{"id":2440,"date":"2026-04-30T02:35:44","date_gmt":"2026-04-30T02:35:44","guid":{"rendered":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/?p=2440"},"modified":"2026-04-30T02:48:31","modified_gmt":"2026-04-30T02:48:31","slug":"why-cvd-silicon-carbide-is-a-key-material-in-advanced-engineering","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/th\/why-cvd-silicon-carbide-is-a-key-material-in-advanced-engineering\/","title":{"rendered":"\u0e17\u0e33\u0e44\u0e21\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e01\u0e2d\u0e19\u0e04\u0e32\u0e23\u0e4c\u0e44\u0e1a\u0e14\u0e4c CVD \u0e08\u0e36\u0e07\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e2a\u0e33\u0e04\u0e31\u0e0d\u0e43\u0e19\u0e27\u0e34\u0e28\u0e27\u0e01\u0e23\u0e23\u0e21\u0e02\u0e31\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07: \u0e42\u0e04\u0e23\u0e07\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07, \u0e04\u0e38\u0e13\u0e2a\u0e21\u0e1a\u0e31\u0e15\u0e34, \u0e41\u0e25\u0e30\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e34\u0e17\u0e18\u0e34\u0e20\u0e32\u0e1e"},"content":{"rendered":"<p>\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e04\u0e32\u0e23\u0e4c\u0e44\u0e1a\u0e14\u0e4c (SiC) \u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e40\u0e0b\u0e23\u0e32\u0e21\u0e34\u0e01\u0e2a\u0e21\u0e23\u0e23\u0e16\u0e19\u0e30\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e17\u0e35\u0e48\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e01\u0e31\u0e19\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e41\u0e1e\u0e23\u0e48\u0e2b\u0e25\u0e32\u0e22\u0e43\u0e19\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c \u0e2d\u0e2d\u0e1b\u0e15\u0e34\u0e01 \u0e41\u0e25\u0e30\u0e2a\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e41\u0e27\u0e14\u0e25\u0e49\u0e2d\u0e21\u0e2d\u0e38\u0e15\u0e2a\u0e32\u0e2b\u0e01\u0e23\u0e23\u0e21\u0e17\u0e35\u0e48\u0e23\u0e38\u0e19\u0e41\u0e23\u0e07 \u0e43\u0e19\u0e1a\u0e23\u0e23\u0e14\u0e32\u0e23\u0e39\u0e1b\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e15\u0e48\u0e32\u0e07\u0e46 \u0e02\u0e2d\u0e07\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e04\u0e32\u0e23\u0e4c\u0e44\u0e1a\u0e14\u0e4c CVD \u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e04\u0e32\u0e23\u0e4c\u0e44\u0e1a\u0e14\u0e4c (CVD SiC) \u0e0b\u0e36\u0e48\u0e07\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e1c\u0e48\u0e32\u0e19\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e04\u0e21\u0e35\u0e44\u0e2d\u0e23\u0e30\u0e40\u0e2b\u0e22 (Chemical Vapor Deposition) \u0e21\u0e31\u0e01\u0e44\u0e14\u0e49\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e22\u0e2d\u0e21\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e27\u0e48\u0e32\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e2b\u0e19\u0e36\u0e48\u0e07\u0e43\u0e19\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e40\u0e0b\u0e23\u0e32\u0e21\u0e34\u0e01\u0e17\u0e35\u0e48\u0e01\u0e49\u0e32\u0e27\u0e2b\u0e19\u0e49\u0e32\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e38\u0e14 \u0e40\u0e19\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e08\u0e32\u0e01\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e1a\u0e23\u0e34\u0e2a\u0e38\u0e17\u0e18\u0e34\u0e4c \u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2b\u0e19\u0e32\u0e41\u0e19\u0e48\u0e19 \u0e41\u0e25\u0e30\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e21\u0e48\u0e33\u0e40\u0e2a\u0e21\u0e2d\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e42\u0e04\u0e23\u0e07\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e17\u0e35\u0e48\u0e22\u0e2d\u0e14\u0e40\u0e22\u0e35\u0e48\u0e22\u0e21.<\/p>\n\n\n\n<p>\u0e1a\u0e17\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e19\u0e35\u0e49\u0e28\u0e36\u0e01\u0e29\u0e32\u0e04\u0e38\u0e13\u0e2a\u0e21\u0e1a\u0e31\u0e15\u0e34\u0e17\u0e32\u0e07\u0e01\u0e32\u0e22\u0e20\u0e32\u0e1e \u0e42\u0e04\u0e23\u0e07\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e08\u0e38\u0e25\u0e20\u0e32\u0e04 \u0e41\u0e25\u0e30\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e44\u0e14\u0e49\u0e40\u0e1b\u0e23\u0e35\u0e22\u0e1a\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e22\u0e38\u0e01\u0e15\u0e4c\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e02\u0e2d\u0e07 CVD SiC \u0e42\u0e14\u0e22\u0e2d\u0e49\u0e32\u0e07\u0e2d\u0e34\u0e07\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e21\u0e39\u0e25\u0e40\u0e1b\u0e23\u0e35\u0e22\u0e1a\u0e40\u0e17\u0e35\u0e22\u0e1a\u0e01\u0e31\u0e1a\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e2d\u0e37\u0e48\u0e19 \u0e46 \u0e17\u0e35\u0e48\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e01\u0e31\u0e19\u0e17\u0e31\u0e48\u0e27\u0e44\u0e1b.