{"id":2354,"date":"2026-04-22T06:34:59","date_gmt":"2026-04-22T06:34:59","guid":{"rendered":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/?post_type=product&p=2354"},"modified":"2026-04-22T07:16:34","modified_gmt":"2026-04-22T07:16:34","slug":"ai300-medium-beam-high-temperature-ion-implantation-system-for-12-inch-wafer-processing","status":"publish","type":"product","link":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/product\/ai300-medium-beam-high-temperature-ion-implantation-system-for-12-inch-wafer-processing\/","title":{"rendered":"\u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u043d\u043e\u0439 \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0438\u043c\u043f\u043b\u0430\u043d\u0442\u0430\u0446\u0438\u0438 Ai300 (\u0441\u0440\u0435\u0434\u043d\u0438\u0439 \u043b\u0443\u0447) \u0434\u043b\u044f \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438 12-\u0434\u044e\u0439\u043c\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d"},"content":{"rendered":"

\"\u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430\u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u043d\u043e\u0439 \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0438\u043c\u043f\u043b\u0430\u043d\u0442\u0430\u0446\u0438\u0438 Ai300 (Medium Beam) \u043f\u0440\u0435\u0434\u043d\u0430\u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0430 \u0434\u043b\u044f 12-\u0434\u044e\u0439\u043c\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043b\u0438\u043d\u0438\u0439 \u043f\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0443 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d \u0438\u0437 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f. \u042d\u0442\u043e \u0441\u0440\u0435\u0434\u043d\u0435\u0442\u043e\u043a\u043e\u0432\u044b\u0439 \u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0438\u043c\u043f\u043b\u0430\u043d\u0442\u0435\u0440, \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u043b\u0435\u0433\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043a\u0430\u043a \u0432 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u044b\u0445, \u0442\u0430\u043a \u0438 \u0432 \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u043e\u0437\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430\u0445, \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u044f \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043b\u0438\u043d\u0438\u0438 SiC.<\/p>\n

\u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u043f\u043e\u0434\u0434\u0435\u0440\u0436\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0434\u0438\u0430\u043f\u0430\u0437\u043e\u043d \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u0439 \u043e\u0442 5 \u043a\u044d\u0412 \u0434\u043e 300 \u043a\u044d\u0412, \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u044f \u0433\u0438\u0431\u043a\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438\u043c\u043f\u043b\u0430\u043d\u0442\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043e\u0442 \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043d\u0435\u0433\u043b\u0443\u0431\u043e\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0445\u043e\u0434\u043e\u0432 \u0434\u043e \u0433\u043b\u0443\u0431\u043e\u043a\u043e\u0433\u043e \u043b\u0435\u0433\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f. \u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u043e\u0441\u043d\u0430\u0449\u0435\u043d\u0430 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u043d\u044b\u043c \u043d\u0430\u0433\u0440\u0435\u0432\u043e\u043c \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u0435\u043a \u0441 \u043c\u0430\u043a\u0441\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u043e\u0439 \u0434\u043e 400\u00b0C, \u0447\u0442\u043e \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0443\u043b\u0443\u0447\u0448\u0438\u0442\u044c \u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u0430\u0446\u0438\u044e \u043b\u0435\u0433\u0438\u0440\u0443\u044e\u0449\u0438\u0445 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u0438 \u0443\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0438\u0442\u044c \u043f\u043e\u0432\u0440\u0435\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0440\u0435\u0448\u0435\u0442\u043a\u0438 \u043f\u0440\u0438 \u0438\u043c\u043f\u043b\u0430\u043d\u0442\u0430\u0446\u0438\u0438.<\/p>\n

\u0411\u043b\u0430\u0433\u043e\u0434\u0430\u0440\u044f \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0435 \u043b\u0443\u0447\u0430, \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0443\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438 \u0441\u043e\u0432\u043c\u0435\u0441\u0442\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0441 \u043a\u0440\u0443\u043f\u043d\u043e\u043c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430\u043c\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0438\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0445\u0435\u043c \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 Ai300 \u043f\u043e\u0434\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432.<\/p>\n

\n

\u0425\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438<\/h2>\n

\u0412\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u043d\u043e\u0439 \u0438\u043c\u043f\u043b\u0430\u043d\u0442\u0430\u0446\u0438\u0438<\/h3>\n

