{"id":2400,"date":"2026-04-24T06:21:19","date_gmt":"2026-04-24T06:21:19","guid":{"rendered":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/?post_type=product&#038;p=2400"},"modified":"2026-04-24T06:21:22","modified_gmt":"2026-04-24T06:21:22","slug":"precision-silicon-ring-single-crystal-polycrystalline-for-semiconductor-plasma-etching","status":"publish","type":"product","link":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/product\/precision-silicon-ring-single-crystal-polycrystalline-for-semiconductor-plasma-etching\/","title":{"rendered":"\u041f\u0440\u0435\u0446\u0438\u0437\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0435 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u043e\u0435 \u043a\u043e\u043b\u044c\u0446\u043e (\u043c\u043e\u043d\u043e\u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435\/\u043f\u043e\u043b\u0438\u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435) \u0434\u043b\u044f \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432"},"content":{"rendered":"<p data-start=\"228\" data-end=\"558\">\u00a0\u00a0<img fetchpriority=\"high\" decoding=\"async\" class=\"alignright wp-image-2404 size-medium\" src=\"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/Precision-Silicon-Ring-Single-Crystal-Polycrystalline-for-Semiconductor-Plasma-Etching-1-300x300.png\" alt=\"\u041f\u0440\u0435\u0446\u0438\u0437\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0435 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u043e\u0435 \u043a\u043e\u043b\u044c\u0446\u043e (\u043c\u043e\u043d\u043e\u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435\/\u043f\u043e\u043b\u0438\u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435) \u0434\u043b\u044f \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\" width=\"300\" height=\"300\" srcset=\"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/Precision-Silicon-Ring-Single-Crystal-Polycrystalline-for-Semiconductor-Plasma-Etching-1-300x300.png 300w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/Precision-Silicon-Ring-Single-Crystal-Polycrystalline-for-Semiconductor-Plasma-Etching-1-150x150.png 150w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/Precision-Silicon-Ring-Single-Crystal-Polycrystalline-for-Semiconductor-Plasma-Etching-1-768x768.png 768w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/Precision-Silicon-Ring-Single-Crystal-Polycrystalline-for-Semiconductor-Plasma-Etching-1-12x12.png 12w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/Precision-Silicon-Ring-Single-Crystal-Polycrystalline-for-Semiconductor-Plasma-Etching-1-600x600.png 600w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/Precision-Silicon-Ring-Single-Crystal-Polycrystalline-for-Semiconductor-Plasma-Etching-1-100x100.png 100w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/Precision-Silicon-Ring-Single-Crystal-Polycrystalline-for-Semiconductor-Plasma-Etching-1.png 1000w\" sizes=\"(max-width: 300px) 100vw, 300px\" \/>\u041a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u043e\u0435 \u043a\u043e\u043b\u044c\u0446\u043e (Si Ring) - \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u043e \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u043c\u044b\u0439 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442 \u0432 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0438 \u0434\u043b\u044f \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432, \u0441\u043b\u0443\u0436\u0430\u0449\u0438\u0439 \u0444\u043e\u043a\u0443\u0441\u0438\u0440\u0443\u044e\u0449\u0438\u043c \u043a\u043e\u043b\u044c\u0446\u043e\u043c, \u043a\u0440\u0430\u0435\u0432\u044b\u043c \u043a\u043e\u043b\u044c\u0446\u043e\u043c \u0438\u043b\u0438 \u043e\u0431\u043b\u0438\u0446\u043e\u0432\u043a\u043e\u0439 \u043a\u0430\u043c\u0435\u0440\u044b. \u041e\u043d\u043e \u0438\u0433\u0440\u0430\u0435\u0442 \u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u0432\u0443\u044e \u0440\u043e\u043b\u044c \u0432 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u0435 \u0440\u0430\u0441\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b, \u0443\u043b\u0443\u0447\u0448\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0440\u0430\u0432\u043d\u043e\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438 \u0437\u0430\u0449\u0438\u0442\u0435 \u043a\u0440\u0438\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0432\u0430\u0436\u043d\u044b\u0445 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u043a\u0430\u043c\u0435\u0440\u044b \u043e\u0442 \u043f\u0440\u044f\u043c\u043e\u0433\u043e \u0432\u043e\u0437\u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0438\u044f \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0435\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b.