{"id":2457,"date":"2026-05-11T05:12:17","date_gmt":"2026-05-11T05:12:17","guid":{"rendered":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/?p=2457"},"modified":"2026-05-11T05:12:34","modified_gmt":"2026-05-11T05:12:34","slug":"semiconductor-manufacturing-equipment-ecosystem-and-advanced-fab-layout-architecture","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/th\/semiconductor-manufacturing-equipment-ecosystem-and-advanced-fab-layout-architecture\/","title":{"rendered":"\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e19\u0e34\u0e40\u0e27\u0e28\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e41\u0e25\u0e30\u0e2a\u0e16\u0e32\u0e1b\u0e31\u0e15\u0e22\u0e01\u0e23\u0e23\u0e21\u0e01\u0e32\u0e23\u0e08\u0e31\u0e14\u0e27\u0e32\u0e07\u0e42\u0e23\u0e07\u0e07\u0e32\u0e19\u0e02\u0e31\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07"},"content":{"rendered":"<p><a href=\"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/th\/products\/\"><mark style=\"background-color:rgba(0, 0, 0, 0);color:#0693e3\" class=\"has-inline-color\">\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c<\/mark><\/a> \u0e44\u0e14\u0e49\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e22\u0e2d\u0e21\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e01\u0e27\u0e49\u0e32\u0e07\u0e02\u0e27\u0e32\u0e07\u0e27\u0e48\u0e32\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19 \u201c\u0e41\u0e21\u0e48\u0e40\u0e04\u0e23\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e2d\u0e38\u0e15\u0e2a\u0e32\u0e2b\u0e01\u0e23\u0e23\u0e21\u201d \u0e02\u0e2d\u0e07\u0e2d\u0e38\u0e15\u0e2a\u0e32\u0e2b\u0e01\u0e23\u0e23\u0e21\u0e27\u0e07\u0e08\u0e23\u0e23\u0e27\u0e21 (IC) \u0e0b\u0e36\u0e48\u0e07\u0e0a\u0e48\u0e27\u0e22\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e40\u0e01\u0e34\u0e14\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e1b\u0e25\u0e35\u0e48\u0e22\u0e19\u0e41\u0e1b\u0e25\u0e07\u0e17\u0e31\u0e49\u0e07\u0e2b\u0e21\u0e14\u0e08\u0e32\u0e01\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e34\u0e1a\u0e44\u0e1b\u0e2a\u0e39\u0e48\u0e0a\u0e34\u0e1b\u0e17\u0e35\u0e48\u0e40\u0e2a\u0e23\u0e47\u0e08\u0e2a\u0e21\u0e1a\u0e39\u0e23\u0e13\u0e4c.<\/p>\n\n\n\n<p>\u0e43\u0e19\u0e01\u0e25\u0e38\u0e48\u0e21\u0e17\u0e38\u0e01\u0e2a\u0e48\u0e27\u0e19\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e2b\u0e48\u0e27\u0e07\u0e42\u0e0b\u0e48\u0e04\u0e38\u0e13\u0e04\u0e48\u0e32\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c \u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e04\u0e34\u0e14\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e21\u0e32\u0e13 85% \u0e02\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e25\u0e07\u0e17\u0e38\u0e19\u0e43\u0e19\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e17\u0e31\u0e49\u0e07\u0e2b\u0e21\u0e14 \u0e0b\u0e36\u0e48\u0e07\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e2a\u0e23\u0e23\u0e04\u0e17\u0e32\u0e07\u0e40\u0e17\u0e04\u0e42\u0e19\u0e42\u0e25\u0e22\u0e35\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e38\u0e14\u0e41\u0e25\u0e30\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e2a\u0e32\u0e02\u0e32\u0e17\u0e35\u0e48\u0e15\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e40\u0e07\u0e34\u0e19\u0e17\u0e38\u0e19\u0e21\u0e32\u0e01\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e38\u0e14.<\/p>\n\n\n\n<p>\u0e42\u0e23\u0e07\u0e07\u0e32\u0e19\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e2a\u0e21\u0e31\u0e22\u0e43\u0e2b\u0e21\u0e48\u0e44\u0e21\u0e48\u0e44\u0e14\u0e49\u0e16\u0e39\u0e01\u0e08\u0e31\u0e14\u0e23\u0e30\u0e40\u0e1a\u0e35\u0e22\u0e1a\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e2a\u0e32\u0e22\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e40\u0e0a\u0e34\u0e07\u0e40\u0e2a\u0e49\u0e19\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e07\u0e48\u0e32\u0e22\u0e2d\u0e35\u0e01\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e44\u0e1b \u0e41\u0e15\u0e48\u0e44\u0e14\u0e49\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2d\u0e2d\u0e01\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19 <strong>\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e2b\u0e25\u0e32\u0e22\u0e0a\u0e31\u0e49\u0e19, \u0e42\u0e21\u0e14\u0e39\u0e25\u0e32\u0e23\u0e4c, \u0e41\u0e25\u0e30\u0e1b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e40\u0e2b\u0e21\u0e32\u0e30\u0e2a\u0e21\u0e01\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e27\u0e19\u0e25\u0e39\u0e1b<\/strong>, \u0e42\u0e04\u0e23\u0e07\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e23\u0e2d\u0e1a:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0e2a\u0e16\u0e32\u0e1b\u0e31\u0e15\u0e22\u0e01\u0e23\u0e23\u0e21\u0e17\u0e35\u0e48\u0e02\u0e31\u0e1a\u0e40\u0e04\u0e25\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e41\u0e1a\u0e48\u0e07\u0e40\u0e02\u0e15\u0e04\u0e27\u0e1a\u0e04\u0e38\u0e21\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e30\u0e2d\u0e32\u0e14<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e02\u0e19\u0e2a\u0e48\u0e07\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e2d\u0e31\u0e15\u0e42\u0e19\u0e21\u0e31\u0e15\u0e34<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e08\u0e31\u0e14\u0e27\u0e32\u0e07\u0e17\u0e35\u0e48\u0e40\u0e19\u0e49\u0e19\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e04\u0e2d\u0e02\u0e27\u0e14<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p>\u0e27\u0e31\u0e15\u0e16\u0e38\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e07\u0e04\u0e4c\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e2a\u0e38\u0e14\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2d\u0e2d\u0e01\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e42\u0e23\u0e07\u0e07\u0e32\u0e19\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e01\u0e2d\u0e1a\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e40\u0e04\u0e23\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e21\u0e37\u0e2d\u0e17\u0e35\u0e48\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e04\u0e2d\u0e02\u0e27\u0e14\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e40\u0e01\u0e34\u0e14\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e42\u0e22\u0e0a\u0e19\u0e4c\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e2a\u0e38\u0e14<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e25\u0e14\u0e23\u0e30\u0e22\u0e30\u0e17\u0e32\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e02\u0e19\u0e2a\u0e48\u0e07\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e41\u0e25\u0e30\u0e40\u0e27\u0e25\u0e32\u0e43\u0e19\u0e23\u0e2d\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e04\u0e27\u0e1a\u0e04\u0e38\u0e21\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e19\u0e40\u0e1b\u0e37\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e40\u0e02\u0e49\u0e21\u0e07\u0e27\u0e14<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e01\u0e31\u0e19\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e02\u0e22\u0e32\u0e22\u0e02\u0e19\u0e32\u0e14\u0e41\u0e25\u0e30\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e22\u0e49\u0e32\u0e22\u0e42\u0e2b\u0e19\u0e14\u0e43\u0e19\u0e2d\u0e19\u0e32\u0e04\u0e15<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p>\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e1a\u0e39\u0e23\u0e13\u0e32\u0e01\u0e32\u0e23\u0e19\u0e35\u0e49\u0e01\u0e48\u0e2d\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e40\u0e01\u0e34\u0e14\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e19\u0e34\u0e40\u0e27\u0e28\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e0b\u0e31\u0e1a\u0e0b\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e41\u0e15\u0e48\u0e21\u0e35\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e34\u0e17\u0e18\u0e34\u0e20\u0e32\u0e1e.