\u041e\u0441\u043d\u0430\u0449\u0435\u043d \u043f\u043e\u0434\u043e\u0433\u0440\u0435\u0432\u0430\u0435\u043c\u043e\u0439 \u0441\u0442\u0443\u043f\u0435\u043d\u044c\u044e \u0434\u043b\u044f \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d, \u043f\u043e\u0434\u0434\u0435\u0440\u0436\u0438\u0432\u0430\u044e\u0449\u0435\u0439 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0443 \u0434\u043e 400\u00b0C, \u0447\u0442\u043e \u043f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0430\u0435\u0442 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e \u0438\u043c\u043f\u043b\u0430\u043d\u0442\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0438 \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043b\u0435\u0433\u0438\u0440\u0443\u044e\u0449\u0438\u0445 \u0432\u0435\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432.<\/p>\n

\u0428\u0438\u0440\u043e\u043a\u0438\u0439 \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0435\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0434\u0438\u0430\u043f\u0430\u0437\u043e\u043d<\/h3>\n

\u0414\u0438\u0430\u043f\u0430\u0437\u043e\u043d \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u0439 5-300 \u043a\u044d\u0412 \u043f\u043e\u0434\u0434\u0435\u0440\u0436\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u044b \u043a\u0430\u043a \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u043d\u043e\u0439, \u0442\u0430\u043a \u0438 \u0433\u043b\u0443\u0431\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0438\u043c\u043f\u043b\u0430\u043d\u0442\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0434\u043b\u044f \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u0438\u044f \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432.<\/p>\n

\u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0435 \u0443\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043b\u0443\u0447\u043e\u043c<\/h3>\n

\u041e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0443\u044e \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438\u043c\u043f\u043b\u0430\u043d\u0442\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0441 \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0443\u0433\u043b\u0430 \u2264 0,1\u00b0, \u043f\u0430\u0440\u0430\u043b\u043b\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u043b\u0443\u0447\u0430 \u2264 0,1\u00b0, \u0440\u0430\u0432\u043d\u043e\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u2264 0,5% \u0438 \u043f\u043e\u0432\u0442\u043e\u0440\u044f\u0435\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u2264 0,5%.<\/p>\n

\u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u0430\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c<\/h3>\n

\u041f\u043e\u0434\u0434\u0435\u0440\u0436\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0434\u043e \u2265 500 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d \u0432 \u0447\u0430\u0441, \u0447\u0442\u043e \u043f\u043e\u0434\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u0434\u043b\u044f \u043a\u0440\u0443\u043f\u043d\u043e\u0441\u0435\u0440\u0438\u0439\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432.<\/p>\n

\u0420\u0430\u0441\u0448\u0438\u0440\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u0430<\/h3>\n

\u041f\u043e\u0434\u0434\u0435\u0440\u0436\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u043c\u043d\u043e\u0436\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e \u0438\u043c\u043f\u043b\u0430\u043d\u0442\u0438\u0440\u0443\u0435\u043c\u044b\u0445 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432, \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u044f C, B, P, N, He \u0438 Ar, \u0443\u0434\u043e\u0432\u043b\u0435\u0442\u0432\u043e\u0440\u044f\u044f \u0440\u0430\u0437\u043d\u043e\u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043d\u044b\u043c \u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f\u043c \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432.<\/p>\n

\u0421\u043e\u0432\u043c\u0435\u0441\u0442\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u0441 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430\u043c\u0438 LSI<\/h3>\n

\u041f\u043e\u043b\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0441\u043e\u0432\u043c\u0435\u0441\u0442\u0438\u043c \u0441 \u043a\u0440\u0443\u043f\u043d\u043e\u043c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430\u043c\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0438\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0445\u0435\u043c \u0438 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u044b\u043c\u0438 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f\u043c\u0438 \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432.<\/p>\n

\"\" \"\"<\/p>\n

\n

\u041e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u0435 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438<\/h2>\n

\u041f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u044b \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430<\/h3>\n
\n
\n\n\n\n\n\n\n\n\n
\u0410\u0440\u0442\u0438\u043a\u0443\u043b<\/th>\n\u0422\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438<\/th>\n<\/tr>\n<\/thead>\n
\u0420\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b<\/td>\n12 \u0434\u044e\u0439\u043c\u043e\u0432<\/td>\n<\/tr>\n
\u0414\u0438\u0430\u043f\u0430\u0437\u043e\u043d \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u0438<\/td>\n5-300 \u043a\u044d\u0412<\/td>\n<\/tr>\n
\u0418\u043c\u043f\u043b\u0430\u043d\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0435 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u044b<\/td>\nC, B, P, N, He, Ar<\/td>\n<\/tr>\n
\u0414\u0438\u0430\u043f\u0430\u0437\u043e\u043d \u0434\u043e\u0437<\/td>\n1E11-1E16 \u0438\u043e\u043d\u043e\u0432\/\u0441\u043c\u00b2<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<\/div>\n<\/div>\n

