![\"\"](\"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/03\/sic_growth_furnace_pvt_method_6inch_8inch_12_inch_low_energy_consumption1-300x300.webp\")
SiC-tillv\u00e4xtugnen (PVT-metoden) \u00e4r ett h\u00f6gpresterande system som \u00e4r utformat f\u00f6r produktion av 6-tums, 8-tums och 12-tums enkristaller av kiselkarbid (SiC).<\/p>\nSiC-tillv\u00e4xtugnen (PVT-metoden) \u00e4r ett h\u00f6gpresterande system som \u00e4r utformat f\u00f6r produktion av 6-tums, 8-tums och 12-tums enkristaller av kiselkarbid (SiC).<\/p>\n
Med hj\u00e4lp av avancerad induktionsv\u00e4rmeteknik ger ugnen snabb uppv\u00e4rmning, exakt temperaturkontroll och l\u00e5g energif\u00f6rbrukning, vilket g\u00f6r den till en idealisk l\u00f6sning f\u00f6r SiC-kristalltillv\u00e4xt i industriell skala.<\/p>\n
Den anv\u00e4nds ofta vid tillverkning av SiC-substrat f\u00f6r kraftelektronik, RF-enheter och n\u00e4sta generations halvledarapplikationer.<\/p>\n
Induktionsv\u00e4rmesystem
Direkt elektromagnetisk uppv\u00e4rmning av grafitdegeln ger h\u00f6g effektivitet och snabb termisk respons<\/p>\n<\/li>\n
Ultraexakt temperaturkontroll
Noggrannhet upp till \u00b11\u00b0C, vilket s\u00e4kerst\u00e4ller stabila f\u00f6rh\u00e5llanden f\u00f6r kristalltillv\u00e4xt<\/p>\n<\/li>\n
L\u00e5g energif\u00f6rbrukning
Optimerad termisk design minskar driftskostnaderna avsev\u00e4rt<\/p>\n<\/li>\n
H\u00f6g stabilitet och l\u00e5g kontaminering
Ber\u00f6ringsfri uppv\u00e4rmning + inert gasmilj\u00f6 minimerar f\u00f6roreningar<\/p>\n<\/li>\n
Skalbar f\u00f6r kristaller med stor diameter
St\u00f6der 6\u2033, 8\u2033 och 12\u2033 SiC-kristalltillv\u00e4xt<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n
| Parameter<\/th>\n | Specifikation<\/th>\n<\/tr>\n<\/thead>\n |
|---|---|
| M\u00e5tt (L\u00d7B\u00d7H)<\/td>\n | 3200 \u00d7 1150 \u00d7 3600 mm (anpassningsbar)<\/td>\n<\/tr>\n |
| Diameter p\u00e5 ugnskammare<\/td>\n | 400 mm<\/td>\n<\/tr>\n |
| Maximal temperatur<\/td>\n | 2400\u00b0C<\/td>\n<\/tr>\n |
| Temperaturomr\u00e5de<\/td>\n | 900-3000\u00b0C<\/td>\n<\/tr>\n |
| Temperatur Noggrannhet<\/td>\n | \u00b11\u00b0C<\/td>\n<\/tr>\n |
| Uppv\u00e4rmningsmetod<\/td>\n | Induktionsv\u00e4rme<\/td>\n<\/tr>\n |
| Str\u00f6mf\u00f6rs\u00f6rjning<\/td>\n | 40 kW, 8-12 kHz<\/td>\n<\/tr>\n |
| Vakuumniv\u00e5<\/td>\n | 5 \u00d7 10-\u2074 Pa<\/td>\n<\/tr>\n |
| Tryckomr\u00e5de<\/td>\n | 1-700 mbar<\/td>\n<\/tr>\n |
| Temperaturm\u00e4tning<\/td>\n | Infrar\u00f6d med dubbla f\u00e4rger<\/td>\n<\/tr>\n |
| Metod f\u00f6r lastning<\/td>\n | Bottenlastning<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<\/div>\n<\/div>\nF\u00f6rdelar med design<\/span><\/h2>\nKompatibel med semi-isolerande och ledande SiC-kristalltillv\u00e4xt<\/p>\n<\/li>\n Rotationssystem f\u00f6r sm\u00e4ltdegel f\u00f6rb\u00e4ttrar temperaturens j\u00e4mnhet<\/p>\n<\/li>\n Justerbar lyft av induktionsspole minskar termiska st\u00f6rningar<\/p>\n<\/li>\n Dubbelskiktad vattenkyld kvartskammare f\u00f6rl\u00e4nger utrustningens livsl\u00e4ngd<\/p>\n<\/li>\n Temperatur\u00f6vervakning i realtid med tv\u00e5 punkter<\/p>\n<\/li>\n Flera kontroll\u00e4gen: konstant effekt \/ str\u00f6m \/ temperatur<\/p>\n<\/li>\n Intelligent start med ett klick f\u00f6r automatiserad drift<\/p>\n<\/li>\n Kompakt struktur f\u00f6r effektiv fabrikslayout<\/p>\n<\/li>\n Tryckreglering med h\u00f6g precision (upp till \u00b11 Pa)<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n Prestanda och till\u00e4mpningar<\/span><\/h2>\nSiC MOSFETs<\/p>\n<\/li>\n Schottky-dioder<\/p>\n<\/li>\n RF-enheter<\/p>\n<\/li>\n Elektriska fordon (EV kraftmoduler)<\/p>\n<\/li>\n Solcellsv\u00e4xelriktare<\/p>\n<\/li>\n 5G-kommunikationssystem<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n Med stabil termisk kontroll och optimerade tillv\u00e4xtf\u00f6rh\u00e5llanden s\u00e4kerst\u00e4ller systemet h\u00f6g avkastning, konsekvens och skalbarhet f\u00f6r industriell produktion.<\/p>\n
V\u00e5r f\u00f6rm\u00e5ga (ZMSH)<\/span><\/h2>\n
|
![\"\"](\"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/03\/SiC-Growth-Furnace5.png\")
<\/p>\n