<\/p>\n<p data-start=\"560\" data-end=\"882\">\u0418\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0438\u0437 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0447\u0438\u0441\u0442\u043e\u0433\u043e \u043c\u043e\u043d\u043e\u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0438\u043b\u0438 \u043f\u043e\u043b\u0438\u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f, \u043a\u043e\u043b\u044c\u0446\u0430 Si \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442 \u043e\u0442\u043b\u0438\u0447\u043d\u0443\u044e \u0441\u043e\u0432\u043c\u0435\u0441\u0442\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u0441 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430\u043c\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d. \u0422\u0430\u043a\u0430\u044f \u0432\u043d\u0443\u0442\u0440\u0435\u043d\u043d\u044f\u044f \u0441\u043e\u0432\u043c\u0435\u0441\u0442\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u0441\u043d\u0438\u0436\u0430\u0435\u0442 \u0440\u0438\u0441\u043a\u0438 \u0437\u0430\u0433\u0440\u044f\u0437\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f, \u0447\u0442\u043e \u0434\u0435\u043b\u0430\u0435\u0442 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u044b\u0435 \u043a\u043e\u043b\u044c\u0446\u0430 \u043f\u0440\u0435\u0434\u043f\u043e\u0447\u0442\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c \u0432\u044b\u0431\u043e\u0440\u043e\u043c \u0432\u043e \u043c\u043d\u043e\u0433\u0438\u0445 \u0441\u0444\u0435\u0440\u0430\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432.<\/p>\n<p data-start=\"884\" data-end=\"1239\">\u0412\u043e \u0432\u0440\u0435\u043c\u044f \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u044b \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u044b\u0435 \u043a\u043e\u043b\u044c\u0446\u0430 \u043f\u043e\u0434\u0432\u0435\u0440\u0433\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u0432\u043e\u0437\u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0438\u044e \u0440\u0435\u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b, \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u0432\u0430\u0435\u043c\u043e\u0439 \u0442\u0430\u043a\u0438\u043c\u0438 \u0433\u0430\u0437\u0430\u043c\u0438, \u043a\u0430\u043a CF\u2084, SF\u2086, NF\u2083 \u0438 Cl\u2082. \u042d\u0442\u0438 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f \u043f\u043e\u0441\u0442\u0435\u043f\u0435\u043d\u043d\u043e \u0432\u044b\u0437\u044b\u0432\u0430\u044e\u0442 \u044d\u0440\u043e\u0437\u0438\u044e \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430 \u0438 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0443\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438. \u0412 \u0440\u0435\u0437\u0443\u043b\u044c\u0442\u0430\u0442\u0435 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u044b\u0435 \u043a\u043e\u043b\u044c\u0446\u0430 \u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u044f\u0442\u0441\u044f \u043a \u043a\u0430\u0442\u0435\u0433\u043e\u0440\u0438\u0438 \u043a\u0440\u0438\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0432\u0430\u0436\u043d\u044b\u0445 \u0440\u0430\u0441\u0445\u043e\u0434\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432 \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432, \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u044e\u0449\u0438\u0445 \u043f\u0435\u0440\u0438\u043e\u0434\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0437\u0430\u043c\u0435\u043d\u044b \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u0434\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u043d\u0438\u044f \u043e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438 \u0432\u044b\u0445\u043e\u0434\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0434\u0443\u043a\u0446\u0438\u0438.<\/p>\n<p data-start=\"1241\" data-end=\"1430\">\u041f\u043e \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u044e \u0441 \u043a\u043e\u043b\u044c\u0446\u0430\u043c\u0438 \u0438\u0437 SiC \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u044b\u0435 \u043a\u043e\u043b\u044c\u0446\u0430 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u044d\u043a\u043e\u043d\u043e\u043c\u0438\u0447\u043d\u044b \u0438 \u043b\u0435\u0433\u0447\u0435 \u043f\u043e\u0434\u0434\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0435, \u0447\u0442\u043e \u0434\u0435\u043b\u0430\u0435\u0442 \u0438\u0445 \u0438\u0434\u0435\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432 \u0442\u0435\u0445 \u0441\u043b\u0443\u0447\u0430\u044f\u0445, \u043a\u043e\u0433\u0434\u0430 \u0446\u0438\u043a\u043b\u044b \u0437\u0430\u043c\u0435\u043d\u044b \u043f\u0440\u0438\u0435\u043c\u043b\u0435\u043c\u044b, \u0430 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044c \u0437\u0430\u0442\u0440\u0430\u0442 \u0432\u0430\u0436\u0435\u043d.