เตาหลอมการเจริญเติบโตของผลึกแซฟไฟร์สำหรับผลึกขนาด 80–400 กิโลกรัม โดยใช้วิธีของ Kyropoulos (KY)

ภาพรวมของผลิตภัณฑ์

เตาหลอมการเจริญเติบโตของผลึกแซฟไฟร์ ZMSH KY เป็นระบบสำหรับการเจริญเติบโตของผลึกที่อุณหภูมิสูง ออกแบบมาสำหรับการผลิตผลึกแซฟไฟร์เดี่ยวขนาดใหญ่ รองรับน้ำหนักผลึกตั้งแต่ 80 กิโลกรัมถึง 400 กิโลกรัม โดยใช้วิธีการเจริญเติบโตแบบ Kyropoulos (KY).

เตาหล่อได้รับการปรับให้เหมาะสมสำหรับการควบคุมการแข็งตัวของแซฟไฟร์ภายใต้สภาวะความเครียดทางความร้อนต่ำ โดยการรวมการออกแบบสนามความร้อนที่เสถียร การควบคุมอุณหภูมิที่แม่นยำ และการควบคุมบรรยากาศสุญญากาศและก๊าซระดับสูงมาก ระบบนี้ช่วยให้สามารถเติบโตผลึกเดี่ยวแซฟไฟร์คุณภาพสูงที่มีข้อบกพร่องต่ำ ซึ่งเหมาะสำหรับการใช้งานในเซมิคอนดักเตอร์ ออปติก และอุตสาหกรรมขั้นสูง.

เมื่อเปรียบเทียบกับระบบการเติบโตแบบ Czochralski (CZ) แบบดั้งเดิม วิธีการ KY ช่วยลดความเค้นภายในและความหนาแน่นของการเลื่อนตำแหน่งได้อย่างมีนัยสำคัญ ทำให้เหมาะสมยิ่งขึ้นสำหรับการผลิตผลึกแซฟไฟร์ที่มีเส้นผ่านศูนย์กลางใหญ่และหนา.

เทคโนโลยีการเติบโตของไครโปโลส

วิธีการของ Kyropoulos ช่วยให้ผลึกแซฟไฟร์เติบโตอย่างช้าๆ ภายในของเหลวหลอมเหลวโดยมีการดึงทางกลน้อยที่สุด ผลึกยังคงได้รับการรองรับเป็นส่วนใหญ่โดยแรงลอยตัว ทำให้สามารถ:

• ความชันของอุณหภูมิที่ต่ำลง

• ลดความเค้นทางกล

• ความสม่ำเสมอของโครงสร้างผลึกที่ดีขึ้น

แนวทางการเติบโตนี้มีประสิทธิภาพเป็นพิเศษในการผลิตลูกพลอยแซฟไฟร์ขนาดใหญ่และหนาที่มีคุณสมบัติทางแสงและกลศาสตร์ที่เสถียร.

ความสามารถในการเติบโตของคริสตัล

• ช่วงน้ำหนักคริสตัล: 80–400 กิโลกรัม

• เส้นผ่านศูนย์กลางของคริสตัล: 10–500 มม.

• ความหนาของคริสตัล: 50–300 มม.

• อัตราการเติบโต: 0.1–5 มม./ชม. (ปรับได้)

การกำหนดค่าเตาหลอมสามารถปรับแต่งให้ตรงกับเป้าหมายขนาดผลึกเฉพาะและความต้องการของแผ่นเวเฟอร์หรือส่วนประกอบในขั้นตอนถัดไป.

ข้อได้เปรียบทางเทคนิคที่สำคัญ

การควบคุมสนามความร้อนที่เสถียร

เตาหล่อใช้การออกแบบสนามความร้อนที่สมดุลอย่างดีพร้อมการควบคุมอุณหภูมิที่มีความแม่นยำสูง ความเสถียรของอุณหภูมิภายในเขตการเจริญเติบโตช่วยลดความเครียดจากความร้อน ลดความเสี่ยงของการแตกร้าว และเพิ่มผลผลิตของผลึก.

สภาพแวดล้อมสำหรับการเติบโตที่มีความบริสุทธิ์สูง

การทำงานภายใต้สุญญากาศสูงพิเศษ (≤1×10⁻⁶ Pa) และบรรยากาศควบคุมด้วยก๊าซอาร์กอน/ไฮโดรเจน ช่วยรับประกันระดับการปนเปื้อนต่ำและสภาพการหลอมที่เสถียรตลอดรอบการเติบโตที่ยาวนาน.

กระบวนการเติบโตของผลึกแบบไม่สัมผัส

วิธี KY ลดการปฏิสัมพันธ์ทางกลระหว่างผลึกเมล็ดกับระบบดึง ทำให้ลดความเสี่ยงของการปนเปื้อนและข้อบกพร่องทางโครงสร้าง.