<\/p>\n\n\n\n<figure class=\"wp-block-image aligncenter size-full\"><img fetchpriority=\"high\" decoding=\"async\" width=\"940\" height=\"622\" src=\"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/05\/640-1.png\" alt=\"\" class=\"wp-image-2458\" srcset=\"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/05\/640-1.png 940w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/05\/640-1-300x199.png 300w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/05\/640-1-768x508.png 768w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/05\/640-1-18x12.png 18w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/05\/640-1-600x397.png 600w\" sizes=\"(max-width: 940px) 100vw, 940px\" \/><\/figure>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">1. \u0e20\u0e32\u0e1e\u0e23\u0e27\u0e21\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e19\u0e34\u0e40\u0e27\u0e28\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c<\/h2>\n\n\n\n<p>\u0e2d\u0e38\u0e15\u0e2a\u0e32\u0e2b\u0e01\u0e23\u0e23\u0e21\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e41\u0e1a\u0e48\u0e07\u0e2d\u0e2d\u0e01\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e2b\u0e01\u0e01\u0e25\u0e38\u0e48\u0e21\u0e2b\u0e25\u0e31\u0e01:<\/p>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">1.1 \u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e40\u0e15\u0e23\u0e35\u0e22\u0e21\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e2a\u0e32\u0e23\u0e01\u0e36\u0e48\u0e07\u0e15\u0e31\u0e27\u0e19\u0e33 (\u0e15\u0e49\u0e19\u0e19\u0e49\u0e33)<\/h3>\n\n\n\n<p>\u0e2a\u0e48\u0e27\u0e19\u0e19\u0e35\u0e49\u0e2a\u0e19\u0e31\u0e1a\u0e2a\u0e19\u0e38\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e27\u0e31\u0e15\u0e16\u0e38\u0e14\u0e34\u0e1a\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e02\u0e31\u0e49\u0e19\u0e15\u0e49\u0e19 \u0e0b\u0e36\u0e48\u0e07\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e23\u0e32\u0e01\u0e10\u0e32\u0e19\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e2b\u0e48\u0e27\u0e07\u0e42\u0e0b\u0e48\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e17\u0e32\u0e19\u0e17\u0e31\u0e49\u0e07\u0e2b\u0e21\u0e14.<\/p>\n\n\n\n<p>\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2a\u0e33\u0e04\u0e31\u0e0d\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e01\u0e2d\u0e1a\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e15\u0e34\u0e1a\u0e42\u0e15\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e1c\u0e25\u0e36\u0e01\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e15\u0e31\u0e14\u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e02\u0e31\u0e14\u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e2a\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e1e\u0e37\u0e49\u0e19\u0e1c\u0e34\u0e27<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2a\u0e31\u0e07\u0e40\u0e04\u0e23\u0e32\u0e30\u0e2b\u0e4c\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e2a\u0e32\u0e23\u0e01\u0e36\u0e48\u0e07\u0e15\u0e31\u0e27\u0e19\u0e33\u0e40\u0e0a\u0e34\u0e07\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e01\u0e2d\u0e1a<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p>\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e17\u0e49\u0e32\u0e17\u0e32\u0e22\u0e17\u0e32\u0e07\u0e40\u0e17\u0e04\u0e19\u0e34\u0e04\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e33\u0e04\u0e31\u0e0d\u0e21\u0e38\u0e48\u0e07\u0e40\u0e19\u0e49\u0e19\u0e44\u0e1b\u0e17\u0e35\u0e48:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e04\u0e27\u0e1a\u0e04\u0e38\u0e21\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e1a\u0e23\u0e34\u0e2a\u0e38\u0e17\u0e18\u0e34\u0e4c\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e1e\u0e34\u0e40\u0e28\u0e29<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e25\u0e14\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e1a\u0e01\u0e1e\u0e23\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e04\u0e23\u0e34\u0e2a\u0e15\u0e31\u0e25<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e21\u0e48\u0e33\u0e40\u0e2a\u0e21\u0e2d\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e40\u0e2a\u0e49\u0e19\u0e1c\u0e48\u0e32\u0e19\u0e28\u0e39\u0e19\u0e22\u0e4c\u0e01\u0e25\u0e32\u0e07\u0e41\u0e25\u0e30\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2b\u0e19\u0e32<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">1.2 \u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e15\u0e23\u0e27\u0e08\u0e2a\u0e2d\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2d\u0e2d\u0e01\u0e41\u0e1a\u0e1a<\/h3>\n\n\n\n<p>\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e43\u0e19\u0e02\u0e31\u0e49\u0e19\u0e15\u0e2d\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2d\u0e2d\u0e01\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e0a\u0e34\u0e1b\u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e15\u0e23\u0e27\u0e08\u0e2a\u0e2d\u0e1a\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e16\u0e39\u0e01\u0e15\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e40\u0e1e\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e41\u0e19\u0e48\u0e43\u0e08\u0e27\u0e48\u0e32\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e16\u0e39\u0e01\u0e15\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e17\u0e32\u0e07\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32\u0e41\u0e25\u0e30\u0e1f\u0e31\u0e07\u0e01\u0e4c\u0e0a\u0e31\u0e19\u0e01\u0e48\u0e2d\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e08\u0e33\u0e19\u0e27\u0e19\u0e21\u0e32\u0e01.<\/p>\n\n\n\n<p>\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e17\u0e31\u0e48\u0e27\u0e44\u0e1b\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e01\u0e2d\u0e1a\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0e41\u0e1e\u0e25\u0e15\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e21\u0e17\u0e14\u0e2a\u0e2d\u0e1a\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e21\u0e1a\u0e39\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e2a\u0e31\u0e0d\u0e0d\u0e32\u0e13\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e23\u0e47\u0e27\u0e2a\u0e39\u0e07<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e27\u0e34\u0e40\u0e04\u0e23\u0e32\u0e30\u0e2b\u0e4c\u0e04\u0e38\u0e13\u0e2a\u0e21\u0e1a\u0e31\u0e15\u0e34\u0e17\u0e32\u0e07\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e40\u0e04\u0e23\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e21\u0e37\u0e2d\u0e27\u0e34\u0e40\u0e04\u0e23\u0e32\u0e30\u0e2b\u0e4c\u0e08\u0e31\u0e07\u0e2b\u0e27\u0e30\u0e40\u0e27\u0e25\u0e32\u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e33\u0e25\u0e31\u0e07\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p>\u0e40\u0e04\u0e23\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e21\u0e37\u0e2d\u0e40\u0e2b\u0e25\u0e48\u0e32\u0e19\u0e35\u0e49\u0e0a\u0e48\u0e27\u0e22\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e21\u0e31\u0e48\u0e19\u0e43\u0e08\u0e43\u0e19\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e44\u0e1b\u0e44\u0e14\u0e49\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2d\u0e2d\u0e01\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e41\u0e25\u0e30\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15.<\/p>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">1.3 \u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c (\u0e01\u0e25\u0e38\u0e48\u0e21\u0e2b\u0e25\u0e31\u0e01)<\/h3>\n\n\n\n<p>\u0e19\u0e35\u0e48\u0e04\u0e37\u0e2d\u0e2a\u0e48\u0e27\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e33\u0e04\u0e31\u0e0d\u0e41\u0e25\u0e30\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e40\u0e07\u0e34\u0e19\u0e17\u0e38\u0e19\u0e21\u0e32\u0e01\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e38\u0e14 \u0e0b\u0e36\u0e48\u0e07\u0e01\u0e33\u0e2b\u0e19\u0e14\u0e42\u0e14\u0e22\u0e15\u0e23\u0e07\u0e16\u0e36\u0e07\u0e40\u0e17\u0e04\u0e42\u0e19\u0e42\u0e25\u0e22\u0e35\u0e42\u0e2b\u0e19\u0e14\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c.