<\/p>\n<hr data-start=\"1432\" data-end=\"1435\" \/>\n<h2 data-section-id=\"1wht24f\" data-start=\"1437\" data-end=\"1457\">\u041e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u0435 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438<\/h2>\n<ul data-start=\"1458\" data-end=\"2054\">\n<li data-section-id=\"1wvx41j\" data-start=\"1458\" data-end=\"1549\">\u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0447\u0438\u0441\u0442\u044b\u0439 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u044b\u0439 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b: \u0414\u043e\u0441\u0442\u0443\u043f\u0435\u043d \u0432 \u043c\u043e\u043d\u043e\u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0438 \u043f\u043e\u043b\u0438\u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0444\u043e\u0440\u043c\u0430\u0445<\/li>\n<li data-section-id=\"16rlosp\" data-start=\"1550\" data-end=\"1653\">\u041e\u0442\u043b\u0438\u0447\u043d\u0430\u044f \u0441\u043e\u0432\u043c\u0435\u0441\u0442\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u0441 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430\u043c\u0438: \u0418\u0434\u0435\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u043f\u043e\u0434\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u0434\u043b\u044f \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d \u0441 \u043d\u0438\u0437\u043a\u0438\u043c \u0440\u0438\u0441\u043a\u043e\u043c \u0437\u0430\u0433\u0440\u044f\u0437\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f<\/li>\n<li data-section-id=\"h5tu82\" data-start=\"1654\" data-end=\"1727\">\u0421\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430: \u041f\u043e\u0434\u0434\u0435\u0440\u0436\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0435 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b<\/li>\n<li data-section-id=\"qwtj7n\" data-start=\"1728\" data-end=\"1814\">\u041f\u0440\u0435\u0446\u0438\u0437\u0438\u043e\u043d\u043d\u0430\u044f \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430: \u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u0435 \u0434\u043e\u043f\u0443\u0441\u043a\u0438 (&lt;10 \u043c\u043a\u043c) \u0434\u043b\u044f \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0438\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432<\/li>\n<li data-section-id=\"cd4ksl\" data-start=\"1815\" data-end=\"1903\">\u041d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u0432\u0430\u0440\u0438\u0430\u043d\u0442\u043e\u0432 \u0443\u0434\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u043e\u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f: \u041f\u043e\u0434\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u0434\u043b\u044f \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0439 \u043a \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044e \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b<\/li>\n<li data-section-id=\"vfz8a3\" data-start=\"1904\" data-end=\"1984\">\u042d\u043a\u043e\u043d\u043e\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0435 \u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435: \u0411\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043d\u0438\u0437\u043a\u0430\u044f \u043f\u0435\u0440\u0432\u043e\u043d\u0430\u0447\u0430\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u0441\u0442\u043e\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u043e \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u044e \u0441 \u0430\u043b\u044c\u0442\u0435\u0440\u043d\u0430\u0442\u0438\u0432\u0430\u043c\u0438 \u0438\u0437 SiC<\/li>\n<li data-section-id=\"1q6rj8k\" data-start=\"1985\" data-end=\"2054\">\u041f\u043e\u0434\u0434\u0435\u0440\u0436\u043a\u0430 \u0438\u043d\u0434\u0438\u0432\u0438\u0434\u0443\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f: \u0412\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u044b \u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u044b\u0435 \u0433\u0435\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0444\u043e\u0440\u043c\u044b \u0438 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u044b<\/li>\n<\/ul>\n<hr data-start=\"2056\" data-end=\"2059\" \/>\n<h2 data-section-id=\"1vgwxle\" data-start=\"2061\" data-end=\"2093\">\u0422\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438<\/h2>\n<div class=\"TyagGW_tableContainer\">\n<div class=\"group TyagGW_tableWrapper flex flex-col-reverse w-fit\" tabindex=\"-1\">\n<table class=\"w-fit min-w-(--thread-content-width)\" data-start=\"2095\" data-end=\"2793\">\n<thead data-start=\"2095\" data-end=\"2124\">\n<tr data-start=\"2095\" data-end=\"2124\">\n<th class=\"\" data-start=\"2095\" data-end=\"2107\" data-col-size=\"sm\">\u041f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440<\/th>\n<th class=\"\" data-start=\"2107\" data-end=\"2124\" data-col-size=\"md\">\u0422\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438<\/th>\n<\/tr>\n<\/thead>\n<tbody data-start=\"2152\" data-end=\"2793\">\n<tr data-start=\"2152\" data-end=\"2215\">\n<td data-start=\"2152\" data-end=\"2163\" data-col-size=\"sm\">\u041c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b<\/td>\n<td data-col-size=\"md\" data-start=\"2163\" data-end=\"2215\">\u041c\u043e\u043d\u043e\u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0439 \/ \u041f\u043e\u043b\u0438\u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0439<\/td>\n<\/tr>\n<tr data-start=\"2216\" data-end=\"2263\">\n<td data-start=\"2216\" data-end=\"2225\" data-col-size=\"sm\">\u0427\u0438\u0441\u0442\u043e\u0442\u0430<\/td>\n<td data-col-size=\"md\" data-start=\"2225\" data-end=\"2263\">\u2265 99,999% (\u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0439 \u043a\u043b\u0430\u0441\u0441 5N)<\/td>\n<\/tr>\n<tr data-start=\"2264\" data-end=\"2297\">\n<td data-start=\"2264\" data-end=\"2281\" data-col-size=\"sm\">\u0414\u0438\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440 (\u043c\u0430\u043a\u0441.)