<\/p>\n\n\n\n<figure class=\"wp-block-image aligncenter size-full\"><img fetchpriority=\"high\" decoding=\"async\" width=\"500\" height=\"403\" src=\"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/low.jpg\" alt=\"\" class=\"wp-image-2441\" srcset=\"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/low.jpg 500w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/low-300x242.jpg 300w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/low-15x12.jpg 15w\" sizes=\"(max-width: 500px) 100vw, 500px\" \/><\/figure>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">1. \u0e04\u0e38\u0e13\u0e2a\u0e21\u0e1a\u0e31\u0e15\u0e34\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38: \u0e21\u0e38\u0e21\u0e21\u0e2d\u0e07\u0e40\u0e0a\u0e34\u0e07\u0e40\u0e1b\u0e23\u0e35\u0e22\u0e1a\u0e40\u0e17\u0e35\u0e22\u0e1a<\/h2>\n\n\n\n<p>\u0e08\u0e32\u0e01\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e21\u0e39\u0e25\u0e17\u0e32\u0e07\u0e27\u0e34\u0e28\u0e27\u0e01\u0e23\u0e23\u0e21\u0e17\u0e31\u0e48\u0e27\u0e44\u0e1b CVD SiC \u0e41\u0e2a\u0e14\u0e07\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e34\u0e17\u0e18\u0e34\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e17\u0e35\u0e48\u0e40\u0e2b\u0e19\u0e37\u0e2d\u0e01\u0e27\u0e48\u0e32\u0e43\u0e19\u0e2b\u0e25\u0e32\u0e22\u0e1e\u0e32\u0e23\u0e32\u0e21\u0e34\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e2a\u0e33\u0e04\u0e31\u0e0d:<\/p>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">\u0e15\u0e32\u0e23\u0e32\u0e07\u0e17\u0e35\u0e48 1. \u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e1b\u0e23\u0e35\u0e22\u0e1a\u0e40\u0e17\u0e35\u0e22\u0e1a\u0e04\u0e38\u0e13\u0e2a\u0e21\u0e1a\u0e31\u0e15\u0e34\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e17\u0e31\u0e48\u0e27\u0e44\u0e1b<\/h3>\n\n\n\n<figure class=\"wp-block-table\"><table class=\"has-fixed-layout\"><thead><tr><th>\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38<\/th><th>\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2b\u0e19\u0e32\u0e41\u0e19\u0e48\u0e19 (\u0e01\u0e23\u0e31\u0e21\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e25\u0e39\u0e01\u0e1a\u0e32\u0e28\u0e01\u0e4c\u0e40\u0e0b\u0e19\u0e15\u0e34\u0e40\u0e21\u0e15\u0e23)<\/th><th>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e19\u0e33\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19 (\u0e27\u0e31\u0e15\u0e15\u0e4c\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e40\u0e21\u0e15\u0e23\u0e40\u0e04\u0e25\u0e27\u0e34\u0e19)<\/th><th>\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e08\u0e38\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e08\u0e33\u0e40\u0e1e\u0e32\u0e30 (\u0e08\u0e39\u0e25\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e01\u0e34\u0e42\u0e25\u0e01\u0e23\u0e31\u0e21\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e40\u0e04\u0e25\u0e27\u0e34\u0e19)<\/th><th>\u0e42\u0e21\u0e14\u0e39\u0e25\u0e31\u0e2a\u0e22\u0e37\u0e14\u0e2b\u0e22\u0e38\u0e48\u0e19 (\u0e01\u0e34\u0e01\u0e30\u0e1b\u0e32\u0e2a\u0e04\u0e32\u0e25)<\/th><th>CTE (\u00d710\u207b\u2076 \/K)<\/th><th>\u0e1c\u0e34\u0e27\u0e2a\u0e33\u0e40\u0e23\u0e47\u0e08<\/th><\/tr><\/thead><tbody><tr><td>\u0e40\u0e1a\u0e23\u0e34\u0e25\u0e40\u0e25\u0e35\u0e22\u0e21 (Be)<\/td><td>~1.85<\/td><td>~216<\/td><td>~1880<\/td><td>~303<\/td><td>~11.4<\/td><td>\u226410 \u00c5 RMS<\/td><\/tr><tr><td>ULE Glass<\/td><td>~2.20<\/td><td>~1.30<\/td><td>~708<\/td><td>~67<\/td><td>~0.03<\/td><td>\u22643 \u00c5 RMS<\/td><\/tr><tr><td>\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e04\u0e32\u0e23\u0e4c\u0e44\u0e1a\u0e14\u0e4c\u0e1c\u0e25\u0e36\u0e01\u0e2b\u0e25\u0e32\u0e22\u0e04\u0e23\u0e34\u0e2a\u0e15\u0e31\u0e25<\/td><td>~2.30<\/td><td>~150<\/td><td>~920<\/td><td>~110<\/td><td>~3.8<\/td><td>\u22645 \u00c5 RMS<\/td><\/tr><tr><td>\u0e04\u0e27\u0e2d\u0e15\u0e0b\u0e4c<\/td><td>~2.20<\/td><td>~1.40<\/td><td>~1210<\/td><td>~70<\/td><td>~0.5<\/td><td>\u22643 \u00c5 RMS<\/td><\/tr><tr><td><strong>CVD SiC<\/strong><\/td><td><strong>~3.21<\/strong><\/td><td><strong>~300<\/strong><\/td><td><strong>~640<\/strong><\/td><td><strong>~466<\/strong><\/td><td><strong>~4.0<\/strong><\/td><td><strong>\u22643 \u00c5 RMS<\/strong><\/td><\/tr><tr><td>\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e04\u0e32\u0e23\u0e4c\u0e44\u0e1a\u0e14\u0e4c\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e22\u0e36\u0e14\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e1b\u0e0f\u0e34\u0e01\u0e34\u0e23\u0e34\u0e22\u0e32<\/td><td>~3.10<\/td><td>120\u2013170<\/td><td>\u2014<\/td><td>~391<\/td><td>~4.3<\/td><td>\u226520 \u00c5 RMS<\/td><\/tr><tr><td>\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e04\u0e32\u0e23\u0e4c\u0e44\u0e1a\u0e14\u0e4c\u0e2d\u0e31\u0e14\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19<\/td><td>~3.20<\/td><td>50\u2013120<\/td><td>\u2014<\/td><td>~451<\/td><td>~4.6<\/td><td>\u226550 \u00c5 RMS<\/td><\/tr><tr><td>\u0e0b\u0e34\u0e07\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e14 \u0e0b\u0e34\u0e01\u0e04\u0e34\u0e27<\/td><td>~3.10<\/td><td>50\u2013120<\/td><td>\u2014<\/td><td>~408<\/td><td>~4.5<\/td><td>\u2265100 \u00c5 RMS<\/td><\/tr><\/tbody><\/table><\/figure>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e2a\u0e31\u0e07\u0e40\u0e01\u0e15\u0e2a\u0e33\u0e04\u0e31\u0e0d<\/h2>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">1. \u0e01\u0e32\u0e23\u0e19\u0e33\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07<\/h3>\n\n\n\n<p>CVD SiC (~300 \u0e27\u0e31\u0e15\u0e15\u0e4c\/\u0e40\u0e21\u0e15\u0e23\u00b7\u0e40\u0e04\u0e25\u0e27\u0e34\u0e19) \u0e21\u0e35\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e34\u0e17\u0e18\u0e34\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e40\u0e2b\u0e19\u0e37\u0e2d\u0e01\u0e27\u0e48\u0e32\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e04\u0e27\u0e2d\u0e15\u0e0b\u0e4c\u0e41\u0e25\u0e30\u0e41\u0e01\u0e49\u0e27\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e21\u0e32\u0e01.<\/p>\n\n\n\n<p><strong>\u0e19\u0e31\u0e22\u0e2a\u0e33\u0e04\u0e31\u0e0d:<\/strong><br>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e32\u0e22\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e35\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e34\u0e17\u0e18\u0e34\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e25\u0e14\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e15\u0e01\u0e15\u0e48\u0e32\u0e07\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34\u0e43\u0e19\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e35\u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34\u0e2a\u0e39\u0e07.<\/p>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">2. \u0e42\u0e21\u0e14\u0e39\u0e25\u0e31\u0e2a\u0e22\u0e37\u0e14\u0e2b\u0e22\u0e38\u0e48\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07<\/h3>\n\n\n\n<p>\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e04\u0e48\u0e32\u0e17\u0e35\u0e48\u0e40\u0e01\u0e34\u0e19\u0e01\u0e27\u0e48\u0e32 450 GPa, CVD SiC \u0e21\u0e2d\u0e1a\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e02\u0e47\u0e07\u0e41\u0e01\u0e23\u0e48\u0e07\u0e17\u0e35\u0e48\u0e22\u0e2d\u0e14\u0e40\u0e22\u0e35\u0e48\u0e22\u0e21.<\/p>\n\n\n\n<p><strong>\u0e19\u0e31\u0e22\u0e2a\u0e33\u0e04\u0e31\u0e0d:<\/strong><br>\u0e23\u0e31\u0e01\u0e29\u0e32\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e04\u0e07\u0e15\u0e31\u0e27\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e21\u0e34\u0e15\u0e34\u0e20\u0e32\u0e22\u0e43\u0e15\u0e49\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e04\u0e23\u0e35\u0e22\u0e14\u0e17\u0e32\u0e07\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e25\u0e44\u0e01.