<\/p>\n\n\n\n<p>\u0e2b\u0e21\u0e27\u0e14\u0e2b\u0e21\u0e39\u0e48\u0e2b\u0e25\u0e31\u0e01\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e01\u0e2d\u0e1a\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e25\u0e34\u0e42\u0e18\u0e01\u0e23\u0e32\u0e1f\u0e35<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e31\u0e14\u0e01\u0e23\u0e48\u0e2d\u0e19<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e40\u0e04\u0e25\u0e37\u0e2d\u0e1a\u0e1f\u0e34\u0e25\u0e4c\u0e21\u0e1a\u0e32\u0e07<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e1d\u0e31\u0e07\u0e44\u0e2d\u0e2d\u0e2d\u0e19\u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2d\u0e1a\u0e2d\u0e48\u0e2d\u0e19<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e17\u0e33\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e30\u0e2d\u0e32\u0e14\u0e41\u0e25\u0e30\u0e21\u0e32\u0e15\u0e23\u0e27\u0e34\u0e17\u0e22\u0e32<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p>\u0e2a\u0e48\u0e27\u0e19\u0e19\u0e35\u0e49\u0e01\u0e33\u0e2b\u0e19\u0e14\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e42\u0e2b\u0e19\u0e14 \u0e40\u0e0a\u0e48\u0e19 28nm, 7nm \u0e41\u0e25\u0e30 3nm.<\/p>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">1.4 \u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e1a\u0e23\u0e23\u0e08\u0e38\u0e20\u0e31\u0e13\u0e11\u0e4c\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c<\/h3>\n\n\n\n<p>\u0e1a\u0e23\u0e23\u0e08\u0e38\u0e20\u0e31\u0e13\u0e11\u0e4c\u0e40\u0e1b\u0e25\u0e35\u0e48\u0e22\u0e19\u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e17\u0e35\u0e48\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e41\u0e25\u0e49\u0e27\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e01\u0e25\u0e32\u0e22\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e0a\u0e34\u0e1b\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e35\u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e07\u0e32\u0e19\u0e44\u0e14\u0e49 \u0e41\u0e25\u0e30\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e0a\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e21\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e17\u0e32\u0e07\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32.<\/p>\n\n\n\n<p>\u0e2b\u0e21\u0e27\u0e14\u0e2b\u0e21\u0e39\u0e48\u0e2b\u0e25\u0e31\u0e01:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e1a\u0e23\u0e23\u0e08\u0e38\u0e20\u0e31\u0e13\u0e11\u0e4c\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e14\u0e31\u0e49\u0e07\u0e40\u0e14\u0e34\u0e21 (\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e0a\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e21\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e25\u0e27\u0e14 \u0e2f\u0e25\u0e2f)<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1a\u0e23\u0e23\u0e08\u0e38\u0e02\u0e31\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07 (\u0e1f\u0e25\u0e34\u0e1b-\u0e0a\u0e34\u0e1b, \u0e01\u0e32\u0e23\u0e23\u0e27\u0e21 2.5D\/3D)<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1a\u0e23\u0e23\u0e08\u0e38\u0e02\u0e31\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e01\u0e33\u0e25\u0e31\u0e07\u0e01\u0e25\u0e32\u0e22\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e2a\u0e48\u0e27\u0e19\u0e02\u0e22\u0e32\u0e22\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e33\u0e04\u0e31\u0e0d\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e0e\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e21\u0e31\u0e27\u0e23\u0e4c.<\/p>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">1.5 \u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e17\u0e14\u0e2a\u0e2d\u0e1a\u0e2a\u0e32\u0e23\u0e01\u0e36\u0e48\u0e07\u0e15\u0e31\u0e27\u0e19\u0e33<\/h3>\n\n\n\n<p>\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e15\u0e23\u0e27\u0e08\u0e2a\u0e2d\u0e1a\u0e0a\u0e34\u0e1b\u0e02\u0e31\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e38\u0e14\u0e17\u0e49\u0e32\u0e22\u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e01\u0e31\u0e19\u0e04\u0e38\u0e13\u0e20\u0e32\u0e1e \u0e23\u0e27\u0e21\u0e16\u0e36\u0e07:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e17\u0e14\u0e2a\u0e2d\u0e1a\u0e2d\u0e31\u0e15\u0e42\u0e19\u0e21\u0e31\u0e15\u0e34 (ATE)<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e2a\u0e16\u0e32\u0e19\u0e35\u0e27\u0e31\u0e14\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e2b\u0e31\u0e27\u0e27\u0e31\u0e14<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e04\u0e31\u0e14\u0e41\u0e22\u0e01\u0e41\u0e25\u0e30\u0e08\u0e31\u0e14\u0e40\u0e01\u0e47\u0e1a<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p>\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e40\u0e2b\u0e25\u0e48\u0e32\u0e19\u0e35\u0e49\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e01\u0e31\u0e19\u0e1c\u0e25\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e41\u0e25\u0e30\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e19\u0e48\u0e32\u0e40\u0e0a\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e16\u0e37\u0e2d\u0e01\u0e48\u0e2d\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e08\u0e31\u0e14\u0e2a\u0e48\u0e07.<\/p>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">1.6 \u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e15\u0e23\u0e27\u0e08\u0e2a\u0e2d\u0e1a\u0e41\u0e25\u0e30\u0e27\u0e34\u0e40\u0e04\u0e23\u0e32\u0e30\u0e2b\u0e4c\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c<\/h3>\n\n\n\n<p>\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e15\u0e23\u0e27\u0e08\u0e2a\u0e2d\u0e1a\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e27\u0e34\u0e40\u0e04\u0e23\u0e32\u0e30\u0e2b\u0e4c\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e25\u0e49\u0e21\u0e40\u0e2b\u0e25\u0e27:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e15\u0e23\u0e27\u0e08\u0e2a\u0e2d\u0e1a\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e1a\u0e01\u0e1e\u0e23\u0e48\u0e2d\u0e07<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e40\u0e04\u0e23\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e21\u0e37\u0e2d\u0e27\u0e34\u0e40\u0e04\u0e23\u0e32\u0e30\u0e2b\u0e4c\u0e2d\u0e07\u0e04\u0e4c\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e01\u0e2d\u0e1a\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e41\u0e25\u0e30\u0e42\u0e04\u0e23\u0e07\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e41\u0e1e\u0e25\u0e15\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e21\u0e01\u0e32\u0e23\u0e17\u0e14\u0e2a\u0e2d\u0e1a\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e19\u0e48\u0e32\u0e40\u0e0a\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e16\u0e37\u0e2d<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p>\u0e1e\u0e27\u0e01\u0e40\u0e02\u0e32\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e40\u0e2a\u0e19\u0e2d\u0e41\u0e19\u0e30\u0e40\u0e1e\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e1b\u0e23\u0e38\u0e07\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e41\u0e25\u0e30\u0e40\u0e1e\u0e34\u0e48\u0e21\u0e1c\u0e25\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15.<\/p>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">2. \u0e2a\u0e16\u0e32\u0e1b\u0e31\u0e15\u0e22\u0e01\u0e23\u0e23\u0e21\u0e1c\u0e31\u0e07\u0e42\u0e23\u0e07\u0e07\u0e32\u0e19\u0e2a\u0e21\u0e31\u0e22\u0e43\u0e2b\u0e21\u0e48<\/h2>\n\n\n\n<p>\u0e42\u0e23\u0e07\u0e07\u0e32\u0e19\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e2a\u0e21\u0e31\u0e22\u0e43\u0e2b\u0e21\u0e48\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e2a\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e41\u0e27\u0e14\u0e25\u0e49\u0e2d\u0e21\u0e17\u0e35\u0e48\u0e44\u0e14\u0e49\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2d\u0e2d\u0e01\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e17\u0e32\u0e07\u0e27\u0e34\u0e28\u0e27\u0e01\u0e23\u0e23\u0e21\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e1e\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e21\u0e15\u0e23\u0e23\u0e01\u0e30\u0e17\u0e32\u0e07\u0e2a\u0e16\u0e32\u0e1b\u0e31\u0e15\u0e22\u0e01\u0e23\u0e23\u0e21\u0e17\u0e35\u0e48\u0e40\u0e02\u0e49\u0e21\u0e07\u0e27\u0e14.