<\/td>\n<td data-col-size=\"md\" data-start=\"2281\" data-end=\"2297\">\u0414\u043e 480 \u043c\u043c<\/td>\n<\/tr>\n<tr data-start=\"2298\" data-end=\"2340\">\n<td data-start=\"2298\" data-end=\"2310\" data-col-size=\"sm\">\u0422\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u0430<\/td>\n<td data-col-size=\"md\" data-start=\"2310\" data-end=\"2340\">\u041d\u0435\u0441\u0442\u0430\u043d\u0434\u0430\u0440\u0442\u043d\u044b\u0435 (\u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e 5-30 \u043c\u043c)<\/td>\n<\/tr>\n<tr data-start=\"2341\" data-end=\"2376\">\n<td data-start=\"2341\" data-end=\"2361\" data-col-size=\"sm\">\u0421\u043e\u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 (\u043d\u0438\u0437\u043a\u043e\u0435)<\/td>\n<td data-col-size=\"md\" data-start=\"2361\" data-end=\"2376\">&lt; 0,02 \u03a9-\u0441\u043c<\/td>\n<\/tr>\n<tr data-start=\"2377\" data-end=\"2414\">\n<td data-start=\"2377\" data-end=\"2400\" data-col-size=\"sm\">\u0421\u043e\u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 (\u0441\u0440\u0435\u0434\u043d\u0435\u0435)<\/td>\n<td data-col-size=\"md\" data-start=\"2400\" data-end=\"2414\">1 - 4 \u03a9-\u0441\u043c<\/td>\n<\/tr>\n<tr data-start=\"2415\" data-end=\"2452\">\n<td data-start=\"2415\" data-end=\"2436\" data-col-size=\"sm\">\u0421\u043e\u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 (\u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0435)<\/td>\n<td data-col-size=\"md\" data-start=\"2436\" data-end=\"2452\">70 - 90 \u03a9-\u0441\u043c<\/td>\n<\/tr>\n<tr data-start=\"2453\" data-end=\"2492\">\n<td data-start=\"2453\" data-end=\"2484\" data-col-size=\"sm\">\u0420\u0430\u0432\u043d\u043e\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0443\u0434\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u043e\u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f (RRG)<\/td>\n<td data-col-size=\"md\" data-start=\"2484\" data-end=\"2492\">&lt; 5%<\/td>\n<\/tr>\n<tr data-start=\"2493\" data-end=\"2543\">\n<td data-start=\"2493\" data-end=\"2513\" data-col-size=\"sm\">\u0421\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u043d\u0438\u0435 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438<\/td>\n<td data-col-size=\"md\" data-start=\"2513\" data-end=\"2543\">\u041f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u043a\u0430 \/ \u043f\u0440\u0438\u0442\u0438\u0440\u043a\u0430 \/ \u0448\u043b\u0438\u0444\u043e\u0432\u043a\u0430<\/td>\n<\/tr>\n<tr data-start=\"2544\" data-end=\"2605\">\n<td data-start=\"2544\" data-end=\"2569\" data-col-size=\"sm\">\u0428\u0435\u0440\u043e\u0445\u043e\u0432\u0430\u0442\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 (Ra)<\/td>\n<td data-col-size=\"md\" data-start=\"2569\" data-end=\"2605\">\u2264 0,8 \u043c\u043a\u043c (\u043f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u043a\u0430 \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0431\u044b\u0442\u044c \u043d\u0438\u0436\u0435)<\/td>\n<\/tr>\n<tr data-start=\"2606\" data-end=\"2639\">\n<td data-start=\"2606\" data-end=\"2628\" data-col-size=\"sm\">\u0422\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438<\/td>\n<td data-col-size=\"md\" data-start=\"2628\" data-end=\"2639\">&lt; 10 \u043c\u043a\u043c<\/td>\n<\/tr>\n<tr data-start=\"2640\" data-end=\"2682\">\n<td data-start=\"2640\" data-end=\"2651\" data-col-size=\"sm\">\u041f\u043b\u043e\u0441\u043a\u043e\u0441\u0442\u044c<\/td>\n<td data-col-size=\"md\" data-start=\"2651\" data-end=\"2682\">\u2264 30 \u043c\u043a\u043c (\u0432 \u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043e\u0442 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u0430)<\/td>\n<\/tr>\n<tr data-start=\"2683\" data-end=\"2728\">\n<td data-start=\"2683\" data-end=\"2695\" data-col-size=\"sm\">\u0422\u0438\u043f \u043a\u0440\u043e\u043c\u043a\u0438<\/td>\n<td data-col-size=\"md\" data-start=\"2695\" data-end=\"2728\">\u0424\u0430\u0441\u043a\u0430 \/ \u0440\u0430\u0434\u0438\u0443\u0441 \u043d\u0430\u0441\u0442\u0440\u0430\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f<\/td>\n<\/tr>\n<tr data-start=\"2729\" data-end=\"2793\">\n<td data-start=\"2729\" data-end=\"2747\" data-col-size=\"sm\">\u041a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044c \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430<\/td>\n<td data-col-size=\"md\" data-start=\"2747\" data-end=\"2793\">\u041d\u0438\u043a\u0430\u043a\u0438\u0445 \u0442\u0440\u0435\u0449\u0438\u043d, \u0441\u043a\u043e\u043b\u043e\u0432, \u0446\u0430\u0440\u0430\u043f\u0438\u043d, \u0437\u0430\u0433\u0440\u044f\u0437\u043d\u0435\u043d\u0438\u0439<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<\/div>\n<\/div>\n<hr data-start=\"2795\" data-end=\"2798\" \/>\n<h2 