ป้ายกำกับ: chamber conditioning

แผ่นเวเฟอร์จำลอง SiC สำหรับการรับรองคุณสมบัติของอุปกรณ์, การแก้ไขปัญหาในกระบวนการ, การอุ่นเวเฟอร์, และการป้องกันเวเฟอร์ในกระบวนการผลิต