{"id":2114,"date":"2026-04-03T06:00:09","date_gmt":"2026-04-03T06:00:09","guid":{"rendered":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/?p=2114"},"modified":"2026-04-03T06:03:19","modified_gmt":"2026-04-03T06:03:19","slug":"the-ten-core-semiconductor-equipment-in-2026","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/th\/the-ten-core-semiconductor-equipment-in-2026\/","title":{"rendered":"\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e2b\u0e25\u0e31\u0e01\u0e2a\u0e34\u0e1a\u0e0a\u0e19\u0e34\u0e14\u0e43\u0e19\u0e1b\u0e35 2026: 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class=\"has-fixed-layout\"><thead><tr><th>\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e40\u0e20\u0e17\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c<\/th><th>\u0e2a\u0e48\u0e27\u0e19\u0e41\u0e1a\u0e48\u0e07\u0e21\u0e39\u0e25\u0e04\u0e48\u0e32\u0e2a\u0e48\u0e27\u0e19\u0e2b\u0e19\u0e49\u0e32<\/th><th>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e23\u0e30\u0e08\u0e38\u0e01\u0e15\u0e31\u0e27\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e15\u0e25\u0e32\u0e14<\/th><th>\u0e2a\u0e16\u0e32\u0e19\u0e30\u0e20\u0e32\u0e22\u0e43\u0e19\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e40\u0e17\u0e28<\/th><\/tr><\/thead><tbody><tr><td>\u0e25\u0e34\u0e42\u0e18\u0e01\u0e23\u0e32\u0e1f\u0e35<\/td><td>~24%<\/td><td>\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e02\u0e49\u0e21\u0e02\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07<\/td><td>\u0e02\u0e31\u0e49\u0e19\u0e15\u0e2d\u0e19\u0e41\u0e2b\u0e48\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e49\u0e32\u0e27\u0e2b\u0e19\u0e49\u0e32\u0e43\u0e19\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e17\u0e35\u0e48\u0e40\u0e15\u0e34\u0e1a\u0e42\u0e15\u0e40\u0e15\u0e47\u0e21\u0e17\u0e35\u0e48<\/td><\/tr><tr><td>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e31\u0e14\u0e01\u0e23\u0e48\u0e2d\u0e19<\/td><td>~20%<\/td><td>\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e02\u0e49\u0e21\u0e02\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07<\/td><td>\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e01\u0e49\u0e32\u0e27\u0e2b\u0e19\u0e49\u0e32\u0e20\u0e32\u0e22\u0e43\u0e19\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e40\u0e17\u0e28\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e23\u0e27\u0e14\u0e40\u0e23\u0e47\u0e27<\/td><\/tr><tr><td>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e04\u0e25\u0e37\u0e2d\u0e1a\u0e1f\u0e34\u0e25\u0e4c\u0e21\u0e1a\u0e32\u0e07<\/td><td>~20%<\/td><td>\u0e40\u0e02\u0e49\u0e21\u0e02\u0e49\u0e19<\/td><td>\u0e23\u0e30\u0e22\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e15\u0e32\u0e21\u0e17\u0e31\u0e19<\/td><\/tr><tr><td>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e04\u0e27\u0e1a\u0e04\u0e38\u0e21\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e15\u0e23\u0e27\u0e08\u0e2a\u0e2d\u0e1a<\/td><td>~11%<\/td><td>\u0e1c\u0e39\u0e49\u0e19\u0e33\u0e23\u0e30\u0e14\u0e31\u0e1a\u0e42\u0e25\u0e01<\/td><td>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e04\u0e49\u0e19\u0e1e\u0e1a\u0e43\u0e19\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e40\u0e17\u0e28\u0e43\u0e19\u0e0a\u0e48\