<\/p>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">2.1 \u0e01\u0e32\u0e23\u0e08\u0e31\u0e14\u0e27\u0e32\u0e07\u0e17\u0e35\u0e48\u0e02\u0e31\u0e1a\u0e40\u0e04\u0e25\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23<\/h3>\n\n\n\n<p>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e21\u0e27\u0e25\u0e1c\u0e25\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e44\u0e1b\u0e15\u0e32\u0e21\u0e25\u0e33\u0e14\u0e31\u0e1a\u0e02\u0e31\u0e49\u0e19\u0e15\u0e2d\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e40\u0e04\u0e23\u0e48\u0e07\u0e04\u0e23\u0e31\u0e14:<\/p>\n\n\n\n<p>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e15\u0e23\u0e35\u0e22\u0e21\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38 \u2192 \u0e25\u0e34\u0e42\u0e17\u0e01\u0e23\u0e32\u0e1f\u0e35 \u2192 \u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e31\u0e14\u0e01\u0e23\u0e48\u0e2d\u0e19 \u2192 \u0e01\u0e32\u0e23\u0e2a\u0e30\u0e2a\u0e21 \u2192 \u0e01\u0e32\u0e23\u0e42\u0e14\u0e1b \u2192 \u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e21\u0e27\u0e25\u0e1c\u0e25\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19 \u2192 \u0e01\u0e32\u0e23\u0e17\u0e33\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e30\u0e2d\u0e32\u0e14 \u2192 \u0e01\u0e32\u0e23\u0e27\u0e31\u0e14\u0e1b\u0e23\u0e34\u0e21\u0e32\u0e13<\/p>\n\n\n\n<p>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e08\u0e31\u0e14\u0e27\u0e32\u0e07\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e15\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e44\u0e1b\u0e15\u0e32\u0e21\u0e25\u0e33\u0e14\u0e31\u0e1a\u0e19\u0e35\u0e49\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e40\u0e04\u0e23\u0e48\u0e07\u0e04\u0e23\u0e31\u0e14\u0e40\u0e1e\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e1b\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e31\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e22\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e01\u0e25\u0e31\u0e1a\u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e19\u0e40\u0e1b\u0e37\u0e49\u0e2d\u0e19.<\/p>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">2.2 \u0e01\u0e25\u0e22\u0e38\u0e17\u0e18\u0e4c\u0e01\u0e32\u0e23\u0e08\u0e31\u0e14\u0e42\u0e0b\u0e19\u0e2b\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e2a\u0e30\u0e2d\u0e32\u0e14<\/h3>\n\n\n\n<p>\u0e2b\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e1b\u0e0f\u0e34\u0e1a\u0e31\u0e15\u0e34\u0e01\u0e32\u0e23\u0e16\u0e39\u0e01\u0e41\u0e1a\u0e48\u0e07\u0e2d\u0e2d\u0e01\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e2b\u0e25\u0e32\u0e22\u0e23\u0e30\u0e14\u0e31\u0e1a\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e30\u0e2d\u0e32\u0e14:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0e40\u0e02\u0e15\u0e1b\u0e25\u0e2d\u0e14\u0e2a\u0e34\u0e48\u0e07\u0e1b\u0e19\u0e40\u0e1b\u0e37\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e02\u0e31\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07 (\u0e01\u0e32\u0e23\u0e16\u0e48\u0e32\u0e22\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e31\u0e14\u0e40\u0e0b\u0e32\u0e30\u0e02\u0e31\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07)<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e42\u0e0b\u0e19\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e30\u0e2d\u0e32\u0e14\u0e2a\u0e39\u0e07 (\u0e01\u0e32\u0e23\u0e15\u0e01\u0e15\u0e30\u0e01\u0e2d\u0e19\u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1d\u0e31\u0e07\u0e15\u0e31\u0e27)<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e42\u0e0b\u0e19\u0e2a\u0e30\u0e2d\u0e32\u0e14\u0e21\u0e32\u0e15\u0e23\u0e10\u0e32\u0e19 (\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2a\u0e19\u0e31\u0e1a\u0e2a\u0e19\u0e38\u0e19)<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e44\u0e2b\u0e25\u0e40\u0e27\u0e35\u0e22\u0e19\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e2d\u0e32\u0e01\u0e32\u0e28\u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e04\u0e25\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e19\u0e44\u0e2b\u0e27\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e1a\u0e38\u0e04\u0e25\u0e32\u0e01\u0e23\u0e16\u0e39\u0e01\u0e04\u0e27\u0e1a\u0e04\u0e38\u0e21\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e40\u0e02\u0e49\u0e21\u0e07\u0e27\u0e14\u0e43\u0e19\u0e17\u0e34\u0e28\u0e17\u0e32\u0e07\u0e40\u0e14\u0e35\u0e22\u0e27\u0e40\u0e17\u0e48\u0e32\u0e19\u0e31\u0e49\u0e19.<\/p>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">2.3 \u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e08\u0e31\u0e14\u0e01\u0e32\u0e23\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e2d\u0e31\u0e15\u0e42\u0e19\u0e21\u0e31\u0e15\u0e34 (AMHS)<\/h3>\n\n\n\n<p>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e02\u0e19\u0e2a\u0e48\u0e07\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e2d\u0e31\u0e15\u0e42\u0e19\u0e21\u0e31\u0e15\u0e34\u0e40\u0e15\u0e47\u0e21\u0e23\u0e39\u0e1b\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e40\u0e1e\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e25\u0e14\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2a\u0e31\u0e21\u0e1c\u0e31\u0e2a\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e21\u0e19\u0e38\u0e29\u0e22\u0e4c\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e19\u0e49\u0e2d\u0e22\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e38\u0e14:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e02\u0e19\u0e2a\u0e48\u0e07\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e40\u0e04\u0e23\u0e19\u0e40\u0e2b\u0e19\u0e37\u0e2d\u0e28\u0e35\u0e23\u0e29\u0e30 (OHT)<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e22\u0e32\u0e19\u0e1e\u0e32\u0e2b\u0e19\u0e30\u0e19\u0e33\u0e17\u0e32\u0e07\u0e2d\u0e31\u0e15\u0e42\u0e19\u0e21\u0e31\u0e15\u0e34 (AGV)<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e08\u0e31\u0e14\u0e40\u0e01\u0e47\u0e1a\u0e41\u0e25\u0e30\u0e40\u0e23\u0e35\u0e22\u0e01\u0e04\u0e37\u0e19\u0e2d\u0e31\u0e15\u0e42\u0e19\u0e21\u0e31\u0e15\u0e34 (AS\/RS)<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p>\u0e40\u0e1b\u0e49\u0e32\u0e2b\u0e21\u0e32\u0e22\u0e04\u0e37\u0e2d\u0e01\u0e32\u0e23\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e01\u0e31\u0e19\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e2a\u0e35\u0e48\u0e22\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e19\u0e40\u0e1b\u0e37\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e28\u0e39\u0e19\u0e22\u0e4c\u0e41\u0e25\u0e30\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e34\u0e17\u0e18\u0e34\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e48\u0e32\u0e19\u0e07\u0e32\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07.<\/p>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">2.4 \u0e01\u0e32\u0e23\u0e2d\u0e2d\u0e01\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e1c\u0e31\u0e07\u0e07\u0e32\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e40\u0e19\u0e49\u0e19\u0e08\u0e38\u0e14\u0e04\u0e2d\u0e02\u0e27\u0e14<\/h3>\n\n\n\n<p>\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e2a\u0e33\u0e04\u0e31\u0e0d (\u0e40\u0e0a\u0e48\u0e19 \u0e40\u0e04\u0e23\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e21\u0e37\u0e2d\u0e25\u0e34\u0e42\u0e18\u0e01\u0e23\u0e32\u0e1f\u0e35\u0e02\u0e31\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07) \u0e21\u0e31\u0e01\u0e08\u0e30\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e15\u0e31\u0e27\u0e01\u0e33\u0e2b\u0e19\u0e14\u0e1b\u0e23\u0e34\u0e21\u0e32\u0e13\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e42\u0e23\u0e07\u0e07\u0e32\u0e19\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15.