\u041f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0431\u0430\u043b\u043a\u0438<\/h3>\n
\n
\n\n\n\n\n\n\n
\u0410\u0440\u0442\u0438\u043a\u0443\u043b<\/th>\n\u0422\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438<\/th>\n<\/tr>\n<\/thead>\n
\u0423\u0441\u0442\u043e\u0439\u0447\u0438\u0432\u043e\u0441\u0442\u044c \u0431\u0430\u043b\u043a\u0438<\/td>\n\u2264 10% \/ \u0447\u0430\u0441 (\u22641 \u043f\u0440\u0435\u0440\u044b\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043b\u0443\u0447\u0430 \u0438\u043b\u0438 \u0434\u0443\u0433\u0430 \u0432 \u0447\u0430\u0441)<\/td>\n<\/tr>\n
\u041f\u0430\u0440\u0430\u043b\u043b\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0431\u0430\u043b\u043e\u043a<\/td>\n\u2264 0.1\u00b0<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<\/div>\n<\/div>\n

\u0422\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438\u043c\u043f\u043b\u0430\u043d\u0442\u0430\u0446\u0438\u0438<\/h3>\n
\n
\n\n\n\n\n\n\n\n\n
\u0410\u0440\u0442\u0438\u043a\u0443\u043b<\/th>\n\u0422\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438<\/th>\n<\/tr>\n<\/thead>\n
\u0414\u0438\u0430\u043f\u0430\u0437\u043e\u043d \u0443\u0433\u043b\u0430 \u043d\u0430\u043a\u043b\u043e\u043d\u0430 \u0438\u043c\u043f\u043b\u0430\u043d\u0442\u0430\u0442\u0430<\/td>\n0\u00b0-45\u00b0<\/td>\n<\/tr>\n
\u0422\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0443\u0433\u043b\u0430<\/td>\n\u2264 0.1\u00b0<\/td>\n<\/tr>\n
\u0420\u0430\u0432\u043d\u043e\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c (1\u03c3)<\/td>\n\u2264 0.5% (P+, 1E14, 100 \u043a\u044d\u0412)<\/td>\n<\/tr>\n
\u041f\u043e\u0432\u0442\u043e\u0440\u044f\u0435\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c (1\u03c3)<\/td>\n\u2264 0,5%<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<\/div>\n<\/div>\n

\u041f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b<\/h3>\n
\n
\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n
\u0410\u0440\u0442\u0438\u043a\u0443\u043b<\/th>\n\u0422\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438<\/th>\n<\/tr>\n<\/thead>\n
\u041f\u0440\u043e\u043f\u0443\u0441\u043a\u043d\u0430\u044f \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c<\/td>\n\u2265 500 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d \u0432 \u0447\u0430\u0441<\/td>\n<\/tr>\n
\u041c\u0430\u043a\u0441\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430 \u0438\u043c\u043f\u043b\u0430\u043d\u0442\u0430\u0442\u0430<\/td>\n400\u00b0C<\/td>\n<\/tr>\n
\u0420\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f<\/td>\n6400 \u00d7 3640 \u00d7 3100 \u043c\u043c<\/td>\n<\/tr>\n
\u0423\u0440\u043e\u0432\u0435\u043d\u044c \u0432\u0430\u043a\u0443\u0443\u043c\u0430<\/td>\n5E-7 \u0422\u043e\u0440\u0440<\/td>\n<\/tr>\n
\u0423\u0442\u0435\u0447\u043a\u0430 \u0440\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d\u043e\u0432\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f<\/td>\n\u2264 0,3 \u043c\u043a\u0417\u0432\/\u0447<\/td>\n<\/tr>\n
\u0420\u0435\u0436\u0438\u043c \u0441\u043a\u0430\u043d\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f<\/td>\n\u0413\u043e\u0440\u0438\u0437\u043e\u043d\u0442\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0435 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u0441\u043a\u0430\u043d\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 + \u0432\u0435\u0440\u0442\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0435 \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u0441\u043a\u0430\u043d\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<\/div>\n<\/div>\n
\n

\u041f\u043e\u043b\u044f \u043f\u0440\u0438\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u0439<\/h2>\n