u0e27\u0e07\u0e41\u0e23\u0e01<\/td><\/tr><tr><td>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e17\u0e33\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e30\u0e2d\u0e32\u0e14\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c<\/td><td>~5%<\/td><td>\u0e1b\u0e32\u0e19\u0e01\u0e25\u0e32\u0e07<\/td><td>\u0e1a\u0e32\u0e07\u0e2a\u0e48\u0e27\u0e19\u0e16\u0e39\u0e01\u0e41\u0e1b\u0e25\u0e41\u0e25\u0e49\u0e27<\/td><\/tr><tr><td>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e02\u0e31\u0e14\u0e40\u0e07\u0e32\u0e17\u0e32\u0e07\u0e40\u0e04\u0e21\u0e35\u0e40\u0e0a\u0e34\u0e07\u0e01\u0e25 (CMP)<\/td><td>~4%<\/td><td>\u0e1b\u0e32\u0e19\u0e01\u0e25\u0e32\u0e07<\/td><td>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e02\u0e49\u0e32\u0e16\u0e36\u0e07\u0e43\u0e19\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e40\u0e17\u0e28\u0e2a\u0e39\u0e07 (&gt;50%)<\/td><\/tr><tr><td>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1d\u0e31\u0e07\u0e44\u0e2d\u0e2d\u0e2d\u0e19<\/td><td>~3%<\/td><td>\u0e01\u0e31\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07<\/td><td>\u0e08\u0e32\u0e01 0 \u0e16\u0e36\u0e07 1 \u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e33\u0e40\u0e23\u0e47\u0e08\u0e43\u0e19\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e40\u0e17\u0e28<\/td><\/tr><tr><td>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e04\u0e25\u0e37\u0e2d\u0e1a\u0e41\u0e25\u0e30\u0e1e\u0e31\u0e12\u0e19\u0e32\u0e42\u0e1f\u0e42\u0e15\u0e40\u0e23\u0e0b\u0e34\u0e2a\u0e15\u0e4c<\/td><td>&lt;3%<\/td><td>\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e02\u0e49\u0e21\u0e02\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07<\/td><td>\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e01\u0e49\u0e32\u0e27\u0e2b\u0e19\u0e49\u0e32\u0e43\u0e19\u0e23\u0e30\u0e22\u0e30\u0e41\u0e23\u0e01<\/td><\/tr><tr><td>\u0e2d\u0e2d\u0e01\u0e0b\u0e34\u0e40\u0e14\u0e0a\u0e31\u0e19\/\u0e01\u0e32\u0e23\u0e41\u0e1e\u0e23\u0e48<\/td><td>~2%<\/td><td>\u0e40\u0e02\u0e49\u0e21\u0e02\u0e49\u0e19<\/td><td>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e04\u0e23\u0e2d\u0e1a\u0e04\u0e25\u0e38\u0e21\u0e20\u0e32\u0e22\u0e43\u0e19\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e40\u0e17\u0e28\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e43\u0e19\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e17\u0e35\u0e48\u0e1e\u0e31\u0e12\u0e19\u0e32\u0e41\u0e25\u0e49\u0e27<\/td><\/tr><tr><td>\u0e15\u0e49\u0e32\u0e19\u0e17\u0e32\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e25\u0e2d\u0e01\u0e2d\u0e2d\u0e01<\/td><td>\u0e2b\u0e38\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e48\u0e27\u0e19\u0e19\u0e49\u0e2d\u0e22<\/td><td>\u0e01\u0e23\u0e30\u0e08\u0e32\u0e22\u0e15\u0e31\u0e27\u0e04\u0e48\u0e2d\u0e19\u0e02\u0e49\u0e32\u0e07\u0e21\u0e32\u0e01<\/td><td>\u0e17\u0e14\u0e41\u0e17\u0e19\u0e20\u0e32\u0e22\u0e43\u0e19\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e40\u0e17\u0e28\u0e40\u0e01\u0e37\u0e2d\u0e1a\u0e17\u0e31\u0e49\u0e07\u0e2b\u0e21\u0e14<\/td><\/tr><\/tbody><\/table><\/figure>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">2. \u0e25\u0e34\u0e42\u0e17\u0e01\u0e23\u0e32\u0e1f\u0e35: \u0e22\u0e2d\u0e14\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e2a\u0e38\u0e14\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e40\u0e17\u0e04\u0e42\u0e19\u0e42\u0e25\u0e22\u0e35<\/h3>\n\n\n\n<p>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1e\u0e34\u0e21\u0e1e\u0e4c\u0e25\u0e34\u0e42\u0e18\u0e01\u0e23\u0e32\u0e1f\u0e35\u0e16\u0e48\u0e32\u0e22\u0e42\u0e2d\u0e19\u0e23\u0e39\u0e1b\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e27\u0e07\u0e08\u0e23\u0e25\u0e07\u0e1a\u0e19\u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19 \u0e0b\u0e36\u0e48\u0e07\u0e01\u0e33\u0e2b\u0e19\u0e14\u0e01\u0e32\u0e23\u0e23\u0e27\u0e21\u0e0a\u0e34\u0e1b\u0e41\u0e25\u0e30\u0e02\u0e35\u0e14\u0e08\u0e33\u0e01\u0e31\u0e14\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e34\u0e17\u0e18\u0e34\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e42\u0e14\u0e22\u0e15\u0e23\u0e07 \u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e19\u0e35\u0e49\u0e2d\u0e32\u0e28\u0e31\u0e22\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e09\u0e32\u0e22\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e17\u0e32\u0e07\u0e41\u0e2a\u0e07\u0e17\u0e35\u0e48\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33\u0e41\u0e25\u0e30\u0e1b\u0e0f\u0e34\u0e1a\u0e31\u0e15\u0e34\u0e15\u0e32\u0e21\u0e40\u0e01\u0e13\u0e11\u0e4c\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e40\u0e23\u0e22\u0e4c\u0e25\u0e35\u0e2b\u0e4c (CD = k\u2081\u00b7\u03bb\/NA) \u0e40\u0e1e\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e1c\u0e25\u0e31\u0e01\u0e14\u0e31\u0e19\u0e02\u0e2d\u0e1a\u0e40\u0e02\u0e15\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e25\u0e30\u0e40\u0e2d\u0e35\u0e22\u0e14 \u0e43\u0e19\u0e23\u0e30\u0e14\u0e31\u0e1a\u0e42\u0e25\u0e01 \u0e15\u0e25\u0e32\u0e14\u0e21\u0e35\u0e25\u0e31\u0e01\u0e29\u0e13\u0e30\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e15\u0e25\u0e32\u0e14\u0e1c\u0e39\u0e01\u0e02\u0e32\u0e14\u0e42\u0e14\u0e22\u0e01\u0e25\u0e38\u0e48\u0e21\u0e1c\u0e39\u0e49\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e44\u0e21\u0e48\u0e01\u0e35\u0e48\u0e23\u0e32\u0e22 \u0e01\u0e32\u0e23\u0e1a\u0e23\u0e23\u0e25\u0e38\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e20\u0e32\u0e22\u0e43\u0e19\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e40\u0e17\u0e28\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e17\u0e35\u0e48\u0e1e\u0e31\u0e12\u0e19\u0e32\u0e41\u0e25\u0e49\u0e27 (\u226590nm) \u0e22\u0e31\u0e07\u0e04\u0e07\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e25\u0e33\u0e14\u0e31\u0e1a\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e33\u0e04\u0e31\u0e0d\u0e40\u0e0a\u0e34\u0e07\u0e01\u0e25\u0e22\u0e38\u0e17\u0e18\u0e4c \u0e41\u0e25\u0e30\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e1e\u0e22\u0e32\u0e22\u0e32\u0e21\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e40\u0e19\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e21\u0e38\u0e48\u0e07\u0e40\u0e19\u0e49\u0e19\u0e44\u0e1b\u0e17\u0e35\u0e48\u0e01\u0e32\u0e23\u0e02\u0e22\u0e32\u0e22\u0e02\u0e35\u0e14\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e44\u0e1b\u0e2a\u0e39\u0e48\u0e42\u0e2b\u0e19\u0e14\u0e02\u0e31\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07.