{"id":2286,"date":"2026-04-20T01:28:55","date_gmt":"2026-04-20T01:28:55","guid":{"rendered":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/?p=2286"},"modified":"2026-04-20T01:50:00","modified_gmt":"2026-04-20T01:50:00","slug":"sic-semiconductor-equipment-and-materials","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/th\/sic-semiconductor-equipment-and-materials\/","title":{"rendered":"\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e41\u0e25\u0e30\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e04\u0e32\u0e23\u0e4c\u0e44\u0e1a\u0e14\u0e4c (SiC)"},"content":{"rendered":"<p>\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e04\u0e32\u0e23\u0e4c\u0e44\u0e1a\u0e14\u0e4c (SiC) 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\u0e1a\u0e17\u0e1a\u0e32\u0e17\u0e40\u0e0a\u0e34\u0e07\u0e01\u0e25\u0e22\u0e38\u0e17\u0e18\u0e4c\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e04\u0e32\u0e23\u0e4c\u0e44\u0e1a\u0e14\u0e4c<\/h2>\n\n\n\n<p>\u0e43\u0e19\u0e40\u0e17\u0e04\u0e42\u0e19\u0e42\u0e25\u0e22\u0e35\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e2a\u0e21\u0e31\u0e22\u0e43\u0e2b\u0e21\u0e48 \u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e35\u0e0a\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e27\u0e48\u0e32\u0e07\u0e1e\u0e25\u0e31\u0e07\u0e07\u0e32\u0e19\u0e01\u0e27\u0e49\u0e32\u0e07\u0e01\u0e33\u0e25\u0e31\u0e07\u0e01\u0e33\u0e2b\u0e19\u0e14\u0e02\u0e35\u0e14\u0e08\u0e33\u0e01\u0e31\u0e14\u0e43\u0e2b\u0e21\u0e48\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e34\u0e17\u0e18\u0e34\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c \u0e43\u0e19\u0e1a\u0e23\u0e23\u0e14\u0e32\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e40\u0e2b\u0e25\u0e48\u0e32\u0e19\u0e35\u0e49 SiC \u0e42\u0e14\u0e14\u0e40\u0e14\u0e48\u0e19\u0e40\u0e19\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e08\u0e32\u0e01\u0e04\u0e38\u0e13\u0e2a\u0e21\u0e1a\u0e31\u0e15\u0e34\u0e17\u0e32\u0e07\u0e01\u0e32\u0e22\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e41\u0e25\u0e30\u0e2d\u0e34\u0e40\u0e25\u0e47\u0e01\u0e17\u0e23\u0e2d\u0e19\u0e34\u0e01\u0e2a\u0e4c\u0e17\u0e35\u0e48\u0e40\u0e2b\u0e19\u0e37\u0e2d\u0e01\u0e27\u0e48\u0e32 \u0e0b\u0e36\u0e48\u0e07\u0e23\u0e27\u0e21\u0e16\u0e36\u0e07:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0e0a\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e27\u0e48\u0e32\u0e07\u0e1e\u0e25\u0e31\u0e07\u0e07\u0e32\u0e19\u0e01\u0e27\u0e49\u0e32\u0e07 (~3.26 eV)<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e2a\u0e19\u0e32\u0e21\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32\u0e27\u0e34\u0e01\u0e24\u0e15\u0e2a\u0e39\u0e07 (~10 \u0e40\u0e17\u0e48\u0e32\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19)<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e19\u0e33\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e22\u0e2d\u0e14\u0e40\u0e22\u0e35\u0e48\u0e22\u0e21 (~3 \u0e40\u0e17\u0e48\u0e32\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19)<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e17\u0e19\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e23\u0e31\u0e07\u0e2a\u0e35\u0e41\u0e25\u0e30\u0e2a\u0e32\u0e23\u0e40\u0e04\u0e21\u0e35\u0e44\u0e14\u0e49\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e14\u0e35\u0e40\u0e22\u0e35\u0e48\u0e22\u0e21<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p>\u0e25\u0e31\u0e01\u0e29\u0e13\u0e30\u0e40\u0e2b\u0e25\u0e48\u0e32\u0e19\u0e35\u0e49\u0e17\u0e33\u0e43\u0e2b\u0e49 SiC \u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e2a\u0e34\u0e48\u0e07\u0e08\u0e33\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e43\u0e19\u0e41\u0e2d\u0e1b\u0e1e\u0e25\u0e34\u0e40\u0e04\u0e0a\u0e31\u0e19\u0e15\u0e48\u0e32\u0e07\u0e46 \u0e40\u0e0a\u0e48\u0e19 \u0e22\u0e32\u0e19\u0e22\u0e19\u0e15\u0e4c\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32 \u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e1e\u0e25\u0e31\u0e07\u0e07\u0e32\u0e19\u0e2b\u0e21\u0e38\u0e19\u0e40\u0e27\u0e35\u0e22\u0e19 \u0e28\u0e39\u0e19\u0e22\u0e4c\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e21\u0e39\u0e25 \u0e41\u0e25\u0e30\u0e40\u0e17\u0e04\u0e42\u0e19\u0e42\u0e25\u0e22\u0e35\u0e2d\u0e2d\u0e1b\u0e15\u0e34\u0e04\u0e31\u0e25\u0e17\u0e35\u0e48\u0e01\u0e33\u0e25\u0e31\u0e07\u0e40\u0e01\u0e34\u0e14\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19\u0e43\u0e2b\u0e21\u0e48.<\/p>\n\n\n\n<p>\u0e2a\u0e2d\u0e07\u0e41\u0e19\u0e27\u0e42\u0e19\u0e49\u0e21\u0e2b\u0e25\u0e31\u0e01\u0e17\u0e35\u0e48\u0e01\u0e33\u0e2b\u0e19\u0e14\u0e27\u0e34\u0e27\u0e31\u0e12\u0e19\u0e32\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e31\u0e08\u0e08\u0e38\u0e1a\u0e31\u0e19\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e2d\u0e38\u0e15\u0e2a\u0e32\u0e2b\u0e01\u0e23\u0e23\u0e21 SiC:<\/p>\n\n\n\n<ol class=\"wp-block-list\">\n<li><strong>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e02\u0e22\u0e32\u0e22\u0e02\u0e19\u0e32\u0e14\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c (6 \u0e19\u0e34\u0e49\u0e27 \u2192 8 \u0e19\u0e34\u0e49\u0e27 \u2192 12 \u0e19\u0e34\u0e49\u0e27 \u2192 14 \u0e19\u0e34\u0e49\u0e27)<\/strong><\/li>\n\n\n\n<li><strong>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e1b\u0e25\u0e35\u0e48\u0e22\u0e19\u0e1c\u0e48\u0e32\u0e19\u0e08\u0e32\u0e01\u0e19\u0e27\u0e31\u0e15\u0e01\u0e23\u0e23\u0e21\u0e17\u0e35\u0e48\u0e01\u0e23\u0e30\u0e08\u0e31\u0e14\u0e01\u0e23\u0e30\u0e08\u0e32\u0e22\u0e44\u0e1b\u0e2a\u0e39\u0e48\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1a\u0e39\u0e23\u0e13\u0e32\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2b\u0e48\u0e27\u0e07\u0e42\u0e0b\u0e48\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e17\u0e32\u0e19\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e2a\u0e21\u0e1a\u0e39\u0e23\u0e13\u0e4c<\/strong><\/li>\n<\/ol>\n\n\n\n<p>\u0e20\u0e32\u0e22\u0e43\u0e19\u0e1b\u0e35 2026 \u0e2d\u0e38\u0e15\u0e2a\u0e32\u0e2b\u0e01\u0e23\u0e23\u0e21\u0e01\u0e33\u0e25\u0e31\u0e07\u0e40\u0e02\u0e49\u0e32\u0e2a\u0e39\u0e48\u0e23\u0e30\u0e22\u0e30\u0e27\u0e34\u0e01\u0e24\u0e15\u0e17\u0e35\u0e48\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e33\u0e40\u0e23\u0e47\u0e08\u0e43\u0e19\u0e23\u0e30\u0e14\u0e31\u0e1a\u0e2b\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e1b\u0e0f\u0e34\u0e1a\u0e31\u0e15\u0e34\u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e33\u0e25\u0e31\u0e07\u0e16\u0e39\u0e01\u0e19\u0e33\u0e44\u0e1b\u0e2a\u0e39\u0e48\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e43\u0e19\u0e1b\u0e23\u0e34\u0e21\u0e32\u0e13\u0e21\u0e32\u0e01.