การออกแบบอุตสาหกรรมที่สามารถปรับขนาดได้

ระบบรองรับการเจริญเติบโตของคริสตัลแซฟไฟร์ทั้งขนาดกลางและขนาดใหญ่ และสามารถปรับให้เหมาะกับขนาดคริสตัลที่แตกต่างกันได้ผ่านการกำหนดค่าเตาแบบโมดูลาร์.

การใช้งานทั่วไป

• วัสดุซับสเตรตแซฟไฟร์สำหรับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์

• หน้าต่างออปติคัลและส่วนประกอบเลเซอร์

• วัสดุ LED และออปโตอิเล็กทรอนิกส์

• ระบบออปติคอลอินฟราเรดและอุณหภูมิสูง

• หน้าต่างป้องกันสำหรับสภาพแวดล้อมที่รุนแรง

ข้อมูลจำเพาะทางเทคนิค

พารามิเตอร์ทั่วไปของเตาหลอม

คุณภาพคริสตัลและประสิทธิภาพของวัสดุ

ผลึกแซฟไฟร์ที่ปลูกโดยใช้เตา ZMSH KY แสดงให้เห็น:

• ความโปร่งใสทางแสงสูงในช่วงสเปกตรัมที่กว้าง

• ความหนาแน่นของการเคลื่อนที่ต่ำและโครงสร้างผลึกที่สม่ำเสมอ

• ความเสถียรทางความร้อนและความแข็งแรงทางกลที่ยอดเยี่ยม

คุณสมบัติเหล่านี้ทำให้คริสตัลเหมาะสำหรับการใช้งานทางแสงและอิเล็กทรอนิกส์ที่ต้องการประสิทธิภาพสูงและเชื่อถือได้ในระยะยาว.

ความน่าเชื่อถือในอุตสาหกรรม

เตาหล่อถูกออกแบบมาสำหรับรอบการเติบโตที่ยาวนานและการทำงานอุตสาหกรรมอย่างต่อเนื่อง โครงสร้างทางกลที่แข็งแรง ระบบควบคุมที่เสถียร และการจัดการสุญญากาศและก๊าซที่เชื่อถือได้ รับประกันประสิทธิภาพที่สม่ำเสมอในการผลิตหลายรอบ.

บริการวิศวกรรม ZMSH

ZMSH ให้บริการสนับสนุนทางเทคนิคอย่างครอบคลุม ซึ่งรวมถึง:

• การกำหนดค่าเตาเผาที่ปรับแต่งตามขนาดของผลึกและกำลังการผลิต

• การติดตั้งและทดสอบระบบ ณ สถานที่

• การฝึกอบรมผู้ปฏิบัติงานและคำแนะนำกระบวนการ

• การบำรุงรักษาในระยะยาวและการบริการหลังการขาย

ทีมวิศวกรรมของเราทำงานอย่างใกล้ชิดกับลูกค้าเพื่อเพิ่มประสิทธิภาพกระบวนการเติบโตของแซฟไฟร์ และรับประกันประสิทธิภาพการผลิตที่เสถียรและสามารถทำซ้ำได้.

คำถามที่พบบ่อย

Q1: วิธี KY มีข้อได้เปรียบอะไรบ้างเมื่อเทียบกับวิธี CZ?
A: วิธีการ KY สร้างความเครียดทางความร้อนที่ต่ำกว่าและความหนาแน่นของการเลื่อนต่ำลง ทำให้เหมาะสมกว่าสำหรับการเจริญเติบโตของผลึกแซฟไฟร์ที่มีเส้นผ่านศูนย์กลางใหญ่และหนาเมื่อเทียบกับกระบวนการ CZ แบบดั้งเดิม.

คำถามที่ 2: ขนาดของคริสตัลที่สามารถผลิตได้กับเตาหล่อนี้คืออะไร?
A: ระบบรองรับการเจริญเติบโตของคริสตัลแซฟไฟร์ตั้งแต่ 80 กิโลกรัม ถึง 400 กิโลกรัม, โดยมีเส้นผ่าศูนย์กลางถึง 500 มิลลิเมตร และความหนาถึง 300 มิลลิเมตร ขึ้นอยู่กับการกำหนดค่า.

คำถามที่ 3: เตาหลอมนี้เหมาะสำหรับการผลิตแซฟไฟร์ในระดับอุตสาหกรรมหรือไม่?
A: ใช่ เตาหลอมนี้ได้รับการออกแบบมาสำหรับการใช้งานในระดับอุตสาหกรรม โดยมีการควบคุมอุณหภูมิที่เสถียร ระบบสุญญากาศและระบบก๊าซที่เชื่อถือได้ และคุณภาพผลึกที่สม่ำเสมอในรอบการเติบโตที่ยาวนาน.