<\/p>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">3. \u0e01\u0e32\u0e23\u0e02\u0e22\u0e32\u0e22\u0e15\u0e31\u0e27\u0e17\u0e32\u0e07\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e15\u0e48\u0e33<\/h3>\n\n\n\n<p>\u0e2a\u0e31\u0e21\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e34\u0e17\u0e18\u0e34\u0e4c\u0e01\u0e32\u0e23\u0e02\u0e22\u0e32\u0e22\u0e15\u0e31\u0e27\u0e17\u0e32\u0e07\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19 (CTE) \u0e17\u0e35\u0e48\u0e04\u0e48\u0e2d\u0e19\u0e02\u0e49\u0e32\u0e07\u0e15\u0e48\u0e33\u0e0a\u0e48\u0e27\u0e22\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e40\u0e01\u0e34\u0e14\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e1b\u0e25\u0e35\u0e48\u0e22\u0e19\u0e23\u0e39\u0e1b\u0e19\u0e49\u0e2d\u0e22\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e38\u0e14.<\/p>\n\n\n\n<p><strong>\u0e19\u0e31\u0e22\u0e2a\u0e33\u0e04\u0e31\u0e0d:<\/strong><br>\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e33\u0e04\u0e31\u0e0d\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e22\u0e34\u0e48\u0e07\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e07\u0e32\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e15\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33\u0e2a\u0e39\u0e07 \u0e40\u0e0a\u0e48\u0e19 \u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e41\u0e25\u0e30\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e2d\u0e2d\u0e1b\u0e15\u0e34\u0e01\u0e2a\u0e4c.<\/p>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">4. \u0e1c\u0e34\u0e27\u0e40\u0e23\u0e35\u0e22\u0e1a\u0e25\u0e37\u0e48\u0e19\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e1e\u0e34\u0e40\u0e28\u0e29<\/h3>\n\n\n\n<p>\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2b\u0e22\u0e32\u0e1a\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e1e\u0e37\u0e49\u0e19\u0e1c\u0e34\u0e27\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e16\u0e36\u0e07\u0e23\u0e30\u0e14\u0e31\u0e1a\u0e41\u0e2d\u0e07\u0e2a\u0e15\u0e23\u0e2d\u0e21 (\u22643 \u00c5 RMS).<\/p>\n\n\n\n<p><strong>\u0e19\u0e31\u0e22\u0e2a\u0e33\u0e04\u0e31\u0e0d:<\/strong><br>\u0e25\u0e14\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e19\u0e40\u0e1b\u0e37\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e2d\u0e19\u0e38\u0e20\u0e32\u0e04\u0e43\u0e19\u0e2a\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e41\u0e27\u0e14\u0e25\u0e49\u0e2d\u0e21\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e30\u0e2d\u0e32\u0e14\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e1e\u0e34\u0e40\u0e28\u0e29.<\/p>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">2. \u0e42\u0e04\u0e23\u0e07\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e08\u0e38\u0e25\u0e20\u0e32\u0e04: \u0e02\u0e49\u0e2d\u0e44\u0e14\u0e49\u0e40\u0e1b\u0e23\u0e35\u0e22\u0e1a\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e21\u0e27\u0e25\u0e1c\u0e25\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e27\u0e34\u0e18\u0e35 CVD<\/h2>\n\n\n\n<p>CVD SiC \u0e16\u0e39\u0e01\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19\u0e1c\u0e48\u0e32\u0e19\u0e1b\u0e0f\u0e34\u0e01\u0e34\u0e23\u0e34\u0e22\u0e32\u0e43\u0e19\u0e2a\u0e16\u0e32\u0e19\u0e30\u0e01\u0e4a\u0e32\u0e0b \u0e2a\u0e48\u0e07\u0e1c\u0e25\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e40\u0e01\u0e34\u0e14\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e41\u0e02\u0e47\u0e07\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2b\u0e19\u0e32\u0e41\u0e19\u0e48\u0e19\u0e40\u0e15\u0e47\u0e21\u0e17\u0e35\u0e48\u0e41\u0e25\u0e30\u0e1b\u0e23\u0e32\u0e28\u0e08\u0e32\u0e01\u0e23\u0e39\u0e1e\u0e23\u0e38\u0e19.<\/p>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">\u0e25\u0e31\u0e01\u0e29\u0e13\u0e30\u0e42\u0e04\u0e23\u0e07\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e2b\u0e25\u0e31\u0e01:<\/h3>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e1a\u0e23\u0e34\u0e2a\u0e38\u0e17\u0e18\u0e34\u0e4c\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e16\u0e36\u0e07 ~99.999%<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2b\u0e19\u0e32\u0e41\u0e19\u0e48\u0e19\u0e43\u0e01\u0e25\u0e49\u0e17\u0e24\u0e29\u0e0e\u0e35<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e44\u0e21\u0e48\u0e21\u0e35\u0e40\u0e1f\u0e2a\u0e17\u0e38\u0e15\u0e34\u0e22\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34\u0e1a\u0e23\u0e34\u0e40\u0e27\u0e13\u0e02\u0e2d\u0e1a\u0e40\u0e21\u0e25\u0e47\u0e14<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e42\u0e04\u0e23\u0e07\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e1c\u0e25\u0e36\u0e01 \u03b2-SiC \u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e25\u0e39\u0e01\u0e1a\u0e32\u0e28\u0e01\u0e4c (\u0e1e\u0e24\u0e15\u0e34\u0e01\u0e23\u0e23\u0e21\u0e44\u0e2d\u0e42\u0e0b\u0e17\u0e23\u0e2d\u0e1b\u0e34\u0e01)<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p><strong>\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e33\u0e04\u0e31\u0e0d\u0e17\u0e32\u0e07\u0e27\u0e34\u0e17\u0e22\u0e32\u0e28\u0e32\u0e2a\u0e15\u0e23\u0e4c:<\/strong><\/p>\n\n\n\n<p>\u0e15\u0e48\u0e32\u0e07\u0e08\u0e32\u0e01\u0e40\u0e0b\u0e23\u0e32\u0e21\u0e34\u0e01\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e35\u0e10\u0e32\u0e19\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e1c\u0e07, CVD SiC \u0e44\u0e21\u0e48\u0e21\u0e35\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e1a\u0e01\u0e1e\u0e23\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e20\u0e32\u0e22\u0e43\u0e19\u0e40\u0e0a\u0e48\u0e19\u0e23\u0e39\u0e1e\u0e23\u0e38\u0e19\u0e2b\u0e23\u0e37\u0e2d\u0e2a\u0e32\u0e23\u0e22\u0e36\u0e14\u0e40\u0e01\u0e32\u0e30\u0e15\u0e01\u0e04\u0e49\u0e32\u0e07 \u0e0b\u0e36\u0e48\u0e07\u0e1e\u0e1a\u0e44\u0e14\u0e49\u0e17\u0e31\u0e48\u0e27\u0e44\u0e1b\u0e43\u0e19\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e17\u0e35\u0e48\u0e1c\u0e48\u0e32\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2d\u0e31\u0e14\u0e15\u0e31\u0e27. \u0e2a\u0e34\u0e48\u0e07\u0e19\u0e35\u0e49\u0e19\u0e33\u0e44\u0e1b\u0e2a\u0e39\u0e48:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e2a\u0e16\u0e35\u0e22\u0e23\u0e17\u0e32\u0e07\u0e40\u0e04\u0e21\u0e35\u0e17\u0e35\u0e48\u0e14\u0e35\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e25\u0e14\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e01\u0e34\u0e14\u0e2d\u0e19\u0e38\u0e20\u0e32\u0e04<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e17\u0e33\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e17\u0e33\u0e0b\u0e49\u0e33\u0e44\u0e14\u0e49\u0e14\u0e35\u0e22\u0e34\u0e48\u0e07\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">3. \u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e34\u0e17\u0e18\u0e34\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e43\u0e19\u0e2a\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e41\u0e27\u0e14\u0e25\u0e49\u0e2d\u0e21\u0e17\u0e35\u0e48\u0e23\u0e38\u0e19\u0e41\u0e23\u0e07<\/h2>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">3.1 \u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e2a\u0e16\u0e35\u0e22\u0e23\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34\u0e2a\u0e39\u0e07<\/h2>\n\n\n\n<p>\u0e2a\u0e48\u0e27\u0e19\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e01\u0e2d\u0e1a CVD SiC \u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e17\u0e33\u0e07\u0e32\u0e19\u0e43\u0e19\u0e2a\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e41\u0e27\u0e14\u0e25\u0e49\u0e2d\u0e21\u0e17\u0e35\u0e48\u0e40\u0e01\u0e34\u0e19\u0e01\u0e27\u0e48\u0e32 <strong>1500\u00b0C<\/strong>, \u0e23\u0e31\u0e01\u0e29\u0e32\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e21\u0e1a\u0e39\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e42\u0e04\u0e23\u0e07\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e41\u0e25\u0e30\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e34\u0e17\u0e18\u0e34\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e01\u0e32\u0e23\u0e17\u0e33\u0e07\u0e32\u0e19.