data-section-id=\"1gggyhy\" data-start=\"2800\" data-end=\"2820\">\u041f\u0440\u0438\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f<\/h2>\n<p data-start=\"2821\" data-end=\"2903\">\u041a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u044b\u0435 \u043a\u043e\u043b\u044c\u0446\u0430 \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u044b \u0432 \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u043d\u044b\u0445 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f\u0445 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432:<\/p>\n<ul data-start=\"2905\" data-end=\"3108\">\n<li data-section-id=\"qzqq98\" data-start=\"2905\" data-end=\"2943\">\u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f (ICP \/ RIE)<\/li>\n<li data-section-id=\"1iourx1\" data-start=\"2944\" data-end=\"2987\">\u0425\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0438\u0437 \u043f\u0430\u0440\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0444\u0430\u0437\u044b (CVD \/ PECVD)<\/li>\n<li data-section-id=\"1hekjdg\" data-start=\"2988\" data-end=\"3025\">\u041a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u044b \u0444\u043e\u043a\u0443\u0441\u0438\u0440\u043e\u0432\u043e\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u043e\u043b\u044c\u0446\u0430\/\u043a\u0440\u0430\u0435\u0432\u043e\u0433\u043e \u043a\u043e\u043b\u044c\u0446\u0430<\/li>\n<li data-section-id=\"y1zl6l\" data-start=\"3026\" data-end=\"3065\">\u0417\u0430\u0449\u0438\u0442\u043d\u044b\u0435 \u0438 \u0444\u0443\u0442\u0435\u0440\u043e\u0432\u043e\u0447\u043d\u044b\u0435 \u0434\u0435\u0442\u0430\u043b\u0438 \u043a\u0430\u043c\u0435\u0440\u044b<\/li>\n<li data-section-id=\"83pt8g\" data-start=\"3066\" data-end=\"3108\">\u041f\u0440\u0438\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u043b\u044f \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044f \u043a\u0440\u0430\u044f \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b<\/li>\n<\/ul>\n<p data-start=\"3110\" data-end=\"3235\">\u041e\u043d\u0438 \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u043e \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f \u043a\u0430\u043a \u0432 \u0437\u0440\u0435\u043b\u044b\u0445, \u0442\u0430\u043a \u0438 \u0432 \u043f\u0440\u043e\u043c\u0435\u0436\u0443\u0442\u043e\u0447\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0443\u0437\u043b\u0430\u0445, \u0433\u0434\u0435 \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u044d\u043a\u043e\u043d\u043e\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438 \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430.<\/p>\n<p data-start=\"3110\" data-end=\"3235\"><img decoding=\"async\" class=\"aligncenter wp-image-2406 size-large\" src=\"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/nqhpoIZB7ZFQ0FgmKSApdpD5LVDKRh2mgeWJ0h_n8YC-oFDqn-Z2JB5pyoBfyG-_oDLzw_pC2C1A3AoLJoKcLErEuU3bYIhN8vq8CwcolHLoXu8EmdfU22zT2CiuFBN0qxhzObBOZwWh-dASuFxcJnit1n-yH8VsKHv8U2e2dzbKmApkzAOkXyVy8SRUL7r0-1024x681.jpg\" alt=\"\u041f\u0440\u0435\u0446\u0438\u0437\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0435 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u043e\u0435 \u043a\u043e\u043b\u044c\u0446\u043e (\u043c\u043e\u043d\u043e\u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435\/\u043f\u043e\u043b\u0438\u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435) \u0434\u043b\u044f \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\" width=\"1024\" height=\"681\" srcset=\"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/nqhpoIZB7ZFQ0FgmKSApdpD5LVDKRh2mgeWJ0h_n8YC-oFDqn-Z2JB5pyoBfyG-_oDLzw_pC2C1A3AoLJoKcLErEuU3bYIhN8vq8CwcolHLoXu8EmdfU22zT2CiuFBN0qxhzObBOZwWh-dASuFxcJnit1n-yH8VsKHv8U2e2dzbKmApkzAOkXyVy8SRUL7r0-1024x681.jpg 1024w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/nqhpoIZB7ZFQ0FgmKSApdpD5LVDKRh2mgeWJ0h_n8YC-oFDqn-Z2JB5pyoBfyG-_oDLzw_pC2C1A3AoLJoKcLErEuU3bYIhN8vq8CwcolHLoXu8EmdfU22zT2CiuFBN0qxhzObBOZwWh-dASuFxcJnit1n-yH8VsKHv8U2e2dzbKmApkzAOkXyVy8SRUL7r0-300x199.jpg 300w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/nqhpoIZB7ZFQ0FgmKSApdpD5LVDKRh2mgeWJ0h_n8YC-oFDqn-Z2JB5pyoBfyG-_oDLzw_pC2C1A3AoLJoKcLErEuU3bYIhN8vq8CwcolHLoXu8EmdfU22zT2CiuFBN0qxhzObBOZwWh-dASuFxcJnit1n-yH8VsKHv8U2e2dzbKmApkzAOkXyVy8SRUL7r0-768x510.jpg 768w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/nqhpoIZB7ZFQ0FgmKSApdpD5LVDKRh2mgeWJ0h_n8YC-oFDqn-Z2JB5pyoBfyG-_oDLzw_pC2C1A3AoLJoKcLErEuU3bYIhN8vq8CwcolHLoXu8EmdfU22zT2CiuFBN0qxhzObBOZwWh-dASuFxcJnit1n-yH8VsKHv8U2e2dzbKmApkzAOkXyVy8SRUL7r0-1536x1021.jpg 1536w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/nqhpoIZB7ZFQ0FgmKSApdpD5LVDKRh2mgeWJ0h_n8YC-oFDqn-Z2JB5pyoBfyG-_oDLzw_pC2C1A3AoLJoKcLErEuU3bYIhN8vq8CwcolHLoXu8EmdfU22zT2CiuFBN0qxhzObBOZwWh-dASuFxcJnit1n-yH8VsKHv8U2e2dzbKmApkzAOkXyVy8SRUL7r0-18x12.jpg 18w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/nqhpoIZB7ZFQ0FgmKSApdpD5LVDKRh2mgeWJ0h_n8YC-oFDqn-Z2JB5pyoBfyG-_oDLzw_pC2C1A3AoLJoKcLErEuU3bYIhN8vq8CwcolHLoXu8EmdfU22zT2CiuFBN0qxhzObBOZwWh-dASuFxcJnit1n-yH8VsKHv8U2e2dzbKmApkzAOkXyVy8SRUL7r0-600x399.jpg 