<\/p>\n\n\n\n<figure class=\"wp-block-image aligncenter size-full\"><img fetchpriority=\"high\" decoding=\"async\" width=\"540\" height=\"496\" src=\"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/Wafer-size-expansion.webp\" alt=\"\" class=\"wp-image-2287\" srcset=\"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/Wafer-size-expansion.webp 540w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/Wafer-size-expansion-300x276.webp 300w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/Wafer-size-expansion-13x12.webp 13w\" sizes=\"(max-width: 540px) 100vw, 540px\" \/><\/figure>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">2. \u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e15\u0e34\u0e1a\u0e42\u0e15\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e04\u0e23\u0e34\u0e2a\u0e15\u0e31\u0e25: \u0e23\u0e32\u0e01\u0e10\u0e32\u0e19\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e2b\u0e48\u0e27\u0e07\u0e42\u0e0b\u0e48\u0e04\u0e38\u0e13\u0e04\u0e48\u0e32\u0e02\u0e2d\u0e07 SiC<\/h2>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">2.1 \u0e01\u0e32\u0e23\u0e02\u0e19\u0e2a\u0e48\u0e07\u0e44\u0e2d\u0e17\u0e32\u0e07\u0e01\u0e32\u0e22\u0e20\u0e32\u0e1e (PVT) \u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e40\u0e17\u0e04\u0e42\u0e19\u0e42\u0e25\u0e22\u0e35\u0e2b\u0e25\u0e31\u0e01<\/h3>\n\n\n\n<p>\u0e27\u0e34\u0e18\u0e35\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2b\u0e25\u0e31\u0e01\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e15\u0e34\u0e1a\u0e42\u0e15\u0e1c\u0e25\u0e36\u0e01\u0e40\u0e14\u0e35\u0e48\u0e22\u0e27\u0e02\u0e2d\u0e07 SiC \u0e04\u0e37\u0e2d\u0e01\u0e32\u0e23\u0e02\u0e19\u0e2a\u0e48\u0e07\u0e44\u0e2d\u0e17\u0e32\u0e07\u0e01\u0e32\u0e22\u0e20\u0e32\u0e1e (Physical Vapor Transport) \u0e0b\u0e36\u0e48\u0e07\u0e41\u0e15\u0e01\u0e15\u0e48\u0e32\u0e07\u0e08\u0e32\u0e01\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19 SiC \u0e44\u0e21\u0e48\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e40\u0e15\u0e34\u0e1a\u0e42\u0e15\u0e08\u0e32\u0e01\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e40\u0e2b\u0e25\u0e27\u0e2b\u0e25\u0e2d\u0e21\u0e40\u0e2b\u0e25\u0e27\u0e44\u0e14\u0e49\u0e40\u0e19\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e08\u0e32\u0e01\u0e21\u0e35\u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34\u0e01\u0e32\u0e23\u0e23\u0e30\u0e40\u0e2b\u0e34\u0e14\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e21\u0e32\u0e01 \u0e41\u0e17\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e08\u0e30\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e40\u0e0a\u0e48\u0e19\u0e19\u0e31\u0e49\u0e19 \u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e41\u0e2b\u0e25\u0e48\u0e07\u0e01\u0e33\u0e40\u0e19\u0e34\u0e14 SiC \u0e17\u0e35\u0e48\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e41\u0e02\u0e47\u0e07\u0e08\u0e30\u0e23\u0e30\u0e40\u0e2b\u0e34\u0e14\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e41\u0e25\u0e30\u0e15\u0e01\u0e1c\u0e25\u0e36\u0e01\u0e43\u0e2b\u0e21\u0e48\u0e1a\u0e19\u0e1c\u0e25\u0e36\u0e01\u0e40\u0e21\u0e25\u0e47\u0e14.<\/p>\n\n\n\n<p>\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e17\u0e49\u0e32\u0e17\u0e32\u0e22\u0e17\u0e32\u0e07\u0e40\u0e17\u0e04\u0e19\u0e34\u0e04\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e33\u0e04\u0e31\u0e0d\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e02\u0e22\u0e32\u0e22\u0e02\u0e19\u0e32\u0e14\u0e1c\u0e25\u0e36\u0e01\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19 12 \u0e19\u0e34\u0e49\u0e27 \u0e44\u0e14\u0e49\u0e41\u0e01\u0e48:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e23\u0e31\u0e01\u0e29\u0e32\u0e40\u0e2a\u0e16\u0e35\u0e22\u0e23\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e17\u0e32\u0e07\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e40\u0e2b\u0e19\u0e37\u0e2d 2000\u00b0C<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e04\u0e27\u0e1a\u0e04\u0e38\u0e21\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e15\u0e01\u0e15\u0e48\u0e32\u0e07\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34\u0e17\u0e35\u0e48\u0e1c\u0e48\u0e32\u0e19\u0e40\u0e2a\u0e49\u0e19\u0e1c\u0e48\u0e32\u0e19\u0e28\u0e39\u0e19\u0e22\u0e4c\u0e01\u0e25\u0e32\u0e07\u0e02\u0e19\u0e32\u0e14\u0e43\u0e2b\u0e0d\u0e48<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e01\u0e31\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e02\u0e19\u0e2a\u0e48\u0e07\u0e44\u0e2d\u0e23\u0e30\u0e40\u0e2b\u0e22\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e2a\u0e21\u0e48\u0e33\u0e40\u0e2a\u0e21\u0e2d<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1a\u0e23\u0e23\u0e25\u0e38\u0e40\u0e2a\u0e16\u0e35\u0e22\u0e23\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e19\u0e23\u0e30\u0e22\u0e30\u0e22\u0e32\u0e27<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e1b\u0e25\u0e35\u0e48\u0e22\u0e19\u0e1c\u0e48\u0e32\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e1a\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e33\u0e40\u0e23\u0e47\u0e08\u0e2a\u0e39\u0e48\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e15\u0e34\u0e1a\u0e42\u0e15\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e1c\u0e25\u0e36\u0e01\u0e02\u0e19\u0e32\u0e14 12 \u0e19\u0e34\u0e49\u0e27 \u0e16\u0e37\u0e2d\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e08\u0e38\u0e14\u0e40\u0e1b\u0e25\u0e35\u0e48\u0e22\u0e19\u0e2a\u0e33\u0e04\u0e31\u0e0d\u0e2a\u0e39\u0e48\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e43\u0e19\u0e23\u0e30\u0e14\u0e31\u0e1a\u0e2d\u0e38\u0e15\u0e2a\u0e32\u0e2b\u0e01\u0e23\u0e23\u0e21\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e40\u0e17\u0e35\u0e22\u0e1a\u0e40\u0e04\u0e35\u0e22\u0e07\u0e01\u0e31\u0e1a\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e19\u0e34\u0e40\u0e27\u0e28\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e44\u0e14\u0e49.