28\u0e29\u0e0a\u0e48\u0e27\u0e22\u0e25\u0e14\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e2a\u0e35\u0e48\u0e22\u0e07\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e19\u0e40\u0e1b\u0e37\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e41\u0e25\u0e30\u0e23\u0e31\u0e01\u0e29\u0e32\u0e04\u0e38\u0e13\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e1f\u0e34\u0e25\u0e4c\u0e21\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e04\u0e07\u0e17\u0e35\u0e48.<\/li>\n
    • \u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e21\u0e48\u0e33\u0e40\u0e2a\u0e21\u0e2d\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2b\u0e19\u0e32\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e1f\u0e34\u0e25\u0e4c\u0e21\u0e17\u0e35\u0e48\u0e40\u0e2b\u0e19\u0e37\u0e2d\u0e01\u0e27\u0e48\u0e32\u0e0a\u0e48\u0e27\u0e22\u0e2a\u0e19\u0e31\u0e1a\u0e2a\u0e19\u0e38\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e43\u0e19\u0e42\u0e2b\u0e19\u0e14\u0e02\u0e31\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07.<\/li>\n
    • \u0e01\u0e32\u0e23\u0e04\u0e27\u0e1a\u0e04\u0e38\u0e21\u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34\u0e41\u0e25\u0e30\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e14\u0e31\u0e19\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e40\u0e23\u0e35\u0e22\u0e25\u0e44\u0e17\u0e21\u0e4c\u0e2d\u0e31\u0e08\u0e09\u0e23\u0e34\u0e22\u0e30\u0e0a\u0e48\u0e27\u0e22\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e1b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e44\u0e14\u0e49\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33.<\/li>\n
    • \u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e23\u0e2d\u0e07\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e04\u0e32\u0e23\u0e4c\u0e44\u0e1a\u0e14\u0e4c\u0e0a\u0e48\u0e27\u0e22\u0e25\u0e14\u0e41\u0e23\u0e07\u0e40\u0e2a\u0e35\u0e22\u0e14\u0e17\u0e32\u0e19\u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e01\u0e34\u0e14\u0e2d\u0e19\u0e38\u0e20\u0e32\u0e04 \u0e0b\u0e36\u0e48\u0e07\u0e0a\u0e48\u0e27\u0e22\u0e22\u0e37\u0e14\u0e2d\u0e32\u0e22\u0e38\u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e07\u0e32\u0e19\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c.<\/li>\n
    • \u0e01\u0e32\u0e23\u0e2d\u0e2d\u0e01\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e42\u0e21\u0e14\u0e39\u0e25\u0e32\u0e23\u0e4c\u0e0a\u0e48\u0e27\u0e22\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e1b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e41\u0e15\u0e48\u0e07\u0e44\u0e14\u0e49\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e07\u0e32\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2b\u0e25\u0e32\u0e01\u0e2b\u0e25\u0e32\u0e22\u0e41\u0e25\u0e30\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e15\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23.<\/li>\n<\/ul>\n