600w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/nqhpoIZB7ZFQ0FgmKSApdpD5LVDKRh2mgeWJ0h_n8YC-oFDqn-Z2JB5pyoBfyG-_oDLzw_pC2C1A3AoLJoKcLErEuU3bYIhN8vq8CwcolHLoXu8EmdfU22zT2CiuFBN0qxhzObBOZwWh-dASuFxcJnit1n-yH8VsKHv8U2e2dzbKmApkzAOkXyVy8SRUL7r0.jpg 2048w\" sizes=\"(max-width: 1024px) 100vw, 1024px\" \/><\/p>\n<hr data-start=\"3237\" data-end=\"3240\" \/>\n<h2 data-section-id=\"1misgzs\" data-start=\"3242\" data-end=\"3274\">\u041f\u0440\u0435\u0438\u043c\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0438 \u043f\u043e\u0437\u0438\u0446\u0438\u043e\u043d\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435<\/h2>\n<p data-start=\"3275\" data-end=\"3371\">\u041a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u044b\u0435 \u043a\u043e\u043b\u044c\u0446\u0430 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442 \u0441\u043e\u0431\u043e\u0439 \u0441\u0431\u0430\u043b\u0430\u043d\u0441\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0438 \u0441\u0442\u043e\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e. \u041f\u043e \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u044e \u0441 \u043a\u043e\u043b\u044c\u0446\u0430\u043c\u0438 \u0438\u0437 SiC:<\/p>\n<ul data-start=\"3373\" data-end=\"3681\">\n<li data-section-id=\"qgkkrh\" data-start=\"3373\" data-end=\"3449\">\u041d\u0438\u0437\u043a\u0430\u044f \u0441\u0442\u043e\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c: \u0438\u0434\u0435\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u043f\u043e\u0434\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u0434\u043b\u044f \u0441\u0446\u0435\u043d\u0430\u0440\u0438\u0435\u0432 \u0441 \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c \u0431\u044e\u0434\u0436\u0435\u0442\u043e\u043c \u0438\u043b\u0438 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0441\u0442\u0435\u043f\u0435\u043d\u044c\u044e \u0437\u0430\u043c\u0435\u043d\u044b<\/li>\n<li data-section-id=\"fe5ihf\" data-start=\"3450\" data-end=\"3533\">\u0425\u043e\u0440\u043e\u0448\u0430\u044f \u0441\u043e\u0432\u043c\u0435\u0441\u0442\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u0441 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430\u043c\u0438: \u041e\u0441\u043e\u0431\u0435\u043d\u043d\u043e \u043f\u043e\u0434\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f<\/li>\n<li data-section-id=\"1wgvfgt\" data-start=\"3534\" data-end=\"3604\">\u0413\u0438\u0431\u043a\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430: \u041b\u0435\u0433\u0447\u0435 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u0430\u0442\u044b\u0432\u0430\u0442\u044c \u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u044b\u0435 \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0446\u0438\u0438<\/li>\n<li data-section-id=\"1855g4l\" data-start=\"3605\" data-end=\"3681\">\u041d\u0430\u0434\u0435\u0436\u043d\u0430\u044f \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430: \u041f\u0440\u043e\u0432\u0435\u0440\u0435\u043d\u043e \u0432 \u043a\u0440\u0443\u043f\u043d\u043e\u043c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u043d\u043e\u043c \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432<\/li>\n<\/ul>\n<p data-start=\"3683\" data-end=\"3894\">\u041e\u0434\u043d\u0430\u043a\u043e \u0432 \u044d\u043a\u0441\u0442\u0440\u0435\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u0436\u0435\u0441\u0442\u043a\u0438\u0445 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u044b\u0435 \u043a\u043e\u043b\u044c\u0446\u0430 \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u0438\u0437\u043d\u0430\u0448\u0438\u0432\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u0431\u044b\u0441\u0442\u0440\u0435\u0435, \u0447\u0435\u043c \u043a\u043e\u043b\u044c\u0446\u0430 \u0438\u0437 SiC. \u041f\u043e\u044d\u0442\u043e\u043c\u0443 \u0432\u044b\u0431\u043e\u0440 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430 \u0434\u043e\u043b\u0436\u0435\u043d \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u044b\u0432\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u043d\u0430 \u0438\u043d\u0442\u0435\u043d\u0441\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430, \u043e\u0436\u0438\u0434\u0430\u0435\u043c\u043e\u043c \u0441\u0440\u043e\u043a\u0435 \u0441\u043b\u0443\u0436\u0431\u044b \u0438 \u0441\u043e\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f\u0445 \u0441\u0442\u043e\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438.<\/p>\n<p data-start=\"3683\" data-end=\"3894\"><img decoding=\"async\" class=\"wp-image-2383 size-large aligncenter\" src=\"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/\u5fae\u4fe1\u56fe\u7247_20260423181006_366_381-1024x486.png\" alt=\"\" width=\"1024\" height=\"486\" srcset=\"\" sizes=\"(max-width: 1024px) 100vw, 1024px\" data-srcset=\"\" \/><\/p>\n<hr data-start=\"3896\" data-end=\"3899\" \/>\n<h2 data-section-id=\"cpu4ih\" data-start=\"3901\" data-end=\"3912\">\u0427\u0410\u0421\u0422\u041e \u0417\u0410\u0414\u0410\u0412\u0410\u0415\u041c\u042b\u0415 \u0412\u041e\u041f\u0420\u041e\u0421\u042b<\/h2>\n<p data-start=\"3914\" data-end=\"4070\">Q1: \u042f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043b\u0438 \u0441\u0438\u043b\u0438\u043a\u043e\u043d\u043e\u0432\u043e\u0435 \u043a\u043e\u043b\u044c\u0446\u043e \u0440\u0430\u0441\u0445\u043e\u0434\u043d\u044b\u043c \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u043c?