<\/p>\n\n\n\n<figure class=\"wp-block-image aligncenter size-full\"><img decoding=\"async\" width=\"750\" height=\"648\" src=\"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/sic_crystal_growth_furnace_pvt_lpe_ht_cvd_high_quality_sic_single_crystal_growth_method2.webp\" alt=\"\" class=\"wp-image-2288\" 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\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e15\u0e34\u0e1a\u0e42\u0e15\u0e43\u0e19\u0e40\u0e1f\u0e2a\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e40\u0e2b\u0e25\u0e27<\/h3>\n\n\n\n<p>\u0e19\u0e2d\u0e01\u0e40\u0e2b\u0e19\u0e37\u0e2d\u0e08\u0e32\u0e01 PVT \u0e41\u0e25\u0e49\u0e27 \u0e40\u0e17\u0e04\u0e19\u0e34\u0e04\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e15\u0e34\u0e1a\u0e42\u0e15\u0e43\u0e19\u0e40\u0e1f\u0e2a\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e40\u0e2b\u0e25\u0e27 \u0e40\u0e0a\u0e48\u0e19 \u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e15\u0e34\u0e1a\u0e42\u0e15\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e40\u0e2d\u0e1e\u0e34\u0e41\u0e17\u0e01\u0e0b\u0e35\u0e43\u0e19\u0e40\u0e1f\u0e2a\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e40\u0e2b\u0e25\u0e27 (Liquid Phase Epitaxy) \u0e41\u0e25\u0e30\u0e40\u0e17\u0e04\u0e19\u0e34\u0e04\u0e17\u0e35\u0e48\u0e40\u0e01\u0e35\u0e48\u0e22\u0e27\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e07 \u0e01\u0e33\u0e25\u0e31\u0e07\u0e44\u0e14\u0e49\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e19\u0e43\u0e08\u0e40\u0e1e\u0e34\u0e48\u0e21\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19 \u0e27\u0e34\u0e18\u0e35\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e2b\u0e25\u0e48\u0e32\u0e19\u0e35\u0e49\u0e21\u0e35\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e14\u0e35\u0e14\u0e31\u0e07\u0e19\u0e35\u0e49:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2b\u0e19\u0e32\u0e41\u0e19\u0e48\u0e19\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e1a\u0e01\u0e1e\u0e23\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e17\u0e35\u0e48\u0e25\u0e14\u0e25\u0e07<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e04\u0e27\u0e1a\u0e04\u0e38\u0e21\u0e01\u0e32\u0e23\u0e41\u0e17\u0e23\u0e01\u0e15\u0e31\u0e27\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e42\u0e14\u0e1b\u0e32\u0e19\u0e15\u0e4c\u0e17\u0e35\u0e48\u0e14\u0e35\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e44\u0e14\u0e49\u0e40\u0e1b\u0e23\u0e35\u0e22\u0e1a\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e15\u0e34\u0e1a\u0e42\u0e15\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e0a\u0e19\u0e34\u0e14 p<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p>\u0e41\u0e21\u0e49\u0e27\u0e48\u0e32\u0e08\u0e30\u0e22\u0e31\u0e07\u0e2d\u0e22\u0e39\u0e48\u0e43\u0e19\u0e23\u0e30\u0e2b\u0e27\u0e48\u0e32\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1e\u0e31\u0e12\u0e19\u0e32 \u0e27\u0e34\u0e18\u0e35\u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e19\u0e2a\u0e16\u0e32\u0e19\u0e30\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e40\u0e2b\u0e25\u0e27\u0e2d\u0e32\u0e08\u0e0a\u0e48\u0e27\u0e22\u0e40\u0e2a\u0e23\u0e34\u0e21 PVT \u0e43\u0e19\u0e41\u0e2d\u0e1b\u0e1e\u0e25\u0e34\u0e40\u0e04\u0e0a\u0e31\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e35\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e34\u0e17\u0e18\u0e34\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e41\u0e25\u0e30\u0e40\u0e09\u0e1e\u0e32\u0e30\u0e17\u0e32\u0e07.<\/p>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">2.3 \u0e27\u0e34\u0e28\u0e27\u0e01\u0e23\u0e23\u0e21\u0e2a\u0e19\u0e32\u0e21\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e04\u0e27\u0e1a\u0e04\u0e38\u0e21\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e1a\u0e01\u0e1e\u0e23\u0e48\u0e2d\u0e07<\/h3>\n\n\n\n<p>\u0e04\u0e38\u0e13\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e1c\u0e25\u0e36\u0e01 SiC \u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e44\u0e27\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e23\u0e30\u0e08\u0e32\u0e22\u0e15\u0e31\u0e27\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e2a\u0e19\u0e32\u0e21\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19 \u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e02\u0e31\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e43\u0e19\u0e1b\u0e31\u0e08\u0e08\u0e38\u0e1a\u0e31\u0e19\u0e44\u0e14\u0e49\u0e23\u0e27\u0e21\u0e40\u0e2d\u0e32:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e33\u0e2b\u0e19\u0e14\u0e04\u0e48\u0e32\u0e01\u0e32\u0e23\u0e17\u0e33\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e2b\u0e25\u0e32\u0e22\u0e42\u0e0b\u0e19<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e04\u0e27\u0e1a\u0e04\u0e38\u0e21\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e01\u0e25\u0e31\u0e1a\u0e17\u0e32\u0e07\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e40\u0e23\u0e35\u0e22\u0e25\u0e44\u0e17\u0e21\u0e4c<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e08\u0e33\u0e25\u0e2d\u0e07\u0e40\u0e0a\u0e34\u0e07\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19-\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e44\u0e2b\u0e25\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e1c\u0e2a\u0e21\u0e1c\u0e2a\u0e32\u0e19<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p>\u0e19\u0e27\u0e31\u0e15\u0e01\u0e23\u0e23\u0e21\u0e40\u0e2b\u0e25\u0e48\u0e32\u0e19\u0e35\u0e49\u0e0a\u0e48\u0e27\u0e22\u0e25\u0e14\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e1a\u0e01\u0e1e\u0e23\u0e48\u0e2d\u0e07 \u0e40\u0e0a\u0e48\u0e19 \u0e44\u0e21\u0e42\u0e04\u0e23\u0e44\u0e1b\u0e1b\u0e4c\u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e04\u0e25\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e2d\u0e30\u0e15\u0e2d\u0e21\u0e44\u0e14\u0e49\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e21\u0e35\u0e19\u0e31\u0e22\u0e2a\u0e33\u0e04\u0e31\u0e0d \u0e0b\u0e36\u0e48\u0e07\u0e2a\u0e48\u0e07\u0e1c\u0e25\u0e42\u0e14\u0e22\u0e15\u0e23\u0e07\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e2d\u0e31\u0e15\u0e23\u0e32\u0e1c\u0e25\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e41\u0e25\u0e30\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e19\u0e48\u0e32\u0e40\u0e0a\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e16\u0e37\u0e2d\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c.<\/p>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">3. \u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e21\u0e27\u0e25\u0e1c\u0e25\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c: \u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e41\u0e02\u0e47\u0e07\u0e41\u0e25\u0e30\u0e40\u0e1b\u0e23\u0e32\u0e30<\/h2>\n\n\n\n<p>SiC \u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e2b\u0e19\u0e36\u0e48\u0e07\u0e43\u0e19\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e17\u0e35\u0e48\u0e41\u0e02\u0e47\u0e07\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e38\u0e14 \u0e42\u0e14\u0e22\u0e21\u0e35\u0e04\u0e48\u0e32\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e02\u0e47\u0e07\u0e15\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e40\u0e01\u0e25\u0e42\u0e21\u0e2b\u0e4c\u0e2a\u0e43\u0e01\u0e25\u0e49\u0e40\u0e04\u0e35\u0e22\u0e07\u0e01\u0e31\u0e1a 9 \u0e0b\u0e36\u0e48\u0e07\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e17\u0e49\u0e32\u0e17\u0e32\u0e22\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e21\u0e32\u0e01\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c.