      \u0e2b\u0e25\u0e31\u0e01\u0e01\u0e32\u0e23\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e16\u0e49\u0e2d\u0e22\u0e04\u0e33\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e25\u0e32\u0e22\u0e25\u0e31\u0e01\u0e29\u0e13\u0e4c\u0e2d\u0e31\u0e01\u0e29\u0e23\"\"<\/strong><\/span><\/h2>\n
        \n
      1. \u0e01\u0e32\u0e23\u0e41\u0e19\u0e30\u0e19\u0e33\u0e41\u0e01\u0e4a\u0e2a:<\/strong> \u0e01\u0e4a\u0e32\u0e0b\u0e15\u0e31\u0e27\u0e17\u0e33\u0e1b\u0e0f\u0e34\u0e01\u0e34\u0e23\u0e34\u0e22\u0e32\u0e16\u0e39\u0e01\u0e19\u0e33\u0e40\u0e02\u0e49\u0e32\u0e2a\u0e39\u0e48\u0e17\u0e48\u0e2d\u0e20\u0e32\u0e22\u0e43\u0e15\u0e49\u0e2a\u0e20\u0e32\u0e27\u0e30\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e14\u0e31\u0e19\u0e15\u0e48\u0e33 (0.25\u20131 Torr).<\/li>\n
      2. \u0e01\u0e32\u0e23\u0e41\u0e1e\u0e23\u0e48\u0e01\u0e23\u0e30\u0e08\u0e32\u0e22\u0e1a\u0e19\u0e1c\u0e34\u0e27\u0e2b\u0e19\u0e49\u0e32<\/strong> \u0e42\u0e21\u0e40\u0e25\u0e01\u0e38\u0e25\u0e41\u0e1e\u0e23\u0e48\u0e01\u0e23\u0e30\u0e08\u0e32\u0e22\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e2d\u0e34\u0e2a\u0e23\u0e30\u0e02\u0e49\u0e32\u0e21\u0e1c\u0e34\u0e27\u0e2b\u0e19\u0e49\u0e32\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c \u0e17\u0e33\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e40\u0e01\u0e34\u0e14\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e01\u0e04\u0e25\u0e38\u0e21\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e2a\u0e21\u0e48\u0e33\u0e40\u0e2a\u0e21\u0e2d.<\/li>\n
      3. \u0e01\u0e32\u0e23\u0e14\u0e39\u0e14\u0e0b\u0e31\u0e1a<\/strong> \u0e2a\u0e32\u0e23\u0e15\u0e31\u0e49\u0e07\u0e15\u0e49\u0e19\u0e22\u0e36\u0e14\u0e15\u0e34\u0e14\u0e01\u0e31\u0e1a\u0e1e\u0e37\u0e49\u0e19\u0e1c\u0e34\u0e27\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e01\u0e48\u0e2d\u0e19\u0e40\u0e01\u0e34\u0e14\u0e1b\u0e0f\u0e34\u0e01\u0e34\u0e23\u0e34\u0e22\u0e32\u0e40\u0e04\u0e21\u0e35.<\/li>\n
      4. \u0e1b\u0e0f\u0e34\u0e01\u0e34\u0e23\u0e34\u0e22\u0e32\u0e40\u0e04\u0e21\u0e35:<\/strong> \u0e01\u0e32\u0e23\u0e2a\u0e25\u0e32\u0e22\u0e15\u0e31\u0e27\u0e17\u0e32\u0e07\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e01\u0e48\u0e2d\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e40\u0e01\u0e34\u0e14\u0e1f\u0e34\u0e25\u0e4c\u0e21\u0e1a\u0e32\u0e07\u0e17\u0e35\u0e48\u0e15\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e42\u0e14\u0e22\u0e15\u0e23\u0e07\u0e1a\u0e19\u0e1e\u0e37\u0e49\u0e19\u0e1c\u0e34\u0e27\u0e23\u0e2d\u0e07\u0e23\u0e31\u0e1a.<\/li>\n
      5. \u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e33\u0e08\u0e31\u0e14\u0e1c\u0e25\u0e1e\u0e25\u0e2d\u0e22\u0e44\u0e14\u0e49<\/strong> \u0e01\u0e4a\u0e32\u0e0b\u0e17\u0e35\u0e48\u0e44\u0e21\u0e48\u0e17\u0e33\u0e1b\u0e0f\u0e34\u0e01\u0e34\u0e23\u0e34\u0e22\u0e32\u0e08\u0e30\u0e16\u0e39\u0e01\u0e14\u0e39\u0e14\u0e2d\u0e2d\u0e01\u0e40\u0e1e\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e23\u0e31\u0e01\u0e29\u0e32\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e1a\u0e23\u0e34\u0e2a\u0e38\u0e17\u0e18\u0e34\u0e4c\u0e41\u0e25\u0e30\u0e1b\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e31\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e23\u0e1a\u0e01\u0e27\u0e19.<\/li>\n
      6. \u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e48\u0e2d\u0e15\u0e31\u0e27\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e1f\u0e34\u0e25\u0e4c\u0e21:<\/strong> \u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e20\u0e31\u0e13\u0e11\u0e4c\u0e1b\u0e0f\u0e34\u0e01\u0e34\u0e23\u0e34\u0e22\u0e32\u0e08\u0e30\u0e2a\u0e30\u0e2a\u0e21\u0e40\u0e1e\u0e34\u0e48\u0e21\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e04\u0e48\u0e2d\u0e22\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e04\u0e48\u0e2d\u0e22\u0e44\u0e1b \u0e08\u0e19\u0e01\u0e48\u0e2d\u0e15\u0e31\u0e27\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e0a\u0e31\u0e49\u0e19\u0e1f\u0e34\u0e25\u0e4c\u0e21\u0e1a\u0e32\u0e07\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e21\u0e48\u0e33\u0e40\u0e2a\u0e21\u0e2d\u0e41\u0e25\u0e30\u0e40\u0e2a\u0e16\u0e35\u0e22\u0e23.<\/li>\n<\/ol>\n