\u041e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432 SiC<\/h3>\n

\u0418\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u043f\u0440\u0438 \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0438 \u043f\u0440\u0438\u0431\u043e\u0440\u043e\u0432 \u0438\u0437 \u043a\u0430\u0440\u0431\u0438\u0434\u0430 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f, \u043f\u043e\u0434\u0434\u0435\u0440\u0436\u0438\u0432\u0430\u044f \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u044b \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u043d\u043e\u0439 \u0438\u043c\u043f\u043b\u0430\u043d\u0442\u0430\u0446\u0438\u0438, \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u044b\u0435 \u0434\u043b\u044f \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432 \u0441 \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u043e\u0439 \u043f\u043e\u043b\u043e\u0441\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u043f\u0443\u0441\u043a\u0430\u043d\u0438\u044f.<\/p>\n

\u041f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432 \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f<\/h3>\n

\u041f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u043b\u0438\u043d\u0438\u044f\u0445 \u043f\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0443 12-\u0434\u044e\u0439\u043c\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u041a\u041c\u041e\u041f \u0438 \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0438\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0445\u0435\u043c.<\/p>\n

\u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u044b \u0438\u043c\u043f\u043b\u0430\u043d\u0442\u0430\u0446\u0438\u0438<\/h3>\n

\u041f\u043e\u0434\u0434\u0435\u0440\u0436\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u044b \u0438\u043c\u043f\u043b\u0430\u043d\u0442\u0430\u0446\u0438\u0438, \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u044e\u0449\u0438\u0435 \u043f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u044b \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438 \u0434\u043b\u044f \u0443\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432 \u0438 \u0443\u043b\u0443\u0447\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043b\u0435\u0433\u0438\u0440\u0443\u044e\u0449\u0438\u0445 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432.<\/p>\n

\u0418\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0441\u0438\u043b\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432<\/h3>\n

\u041f\u043e\u0434\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u0434\u043b\u044f \u0441\u0438\u043b\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0438\u0431\u043e\u0440\u043e\u0432, \u0433\u0434\u0435 \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0435 \u043b\u0435\u0433\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0438 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0435\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u0438\u043c\u043f\u043b\u0430\u043d\u0442\u0430\u0446\u0438\u044f.<\/p>\n

\u041f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u043e\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e \u0438\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0445\u0435\u043c<\/h3>\n

\u041f\u043e\u0434\u0434\u0435\u0440\u0436\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0438\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0430\u0446\u0438\u044e \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 LSI \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e.<\/p>\n

\n

\u0427\u0430\u0441\u0442\u043e \u0437\u0430\u0434\u0430\u0432\u0430\u0435\u043c\u044b\u0435 \u0432\u043e\u043f\u0440\u043e\u0441\u044b<\/h2>\n

1. \u041a\u0430\u043a\u043e\u0439 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d \u043f\u043e\u0434\u0434\u0435\u0440\u0436\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 Ai300<\/h3>\n

\u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u043f\u0440\u0435\u0434\u043d\u0430\u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0430 \u0434\u043b\u044f 12-\u0434\u044e\u0439\u043c\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d \u0438 \u043f\u043e\u0434\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u0434\u043b\u044f \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043b\u0438\u043d\u0438\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432.<\/p>\n

2. \u0412 \u0447\u0435\u043c \u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u0432\u043e\u0435 \u043f\u0440\u0435\u0438\u043c\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u043d\u043e\u0439 \u0438\u043c\u043f\u043b\u0430\u043d\u0442\u0430\u0446\u0438\u0438<\/h3>\n

\u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u043f\u043e\u0434\u0434\u0435\u0440\u0436\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0438\u043c\u043f\u043b\u0430\u043d\u0442\u0430\u0446\u0438\u044e \u043f\u0440\u0438 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0435 \u0434\u043e 400\u00b0C, \u0447\u0442\u043e \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0443\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0438\u0442\u044c \u043f\u043e\u0432\u0440\u0435\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0440\u0435\u0448\u0435\u0442\u043a\u0438, \u0443\u043b\u0443\u0447\u0448\u0438\u0442\u044c \u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u0430\u0446\u0438\u044e \u043b\u0435\u0433\u0438\u0440\u0443\u044e\u0449\u0438\u0445 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u0438 \u043f\u043e\u0432\u044b\u0441\u0438\u0442\u044c \u043e\u0431\u0449\u0443\u044e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430.<\/p>\n

3. \u041a\u0430\u043a\u043e\u0439 \u0443\u0440\u043e\u0432\u0435\u043d\u044c \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438 \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430<\/h3>\n