<\/p>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">3.1 \u0e40\u0e17\u0e04\u0e42\u0e19\u0e42\u0e25\u0e22\u0e35\u0e01\u0e32\u0e23\u0e17\u0e33\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e1a\u0e32\u0e07: \u0e01\u0e32\u0e23\u0e1a\u0e23\u0e23\u0e25\u0e38\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e21\u0e48\u0e33\u0e40\u0e2a\u0e21\u0e2d\u0e23\u0e30\u0e14\u0e31\u0e1a\u0e15\u0e48\u0e33\u0e01\u0e27\u0e48\u0e32\u0e44\u0e21\u0e04\u0e23\u0e2d\u0e19<\/h3>\n\n\n\n<p>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e17\u0e33\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e1a\u0e32\u0e07\u0e25\u0e07\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e2a\u0e34\u0e48\u0e07\u0e2a\u0e33\u0e04\u0e31\u0e0d\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e08\u0e31\u0e14\u0e01\u0e32\u0e23\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19 \u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e01\u0e49\u0e32\u0e27\u0e2b\u0e19\u0e49\u0e32\u0e2b\u0e25\u0e31\u0e01\u0e44\u0e14\u0e49\u0e41\u0e01\u0e48:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e04\u0e27\u0e1a\u0e04\u0e38\u0e21\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e1b\u0e23\u0e1c\u0e31\u0e19\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2b\u0e19\u0e32\u0e20\u0e32\u0e22\u0e43\u0e19 1 \u0e44\u0e21\u0e42\u0e04\u0e23\u0e40\u0e21\u0e15\u0e23<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e2a\u0e1b\u0e34\u0e19\u0e40\u0e14\u0e34\u0e25\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e41\u0e1a\u0e23\u0e34\u0e48\u0e07\u0e2d\u0e32\u0e01\u0e32\u0e28\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e1e\u0e34\u0e40\u0e28\u0e29<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e08\u0e31\u0e14\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e2a\u0e39\u0e0d\u0e0d\u0e32\u0e01\u0e32\u0e28\u0e2b\u0e23\u0e37\u0e2d\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e08\u0e31\u0e14\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32\u0e2a\u0e16\u0e34\u0e15<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e2a\u0e32\u0e19\u0e23\u0e27\u0e21\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1a\u0e32\u0e07\u0e25\u0e07\u0e01\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e41\u0e22\u0e01\u0e0a\u0e31\u0e49\u0e19\u0e42\u0e14\u0e22\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e40\u0e25\u0e40\u0e0b\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e0a\u0e48\u0e27\u0e22\u0e25\u0e14\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2a\u0e39\u0e0d\u0e40\u0e2a\u0e35\u0e22\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e44\u0e14\u0e49\u0e16\u0e36\u0e07 30% \u0e0b\u0e36\u0e48\u0e07\u0e0a\u0e48\u0e27\u0e22\u0e1b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e1b\u0e23\u0e38\u0e07\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e34\u0e17\u0e18\u0e34\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e17\u0e32\u0e07\u0e15\u0e49\u0e19\u0e17\u0e38\u0e19\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e21\u0e35\u0e19\u0e31\u0e22\u0e2a\u0e33\u0e04\u0e31\u0e0d.<\/p>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">3.2 \u0e01\u0e32\u0e23\u0e2b\u0e31\u0e48\u0e19\u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e15\u0e31\u0e14: \u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e1e\u0e34\u0e48\u0e21\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e34\u0e17\u0e18\u0e34\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e41\u0e25\u0e30\u0e1c\u0e25\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15<\/h3>\n\n\n\n<p>\u0e27\u0e34\u0e18\u0e35\u0e01\u0e32\u0e23\u0e15\u0e31\u0e14\u0e2b\u0e25\u0e31\u0e01\u0e2a\u0e2d\u0e07\u0e27\u0e34\u0e18\u0e35\u0e17\u0e35\u0e48\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e04\u0e37\u0e2d:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e15\u0e31\u0e14\u0e25\u0e27\u0e14\u0e2b\u0e25\u0e32\u0e22\u0e40\u0e2a\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e41\u0e17\u0e48\u0e07\u0e42\u0e25\u0e2b\u0e30<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2b\u0e31\u0e48\u0e19\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e0a\u0e34\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e17\u0e35\u0e48\u0e1c\u0e48\u0e32\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e41\u0e1b\u0e23\u0e23\u0e39\u0e1b<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p>\u0e19\u0e27\u0e31\u0e15\u0e01\u0e23\u0e23\u0e21\u0e25\u0e48\u0e32\u0e2a\u0e38\u0e14\u0e21\u0e38\u0e48\u0e07\u0e40\u0e19\u0e49\u0e19\u0e44\u0e1b\u0e17\u0e35\u0e48:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0e40\u0e1e\u0e34\u0e48\u0e21\u0e1b\u0e23\u0e34\u0e21\u0e32\u0e13\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e40\u0e04\u0e23\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e21\u0e37\u0e2d<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e25\u0e14\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2a\u0e39\u0e0d\u0e40\u0e2a\u0e35\u0e22\u0e08\u0e32\u0e01\u0e23\u0e2d\u0e22\u0e15\u0e31\u0e14<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e25\u0e14\u0e01\u0e32\u0e23\u0e41\u0e15\u0e01\u0e02\u0e2d\u0e1a\u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e2a\u0e35\u0e22\u0e2b\u0e32\u0e22\u0e43\u0e15\u0e49\u0e1c\u0e34\u0e27<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e1b\u0e23\u0e38\u0e07\u0e40\u0e2b\u0e25\u0e48\u0e32\u0e19\u0e35\u0e49\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e33\u0e04\u0e31\u0e0d\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e22\u0e34\u0e48\u0e07\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e01\u0e32\u0e23\u0e02\u0e22\u0e32\u0e22\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e40\u0e1e\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e15\u0e2d\u0e1a\u0e2a\u0e19\u0e2d\u0e07\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e15\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e17\u0e35\u0e48\u0e40\u0e1e\u0e34\u0e48\u0e21\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19\u0e43\u0e19\u0e2d\u0e34\u0e40\u0e25\u0e47\u0e01\u0e17\u0e23\u0e2d\u0e19\u0e34\u0e01\u0e2a\u0e4c\u0e01\u0e33\u0e25\u0e31\u0e07.