<\/p>\n\n\n\n<p>\u0e2b\u0e25\u0e31\u0e01\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2a\u0e33\u0e04\u0e31\u0e0d\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e01\u0e2d\u0e1a\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e08\u0e31\u0e14\u0e27\u0e32\u0e07\u0e17\u0e35\u0e48\u0e40\u0e19\u0e49\u0e19\u0e40\u0e04\u0e23\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e21\u0e37\u0e2d\u0e17\u0e35\u0e48\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e04\u0e2d\u0e02\u0e27\u0e14<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e41\u0e15\u0e48\u0e07\u0e2a\u0e21\u0e21\u0e32\u0e15\u0e23\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e15\u0e49\u0e19\u0e19\u0e49\u0e33\/\u0e1b\u0e25\u0e32\u0e22\u0e19\u0e49\u0e33<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e1e\u0e34\u0e48\u0e21\u0e2d\u0e31\u0e15\u0e23\u0e32\u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e40\u0e04\u0e23\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e21\u0e37\u0e2d\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e2a\u0e38\u0e14<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">2.5 \u0e01\u0e32\u0e23\u0e2d\u0e2d\u0e01\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e42\u0e23\u0e07\u0e07\u0e32\u0e19\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e42\u0e21\u0e14\u0e39\u0e25\u0e32\u0e23\u0e4c\u0e41\u0e25\u0e30\u0e02\u0e22\u0e32\u0e22\u0e02\u0e19\u0e32\u0e14\u0e44\u0e14\u0e49<\/h3>\n\n\n\n<p>\u0e2b\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e2a\u0e30\u0e2d\u0e32\u0e14\u0e16\u0e39\u0e01\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19\u0e43\u0e19\u0e1a\u0e25\u0e47\u0e2d\u0e01\u0e2b\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e2a\u0e30\u0e2d\u0e32\u0e14\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e42\u0e21\u0e14\u0e39\u0e25\u0e32\u0e23\u0e4c\u0e40\u0e1e\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e02\u0e22\u0e32\u0e22\u0e01\u0e33\u0e25\u0e31\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2d\u0e31\u0e1b\u0e40\u0e01\u0e23\u0e14\u0e42\u0e2b\u0e19\u0e14\u0e40\u0e17\u0e04\u0e42\u0e19\u0e42\u0e25\u0e22\u0e35<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2d\u0e22\u0e39\u0e48\u0e23\u0e48\u0e27\u0e21\u0e01\u0e31\u0e19\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e2b\u0e25\u0e32\u0e22\u0e42\u0e2b\u0e19\u0e14<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p>\u0e2a\u0e34\u0e48\u0e07\u0e19\u0e35\u0e49\u0e0a\u0e48\u0e27\u0e22\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e40\u0e01\u0e34\u0e14\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e22\u0e37\u0e14\u0e2b\u0e22\u0e38\u0e48\u0e19\u0e43\u0e19\u0e23\u0e30\u0e22\u0e30\u0e22\u0e32\u0e27\u0e41\u0e25\u0e30\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e34\u0e17\u0e18\u0e34\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e14\u0e49\u0e32\u0e19\u0e15\u0e49\u0e19\u0e17\u0e38\u0e19.<\/p>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">3. \u0e40\u0e17\u0e04\u0e42\u0e19\u0e42\u0e25\u0e22\u0e35\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e2b\u0e25\u0e31\u0e01<\/h2>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">3.1 \u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e25\u0e34\u0e42\u0e18\u0e01\u0e23\u0e32\u0e1f\u0e35<\/h2>\n\n\n\n<p>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1e\u0e34\u0e21\u0e1e\u0e4c\u0e2b\u0e34\u0e19\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e02\u0e31\u0e49\u0e19\u0e15\u0e2d\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e33\u0e04\u0e31\u0e0d\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e38\u0e14\u0e43\u0e19\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c \u0e0b\u0e36\u0e48\u0e07\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e1c\u0e34\u0e14\u0e0a\u0e2d\u0e1a\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e16\u0e48\u0e32\u0e22\u0e42\u0e2d\u0e19\u0e23\u0e39\u0e1b\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e27\u0e07\u0e08\u0e23\u0e25\u0e07\u0e1a\u0e19\u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c.<\/p>\n\n\n\n<p>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e08\u0e33\u0e41\u0e19\u0e01\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e40\u0e20\u0e17\u0e40\u0e17\u0e04\u0e42\u0e19\u0e42\u0e25\u0e22\u0e35\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e01\u0e2d\u0e1a\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1e\u0e34\u0e21\u0e1e\u0e4c\u0e25\u0e32\u0e22\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e41\u0e2a\u0e07\u0e2d\u0e31\u0e25\u0e15\u0e23\u0e32\u0e44\u0e27\u0e42\u0e2d\u0e40\u0e25\u0e15\u0e2a\u0e38\u0e14\u0e02\u0e35\u0e14 (EUV) \u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e02\u0e19\u0e32\u0e14 7 \u0e19\u0e32\u0e42\u0e19\u0e40\u0e21\u0e15\u0e23\u0e41\u0e25\u0e30\u0e15\u0e48\u0e33\u0e01\u0e27\u0e48\u0e32<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1e\u0e34\u0e21\u0e1e\u0e4c\u0e25\u0e32\u0e22\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e27\u0e34\u0e18\u0e35\u0e08\u0e38\u0e48\u0e21 ArF \u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e42\u0e2b\u0e19\u0e14 28nm\u20137nm<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1e\u0e34\u0e21\u0e1e\u0e4c\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e41\u0e2a\u0e07 ArF \u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e41\u0e2b\u0e49\u0e07\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e42\u0e2b\u0e19\u0e14\u0e17\u0e35\u0e48\u0e1e\u0e31\u0e12\u0e19\u0e32\u0e41\u0e25\u0e49\u0e27<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1e\u0e34\u0e21\u0e1e\u0e4c\u0e25\u0e32\u0e22\u0e40\u0e2a\u0e49\u0e19 i-line \u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e14\u0e31\u0e49\u0e07\u0e40\u0e14\u0e34\u0e21<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p>\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a EUV \u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e2b\u0e19\u0e36\u0e48\u0e07\u0e43\u0e19\u0e40\u0e04\u0e23\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e08\u0e31\u0e01\u0e23\u0e2d\u0e38\u0e15\u0e2a\u0e32\u0e2b\u0e01\u0e23\u0e23\u0e21\u0e17\u0e35\u0e48\u0e0b\u0e31\u0e1a\u0e0b\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e38\u0e14\u0e17\u0e35\u0e48\u0e40\u0e04\u0e22\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19 \u0e42\u0e14\u0e22\u0e1c\u0e2a\u0e32\u0e19\u0e23\u0e27\u0e21:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0e41\u0e2b\u0e25\u0e48\u0e07\u0e01\u0e33\u0e40\u0e19\u0e34\u0e14\u0e41\u0e2a\u0e07 EUV \u0e1e\u0e25\u0e31\u0e07\u0e07\u0e32\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07 (\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e22\u0e32\u0e27\u0e04\u0e25\u0e37\u0e48\u0e19 13.5 \u0e19\u0e32\u0e42\u0e19\u0e40\u0e21\u0e15\u0e23)<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e2d\u0e2d\u0e1b\u0e15\u0e34\u0e04\u0e2a\u0e30\u0e17\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e41\u0e2a\u0e07\u0e2b\u0e25\u0e32\u0e22\u0e0a\u0e31\u0e49\u0e19<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e27\u0e32\u0e07\u0e15\u0e33\u0e41\u0e2b\u0e19\u0e48\u0e07\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e2a\u0e2d\u0e07\u0e02\u0e31\u0e49\u0e19\u0e15\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33\u0e23\u0e30\u0e14\u0e31\u0e1a\u0e19\u0e32\u0e42\u0e19\u0e40\u0e21\u0e15\u0e23<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e2a\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e41\u0e27\u0e14\u0e25\u0e49\u0e2d\u0e21\u0e2a\u0e38\u0e0d\u0e0d\u0e32\u0e01\u0e32\u0e28\u0e2a\u0e39\u0e07<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">3.2 \u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e31\u0e14\u0e01\u0e23\u0e48\u0e2d\u0e19<\/h2>\n\n\n\n<p>\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e31\u0e14\u0e01\u0e23\u0e48\u0e2d\u0e19\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e2d\u0e2d\u0e01\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e40\u0e25\u0e37\u0e2d\u0e01\u0e2a\u0e23\u0e23\u0e40\u0e1e\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e42\u0e04\u0e23\u0e07\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e17\u0e23\u0e32\u0e19\u0e0b\u0e34\u0e2a\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c.