\u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0443\u0433\u043b\u0430 \u0432 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0430\u0445 0,1 \u0433\u0440\u0430\u0434\u0443\u0441\u0430, \u043f\u0430\u0440\u0430\u043b\u043b\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043b\u0443\u0447\u0430 \u0432 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0430\u0445 0,1 \u0433\u0440\u0430\u0434\u0443\u0441\u0430, \u0440\u0430\u0432\u043d\u043e\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438 \u043f\u043e\u0432\u0442\u043e\u0440\u044f\u0435\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u0432 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0430\u0445 0,5 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u043d\u0442\u0430 \u043f\u0440\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0434\u043e 500 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d \u0432 \u0447\u0430\u0441.<\/p>","protected":false},"excerpt":{"rendered":"

\u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u043d\u043e\u0439 \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0438\u043c\u043f\u043b\u0430\u043d\u0442\u0430\u0446\u0438\u0438 Ai300 (Medium Beam) \u043f\u0440\u0435\u0434\u043d\u0430\u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0430 \u0434\u043b\u044f 12-\u0434\u044e\u0439\u043c\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043b\u0438\u043d\u0438\u0439 \u043f\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0443 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d \u0438\u0437 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f. \u042d\u0442\u043e \u0441\u0440\u0435\u0434\u043d\u0435\u0442\u043e\u043a\u043e\u0432\u044b\u0439 \u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0438\u043c\u043f\u043b\u0430\u043d\u0442\u0435\u0440, \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u043b\u0435\u0433\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043a\u0430\u043a \u0432 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u044b\u0445, \u0442\u0430\u043a \u0438 \u0432 \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u043e\u0437\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430\u0445, \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u044f \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043b\u0438\u043d\u0438\u0438 SiC.<\/p>","protected":false},"featured_media":2357,"comment_status":"open","ping_status":"closed","template":"","meta":{"site-sidebar-layout":"default","site-content-layout":"","ast-site-content-layout":"default","site-content-style":"default","site-sidebar-style":"default","ast-global-header-display":"","ast-banner-title-visibility":"","ast-main-header-display":"","ast-hfb-above-header-display":"","ast-hfb-below-header-display":"","ast-hfb-mobile-header-display":"","site-post-title":"","ast-breadcrumbs-content":"","ast-featured-img":"","footer-sml-layout":"","ast-disable-related-posts":"","theme-transparent-header-meta":"default","adv-header-id-meta":"","stick-header-meta":"default","header-above-stick-meta":"","header-main-stick-meta":"","header-below-stick-meta":"","astra-migrate-meta-layouts":"set","ast-page-background-enabled":"default","ast-page-background-meta":{"desktop":{"background-color":"var(--ast-global-color-4)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"tablet":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"mobile":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""}},"ast-content-background-meta":{"desktop":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"tablet":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"mobile":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""}}},"product_brand":[],"product_cat":[1177],"product_tag":[1160,1194,1178,1181,1186,1197,1196,1185,1195,1198],"class_list":{"0":"post-2354","1":"product","2":"type-product","3":"status-publish","4":"has-post-thumbnail","6":"product_cat-ion-implantation-equipment","7":"product_tag-12-inch-wafer-equipment","8":"product_tag-high-temperature-ion-implantation","9":"product_tag-ion-implantation-system","10":"product_tag-lsi-manufacturing-equipment","11":"product_tag-medium-beam-ion-implanter","12":"product_tag-power-semiconductor-processing","13":"product_tag-semiconductor-doping-machine","14":"product_tag-semiconductor-fabrication-equipment","15":"product_tag-sic-implantation-equipment","16":"product_tag-wide-bandgap-semiconductor-equipment","17":"desktop-align-left","18":"tablet-align-left","19":"mobile-align-left","20":"ast-product-gallery-layout-horizontal-slider","21":"ast-product-gallery-with-no-image","22":"ast-product-tabs-layout-horizontal","24":"first","25":"instock","26":"shipping-taxable","27":"product-type-simple"},"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/product\/2354","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/product"}],"about":[{"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/types\/product"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=2354"}],"version-history":[{"count":5,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/product\/2354\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":2370,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/product\/2354\/revisions\/2370"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/media\/2357"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=2354"}],"wp:term":[{"taxonomy":"product_brand","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/product_brand?post=2354"},{"taxonomy":"product_cat","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/product_cat?post=2354"},{"taxonomy":"product_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/product_tag?post=2354"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}