<\/p>\n\n\n\n<figure class=\"wp-block-image alignfull size-full\"><img decoding=\"async\" width=\"1000\" height=\"1000\" src=\"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/High-Precision-12-inch-Wafer-Dicing-Solution-for-Advanced-Semiconductor-Processing2.png\" alt=\"\" class=\"wp-image-2144\" srcset=\"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/High-Precision-12-inch-Wafer-Dicing-Solution-for-Advanced-Semiconductor-Processing2.png 1000w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/High-Precision-12-inch-Wafer-Dicing-Solution-for-Advanced-Semiconductor-Processing2-300x300.png 300w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/High-Precision-12-inch-Wafer-Dicing-Solution-for-Advanced-Semiconductor-Processing2-150x150.png 150w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/High-Precision-12-inch-Wafer-Dicing-Solution-for-Advanced-Semiconductor-Processing2-768x768.png 768w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/High-Precision-12-inch-Wafer-Dicing-Solution-for-Advanced-Semiconductor-Processing2-12x12.png 12w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/High-Precision-12-inch-Wafer-Dicing-Solution-for-Advanced-Semiconductor-Processing2-600x600.png 600w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/High-Precision-12-inch-Wafer-Dicing-Solution-for-Advanced-Semiconductor-Processing2-100x100.png 100w\" sizes=\"(max-width: 1000px) 100vw, 1000px\" \/><\/figure>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">3.3 \u0e40\u0e17\u0e04\u0e42\u0e19\u0e42\u0e25\u0e22\u0e35\u0e01\u0e32\u0e23\u0e41\u0e22\u0e01\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e40\u0e25\u0e40\u0e0b\u0e2d\u0e23\u0e4c<\/h3>\n\n\n\n<p>\u0e40\u0e17\u0e04\u0e42\u0e19\u0e42\u0e25\u0e22\u0e35\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e21\u0e27\u0e25\u0e1c\u0e25\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e40\u0e25\u0e40\u0e0b\u0e2d\u0e23\u0e4c \u0e23\u0e27\u0e21\u0e16\u0e36\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e22\u0e01\u0e40\u0e25\u0e40\u0e0b\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e15\u0e31\u0e14\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e40\u0e25\u0e40\u0e0b\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e19\u0e33\u0e17\u0e32\u0e07\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e19\u0e49\u0e33 \u0e01\u0e33\u0e25\u0e31\u0e07\u0e01\u0e25\u0e32\u0e22\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e2a\u0e34\u0e48\u0e07\u0e08\u0e33\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15 SiC \u0e02\u0e31\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07.<\/p>\n\n\n\n<p>\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e14\u0e35 \u0e44\u0e14\u0e49\u0e41\u0e01\u0e48:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e21\u0e27\u0e25\u0e1c\u0e25\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e44\u0e21\u0e48\u0e2a\u0e31\u0e21\u0e1c\u0e31\u0e2a<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e25\u0e14\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e04\u0e49\u0e19\u0e17\u0e32\u0e07\u0e01\u0e25<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e42\u0e22\u0e0a\u0e19\u0e4c\u0e08\u0e32\u0e01\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p>\u0e27\u0e34\u0e18\u0e35\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e2b\u0e25\u0e48\u0e32\u0e19\u0e35\u0e49\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e33\u0e04\u0e31\u0e0d\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e1e\u0e34\u0e40\u0e28\u0e29\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e1a\u0e32\u0e07\u0e1e\u0e34\u0e40\u0e28\u0e29\u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e23\u0e27\u0e21\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2b\u0e25\u0e32\u0e01\u0e2b\u0e25\u0e32\u0e22.<\/p>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">4. \u0e01\u0e32\u0e23\u0e27\u0e31\u0e14\u0e41\u0e25\u0e30\u0e15\u0e23\u0e27\u0e08\u0e2a\u0e2d\u0e1a: \u0e01\u0e32\u0e23\u0e04\u0e27\u0e1a\u0e04\u0e38\u0e21\u0e1c\u0e25\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15<\/h2>\n\n\n\n<p>\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e15\u0e23\u0e27\u0e08\u0e2a\u0e2d\u0e1a\u0e17\u0e33\u0e2b\u0e19\u0e49\u0e32\u0e17\u0e35\u0e48\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19 \u201c\u0e14\u0e27\u0e07\u0e15\u0e32\u201d \u0e02\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c \u0e01\u0e32\u0e23\u0e27\u0e31\u0e14\u0e04\u0e48\u0e32\u0e40\u0e21\u0e15\u0e23\u0e34\u0e01\u0e0b\u0e4c SiC \u0e23\u0e30\u0e14\u0e31\u0e1a\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e21\u0e38\u0e48\u0e07\u0e40\u0e19\u0e49\u0e19\u0e44\u0e1b\u0e17\u0e35\u0e48:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e15\u0e23\u0e27\u0e08\u0e08\u0e31\u0e1a\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e1a\u0e01\u0e1e\u0e23\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e1a\u0e19\u0e1e\u0e37\u0e49\u0e19\u0e1c\u0e34\u0e27<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e27\u0e34\u0e40\u0e04\u0e23\u0e32\u0e30\u0e2b\u0e4c\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e2a\u0e35\u0e22\u0e2b\u0e32\u0e22\u0e43\u0e15\u0e49\u0e1e\u0e37\u0e49\u0e19\u0e1c\u0e34\u0e27<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e27\u0e31\u0e14\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e21\u0e48\u0e33\u0e40\u0e2a\u0e21\u0e2d\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e0a\u0e31\u0e49\u0e19\u0e40\u0e2d\u0e1e\u0e34\u0e41\u0e17\u0e01\u0e40\u0e0b\u0e35\u0e22\u0e25<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p>\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e01\u0e49\u0e32\u0e27\u0e2b\u0e19\u0e49\u0e32\u0e25\u0e48\u0e32\u0e2a\u0e38\u0e14\u0e43\u0e19\u0e40\u0e17\u0e04\u0e42\u0e19\u0e42\u0e25\u0e22\u0e35\u0e21\u0e32\u0e15\u0e23\u0e27\u0e34\u0e17\u0e22\u0e32\u0e23\u0e30\u0e14\u0e31\u0e1a\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e40\u0e17\u0e28\u0e44\u0e14\u0e49\u0e25\u0e14\u0e0a\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e27\u0e48\u0e32\u0e07\u0e01\u0e31\u0e1a\u0e1c\u0e39\u0e49\u0e19\u0e33\u0e23\u0e30\u0e14\u0e31\u0e1a\u0e42\u0e25\u0e01 \u0e17\u0e33\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e04\u0e27\u0e1a\u0e04\u0e38\u0e21\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e44\u0e14\u0e49\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33\u0e22\u0e34\u0e48\u0e07\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19\u0e41\u0e25\u0e30\u0e40\u0e1e\u0e34\u0e48\u0e21\u0e2d\u0e31\u0e15\u0e23\u0e32\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e44\u0e14\u0e49\u0e21\u0e32\u0e01\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19.