        \u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e22\u0e38\u0e01\u0e15\u0e4c\u0e43\u0e0a\u0e49<\/strong><\/span><\/h2>\n
          \n
        • \u0e0a\u0e31\u0e49\u0e19\u0e2d\u0e2d\u0e01\u0e44\u0e0b\u0e14\u0e4c\u0e1b\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e31\u0e19<\/strong> \u0e1b\u0e01\u0e1b\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e08\u0e32\u0e01\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e19\u0e40\u0e1b\u0e37\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e41\u0e25\u0e30\u0e25\u0e14\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e01\u0e34\u0e14\u0e0a\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e44\u0e2d\u0e2d\u0e2d\u0e19\u0e43\u0e19\u0e23\u0e30\u0e2b\u0e27\u0e48\u0e32\u0e07\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e42\u0e14\u0e1b.<\/li>\n<\/ul>\n

          \"\"<\/p>\n

            \n
          • \u0e0a\u0e31\u0e49\u0e19\u0e2d\u0e2d\u0e01\u0e44\u0e0b\u0e14\u0e4c\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19<\/strong> \u0e17\u0e33\u0e2b\u0e19\u0e49\u0e32\u0e17\u0e35\u0e48\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e15\u0e31\u0e27\u0e01\u0e31\u0e19\u0e01\u0e23\u0e30\u0e41\u0e17\u0e01\u0e23\u0e30\u0e2b\u0e27\u0e48\u0e32\u0e07\u0e0a\u0e31\u0e49\u0e19\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e41\u0e25\u0e30\u0e0a\u0e31\u0e49\u0e19\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e44\u0e19\u0e44\u0e15\u0e23\u0e14\u0e4c \u0e0a\u0e48\u0e27\u0e22\u0e1b\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e31\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e41\u0e15\u0e01\u0e23\u0e49\u0e32\u0e27\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e41\u0e25\u0e30\u0e40\u0e1e\u0e34\u0e48\u0e21\u0e1c\u0e25\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15.<\/li>\n<\/ul>\n

            \"\"<\/p>\n

              \n
            • \u0e0a\u0e31\u0e49\u0e19\u0e2d\u0e2d\u0e01\u0e44\u0e0b\u0e14\u0e4c\u0e40\u0e01\u0e15:<\/strong> \u0e43\u0e2b\u0e49\u0e0a\u0e31\u0e49\u0e19\u0e44\u0e14\u0e2d\u0e34\u0e40\u0e25\u0e47\u0e01\u0e17\u0e23\u0e34\u0e01\u0e43\u0e19\u0e42\u0e04\u0e23\u0e07\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07 MOS, \u0e17\u0e33\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e01\u0e32\u0e23\u0e19\u0e33\u0e01\u0e23\u0e30\u0e41\u0e2a\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32\u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e04\u0e27\u0e1a\u0e04\u0e38\u0e21\u0e2a\u0e19\u0e32\u0e21\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e44\u0e1b\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33.<\/li>\n<\/ul>\n

              \"\"<\/p>\n

              \u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e33\u0e2b\u0e19\u0e14\u0e04\u0e48\u0e32\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a<\/strong><\/span><\/h2>\n
                \n
              • LPCVD \u0e41\u0e19\u0e27\u0e15\u0e31\u0e49\u0e07:<\/strong> \u0e01\u0e4a\u0e32\u0e0b\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e44\u0e2b\u0e25\u0e08\u0e32\u0e01\u0e1a\u0e19\u0e25\u0e07\u0e25\u0e48\u0e32\u0e07 \u0e17\u0e33\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e40\u0e01\u0e34\u0e14\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2a\u0e30\u0e2a\u0e21\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e2a\u0e21\u0e48\u0e33\u0e40\u0e2a\u0e21\u0e2d\u0e1a\u0e19\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e17\u0e38\u0e01\u0e0a\u0e34\u0e49\u0e19\u0e43\u0e19\u0e0a\u0e38\u0e14.<\/li>\n<\/ul>\n

