ป้ายกำกับ: ion implantation

แผ่นเวเฟอร์จำลอง SiC สำหรับการรับรองคุณสมบัติของอุปกรณ์, การแก้ไขปัญหาในกระบวนการ, การอุ่นเวเฟอร์, และการป้องกันเวเฟอร์ในกระบวนการผลิต