<\/p>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">5. \u0e1e\u0e37\u0e49\u0e19\u0e1c\u0e34\u0e27\u0e41\u0e25\u0e30\u0e40\u0e2d\u0e1e\u0e34\u0e41\u0e17\u0e01\u0e0b\u0e35: \u0e08\u0e32\u0e01\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e02\u0e19\u0e32\u0e14\u0e2a\u0e39\u0e48\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e1e\u0e34\u0e48\u0e21\u0e04\u0e38\u0e13\u0e20\u0e32\u0e1e<\/h2>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">5.1 \u0e01\u0e32\u0e23\u0e1e\u0e31\u0e12\u0e19\u0e32\u0e1e\u0e37\u0e49\u0e19\u0e1c\u0e34\u0e27: \u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e21\u0e1a\u0e39\u0e23\u0e13\u0e4c 12 \u0e19\u0e34\u0e49\u0e27\u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2a\u0e33\u0e23\u0e27\u0e08 14 \u0e19\u0e34\u0e49\u0e27<\/h3>\n\n\n\n<p>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e1b\u0e25\u0e35\u0e48\u0e22\u0e19\u0e44\u0e1b\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e02\u0e19\u0e32\u0e14\u0e43\u0e2b\u0e0d\u0e48\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19\u0e0a\u0e48\u0e27\u0e22\u0e40\u0e1e\u0e34\u0e48\u0e21\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e34\u0e17\u0e18\u0e34\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e21\u0e35\u0e19\u0e31\u0e22\u0e2a\u0e33\u0e04\u0e31\u0e0d:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0e40\u0e21\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e40\u0e17\u0e35\u0e22\u0e1a\u0e01\u0e31\u0e1a\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e02\u0e19\u0e32\u0e14 6 \u0e19\u0e34\u0e49\u0e27: \u0e1c\u0e25\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e0a\u0e34\u0e1b\u0e21\u0e32\u0e01\u0e01\u0e27\u0e48\u0e32 3 \u0e40\u0e17\u0e48\u0e32<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e40\u0e21\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e40\u0e1b\u0e23\u0e35\u0e22\u0e1a\u0e40\u0e17\u0e35\u0e22\u0e1a\u0e01\u0e31\u0e1a\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e02\u0e19\u0e32\u0e14 8 \u0e19\u0e34\u0e49\u0e27: \u0e40\u0e1e\u0e34\u0e48\u0e21\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e21\u0e32\u0e13 2.25 \u0e40\u0e17\u0e48\u0e32<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e21\u0e32\u0e13\u0e01\u0e32\u0e23\u0e25\u0e14\u0e15\u0e49\u0e19\u0e17\u0e38\u0e19: ~40%<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p>\u0e43\u0e19\u0e02\u0e13\u0e30\u0e40\u0e14\u0e35\u0e22\u0e27\u0e01\u0e31\u0e19 \u0e01\u0e32\u0e23\u0e1e\u0e31\u0e12\u0e19\u0e32\u0e1c\u0e25\u0e36\u0e01\u0e02\u0e19\u0e32\u0e14 14 \u0e19\u0e34\u0e49\u0e27\u0e43\u0e19\u0e23\u0e30\u0e22\u0e30\u0e40\u0e23\u0e34\u0e48\u0e21\u0e15\u0e49\u0e19\u0e1a\u0e48\u0e07\u0e0a\u0e35\u0e49\u0e16\u0e36\u0e07\u0e02\u0e2d\u0e1a\u0e40\u0e02\u0e15\u0e43\u0e2b\u0e21\u0e48\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e22\u0e48\u0e2d\u0e02\u0e19\u0e32\u0e14\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c.<\/p>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">5.2 \u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e08\u0e23\u0e34\u0e0d\u0e40\u0e15\u0e34\u0e1a\u0e42\u0e15\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e40\u0e2d\u0e1e\u0e34\u0e41\u0e17\u0e01\u0e40\u0e0b\u0e35\u0e22\u0e25: \u0e02\u0e31\u0e49\u0e19\u0e15\u0e2d\u0e19\u0e2a\u0e38\u0e14\u0e17\u0e49\u0e32\u0e22\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e34\u0e17\u0e18\u0e34\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c<\/h3>\n\n\n\n<p>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e15\u0e34\u0e1a\u0e42\u0e15\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e2a\u0e32\u0e23\u0e40\u0e04\u0e25\u0e37\u0e2d\u0e1a\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e40\u0e2d\u0e1e\u0e34\u0e41\u0e17\u0e01\u0e0b\u0e35\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e0a\u0e31\u0e49\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e17\u0e33\u0e07\u0e32\u0e19\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e2a\u0e32\u0e23\u0e01\u0e36\u0e48\u0e07\u0e15\u0e31\u0e27\u0e19\u0e33 \u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e2d\u0e1e\u0e34\u0e41\u0e17\u0e01\u0e40\u0e0b\u0e35\u0e22\u0e25 SiC \u0e02\u0e31\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e1a\u0e23\u0e23\u0e25\u0e38:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e21\u0e48\u0e33\u0e40\u0e2a\u0e21\u0e2d\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2b\u0e19\u0e32 &lt;3%<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e21\u0e48\u0e33\u0e40\u0e2a\u0e21\u0e2d\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e42\u0e14\u0e1b \u22648%<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e2d\u0e31\u0e15\u0e23\u0e32\u0e1c\u0e25\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c &gt;96%<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e2a\u0e32\u0e19\u0e23\u0e27\u0e21\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e40\u0e2d\u0e1e\u0e34\u0e41\u0e17\u0e01\u0e0b\u0e35\u0e01\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e10\u0e32\u0e19\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e01\u0e49\u0e32\u0e27\u0e2a\u0e33\u0e04\u0e31\u0e0d\u0e2a\u0e39\u0e48\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e1e\u0e34\u0e48\u0e21\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e34\u0e17\u0e18\u0e34\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e2a\u0e21\u0e1a\u0e39\u0e23\u0e13\u0e4c.<\/p>\n\n\n\n<figure class=\"wp-block-image aligncenter size-full\"><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" width=\"1000\" height=\"1000\" src=\"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/Split-Type-Vertical-Airflow-SiC-Epitaxy-Equipment-for-68-Epi-Wafers-3-1.png\" alt=\"\" class=\"wp-image-2091\" 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\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e04\u0e32\u0e23\u0e4c\u0e44\u0e1a\u0e14\u0e4c\u0e01\u0e33\u0e25\u0e31\u0e07\u0e02\u0e22\u0e32\u0e22\u0e15\u0e31\u0e27\u0e44\u0e1b\u0e2a\u0e39\u0e48\u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e07\u0e32\u0e19\u0e17\u0e32\u0e07\u0e41\u0e2a\u0e07\u0e40\u0e19\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e08\u0e32\u0e01\u0e14\u0e31\u0e0a\u0e19\u0e35\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2b\u0e31\u0e01\u0e40\u0e2b\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e41\u0e25\u0e30\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e42\u0e1b\u0e23\u0e48\u0e07\u0e43\u0e2a.<\/p>\n\n\n\n<p>\u0e19\u0e27\u0e31\u0e15\u0e01\u0e23\u0e23\u0e21\u0e17\u0e35\u0e48\u0e42\u0e14\u0e14\u0e40\u0e14\u0e48\u0e19\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2b\u0e19\u0e36\u0e48\u0e07\u0e40\u0e01\u0e35\u0e48\u0e22\u0e27\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e31\u0e1a\u0e15\u0e32\u0e23\u0e32\u0e07\u0e41\u0e2a\u0e07\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e42\u0e04\u0e23\u0e07\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e0a\u0e31\u0e19 \u0e0b\u0e36\u0e48\u0e07\u0e0a\u0e48\u0e27\u0e22\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0e08\u0e2d\u0e41\u0e2a\u0e14\u0e07\u0e1c\u0e25\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e04\u0e25\u0e37\u0e48\u0e19\u0e19\u0e33\u0e41\u0e2a\u0e07\u0e2a\u0e35\u0e40\u0e15\u0e47\u0e21\u0e23\u0e39\u0e1b\u0e41\u0e1a\u0e1a<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e2a\u0e16\u0e32\u0e1b\u0e31\u0e15\u0e22\u0e01\u0e23\u0e23\u0e21\u0e17\u0e32\u0e07\u0e41\u0e2a\u0e07\u0e17\u0e35\u0e48\u0e40\u0e23\u0e35\u0e22\u0e1a\u0e07\u0e48\u0e32\u0e22<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e34\u0e17\u0e18\u0e34\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19\u0e43\u0e19\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a AR\/VR<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p>\u0e19\u0e35\u0e48\u0e40\u0e1b\u0e34\u0e14\u0e42\u0e2d\u0e01\u0e32\u0e2a\u0e43\u0e2b\u0e21\u0e48\u0e43\u0e19\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e2d\u0e34\u0e40\u0e25\u0e47\u0e01\u0e17\u0e23\u0e2d\u0e19\u0e34\u0e01\u0e2a\u0e4c\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e1c\u0e39\u0e49\u0e1a\u0e23\u0e34\u0e42\u0e20\u0e04\u0e41\u0e25\u0e30\u0e40\u0e17\u0e04\u0e42\u0e19\u0e42\u0e25\u0e22\u0e35\u0e01\u0e32\u0e23\u0e16\u0e48\u0e32\u0e22\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e02\u0e31\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07.