                \"\"<\/p>\n

                  \n
                • LPCVD \u0e41\u0e19\u0e27\u0e19\u0e2d\u0e19:<\/strong> \u0e01\u0e4a\u0e32\u0e0b\u0e44\u0e2b\u0e25\u0e44\u0e1b\u0e15\u0e32\u0e21\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e22\u0e32\u0e27\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e1e\u0e37\u0e49\u0e19\u0e1c\u0e34\u0e27\u0e23\u0e2d\u0e07\u0e23\u0e31\u0e1a \u0e0b\u0e36\u0e48\u0e07\u0e40\u0e2b\u0e21\u0e32\u0e30\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e40\u0e19\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e43\u0e19\u0e1b\u0e23\u0e34\u0e21\u0e32\u0e13\u0e21\u0e32\u0e01 \u0e41\u0e21\u0e49\u0e27\u0e48\u0e32\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2b\u0e19\u0e32\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2a\u0e30\u0e2a\u0e21\u0e2d\u0e32\u0e08\u0e41\u0e15\u0e01\u0e15\u0e48\u0e32\u0e07\u0e01\u0e31\u0e19\u0e40\u0e25\u0e47\u0e01\u0e19\u0e49\u0e2d\u0e22\u0e1a\u0e23\u0e34\u0e40\u0e27\u0e13\u0e43\u0e01\u0e25\u0e49\u0e14\u0e49\u0e32\u0e19\u0e17\u0e32\u0e07\u0e40\u0e02\u0e49\u0e32.<\/li>\n<\/ul>\n

                  \"\"<\/p>\n

                  \u0e04\u0e33\u0e16\u0e32\u0e21\u0e17\u0e35\u0e48\u0e1e\u0e1a\u0e1a\u0e48\u0e2d\u0e22<\/strong><\/span><\/h2>\n

                  \u0e04\u0e33\u0e16\u0e32\u0e21\u0e17\u0e35\u0e48 1: LPCVD \u0e43\u0e0a\u0e49\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e2d\u0e30\u0e44\u0e23\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e2b\u0e25\u0e31\u0e01?<\/strong>
                  A: LPCVD \u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e04\u0e25\u0e37\u0e2d\u0e1a\u0e1f\u0e34\u0e25\u0e4c\u0e21\u0e1a\u0e32\u0e07\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e14\u0e31\u0e19\u0e15\u0e48\u0e33\u0e17\u0e35\u0e48\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e01\u0e31\u0e19\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e41\u0e1e\u0e23\u0e48\u0e2b\u0e25\u0e32\u0e22\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e04\u0e25\u0e37\u0e2d\u0e1a\u0e42\u0e1e\u0e25\u0e35\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19 \u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e44\u0e19\u0e44\u0e15\u0e23\u0e14\u0e4c \u0e41\u0e25\u0e30\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e2d\u0e2d\u0e01\u0e44\u0e0b\u0e14\u0e4c \u0e0a\u0e48\u0e27\u0e22\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e44\u0e14\u0e49\u0e1f\u0e34\u0e25\u0e4c\u0e21\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e21\u0e48\u0e33\u0e40\u0e2a\u0e21\u0e2d\u0e41\u0e25\u0e30\u0e04\u0e38\u0e13\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e02\u0e31\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07.<\/p>\n

