{"id":2189,"date":"2026-04-14T05:47:26","date_gmt":"2026-04-14T05:47:26","guid":{"rendered":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/?post_type=product&#038;p=2189"},"modified":"2026-04-14T05:47:29","modified_gmt":"2026-04-14T05:47:29","slug":"6-inch-4h-n-silicon-carbide-wafer","status":"publish","type":"product","link":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/product\/6-inch-4h-n-silicon-carbide-wafer\/","title":{"rendered":"6-\u0434\u044e\u0439\u043c\u043e\u0432\u0430\u044f \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0430 \u0438\u0437 \u043a\u0430\u0440\u0431\u0438\u0434\u0430 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f 4H-N"},"content":{"rendered":"<p data-start=\"457\" data-end=\"813\">6-\u0434\u044e\u0439\u043c\u043e\u0432\u0430\u044f \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0430 \u0438\u0437 \u043a\u0430\u0440\u0431\u0438\u0434\u0430 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f 4H-N \u043f\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0441\u043e\u0431\u043e\u0439 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u0443\u044e \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0443 \u0441 \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u043e\u0439 \u043f\u043e\u043b\u043e\u0441\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u043f\u0443\u0441\u043a\u0430\u043d\u0438\u044f, \u043f\u0440\u0435\u0434\u043d\u0430\u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u043d\u0443\u044e \u0434\u043b\u044f \u0441\u0438\u043b\u043e\u0432\u044b\u0445 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432 \u043d\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u043a\u043e\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f. \u041f\u043e \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u044e \u0441 \u0442\u0440\u0430\u0434\u0438\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u044b\u043c\u0438 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430\u043c\u0438, SiC \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0443\u044e \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0431\u043e\u044f, \u043f\u0440\u0435\u0432\u043e\u0441\u0445\u043e\u0434\u043d\u0443\u044e \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438 \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u0443\u044e \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0443 \u0432 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f\u0445 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u0445 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440 \u0438 \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f.<img fetchpriority=\"high\" decoding=\"async\" class=\"alignright wp-image-2192 size-medium\" src=\"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/6_inch_silicon_carbide_sic_wafer_for_ar_glasses_mos_sbd2-300x300.webp\" alt=\"\u041f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0430 \u0438\u0437 \u043a\u0430\u0440\u0431\u0438\u0434\u0430 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f 4H-N\" width=\"300\" height=\"300\" srcset=\"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/6_inch_silicon_carbide_sic_wafer_for_ar_glasses_mos_sbd2-300x300.webp 300w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/6_inch_silicon_carbide_sic_wafer_for_ar_glasses_mos_sbd2-150x150.webp 150w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/6_inch_silicon_carbide_sic_wafer_for_ar_glasses_mos_sbd2-768x768.webp 768w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/6_inch_silicon_carbide_sic_wafer_for_ar_glasses_mos_sbd2-12x12.webp 12w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/6_inch_silicon_carbide_sic_wafer_for_ar_glasses_mos_sbd2-600x600.webp 600w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/6_inch_silicon_carbide_sic_wafer_for_ar_glasses_mos_sbd2-100x100.webp 100w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/6_inch_silicon_carbide_sic_wafer_for_ar_glasses_mos_sbd2.webp 800w\" sizes=\"(max-width: 300px) 100vw, 300px\" \/><\/p>\n<p data-start=\"815\" data-end=\"1152\">\u0428\u0438\u0440\u043e\u043a\u0430\u044f \u043f\u043e\u043b\u043e\u0441\u0430 \u043f\u0440\u043e\u043f\u0443\u0441\u043a\u0430\u043d\u0438\u044f \u043e\u043a\u043e\u043b\u043e 3,26 \u044d\u0412 \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430\u043c \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 SiC \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u0442\u044c \u043f\u0440\u0438 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u0445 \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f\u0445 \u0438 \u0447\u0430\u0441\u0442\u043e\u0442\u0430\u0445 \u043f\u0435\u0440\u0435\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f, \u0441\u043e\u0445\u0440\u0430\u043d\u044f\u044f \u043f\u0440\u0438 \u044d\u0442\u043e\u043c \u043d\u0438\u0437\u043a\u0438\u0435 \u043f\u043e\u0442\u0435\u0440\u0438 \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u0438. \u0412 \u0440\u0435\u0437\u0443\u043b\u044c\u0442\u0430\u0442\u0435 SiC \u0441\u0442\u0430\u043b \u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u0432\u044b\u043c \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u043c \u0434\u043b\u044f \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c \u043f\u0440\u0435\u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u0438, \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u044f \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043c\u043e\u0431\u0438\u043b\u0438, \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b \u0432\u043e\u0437\u043e\u0431\u043d\u043e\u0432\u043b\u044f\u0435\u043c\u044b\u0445 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432 \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u0438 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u0438 \u043f\u0438\u0442\u0430\u043d\u0438\u044f.