<\/p>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">6. \u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e2a\u0e19\u0e31\u0e1a\u0e2a\u0e19\u0e38\u0e19\u0e41\u0e25\u0e30\u0e1a\u0e23\u0e23\u0e08\u0e38\u0e20\u0e31\u0e13\u0e11\u0e4c\u0e02\u0e31\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07<\/h2>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">6.1 \u0e40\u0e17\u0e04\u0e42\u0e19\u0e42\u0e25\u0e22\u0e35\u0e01\u0e32\u0e23\u0e02\u0e31\u0e14\u0e40\u0e07\u0e32\u0e41\u0e25\u0e30\u0e2a\u0e32\u0e23\u0e25\u0e30\u0e25\u0e32\u0e22<\/h3>\n\n\n\n<p>\u0e19\u0e49\u0e33\u0e22\u0e32\u0e02\u0e31\u0e14\u0e40\u0e07\u0e32\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e34\u0e17\u0e18\u0e34\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e08\u0e33\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e22\u0e34\u0e48\u0e07\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e1e\u0e37\u0e49\u0e19\u0e1c\u0e34\u0e27\u0e17\u0e35\u0e48\u0e1b\u0e23\u0e32\u0e28\u0e08\u0e32\u0e01\u0e15\u0e33\u0e2b\u0e19\u0e34 \u0e19\u0e27\u0e31\u0e15\u0e01\u0e23\u0e23\u0e21\u0e15\u0e48\u0e32\u0e07\u0e46 \u0e44\u0e14\u0e49\u0e41\u0e01\u0e48:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e23\u0e30\u0e08\u0e32\u0e22\u0e15\u0e31\u0e27\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e2d\u0e19\u0e38\u0e20\u0e32\u0e04\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e2b\u0e25\u0e32\u0e22\u0e23\u0e39\u0e1b\u0e41\u0e1a\u0e1a<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e02\u0e31\u0e14\u0e16\u0e39\u0e17\u0e35\u0e48\u0e1c\u0e48\u0e32\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e41\u0e15\u0e48\u0e07\u0e17\u0e32\u0e07\u0e40\u0e04\u0e21\u0e35<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e2a\u0e35\u0e22\u0e2b\u0e32\u0e22\u0e43\u0e15\u0e49\u0e1c\u0e34\u0e27\u0e14\u0e34\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e25\u0e14\u0e25\u0e07<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p>\u0e40\u0e17\u0e04\u0e42\u0e19\u0e42\u0e25\u0e22\u0e35\u0e40\u0e2b\u0e25\u0e48\u0e32\u0e19\u0e35\u0e49\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e33\u0e04\u0e31\u0e0d\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e22\u0e34\u0e48\u0e07\u0e17\u0e31\u0e49\u0e07\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e15\u0e23\u0e35\u0e22\u0e21\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e1e\u0e37\u0e49\u0e19\u0e10\u0e32\u0e19\u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e22\u0e38\u0e01\u0e15\u0e4c\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e43\u0e19\u0e14\u0e49\u0e32\u0e19\u0e2d\u0e2d\u0e1b\u0e15\u0e34\u0e01\u0e2a\u0e4c.<\/p>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">6.2 \u0e01\u0e32\u0e23\u0e08\u0e31\u0e14\u0e01\u0e32\u0e23\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e43\u0e19\u0e1a\u0e23\u0e23\u0e08\u0e38\u0e20\u0e31\u0e13\u0e11\u0e4c\u0e02\u0e31\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07<\/h3>\n\n\n\n<p>\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2b\u0e19\u0e32\u0e41\u0e19\u0e48\u0e19\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e1e\u0e25\u0e31\u0e07\u0e07\u0e32\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e40\u0e1e\u0e34\u0e48\u0e21\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19\u0e43\u0e19 AI \u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e04\u0e33\u0e19\u0e27\u0e13\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e34\u0e17\u0e18\u0e34\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e2a\u0e39\u0e07 \u0e01\u0e32\u0e23\u0e08\u0e31\u0e14\u0e01\u0e32\u0e23\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e44\u0e14\u0e49\u0e01\u0e25\u0e32\u0e22\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e17\u0e49\u0e32\u0e17\u0e32\u0e22\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e33\u0e04\u0e31\u0e0d.<\/p>\n\n\n\n<p>SiC \u0e21\u0e35\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e44\u0e14\u0e49\u0e40\u0e1b\u0e23\u0e35\u0e22\u0e1a\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e33\u0e04\u0e31\u0e0d\u0e40\u0e19\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e08\u0e32\u0e01\u0e21\u0e35\u0e04\u0e48\u0e32\u0e01\u0e32\u0e23\u0e19\u0e33\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07 \u0e17\u0e33\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e15\u0e31\u0e27\u0e40\u0e25\u0e37\u0e2d\u0e01\u0e17\u0e35\u0e48\u0e19\u0e48\u0e32\u0e2a\u0e19\u0e43\u0e08\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e01\u0e23\u0e30\u0e08\u0e32\u0e22\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e2d\u0e34\u0e19\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e42\u0e1e\u0e40\u0e0b\u0e2d\u0e23\u0e4c<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e1a\u0e23\u0e23\u0e08\u0e38\u0e20\u0e31\u0e13\u0e11\u0e4c\u0e02\u0e31\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p>\u0e2a\u0e16\u0e32\u0e1b\u0e31\u0e15\u0e22\u0e01\u0e23\u0e23\u0e21\u0e1a\u0e23\u0e23\u0e08\u0e38\u0e20\u0e31\u0e13\u0e11\u0e4c\u0e43\u0e19\u0e2d\u0e19\u0e32\u0e04\u0e15\u0e2d\u0e32\u0e08\u0e21\u0e35\u0e01\u0e32\u0e23\u0e19\u0e33 SiC \u0e21\u0e32\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e21\u0e32\u0e01\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19\u0e40\u0e1e\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e1b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e1b\u0e23\u0e38\u0e07\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e34\u0e17\u0e18\u0e34\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e41\u0e25\u0e30\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e19\u0e48\u0e32\u0e40\u0e0a\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e16\u0e37\u0e2d.