                  \u0e04\u0e33\u0e16\u0e32\u0e21\u0e17\u0e35\u0e48 2: LPCVD \u0e41\u0e15\u0e01\u0e15\u0e48\u0e32\u0e07\u0e08\u0e32\u0e01 PECVD \u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e44\u0e23?<\/strong>
                  A: LPCVD \u0e2d\u0e32\u0e28\u0e31\u0e22\u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e23\u0e30\u0e15\u0e38\u0e49\u0e19\u0e17\u0e32\u0e07\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e20\u0e32\u0e22\u0e43\u0e15\u0e49\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e14\u0e31\u0e19\u0e15\u0e48\u0e33\u0e40\u0e1e\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e1f\u0e34\u0e25\u0e4c\u0e21\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e1a\u0e23\u0e34\u0e2a\u0e38\u0e17\u0e18\u0e34\u0e4c\u0e2a\u0e39\u0e07 \u0e43\u0e19\u0e02\u0e13\u0e30\u0e17\u0e35\u0e48 PECVD \u0e43\u0e0a\u0e49\u0e1e\u0e25\u0e32\u0e2a\u0e21\u0e32\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34\u0e15\u0e48\u0e33\u0e01\u0e27\u0e48\u0e32\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2a\u0e30\u0e2a\u0e21\u0e17\u0e35\u0e48\u0e40\u0e23\u0e47\u0e27\u0e01\u0e27\u0e48\u0e32 \u0e42\u0e14\u0e22\u0e21\u0e31\u0e01\u0e08\u0e30\u0e21\u0e35\u0e04\u0e38\u0e13\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e1f\u0e34\u0e25\u0e4c\u0e21\u0e17\u0e35\u0e48\u0e15\u0e48\u0e33\u0e01\u0e27\u0e48\u0e32\u0e40\u0e25\u0e47\u0e01\u0e19\u0e49\u0e2d\u0e22.<\/p>\n

                  \u0e04\u0e33\u0e16\u0e32\u0e21\u0e17\u0e35\u0e48 3: \u0e02\u0e19\u0e32\u0e14\u0e41\u0e25\u0e30\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e43\u0e14\u0e1a\u0e49\u0e32\u0e07\u0e17\u0e35\u0e48\u0e40\u0e02\u0e49\u0e32\u0e01\u0e31\u0e19\u0e44\u0e14\u0e49\u0e01\u0e31\u0e1a\u0e40\u0e15\u0e32\u0e40\u0e1c\u0e32\u0e2d\u0e2d\u0e01\u0e0b\u0e34\u0e40\u0e14\u0e0a\u0e31\u0e19 LPCVD \u0e19\u0e35\u0e49?<\/strong>
                  A: \u0e40\u0e15\u0e32\u0e2b\u0e25\u0e2d\u0e21\u0e19\u0e35\u0e49\u0e23\u0e2d\u0e07\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e02\u0e19\u0e32\u0e14 6 \u0e19\u0e34\u0e49\u0e27, 8 \u0e19\u0e34\u0e49\u0e27, \u0e41\u0e25\u0e30 12 \u0e19\u0e34\u0e49\u0e27 \u0e41\u0e25\u0e30\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e23\u0e48\u0e27\u0e21\u0e01\u0e31\u0e1a\u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e42\u0e1e\u0e25\u0e35\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19, \u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e44\u0e19\u0e44\u0e15\u0e23\u0e14\u0e4c, \u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e2d\u0e2d\u0e01\u0e44\u0e0b\u0e14\u0e4c, \u0e41\u0e25\u0e30 SiC \u0e44\u0e14\u0e49 \u0e0b\u0e36\u0e48\u0e07\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e22\u0e37\u0e14\u0e2b\u0e22\u0e38\u0e48\u0e19\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e07\u0e32\u0e19\u0e43\u0e19\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e2b\u0e25\u0e32\u0e01\u0e2b\u0e25\u0e32\u0e22\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e40\u0e20\u0e17.<\/p>\n

                  \u0e04\u0e33\u0e16\u0e32\u0e21\u0e17\u0e35\u0e48 4: \u0e40\u0e15\u0e32\u0e2d\u0e2d\u0e01\u0e0b\u0e34\u0e40\u0e14\u0e0a\u0e31\u0e19 LPCVD \u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e1b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e41\u0e15\u0e48\u0e07\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e40\u0e2b\u0e21\u0e32\u0e30\u0e2a\u0e21\u0e01\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e09\u0e1e\u0e32\u0e30\u0e44\u0e14\u0e49\u0e2b\u0e23\u0e37\u0e2d\u0e44\u0e21\u0e48?<\/strong>
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