<\/p>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">3. \u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e31\u0e14\u0e01\u0e23\u0e14: \u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33\u0e43\u0e19\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e21\u0e34\u0e15\u0e34<\/h3>\n\n\n\n<p>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e31\u0e14\u0e40\u0e0b\u0e32\u0e30 (Etching) \u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e17\u0e35\u0e48\u0e19\u0e33\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e40\u0e09\u0e1e\u0e32\u0e30\u0e2d\u0e2d\u0e01\u0e08\u0e32\u0e01\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2d\u0e22\u0e39\u0e48\u0e43\u0e15\u0e49\u0e2b\u0e19\u0e49\u0e32\u0e01\u0e32\u0e01\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e35\u0e25\u0e27\u0e14\u0e25\u0e32\u0e22 \u0e40\u0e1e\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e42\u0e04\u0e23\u0e07\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07 3 \u0e21\u0e34\u0e15\u0e34\u0e17\u0e35\u0e48\u0e0b\u0e31\u0e1a\u0e0b\u0e49\u0e2d\u0e19 \u0e40\u0e21\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2d\u0e2d\u0e01\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e0a\u0e34\u0e1b\u0e40\u0e1b\u0e25\u0e35\u0e48\u0e22\u0e19\u0e08\u0e32\u0e01\u0e2a\u0e16\u0e32\u0e1b\u0e31\u0e15\u0e22\u0e01\u0e23\u0e23\u0e21 2 \u0e21\u0e34\u0e15\u0e34\u0e44\u0e1b\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19 3 \u0e21\u0e34\u0e15\u0e34 \u0e08\u0e33\u0e19\u0e27\u0e19\u0e41\u0e25\u0e30\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e33\u0e04\u0e31\u0e0d\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e02\u0e31\u0e49\u0e19\u0e15\u0e2d\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e31\u0e14\u0e40\u0e0b\u0e32\u0e30\u0e08\u0e30\u0e40\u0e1e\u0e34\u0e48\u0e21\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19 \u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e31\u0e14\u0e40\u0e0b\u0e32\u0e30\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e41\u0e2b\u0e49\u0e07 \u0e42\u0e14\u0e22\u0e40\u0e09\u0e1e\u0e32\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e31\u0e14\u0e40\u0e0b\u0e32\u0e30\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e1e\u0e25\u0e32\u0e2a\u0e21\u0e32 \u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e40\u0e17\u0e04\u0e42\u0e19\u0e42\u0e25\u0e22\u0e35\u0e2b\u0e25\u0e31\u0e01 \u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e43\u0e19\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e40\u0e17\u0e28\u0e43\u0e19\u0e20\u0e32\u0e04\u0e2a\u0e48\u0e27\u0e19\u0e19\u0e35\u0e49\u0e44\u0e14\u0e49\u0e01\u0e49\u0e32\u0e27\u0e2b\u0e19\u0e49\u0e32\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e23\u0e27\u0e14\u0e40\u0e23\u0e47\u0e27 \u0e42\u0e14\u0e22\u0e21\u0e35\u0e40\u0e04\u0e23\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e31\u0e14\u0e40\u0e0b\u0e32\u0e30\u0e02\u0e31\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e21\u0e27\u0e25\u0e1c\u0e25\u0e2d\u0e31\u0e15\u0e23\u0e32\u0e2a\u0e48\u0e27\u0e19\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e01\u0e27\u0e49\u0e32\u0e07\u0e2a\u0e39\u0e07 \u0e0b\u0e36\u0e48\u0e07\u0e40\u0e2b\u0e21\u0e32\u0e30\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15 3D NAND.