<\/p>\n\n\n\n<p>\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e40\u0e20\u0e17\u0e2b\u0e25\u0e31\u0e01\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e01\u0e2d\u0e1a\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e31\u0e14\u0e40\u0e0b\u0e32\u0e30\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e1e\u0e25\u0e32\u0e2a\u0e21\u0e32\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e40\u0e0a\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e21\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e04\u0e32\u0e1b\u0e32\u0e0b\u0e34\u0e17\u0e35\u0e1f (CCP)<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e31\u0e14\u0e40\u0e0b\u0e32\u0e30\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e1e\u0e25\u0e32\u0e2a\u0e21\u0e32\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e40\u0e2b\u0e19\u0e35\u0e48\u0e22\u0e27\u0e19\u0e33 (ICP)<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e31\u0e14\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e44\u0e2d\u0e2d\u0e2d\u0e19\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e21\u0e35\u0e1b\u0e0f\u0e34\u0e01\u0e34\u0e23\u0e34\u0e22\u0e32\u0e25\u0e36\u0e01 (Deep Reactive Ion Etching)<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e31\u0e14\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e0a\u0e31\u0e49\u0e19\u0e2d\u0e30\u0e15\u0e2d\u0e21 (Atomic Layer Etching - ALE)<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p>\u0e41\u0e19\u0e27\u0e42\u0e19\u0e49\u0e21\u0e2a\u0e33\u0e04\u0e31\u0e0d:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e04\u0e27\u0e1a\u0e04\u0e38\u0e21\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33\u0e43\u0e19\u0e23\u0e30\u0e14\u0e31\u0e1a\u0e2d\u0e30\u0e15\u0e2d\u0e21<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e42\u0e04\u0e23\u0e07\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e35\u0e2d\u0e31\u0e15\u0e23\u0e32\u0e2a\u0e48\u0e27\u0e19\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e01\u0e27\u0e49\u0e32\u0e07\u0e2a\u0e39\u0e07<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e04\u0e31\u0e14\u0e40\u0e25\u0e37\u0e2d\u0e01\u0e17\u0e35\u0e48\u0e14\u0e35\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19\u0e41\u0e25\u0e30\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e21\u0e48\u0e33\u0e40\u0e2a\u0e21\u0e2d<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">3.3 \u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e04\u0e25\u0e37\u0e2d\u0e1a\u0e1f\u0e34\u0e25\u0e4c\u0e21\u0e1a\u0e32\u0e07<\/h2>\n\n\n\n<p>\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e40\u0e04\u0e25\u0e37\u0e2d\u0e1a\u0e0a\u0e31\u0e49\u0e19\u0e1f\u0e31\u0e07\u0e01\u0e4c\u0e0a\u0e31\u0e19\u0e25\u0e07\u0e1a\u0e19\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e04\u0e25\u0e37\u0e2d\u0e1a\u0e1c\u0e34\u0e27\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e44\u0e2d\u0e40\u0e04\u0e21\u0e35\u0e40\u0e2a\u0e23\u0e34\u0e21\u0e1e\u0e25\u0e32\u0e2a\u0e21\u0e32 (Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition, PECVD)<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e04\u0e25\u0e37\u0e2d\u0e1a\u0e1c\u0e34\u0e27\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e44\u0e2d\u0e40\u0e04\u0e21\u0e35\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e14\u0e31\u0e19\u0e15\u0e48\u0e33 (LPCVD)<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e1e\u0e25\u0e32\u0e2a\u0e21\u0e32\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2b\u0e19\u0e32\u0e41\u0e19\u0e48\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07 CVD (HDPCVD)<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e04\u0e25\u0e37\u0e2d\u0e1a\u0e1c\u0e34\u0e27\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e27\u0e34\u0e18\u0e35\u0e44\u0e2d\u0e40\u0e04\u0e21\u0e35 (Physical Vapor Deposition, PVD)<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e04\u0e25\u0e37\u0e2d\u0e1a\u0e0a\u0e31\u0e49\u0e19\u0e2d\u0e30\u0e15\u0e2d\u0e21 (ALD)<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p>ALD \u0e0a\u0e48\u0e27\u0e22\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e04\u0e27\u0e1a\u0e04\u0e38\u0e21\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2b\u0e19\u0e32\u0e43\u0e19\u0e23\u0e30\u0e14\u0e31\u0e1a\u0e2d\u0e30\u0e15\u0e2d\u0e21\u0e44\u0e14\u0e49\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e21\u0e48\u0e33\u0e40\u0e2a\u0e21\u0e2d\u0e40\u0e01\u0e37\u0e2d\u0e1a\u0e2a\u0e21\u0e1a\u0e39\u0e23\u0e13\u0e4c.<\/p>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">3.4 \u0e01\u0e32\u0e23\u0e1d\u0e31\u0e07\u0e44\u0e2d\u0e2d\u0e2d\u0e19\u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e21\u0e27\u0e25\u0e1c\u0e25\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19<\/h2>\n\n\n\n<p>\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e40\u0e2b\u0e25\u0e48\u0e32\u0e19\u0e35\u0e49\u0e1b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e40\u0e1b\u0e25\u0e35\u0e48\u0e22\u0e19\u0e2a\u0e21\u0e1a\u0e31\u0e15\u0e34\u0e17\u0e32\u0e07\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e2a\u0e32\u0e23\u0e01\u0e36\u0e48\u0e07\u0e15\u0e31\u0e27\u0e19\u0e33:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1d\u0e31\u0e07\u0e44\u0e2d\u0e2d\u0e2d\u0e19\u0e19\u0e33\u0e15\u0e31\u0e27\u0e40\u0e08\u0e37\u0e2d\u0e1b\u0e19\u0e40\u0e02\u0e49\u0e32\u0e2a\u0e39\u0e48\u0e2a\u0e32\u0e23\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e1e\u0e25\u0e31\u0e07\u0e07\u0e32\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e04\u0e27\u0e1a\u0e04\u0e38\u0e21\u0e44\u0e14\u0e49\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2d\u0e1a\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e23\u0e27\u0e14\u0e40\u0e23\u0e47\u0e27 (Rapid Thermal Annealing \u0e2b\u0e23\u0e37\u0e2d RTA) \u0e0a\u0e48\u0e27\u0e22\u0e01\u0e23\u0e30\u0e15\u0e38\u0e49\u0e19\u0e15\u0e31\u0e27\u0e40\u0e08\u0e37\u0e2d\u0e41\u0e25\u0e30\u0e0b\u0e48\u0e2d\u0e21\u0e41\u0e0b\u0e21\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e2a\u0e35\u0e22\u0e2b\u0e32\u0e22\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e1c\u0e25\u0e36\u0e01<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2d\u0e1a\u0e0a\u0e38\u0e1a\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e40\u0e25\u0e40\u0e0b\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e0a\u0e48\u0e27\u0e22\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e40\u0e01\u0e34\u0e14\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e40\u0e09\u0e1e\u0e32\u0e30\u0e08\u0e38\u0e14\u0e44\u0e14\u0e49\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e23\u0e27\u0e14\u0e40\u0e23\u0e47\u0e27\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e1e\u0e34\u0e40\u0e28\u0e29\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e42\u0e2b\u0e19\u0e14\u0e02\u0e31\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p>\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e01\u0e33\u0e2b\u0e19\u0e14\u0e2b\u0e25\u0e31\u0e01\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e01\u0e2d\u0e1a\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e04\u0e27\u0e1a\u0e04\u0e38\u0e21\u0e1b\u0e23\u0e34\u0e21\u0e32\u0e13\u0e41\u0e25\u0e30\u0e1e\u0e25\u0e31\u0e07\u0e07\u0e32\u0e19\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e21\u0e48\u0e33\u0e40\u0e2a\u0e21\u0e2d\u0e2a\u0e39\u0e07<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e1c\u0e25\u0e01\u0e23\u0e30\u0e17\u0e1a\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e1a\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e21\u0e32\u0e13\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e15\u0e48\u0e33\u0e2a\u0e38\u0e14<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">3.5 \u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e17\u0e33\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e30\u0e2d\u0e32\u0e14\u0e41\u0e25\u0e30\u0e21\u0e32\u0e15\u0e23\u0e27\u0e34\u0e17\u0e22\u0e32<\/h2>\n\n\n\n<p>\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e17\u0e33\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e30\u0e2d\u0e32\u0e14\u0e16\u0e39\u0e01\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e43\u0e19\u0e17\u0e38\u0e01\u0e02\u0e31\u0e49\u0e19\u0e15\u0e2d\u0e19\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e1e\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e01\u0e33\u0e08\u0e31\u0e14:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e19\u0e40\u0e1b\u0e37\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e2d\u0e19\u0e38\u0e20\u0e32\u0e04<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e2a\u0e32\u0e23\u0e15\u0e01\u0e04\u0e49\u0e32\u0e07\u0e2d\u0e34\u0e19\u0e17\u0e23\u0e35\u0e22\u0e4c<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e2a\u0e34\u0e48\u0e07\u0e40\u0e08\u0e37\u0e2d\u0e1b\u0e19\u0e42\u0e25\u0e2b\u0e30<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p>\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e27\u0e31\u0e14\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e04\u0e27\u0e1a\u0e04\u0e38\u0e21\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e40\u0e23\u0e35\u0e22\u0e25\u0e44\u0e17\u0e21\u0e4c\u0e42\u0e14\u0e22\u0e01\u0e32\u0e23\u0e27\u0e31\u0e14:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0e21\u0e34\u0e15\u0e34\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e33\u0e04\u0e31\u0e0d (CD)<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2b\u0e19\u0e32\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e1f\u0e34\u0e25\u0e4c\u0e21<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e16\u0e39\u0e01\u0e15\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e0b\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e17\u0e31\u0e1a<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2b\u0e19\u0e32\u0e41\u0e19\u0e48\u0e19\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e1a\u0e01\u0e1e\u0e23\u0e48\u0e2d\u0e07<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">4. \u0e41\u0e19\u0e27\u0e42\u0e19\u0e49\u0e21\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1e\u0e31\u0e12\u0e19\u0e32\u0e40\u0e17\u0e04\u0e42\u0e19\u0e42\u0e25\u0e22\u0e35<\/h2>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">4.1 \u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e1b\u0e25\u0e35\u0e48\u0e22\u0e19\u0e1c\u0e48\u0e32\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e48\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e43\u0e19\u0e23\u0e30\u0e14\u0e31\u0e1a\u0e2d\u0e30\u0e15\u0e2d\u0e21<\/h3>\n\n\n\n<p>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e01\u0e33\u0e25\u0e31\u0e07\u0e40\u0e02\u0e49\u0e32\u0e43\u0e01\u0e25\u0e49\u0e02\u0e35\u0e14\u0e08\u0e33\u0e01\u0e31\u0e14\u0e17\u0e32\u0e07\u0e01\u0e32\u0e22\u0e20\u0e32\u0e1e \u0e0b\u0e36\u0e48\u0e07\u0e15\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e04\u0e27\u0e1a\u0e04\u0e38\u0e21\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e19\u0e23\u0e30\u0e14\u0e31\u0e1a\u0e0a\u0e31\u0e49\u0e19\u0e2d\u0e30\u0e15\u0e2d\u0e21<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2b\u0e19\u0e32\u0e41\u0e19\u0e48\u0e19\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e1a\u0e01\u0e1e\u0e23\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e15\u0e48\u0e33\u0e21\u0e32\u0e01<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33\u0e23\u0e30\u0e14\u0e31\u0e1a\u0e15\u0e48\u0e33\u0e01\u0e27\u0e48\u0e32\u0e19\u0e32\u0e42\u0e19\u0e40\u0e21\u0e15\u0e23<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">4.2 \u0e01\u0e32\u0e23\u0e1a\u0e39\u0e23\u0e13\u0e32\u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2b\u0e25\u0e32\u0e22\u0e1f\u0e34\u0e2a\u0e34\u0e01\u0e2a\u0e4c<\/h3>\n\n\n\n<p>\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e43\u0e19\u0e2d\u0e19\u0e32\u0e04\u0e15\u0e08\u0e30\u0e23\u0e27\u0e21:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e2d\u0e2d\u0e1b\u0e15\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e25<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e1f\u0e34\u0e2a\u0e34\u0e01\u0e2a\u0e4c\u0e1e\u0e25\u0e32\u0e2a\u0e21\u0e32<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e1e\u0e25\u0e28\u0e32\u0e2a\u0e15\u0e23\u0e4c\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e04\u0e27\u0e1a\u0e04\u0e38\u0e21\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e04\u0e25\u0e37\u0e48\u0e19\u0e41\u0e21\u0e48\u0e40\u0e2b\u0e25\u0e47\u0e01\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p>\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e14\u0e33\u0e40\u0e19\u0e34\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e35\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e32\u0e19\u0e07\u0e32\u0e19\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e2a\u0e39\u0e07.<\/p>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">4.3 \u0e02\u0e49\u0e2d\u0e21\u0e39\u0e25\u0e40\u0e0a\u0e34\u0e07\u0e25\u0e36\u0e01\u0e14\u0e49\u0e32\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e17\u0e35\u0e48\u0e02\u0e31\u0e1a\u0e40\u0e04\u0e25\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e1b\u0e31\u0e0d\u0e0d\u0e32\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e14\u0e34\u0e29\u0e10\u0e4c<\/h3>\n\n\n\n<p>\u0e1b\u0e31\u0e0d\u0e0d\u0e32\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e14\u0e34\u0e29\u0e10\u0e4c\u0e16\u0e39\u0e01\u0e19\u0e33\u0e21\u0e32\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e21\u0e32\u0e01\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e1e\u0e34\u0e48\u0e21\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e34\u0e17\u0e18\u0e34\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1a\u0e33\u0e23\u0e38\u0e07\u0e23\u0e31\u0e01\u0e29\u0e32\u0e40\u0e0a\u0e34\u0e07\u0e04\u0e32\u0e14\u0e01\u0e32\u0e23\u0e13\u0e4c<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e1b\u0e23\u0e38\u0e07\u0e1c\u0e25\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e40\u0e23\u0e35\u0e22\u0e25\u0e44\u0e17\u0e21\u0e4c<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">4.4 \u0e01\u0e32\u0e23\u0e1a\u0e23\u0e23\u0e08\u0e38\u0e02\u0e31\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1a\u0e39\u0e23\u0e13\u0e32\u0e01\u0e32\u0e23\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a<\/h3>\n\n\n\n<p>\u0e40\u0e21\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e01\u0e0e\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e21\u0e31\u0e27\u0e23\u0e4c\u0e0a\u0e30\u0e25\u0e2d\u0e15\u0e31\u0e27\u0e25\u0e07 \u0e19\u0e27\u0e31\u0e15\u0e01\u0e23\u0e23\u0e21\u0e08\u0e30\u0e40\u0e1b\u0e25\u0e35\u0e48\u0e22\u0e19\u0e44\u0e1b\u0e2a\u0e39\u0e48:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e23\u0e27\u0e21\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e44\u0e21\u0e48\u0e2a\u0e21\u0e48\u0e33\u0e40\u0e2a\u0e21\u0e2d\u0e43\u0e19\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e21\u0e34\u0e15\u0e34<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e2a\u0e16\u0e32\u0e1b\u0e31\u0e15\u0e22\u0e01\u0e23\u0e23\u0e21\u0e0a\u0e34\u0e1b\u0e25\u0e34\u0e15<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1a\u0e23\u0e23\u0e08\u0e38\u0e43\u0e19\u0e23\u0e30\u0e14\u0e31\u0e1a\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a (SiP, \u0e01\u0e32\u0e23\u0e0b\u0e49\u0e2d\u0e19 2.5D\/3D)<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">\u0e2a\u0e23\u0e38\u0e1b<\/h2>\n\n\n\n<p>\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e16\u0e37\u0e2d\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e2b\u0e19\u0e36\u0e48\u0e07\u0e43\u0e19\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e2d\u0e38\u0e15\u0e2a\u0e32\u0e2b\u0e01\u0e23\u0e23\u0e21\u0e17\u0e35\u0e48\u0e25\u0e49\u0e33\u0e2b\u0e19\u0e49\u0e32\u0e41\u0e25\u0e30\u0e0b\u0e31\u0e1a\u0e0b\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e38\u0e14\u0e17\u0e35\u0e48\u0e40\u0e04\u0e22\u0e1e\u0e31\u0e12\u0e19\u0e32\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19 \u0e42\u0e14\u0e22\u0e1c\u0e2a\u0e32\u0e19\u0e27\u0e34\u0e28\u0e27\u0e01\u0e23\u0e23\u0e21\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33\u0e2a\u0e39\u0e07 \u0e27\u0e34\u0e17\u0e22\u0e32\u0e28\u0e32\u0e2a\u0e15\u0e23\u0e4c\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38 \u0e1f\u0e34\u0e2a\u0e34\u0e01\u0e2a\u0e4c\u0e1e\u0e25\u0e32\u0e2a\u0e21\u0e32 \u0e2d\u0e2d\u0e1b\u0e15\u0e34\u0e01\u0e2a\u0e4c \u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e2d\u0e31\u0e15\u0e42\u0e19\u0e21\u0e31\u0e15\u0e34 \u0e41\u0e25\u0e30\u0e1b\u0e31\u0e0d\u0e0d\u0e32\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e14\u0e34\u0e29\u0e10\u0e4c\u0e40\u0e02\u0e49\u0e32\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e01\u0e31\u0e19\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e19\u0e34\u0e40\u0e27\u0e28\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e17\u0e35\u0e48\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e2b\u0e19\u0e36\u0e48\u0e07\u0e40\u0e14\u0e35\u0e22\u0e27.