<br data-start=\"3963\" data-end=\"3966\" \/>\u0414\u0430. \u041e\u043d \u0441\u0447\u0438\u0442\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043a\u0440\u0438\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0432\u0430\u0436\u043d\u044b\u043c \u0440\u0430\u0441\u0445\u043e\u0434\u043d\u044b\u043c \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u043c \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432 \u0438\u0437-\u0437\u0430 \u043f\u043e\u0441\u0442\u0435\u043f\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u044d\u0440\u043e\u0437\u0438\u0438 \u0432 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0440\u0435\u0434\u0435.<\/p>\n<p data-start=\"4072\" data-end=\"4291\">\u0412\u043e\u043f\u0440\u043e\u0441 2: \u0412 \u0447\u0435\u043c \u0440\u0430\u0437\u043d\u0438\u0446\u0430 \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 \u043c\u043e\u043d\u043e\u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c\u0438 \u0438 \u043f\u043e\u043b\u0438\u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c\u0438 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u044b\u043c\u0438 \u043a\u043e\u043b\u044c\u0446\u0430\u043c\u0438?<br data-start=\"4160\" data-end=\"4163\" \/>\u041c\u043e\u043d\u043e\u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0439 \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u043b\u0443\u0447\u0448\u0443\u044e \u043e\u0434\u043d\u043e\u0440\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430, \u0432 \u0442\u043e \u0432\u0440\u0435\u043c\u044f \u043a\u0430\u043a \u043f\u043e\u043b\u0438\u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0439 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u044d\u043a\u043e\u043d\u043e\u043c\u0438\u0447\u0435\u043d.<\/p>\n<p data-start=\"4293\" data-end=\"4452\">Q3: \u041c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u043b\u0438 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u043e\u0435 \u043a\u043e\u043b\u044c\u0446\u043e \u0431\u044b\u0442\u044c \u043d\u0430\u0441\u0442\u0440\u043e\u0435\u043d\u043e?<br data-start=\"4336\" data-end=\"4339\" \/>\u0414\u0430. \u0420\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440, \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u0430, \u0443\u0434\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0435 \u0441\u043e\u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435, \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438 \u0433\u0435\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0438\u044f \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u0431\u044b\u0442\u044c \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u044b \u043f\u043e \u0432\u0430\u0448\u0438\u043c \u0447\u0435\u0440\u0442\u0435\u0436\u0430\u043c.<\/p>\n<p data-start=\"4454\" data-end=\"4622\">\u0412\u043e\u043f\u0440\u043e\u0441 4: \u041a\u0430\u043a \u0447\u0430\u0441\u0442\u043e \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0437\u0430\u043c\u0435\u043d\u0430 \u0441\u0438\u043b\u0438\u043a\u043e\u043d\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043a\u043e\u043b\u044c\u0446\u0430?<br data-start=\"4509\" data-end=\"4512\" \/>\u042d\u0442\u043e \u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u0438\u0442 \u043e\u0442 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430, \u043d\u043e, \u043a\u0430\u043a \u043f\u0440\u0430\u0432\u0438\u043b\u043e, \u0447\u0430\u0449\u0435, \u0447\u0435\u043c \u043a\u043e\u043b\u044c\u0446\u0430 \u0438\u0437 SiC, \u0438\u0437-\u0437\u0430 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043d\u0438\u0437\u043a\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0441\u0442\u043e\u0439\u043a\u043e\u0441\u0442\u0438.<\/p>\n<p data-start=\"4624\" data-end=\"4743\">Q5: \u041a\u0430\u043a\u043e\u0432\u043e \u0442\u0438\u043f\u0438\u0447\u043d\u043e\u0435 \u0432\u0440\u0435\u043c\u044f \u0432\u044b\u043f\u043e\u043b\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u0437\u0430\u043a\u0430\u0437\u0430?<br data-start=\"4662\" data-end=\"4665\" \/>\u041f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e \u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e \u0437\u0430\u043d\u0438\u043c\u0430\u0435\u0442 3-5 \u043d\u0435\u0434\u0435\u043b\u044c \u0432 \u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043e\u0442 \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0444\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0438 \u043a\u043e\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430.