<\/p>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">4. \u0e01\u0e32\u0e23\u0e2a\u0e30\u0e2a\u0e21\u0e1f\u0e34\u0e25\u0e4c\u0e21\u0e1a\u0e32\u0e07: \u0e01\u0e32\u0e23\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07 \u201c\u0e1a\u0e25\u0e47\u0e2d\u0e01\u201d \u0e02\u0e2d\u0e07\u0e0a\u0e34\u0e1b\u201d<\/h3>\n\n\n\n<p>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e04\u0e25\u0e37\u0e2d\u0e1a\u0e1f\u0e34\u0e25\u0e4c\u0e21\u0e1a\u0e32\u0e07\u0e04\u0e37\u0e2d\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e08\u0e23\u0e34\u0e0d\u0e40\u0e15\u0e34\u0e1a\u0e42\u0e15\u0e2b\u0e23\u0e37\u0e2d\u0e40\u0e04\u0e25\u0e37\u0e2d\u0e1a\u0e0a\u0e31\u0e49\u0e19\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e35\u0e04\u0e38\u0e13\u0e2a\u0e21\u0e1a\u0e31\u0e15\u0e34\u0e40\u0e09\u0e1e\u0e32\u0e30\u2014\u0e40\u0e0a\u0e48\u0e19 \u0e15\u0e31\u0e27\u0e19\u0e33 \u0e09\u0e19\u0e27\u0e19 \u0e2b\u0e23\u0e37\u0e2d\u0e2a\u0e32\u0e23\u0e01\u0e36\u0e48\u0e07\u0e15\u0e31\u0e27\u0e19\u0e33\u2014\u0e1a\u0e19\u0e1e\u0e37\u0e49\u0e19\u0e1c\u0e34\u0e27\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c \u0e40\u0e1e\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07 \u201c\u0e1a\u0e25\u0e47\u0e2d\u0e01\u0e1e\u0e37\u0e49\u0e19\u0e10\u0e32\u0e19\u201d \u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e33\u0e04\u0e31\u0e0d\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e0a\u0e34\u0e1b \u0e40\u0e17\u0e04\u0e19\u0e34\u0e04\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e04\u0e25\u0e37\u0e2d\u0e1a\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e33\u0e04\u0e31\u0e0d\u0e44\u0e14\u0e49\u0e41\u0e01\u0e48 \u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e04\u0e25\u0e37\u0e2d\u0e1a\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e44\u0e2d\u0e17\u0e32\u0e07\u0e01\u0e32\u0e22\u0e20\u0e32\u0e1e (Physical Vapor Deposition - PVD), \u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e04\u0e25\u0e37\u0e2d\u0e1a\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e44\u0e2d\u0e17\u0e32\u0e07\u0e40\u0e04\u0e21\u0e35 (Chemical Vapor Deposition - CVD), \u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e04\u0e25\u0e37\u0e2d\u0e1a\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e0a\u0e31\u0e49\u0e19\u0e2d\u0e30\u0e15\u0e2d\u0e21 (Atomic Layer Deposition - ALD) \u0e42\u0e14\u0e22 CVD \u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e40\u0e17\u0e04\u0e19\u0e34\u0e04\u0e17\u0e35\u0e48\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e01\u0e31\u0e19\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e41\u0e1e\u0e23\u0e48\u0e2b\u0e25\u0e32\u0e22\u0e21\u0e32\u0e01\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e38\u0e14\u0e40\u0e17\u0e04\u0e42\u0e19\u0e42\u0e25\u0e22\u0e35\u0e20\u0e32\u0e22\u0e43\u0e19\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e40\u0e17\u0e28\u0e44\u0e14\u0e49\u0e17\u0e33\u0e1c\u0e25\u0e07\u0e32\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e42\u0e14\u0e14\u0e40\u0e14\u0e48\u0e19\u0e43\u0e19\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e04\u0e25\u0e37\u0e2d\u0e1a\u0e1c\u0e34\u0e27\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e27\u0e34\u0e18\u0e35 