<\/p>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">7. \u0e20\u0e39\u0e21\u0e34\u0e17\u0e31\u0e28\u0e19\u0e4c\u0e23\u0e30\u0e14\u0e31\u0e1a\u0e42\u0e25\u0e01\u0e41\u0e25\u0e30\u0e41\u0e19\u0e27\u0e42\u0e19\u0e49\u0e21\u0e43\u0e19\u0e2d\u0e19\u0e32\u0e04\u0e15<\/h2>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">7.1 \u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e1e\u0e34\u0e48\u0e21\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e02\u0e49\u0e21\u0e02\u0e49\u0e19\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e41\u0e02\u0e48\u0e07\u0e02\u0e31\u0e19\u0e43\u0e19\u0e15\u0e25\u0e32\u0e14\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e02\u0e19\u0e32\u0e14\u0e43\u0e2b\u0e0d\u0e48<\/h3>\n\n\n\n<p>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e41\u0e02\u0e48\u0e07\u0e02\u0e31\u0e19\u0e23\u0e30\u0e14\u0e31\u0e1a\u0e42\u0e25\u0e01\u0e40\u0e1e\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e44\u0e1b\u0e2a\u0e39\u0e48\u0e02\u0e19\u0e32\u0e14 12 \u0e19\u0e34\u0e49\u0e27\u0e41\u0e25\u0e30\u0e21\u0e32\u0e01\u0e01\u0e27\u0e48\u0e32\u0e01\u0e33\u0e25\u0e31\u0e07\u0e40\u0e23\u0e48\u0e07\u0e15\u0e31\u0e27\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19 \u0e41\u0e19\u0e27\u0e42\u0e19\u0e49\u0e21\u0e2a\u0e33\u0e04\u0e31\u0e0d\u0e44\u0e14\u0e49\u0e41\u0e01\u0e48:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1e\u0e31\u0e12\u0e19\u0e32\u0e02\u0e19\u0e32\u0e19\u0e01\u0e31\u0e19\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e08\u0e33\u0e19\u0e27\u0e19\u0e21\u0e32\u0e01\u0e02\u0e19\u0e32\u0e14 8 \u0e19\u0e34\u0e49\u0e27\u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e27\u0e34\u0e08\u0e31\u0e22\u0e41\u0e25\u0e30\u0e1e\u0e31\u0e12\u0e19\u0e32\u0e02\u0e19\u0e32\u0e14 12 \u0e19\u0e34\u0e49\u0e27<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e40\u0e1e\u0e34\u0e48\u0e21\u0e01\u0e32\u0e23\u0e25\u0e07\u0e17\u0e38\u0e19\u0e43\u0e19\u0e42\u0e23\u0e07\u0e07\u0e32\u0e19\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e02\u0e19\u0e32\u0e14\u0e43\u0e2b\u0e0d\u0e48<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e33\u0e04\u0e31\u0e0d\u0e17\u0e35\u0e48\u0e40\u0e1e\u0e34\u0e48\u0e21\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1a\u0e39\u0e23\u0e13\u0e32\u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e19\u0e41\u0e19\u0e27\u0e15\u0e31\u0e49\u0e07<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">7.2 \u0e08\u0e32\u0e01\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e02\u0e19\u0e32\u0e14\u0e2a\u0e39\u0e48\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e1b\u0e25\u0e35\u0e48\u0e22\u0e19\u0e41\u0e1b\u0e25\u0e07\u0e15\u0e49\u0e19\u0e17\u0e38\u0e19<\/h3>\n\n\n\n<p>\u0e21\u0e2d\u0e07\u0e44\u0e1b\u0e02\u0e49\u0e32\u0e07\u0e2b\u0e19\u0e49\u0e32 \u0e04\u0e32\u0e14\u0e27\u0e48\u0e32\u0e41\u0e19\u0e27\u0e42\u0e19\u0e49\u0e21\u0e2b\u0e25\u0e32\u0e22\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e08\u0e30\u0e21\u0e35\u0e2a\u0e48\u0e27\u0e19\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e33\u0e2b\u0e19\u0e14\u0e17\u0e34\u0e28\u0e17\u0e32\u0e07\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e2d\u0e38\u0e15\u0e2a\u0e32\u0e2b\u0e01\u0e23\u0e23\u0e21 SiC:<\/p>\n\n\n\n<ol class=\"wp-block-list\">\n<li><strong>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e08\u0e33\u0e19\u0e27\u0e19\u0e21\u0e32\u0e01\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e02\u0e19\u0e32\u0e14 12 \u0e19\u0e34\u0e49\u0e27 (2026\u20132027)<\/strong><\/li>\n\n\n\n<li><strong>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e02\u0e22\u0e32\u0e22\u0e15\u0e31\u0e27\u0e44\u0e1b\u0e2a\u0e39\u0e48\u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e07\u0e32\u0e19\u0e43\u0e2b\u0e21\u0e48 \u0e40\u0e0a\u0e48\u0e19 \u0e28\u0e39\u0e19\u0e22\u0e4c\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e21\u0e39\u0e25 AI \u0e41\u0e25\u0e30\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c AR<\/strong><\/li>\n\n\n\n<li><strong>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e23\u0e30\u0e08\u0e32\u0e22\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2b\u0e25\u0e32\u0e01\u0e2b\u0e25\u0e32\u0e22\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e40\u0e17\u0e04\u0e42\u0e19\u0e42\u0e25\u0e22\u0e35\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e15\u0e34\u0e1a\u0e42\u0e15\u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e41\u0e1b\u0e23\u0e23\u0e39\u0e1b<\/strong><\/li>\n\n\n\n<li><strong>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e1b\u0e25\u0e35\u0e48\u0e22\u0e19\u0e1c\u0e48\u0e32\u0e19\u0e08\u0e32\u0e01\u0e01\u0e32\u0e23\u0e19\u0e33\u0e40\u0e02\u0e49\u0e32\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e2a\u0e39\u0e48\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2a\u0e48\u0e07\u0e2d\u0e2d\u0e01\u0e23\u0e30\u0e14\u0e31\u0e1a\u0e42\u0e25\u0e01<\/strong><\/li>\n<\/ol>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">8. \u0e1a\u0e17\u0e2a\u0e23\u0e38\u0e1b<\/h2>\n\n\n\n<p>\u0e2d\u0e38\u0e15\u0e2a\u0e32\u0e2b\u0e01\u0e23\u0e23\u0e21\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c SiC \u0e01\u0e33\u0e25\u0e31\u0e07\u0e40\u0e1c\u0e0a\u0e34\u0e0d\u0e01\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e1b\u0e25\u0e35\u0e48\u0e22\u0e19\u0e41\u0e1b\u0e25\u0e07\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e25\u0e36\u0e01\u0e0b\u0e36\u0e49\u0e07\u0e0b\u0e36\u0e48\u0e07\u0e02\u0e31\u0e1a\u0e40\u0e04\u0e25\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e19\u0e42\u0e14\u0e22\u0e01\u0e32\u0e23\u0e02\u0e22\u0e32\u0e22\u0e02\u0e19\u0e32\u0e14\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1a\u0e39\u0e23\u0e13\u0e32\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2b\u0e48\u0e27\u0e07\u0e42\u0e0b\u0e48\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e17\u0e32\u0e19\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e40\u0e15\u0e47\u0e21\u0e23\u0e39\u0e1b\u0e41\u0e1a\u0e1a 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\u0e19\u0e27\u0e31\u0e15\u0e01\u0e23\u0e23\u0e21\u0e41\u0e15\u0e48\u0e25\u0e30\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e25\u0e49\u0e27\u0e19\u0e21\u0e35\u0e2a\u0e48\u0e27\u0e19\u0e0a\u0e48\u0e27\u0e22\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e19\u0e34\u0e40\u0e27\u0e28\u0e17\u0e35\u0e48\u0e40\u0e15\u0e34\u0e1a\u0e42\u0e15\u0e41\u0e25\u0e30\u0e41\u0e02\u0e48\u0e07\u0e02\u0e31\u0e19\u0e44\u0e14\u0e49\u0e21\u0e32\u0e01\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19.<\/p>\n\n\n\n<p>\u0e40\u0e21\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e40\u0e17\u0e04\u0e42\u0e19\u0e42\u0e25\u0e22\u0e35\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e22\u0e31\u0e07\u0e04\u0e07\u0e1e\u0e31\u0e12\u0e19\u0e32\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e40\u0e19\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e07 SiC 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