<\/p>\n\n\n\n<p>\u0e40\u0e04\u0e23\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e21\u0e37\u0e2d\u0e41\u0e15\u0e48\u0e25\u0e30\u0e0a\u0e34\u0e49\u0e19\u0e20\u0e32\u0e22\u0e43\u0e19\u0e42\u0e23\u0e07\u0e07\u0e32\u0e19\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e44\u0e21\u0e48\u0e43\u0e0a\u0e48\u0e40\u0e04\u0e23\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e08\u0e31\u0e01\u0e23\u0e17\u0e35\u0e48\u0e41\u0e22\u0e01\u0e15\u0e31\u0e27\u0e2d\u0e2d\u0e01\u0e08\u0e32\u0e01\u0e01\u0e31\u0e19 \u0e41\u0e15\u0e48\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e2a\u0e48\u0e27\u0e19\u0e2b\u0e19\u0e36\u0e48\u0e07\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e40\u0e04\u0e23\u0e37\u0e2d\u0e02\u0e48\u0e32\u0e22\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e17\u0e35\u0e48\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e32\u0e19\u0e07\u0e32\u0e19\u0e01\u0e31\u0e19\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e41\u0e25\u0e30\u0e1e\u0e36\u0e48\u0e07\u0e1e\u0e32\u0e2d\u0e32\u0e28\u0e31\u0e22\u0e01\u0e31\u0e19.<\/p>\n\n\n\n<p>\u0e40\u0e21\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e42\u0e2b\u0e19\u0e14\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e22\u0e31\u0e07\u0e04\u0e07\u0e02\u0e22\u0e32\u0e22\u0e02\u0e19\u0e32\u0e14\u0e44\u0e1b\u0e2a\u0e39\u0e48\u0e02\u0e35\u0e14\u0e08\u0e33\u0e01\u0e31\u0e14\u0e17\u0e32\u0e07\u0e01\u0e32\u0e22\u0e20\u0e32\u0e1e \u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e0b\u0e31\u0e1a\u0e0b\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c \u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33 \u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1a\u0e39\u0e23\u0e13\u0e32\u0e01\u0e32\u0e23\u0e08\u0e30\u0e40\u0e1e\u0e34\u0e48\u0e21\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e40\u0e19\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e07\u2014\u0e17\u0e33\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e2d\u0e38\u0e15\u0e2a\u0e32\u0e2b\u0e01\u0e23\u0e23\u0e21\u0e19\u0e35\u0e49\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e23\u0e32\u0e01\u0e10\u0e32\u0e19\u0e2a\u0e33\u0e04\u0e31\u0e0d\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e41\u0e02\u0e48\u0e07\u0e02\u0e31\u0e19\u0e17\u0e32\u0e07\u0e40\u0e17\u0e04\u0e42\u0e19\u0e42\u0e25\u0e22\u0e35\u0e23\u0e30\u0e14\u0e31\u0e1a\u0e42\u0e25\u0e01.<\/p>","protected":false},"excerpt":{"rendered":"<p>Semiconductor manufacturing equipment is widely regarded as the \u201cindustrial mother machine\u201d of the integrated circuit (IC) industry, enabling the entire transformation from raw silicon materials to finished chips. Among all segments of the semiconductor value chain, wafer fabrication equipment accounts for approximately 85% of total equipment investment, representing the highest technological barrier and the most [&hellip;]<\/p>\n","protected":false},"author":1,"featured_media":2458,"comment_status":"open","ping_status":"open","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"site-sidebar-layout":"default","site-content-layout":"","ast-site-content-layout":"default","site-content-style":"default","site-sidebar-style":"default","ast-global-header-display":"","ast-banner-title-visibility":"","ast-main-header-display":"","ast-hfb-above-header-display":"","ast-hfb-below-header-display":"","ast-hfb-mobile-header-display":"","site-post-title":"","ast-breadcrumbs-content":"","ast-featured-img":"","footer-sml-layout":"","ast-disable-related-posts":"","theme-transparent-header-meta":"","adv-header-id-meta":"","stick-header-meta":"","header-above-stick-meta":"","header-main-stick-meta":"","header-below-stick-meta":"","astra-migrate-meta-layouts":"set","ast-page-background-enabled":"default","ast-page-background-meta":{"desktop":{"background-color":"var(--ast-global-color-4)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"tablet":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"mobile":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""}},"ast-content-background-meta":{"desktop":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"tablet":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"mobile":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""}},"footnotes":""},"categories":[24],"tags":[1354,213,44,187,1343,1334,1340,1355,1361,1331,1344,1363,1335,1349,1353,1345,1341,663,360,658,1338,1359,1347,325,1342,709,411,1333,706,1348,1339,1346,1358,1351,1362,716,715,1357,181,1336,712,1350,347,1352,40,1332,1356,36,214,1360,708,350,707,41,1337],"class_list":["post-2457","post","type-post","status-publish","format-standard","has-post-thumbnail","hentry","category-industry-news","tag-2-5d-packaging","tag-3d-ic-integration","tag-advanced-packaging","tag-ald","tag-ale-atomic-layer-etching","tag-amhs-automation","tag-arf-immersion-lithography","tag-ate-systems","tag-atomic-scale-manufacturing","tag-bottleneck-equipment","tag-ccp-etching","tag-chiplet-architecture","tag-cleanroom-design","tag-critical-dimension-measurement","tag-defect-inspection","tag-drie","tag-dry-lithography","tag-duv-lithography","tag-etching-systems","tag-euv-lithography","tag-fab-layout","tag-failure-analysis","tag-hdpcvd","tag-heterogeneous-integration","tag-i-line-lithography","tag-ic-manufacturing","tag-icp-etching","tag-integrated-circuit-industry","tag-ion-implantation","tag-laser-annealing","tag-lithography-systems","tag-lpcvd","tag-materials-analysis","tag-metrology-systems","tag-moores-law","tag-pecvd","tag-plasma-etching","tag-probe-station","tag-process-control","tag-process-flow-optimization","tag-pvd","tag-rapid-thermal-annealing","tag-semiconductor-automation","tag-semiconductor-cleaning-systems","tag-semiconductor-equipment","tag-semiconductor-industry-ecosystem","tag-semiconductor-inspection","tag-semiconductor-manufacturing","tag-semiconductor-packaging","tag-semiconductor-scaling","tag-semiconductor-testing","tag-thin-film-deposition","tag-wafer-cleaning","tag-wafer-fabrication","tag-wafer-handling-systems"],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/th\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/2457","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/th\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/th\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/th\/wp-json\/wp\/v2\/users\/1"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/th\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=2457"}],"version-history":[{"count":1,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/th\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/2457\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":2459,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/th\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/2457\/revisions\/2459"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/th\/wp-json\/wp\/v2\/media\/2458"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/th\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=2457"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/th\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=2457"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/th\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=2457"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}