<\/p>","protected":false},"excerpt":{"rendered":"<p>\u041a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u043e\u0435 \u043a\u043e\u043b\u044c\u0446\u043e (Si Ring) - \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u043e \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u043c\u044b\u0439 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442 \u0432 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0438 \u0434\u043b\u044f \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432, \u0441\u043b\u0443\u0436\u0430\u0449\u0438\u0439 \u0444\u043e\u043a\u0443\u0441\u0438\u0440\u0443\u044e\u0449\u0438\u043c \u043a\u043e\u043b\u044c\u0446\u043e\u043c, \u043a\u0440\u0430\u0435\u0432\u044b\u043c \u043a\u043e\u043b\u044c\u0446\u043e\u043c \u0438\u043b\u0438 \u043e\u0431\u043b\u0438\u0446\u043e\u0432\u043a\u043e\u0439 \u043a\u0430\u043c\u0435\u0440\u044b. \u041e\u043d\u043e \u0438\u0433\u0440\u0430\u0435\u0442 \u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u0432\u0443\u044e \u0440\u043e\u043b\u044c \u0432 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u0435 \u0440\u0430\u0441\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b, \u0443\u043b\u0443\u0447\u0448\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0440\u0430\u0432\u043d\u043e\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438 \u0437\u0430\u0449\u0438\u0442\u0435 \u043a\u0440\u0438\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0432\u0430\u0436\u043d\u044b\u0445 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u043a\u0430\u043c\u0435\u0440\u044b \u043e\u0442 \u043f\u0440\u044f\u043c\u043e\u0433\u043e \u0432\u043e\u0437\u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0438\u044f \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0435\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b.<\/p>","protected":false},"featured_media":2404,"comment_status":"open","ping_status":"closed","template":"","meta":{"site-sidebar-layout":"default","site-content-layout":"","ast-site-content-layout":"default","site-content-style":"default","site-sidebar-style":"default","ast-global-header-display":"","ast-banner-title-visibility":"","ast-main-header-display":"","ast-hfb-above-header-display":"","ast-hfb-below-header-display":"","ast-hfb-mobile-header-display":"","site-post-title":"","ast-breadcrumbs-content":"","ast-featured-img":"","footer-sml-layout":"","ast-disable-related-posts":"","theme-transparent-header-meta":"default","adv-header-id-meta":"","stick-header-meta":"default","header-above-stick-meta":"","header-main-stick-meta":"","header-below-stick-meta":"","astra-migrate-meta-layouts":"set","ast-page-background-enabled":"default","ast-page-background-meta":{"desktop":{"background-color":"var(--ast-global-color-4)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"tablet":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"mobile":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""}},"ast-content-background-meta":{"desktop":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"tablet":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"mobile":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""}}},"product_brand":[],"product_cat":[1212],"product_tag":[1251,1250,1246,1237,1254,1218,1232,1249,1252,1248,1255,1253,1256],"class_list":{"0":"post-2400","1":"product","2":"type-product","3":"status-publish","4":"has-post-thumbnail","6":"product_cat-semiconductor-consumables","7":"product_tag-edge-ring-semiconductor","8":"product_tag-focus-ring-silicon","9":"product_tag-icp-rie-ring","10":"product_tag-plasma-etching-ring","11":"product_tag-polycrystalline-silicon-ring","12":"product_tag-semiconductor-consumables","13":"product_tag-semiconductor-equipment-parts","14":"product_tag-si-ring-semiconductor","15":"product_tag-silicon-chamber-parts","16":"product_tag-silicon-ring","17":"product_tag-silicon-wear-parts","18":"product_tag-single-crystal-silicon-ring","19":"product_tag-wafer-processing-components","20":"desktop-align-left","21":"tablet-align-left","22":"mobile-align-left","23":"ast-product-gallery-layout-horizontal-slider","24":"ast-product-tabs-layout-horizontal","26":"first","27":"instock","28":"shipping-taxable","29":"product-type-simple"},"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/product\/2400","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/product"}],"about":[{"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/types\/product"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=2400"}],"version-history":[{"count":2,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/product\/2400\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":2408,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/product\/2400\/revisions\/2408"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/media\/2404"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=2400"}],"wp:term":[{"taxonomy":"product_brand","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/product_brand?post=2400"},{"taxonomy":"product_cat","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/product_cat?post=2400"},{"taxonomy":"product_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/product_tag?post=2400"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}