PECVD, PVD, \u0e41\u0e25\u0e30 MOCVD \u0e0b\u0e36\u0e48\u0e07\u0e04\u0e23\u0e2d\u0e1a\u0e04\u0e25\u0e38\u0e21\u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e07\u0e32\u0e19\u0e43\u0e19\u0e14\u0e49\u0e32\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e04\u0e25\u0e37\u0e2d\u0e1a\u0e1c\u0e34\u0e27\u0e42\u0e25\u0e2b\u0e30\u0e41\u0e25\u0e30\u0e2a\u0e32\u0e23\u0e01\u0e36\u0e48\u0e07\u0e15\u0e31\u0e27\u0e19\u0e33\u0e2b\u0e25\u0e32\u0e22\u0e0a\u0e19\u0e34\u0e14.<\/p>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">5. \u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e2a\u0e33\u0e04\u0e31\u0e0d\u0e2d\u0e37\u0e48\u0e19 \u0e46<\/h3>\n\n\n\n<p>\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e2a\u0e33\u0e04\u0e31\u0e0d\u0e2d\u0e37\u0e48\u0e19 \u0e46 \u0e17\u0e35\u0e48\u0e0a\u0e48\u0e27\u0e22\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e0a\u0e34\u0e1b\u0e41\u0e25\u0e30\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e01\u0e31\u0e19\u0e1c\u0e25\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e41\u0e25\u0e30\u0e04\u0e38\u0e13\u0e20\u0e32\u0e1e:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li><strong>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e04\u0e27\u0e1a\u0e04\u0e38\u0e21\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e15\u0e23\u0e27\u0e08\u0e2a\u0e2d\u0e1a<\/strong> \u0e15\u0e23\u0e27\u0e08\u0e2a\u0e2d\u0e1a\u0e02\u0e31\u0e49\u0e19\u0e15\u0e2d\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e14\u0e34\u0e29\u0e10\u0e4c\u0e43\u0e19\u0e23\u0e30\u0e14\u0e31\u0e1a\u0e19\u0e32\u0e42\u0e19\u0e40\u0e21\u0e15\u0e23\u0e40\u0e1e\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e23\u0e31\u0e01\u0e29\u0e32\u0e2d\u0e31\u0e15\u0e23\u0e32\u0e1c\u0e25\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15 \u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e2a\u0e23\u0e23\u0e04\u0e17\u0e32\u0e07\u0e40\u0e17\u0e04\u0e42\u0e19\u0e42\u0e25\u0e22\u0e35\u0e21\u0e35\u0e2a\u0e39\u0e07 \u0e41\u0e15\u0e48\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e20\u0e32\u0e22\u0e43\u0e19\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e40\u0e17\u0e28\u0e01\u0e33\u0e25\u0e31\u0e07\u0e40\u0e23\u0e34\u0e48\u0e21\u0e25\u0e14\u0e0a\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e27\u0e48\u0e32\u0e07\u0e19\u0e35\u0e49.<\/li>\n\n\n\n<li><strong>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1d\u0e31\u0e07\u0e44\u0e2d\u0e2d\u0e2d\u0e19<\/strong> \u0e40\u0e1b\u0e25\u0e35\u0e48\u0e22\u0e19\u0e41\u0e1b\u0e25\u0e07\u0e04\u0e38\u0e13\u0e2a\u0e21\u0e1a\u0e31\u0e15\u0e34\u0e17\u0e32\u0e07\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e2a\u0e32\u0e23\u0e01\u0e36\u0e48\u0e07\u0e15\u0e31\u0e27\u0e19\u0e33 \u0e40\u0e04\u0e23\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e1b\u0e25\u0e39\u0e01\u0e1d\u0e31\u0e07\u0e44\u0e2d\u0e2d\u0e2d\u0e19\u0e1e\u0e25\u0e31\u0e07\u0e07\u0e32\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e43\u0e19\u0e04\u0e23\u0e31\u0e27\u0e40\u0e23\u0e37\u0e2d\u0e19\u0e44\u0e14\u0e49\u0e1a\u0e23\u0e23\u0e25\u0e38\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e01\u0e49\u0e32\u0e27\u0e2b\u0e19\u0e49\u0e32\u0e04\u0e23\u0e31\u0e49\u0e07\u0e2a\u0e33\u0e04\u0e31\u0e0d\u0e08\u0e32\u0e01 \u201c0 \u0e16\u0e36\u0e07 1\u201d.