<\/p>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">3.2 \u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e15\u0e49\u0e32\u0e19\u0e17\u0e32\u0e19\u0e17\u0e32\u0e07\u0e40\u0e04\u0e21\u0e35<\/h2>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0e17\u0e19\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e2a\u0e32\u0e23\u0e40\u0e04\u0e21\u0e35\u0e17\u0e35\u0e48\u0e23\u0e38\u0e19\u0e41\u0e23\u0e07<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e17\u0e33\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e30\u0e2d\u0e32\u0e14\u0e44\u0e14\u0e49\u0e42\u0e14\u0e22\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e01\u0e23\u0e14\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e02\u0e49\u0e21\u0e02\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07 \u0e40\u0e0a\u0e48\u0e19 HF \u0e41\u0e25\u0e30 HCl \u0e42\u0e14\u0e22\u0e21\u0e35\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e2a\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e21\u0e2a\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e19\u0e49\u0e2d\u0e22\u0e21\u0e32\u0e01<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p><strong>\u0e19\u0e31\u0e22\u0e2a\u0e33\u0e04\u0e31\u0e0d:<\/strong><br>\u0e40\u0e2b\u0e21\u0e32\u0e30\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e07\u0e32\u0e19\u0e0b\u0e49\u0e33\u0e43\u0e19\u0e2a\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e41\u0e27\u0e14\u0e25\u0e49\u0e2d\u0e21\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e35\u0e2a\u0e32\u0e23\u0e40\u0e04\u0e21\u0e35\u0e23\u0e38\u0e19\u0e41\u0e23\u0e07.<\/p>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">3.3 \u0e01\u0e32\u0e23\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e2d\u0e19\u0e38\u0e20\u0e32\u0e04\u0e15\u0e48\u0e33<\/h2>\n\n\n\n<p>\u0e40\u0e19\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e08\u0e32\u0e01\u0e44\u0e21\u0e48\u0e21\u0e35\u0e40\u0e1f\u0e2a\u0e1a\u0e23\u0e34\u0e40\u0e27\u0e13\u0e02\u0e2d\u0e1a\u0e40\u0e21\u0e25\u0e47\u0e14:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0e40\u0e01\u0e34\u0e14\u0e2d\u0e19\u0e38\u0e20\u0e32\u0e04\u0e43\u0e19\u0e1b\u0e23\u0e34\u0e21\u0e32\u0e13\u0e19\u0e49\u0e2d\u0e22\u0e25\u0e07\u0e23\u0e30\u0e2b\u0e27\u0e48\u0e32\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e17\u0e33\u0e07\u0e32\u0e19<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e2a\u0e35\u0e48\u0e22\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e19\u0e40\u0e1b\u0e37\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e15\u0e48\u0e33\u0e43\u0e19\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e17\u0e35\u0e48\u0e44\u0e27\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e19\u0e40\u0e1b\u0e37\u0e49\u0e2d\u0e19<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">4. \u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e22\u0e38\u0e01\u0e15\u0e4c\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e43\u0e19\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e2a\u0e32\u0e23\u0e01\u0e36\u0e48\u0e07\u0e15\u0e31\u0e27\u0e19\u0e33<\/h2>\n\n\n\n<p>CVD SiC \u0e16\u0e39\u0e01\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e41\u0e1e\u0e23\u0e48\u0e2b\u0e25\u0e32\u0e22\u0e43\u0e19\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c \u0e23\u0e27\u0e21\u0e16\u0e36\u0e07:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0e27\u0e07\u0e41\u0e2b\u0e27\u0e19\u0e41\u0e25\u0e30\u0e41\u0e17\u0e48\u0e19\u0e23\u0e2d\u0e07\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e21\u0e27\u0e25\u0e1c\u0e25\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e23\u0e27\u0e14\u0e40\u0e23\u0e47\u0e27 (RTP)<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e2a\u0e48\u0e27\u0e19\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e01\u0e2d\u0e1a\u0e40\u0e2d\u0e1e\u0e34\u0e41\u0e17\u0e01\u0e0b\u0e35 (Epi)<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e0a\u0e34\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e48\u0e27\u0e19\u0e2b\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e41\u0e01\u0e30\u0e2a\u0e25\u0e31\u0e01\u0e1e\u0e25\u0e32\u0e2a\u0e21\u0e32<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">\u0e40\u0e2b\u0e15\u0e38\u0e1c\u0e25\u0e17\u0e35\u0e48\u0e44\u0e14\u0e49\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e19\u0e34\u0e22\u0e21:<\/h3>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e01\u0e33\u0e2b\u0e19\u0e14\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e1a\u0e23\u0e34\u0e2a\u0e38\u0e17\u0e18\u0e34\u0e4c\u0e2a\u0e39\u0e07 (&gt;99.999%)<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e07\u0e32\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34\u0e2a\u0e39\u0e07 (&gt;1500\u00b0C)<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e17\u0e19\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e31\u0e14\u0e01\u0e23\u0e48\u0e2d\u0e19\u0e08\u0e32\u0e01\u0e1e\u0e25\u0e32\u0e2a\u0e21\u0e32\u0e41\u0e25\u0e30\u0e2a\u0e32\u0e23\u0e40\u0e04\u0e21\u0e35\u0e44\u0e14\u0e49\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e14\u0e35\u0e40\u0e22\u0e35\u0e48\u0e22\u0e21<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p>\u0e19\u0e2d\u0e01\u0e08\u0e32\u0e01\u0e19\u0e35\u0e49 \u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e35 <strong>\u0e04\u0e48\u0e32\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e15\u0e49\u0e32\u0e19\u0e17\u0e32\u0e19\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e04\u0e27\u0e1a\u0e04\u0e38\u0e21<\/strong> \u0e43\u0e0a\u0e49\u0e43\u0e19\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e17\u0e35\u0e48\u0e40\u0e0a\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e21\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e04\u0e25\u0e37\u0e48\u0e19\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e16\u0e35\u0e48\u0e27\u0e34\u0e17\u0e22\u0e38 \u0e17\u0e33\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e07\u0e32\u0e19\u0e23\u0e48\u0e27\u0e21\u0e01\u0e31\u0e1a\u0e2a\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e41\u0e27\u0e14\u0e25\u0e49\u0e2d\u0e21\u0e17\u0e32\u0e07\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32\u0e17\u0e35\u0e48\u0e41\u0e15\u0e01\u0e15\u0e48\u0e32\u0e07\u0e01\u0e31\u0e19\u0e44\u0e14\u0e49.<\/p>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">5. \u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e1b\u0e23\u0e35\u0e22\u0e1a\u0e40\u0e17\u0e35\u0e22\u0e1a\u0e01\u0e31\u0e1a\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e04\u0e32\u0e23\u0e4c\u0e44\u0e1a\u0e14\u0e4c\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e40\u0e1c\u0e32<\/h2>\n\n\n\n<p>\u0e43\u0e19\u0e02\u0e13\u0e30\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e48\u0e27\u0e19\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e01\u0e2d\u0e1a SiC \u0e2b\u0e25\u0e32\u0e22\u0e0a\u0e19\u0e34\u0e14\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19\u0e42\u0e14\u0e22\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e1c\u0e32\u0e1c\u0e19\u0e36\u0e01\u0e2b\u0e23\u0e37\u0e2d\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2d\u0e31\u0e14\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19 \u0e27\u0e34\u0e18\u0e35\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e2b\u0e25\u0e48\u0e32\u0e19\u0e35\u0e49\u0e17\u0e33\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e40\u0e01\u0e34\u0e14:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0e02\u0e2d\u0e1a\u0e40\u0e02\u0e15\u0e40\u0e21\u0e25\u0e47\u0e14<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e40\u0e1f\u0e2a\u0e04\u0e07\u0e40\u0e2b\u0e25\u0e37\u0e2d<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e1e\u0e23\u0e38\u0e19<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p>\u0e25\u0e31\u0e01\u0e29\u0e13\u0e30\u0e42\u0e04\u0e23\u0e07\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e40\u0e2b\u0e25\u0e48\u0e32\u0e19\u0e35\u0e49\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0e25\u0e14\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e15\u0e49\u0e32\u0e19\u0e17\u0e32\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e01\u0e34\u0e14\u0e2d\u0e2d\u0e01\u0e0b\u0e34\u0e40\u0e14\u0e0a\u0e31\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34\u0e2a\u0e39\u0e07<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e40\u0e1e\u0e34\u0e48\u0e21\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e2d\u0e19\u0e38\u0e20\u0e32\u0e04<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e08\u0e33\u0e01\u0e31\u0e14\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e34\u0e17\u0e18\u0e34\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e43\u0e19\u0e2a\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e41\u0e27\u0e14\u0e25\u0e49\u0e2d\u0e21\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e30\u0e2d\u0e32\u0e14\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e1e\u0e34\u0e40\u0e28\u0e29<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p><strong>\u0e2a\u0e23\u0e38\u0e1b:<\/strong><br>CVD SiC \u0e42\u0e14\u0e22\u0e17\u0e31\u0e48\u0e27\u0e44\u0e1b\u0e40\u0e2b\u0e21\u0e32\u0e30\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e07\u0e32\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e15\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e1a\u0e23\u0e34\u0e2a\u0e38\u0e17\u0e18\u0e34\u0e4c\u0e2a\u0e39\u0e07 \u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34\u0e2a\u0e39\u0e07 \u0e41\u0e25\u0e30\u0e44\u0e27\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e19\u0e40\u0e1b\u0e37\u0e49\u0e2d\u0e19 \u0e43\u0e19\u0e02\u0e13\u0e30\u0e17\u0e35\u0e48 SiC \u0e17\u0e35\u0e48\u0e1c\u0e48\u0e32\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e1c\u0e32\u0e08\u0e30\u0e22\u0e31\u0e07\u0e04\u0e07\u0e21\u0e35\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e34\u0e17\u0e18\u0e34\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e07\u0e32\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e15\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e42\u0e04\u0e23\u0e07\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e41\u0e25\u0e30\u0e04\u0e33\u0e19\u0e36\u0e07\u0e16\u0e36\u0e07\u0e15\u0e49\u0e19\u0e17\u0e38\u0e19.<\/p>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">6. \u0e2a\u0e23\u0e38\u0e1b<\/h2>\n\n\n\n<p>CVD \u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e04\u0e32\u0e23\u0e4c\u0e44\u0e1a\u0e14\u0e4c \u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e40\u0e0b\u0e23\u0e32\u0e21\u0e34\u0e01\u0e17\u0e35\u0e48\u0e40\u0e01\u0e37\u0e2d\u0e1a\u0e08\u0e30\u0e2a\u0e21\u0e1a\u0e39\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e43\u0e19\u0e41\u0e07\u0e48\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e1a\u0e23\u0e34\u0e2a\u0e38\u0e17\u0e18\u0e34\u0e4c \u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2b\u0e19\u0e32\u0e41\u0e19\u0e48\u0e19 \u0e41\u0e25\u0e30\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e21\u0e48\u0e33\u0e40\u0e2a\u0e21\u0e2d\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e34\u0e17\u0e18\u0e34\u0e20\u0e32\u0e1e \u0e02\u0e49\u0e2d\u0e44\u0e14\u0e49\u0e40\u0e1b\u0e23\u0e35\u0e22\u0e1a\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e21\u0e31\u0e19\u0e21\u0e32\u0e08\u0e32\u0e01\u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e35\u0e1e\u0e37\u0e49\u0e19\u0e10\u0e32\u0e19\u0e08\u0e32\u0e01\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2a\u0e30\u0e2a\u0e21\u0e0b\u0e36\u0e48\u0e07\u0e17\u0e33\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e01\u0e33\u0e08\u0e31\u0e14\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e08\u0e33\u0e01\u0e31\u0e14\u0e17\u0e32\u0e07\u0e42\u0e04\u0e23\u0e07\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e2b\u0e25\u0e32\u0e22\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e17\u0e35\u0e48\u0e1e\u0e1a\u0e43\u0e19\u0e40\u0e0b\u0e23\u0e32\u0e21\u0e34\u0e01\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e14\u0e31\u0e49\u0e07\u0e40\u0e14\u0e34\u0e21\u0e44\u0e14\u0e49.<\/p>\n\n\n\n<p>\u0e40\u0e19\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e08\u0e32\u0e01\u0e40\u0e17\u0e04\u0e42\u0e19\u0e42\u0e25\u0e22\u0e35\u0e02\u0e31\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e22\u0e31\u0e07\u0e04\u0e07\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e15\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e30\u0e2d\u0e32\u0e14\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e2a\u0e16\u0e35\u0e22\u0e23\u0e17\u0e32\u0e07\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e32\u0e01\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e19\u0e48\u0e32\u0e40\u0e0a\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e16\u0e37\u0e2d\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e17\u0e35\u0e48\u0e14\u0e35\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p>\u0e04\u0e32\u0e14\u0e27\u0e48\u0e32 CVD SiC 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Among its various forms, CVD Silicon Carbide (CVD SiC)\u2014produced via Chemical Vapor Deposition\u2014is often regarded as one of the most advanced ceramic materials due to its exceptional purity, density, and structural uniformity. 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