<\/li>\n\n\n\n<li><strong>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e02\u0e31\u0e14\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e40\u0e04\u0e21\u0e35\u0e40\u0e0a\u0e34\u0e07\u0e01\u0e25 (CMP):<\/strong> \u0e23\u0e31\u0e1a\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e01\u0e31\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e17\u0e33\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e40\u0e23\u0e35\u0e22\u0e1a\u0e40\u0e2a\u0e21\u0e2d\u0e01\u0e31\u0e19\u0e43\u0e19\u0e23\u0e30\u0e14\u0e31\u0e1a\u0e42\u0e25\u0e01 \u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a CMP \u0e20\u0e32\u0e22\u0e43\u0e19\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e40\u0e17\u0e28\u0e21\u0e35\u0e2a\u0e48\u0e27\u0e19\u0e41\u0e1a\u0e48\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e15\u0e25\u0e32\u0e14\u0e21\u0e32\u0e01\u0e01\u0e27\u0e48\u0e32 50% \u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23 \u226528nm.<\/li>\n\n\n\n<li><strong>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e17\u0e33\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e30\u0e2d\u0e32\u0e14\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c:<\/strong> \u0e2a\u0e33\u0e04\u0e31\u0e0d\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e17\u0e35\u0e48\u0e1b\u0e23\u0e32\u0e28\u0e08\u0e32\u0e01\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e1a\u0e01\u0e1e\u0e23\u0e48\u0e2d\u0e07 \u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e17\u0e33\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e30\u0e2d\u0e32\u0e14\u0e20\u0e32\u0e22\u0e43\u0e19\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e40\u0e17\u0e28\u0e44\u0e14\u0e49\u0e1a\u0e23\u0e23\u0e25\u0e38\u0e2d\u0e31\u0e15\u0e23\u0e32\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e43\u0e19\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e40\u0e17\u0e28\u0e43\u0e19\u0e23\u0e30\u0e14\u0e31\u0e1a\u0e04\u0e48\u0e2d\u0e19\u0e02\u0e49\u0e32\u0e07\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e41\u0e25\u0e49\u0e27.<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">6. \u0e42\u0e2d\u0e01\u0e32\u0e2a\u0e41\u0e25\u0e30\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e17\u0e49\u0e32\u0e17\u0e32\u0e22\u0e43\u0e19\u0e2d\u0e38\u0e15\u0e2a\u0e32\u0e2b\u0e01\u0e23\u0e23\u0e21\u0e1b\u0e35 2026<\/h3>\n\n\n\n<p>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e1e\u0e34\u0e48\u0e21\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e43\u0e19\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e40\u0e17\u0e28\u0e44\u0e14\u0e49\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e41\u0e23\u0e07\u0e02\u0e31\u0e1a\u0e40\u0e04\u0e25\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e19\u0e08\u0e32\u0e01\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e2a\u0e21\u0e1c\u0e2a\u0e32\u0e19\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e40\u0e17\u0e04\u0e42\u0e19\u0e42\u0e25\u0e22\u0e35 \u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e15\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e15\u0e25\u0e32\u0e14 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