<\/p>\n<p data-start=\"1154\" data-end=\"1446\">\u0424\u043e\u0440\u043c\u0430\u0442 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d 6 \u0434\u044e\u0439\u043c\u043e\u0432 (\u043a\u043b\u0430\u0441\u0441 150 \u043c\u043c) \u0432 \u043d\u0430\u0441\u0442\u043e\u044f\u0449\u0435\u0435 \u0432\u0440\u0435\u043c\u044f \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u043c \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c \u0441\u0442\u0430\u043d\u0434\u0430\u0440\u0442\u043e\u043c \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 SiC-\u043f\u0440\u0438\u0431\u043e\u0440\u043e\u0432. \u041e\u043d \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u043e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u0431\u0430\u043b\u0430\u043d\u0441 \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 \u0432\u044b\u0445\u043e\u0434\u043e\u043c \u043f\u0440\u043e\u0434\u0443\u043a\u0446\u0438\u0438, \u0437\u0440\u0435\u043b\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 \u0438 \u044d\u043a\u043e\u043d\u043e\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e, \u0447\u0442\u043e \u0434\u0435\u043b\u0430\u0435\u0442 \u0435\u0433\u043e \u043f\u0440\u0438\u0433\u043e\u0434\u043d\u044b\u043c \u043a\u0430\u043a \u0434\u043b\u044f \u043c\u0430\u0441\u0441\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430, \u0442\u0430\u043a \u0438 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u0438\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u0439.<\/p>\n<h2 data-section-id=\"1m0bppr\" data-start=\"1453\" data-end=\"1475\">\u0421\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430<\/h2>\n<p data-start=\"1477\" data-end=\"1603\">4H-SiC \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043d\u0430\u0438\u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u043e \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u043c\u044b\u043c \u043f\u043e\u043b\u0438\u0442\u0438\u043f\u043e\u043c \u0432 \u0441\u0438\u043b\u043e\u0432\u043e\u0439 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0435 \u0431\u043b\u0430\u0433\u043e\u0434\u0430\u0440\u044f \u0441\u0432\u043e\u0435\u0439 \u0431\u043b\u0430\u0433\u043e\u043f\u0440\u0438\u044f\u0442\u043d\u043e\u0439 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0441\u0438\u043c\u043c\u0435\u0442\u0440\u0438\u0438 \u0438 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0430\u043c.<\/p>\n<p data-start=\"1605\" data-end=\"1638\">\u041a \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u043c \u0432\u043d\u0443\u0442\u0440\u0435\u043d\u043d\u0438\u043c \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430\u043c \u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u044f\u0442\u0441\u044f:<\/p>\n<ul data-start=\"1640\" data-end=\"1985\">\n<li data-section-id=\"u9adpp\" data-start=\"1640\" data-end=\"1699\">\u0428\u0438\u0440\u043e\u043a\u0430\u044f \u043f\u043e\u043b\u043e\u0441\u0430 \u043f\u0440\u043e\u043f\u0443\u0441\u043a\u0430\u043d\u0438\u044f (~3,26 \u044d\u0412) \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u0442\u044c \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u043c \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c<\/li>\n<li data-section-id=\"1qovr\" data-start=\"1700\" data-end=\"1774\">\u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u0430\u044f \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c (~4,9 \u0412\u0442\/\u0441\u043c-\u041a) \u0434\u043b\u044f \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0433\u043e \u043e\u0442\u0432\u043e\u0434\u0430 \u0442\u0435\u043f\u043b\u0430<\/li>\n<li data-section-id=\"1eo3rd4\" data-start=\"1775\" data-end=\"1850\">\u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0435 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u043f\u043e\u043b\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0431\u043e\u044f (~3 \u041c\u0412\/\u0441\u043c) \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u0432\u0430\u0442\u044c \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043a\u0442\u043d\u044b\u0435 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430<\/li>\n<li data-section-id=\"1pbvzeg\" data-start=\"1851\" data-end=\"1914\">\u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u0430\u044f \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c \u043d\u0430\u0441\u044b\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043e\u0432, \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u044e\u0449\u0430\u044f \u0431\u044b\u0441\u0442\u0440\u043e\u0435 \u043f\u0435\u0440\u0435\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435<\/li>\n<li data-section-id=\"2w4jum\" data-start=\"1915\" data-end=\"1985\">\u041e\u0442\u043b\u0438\u0447\u043d\u0430\u044f \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u0438 \u0440\u0430\u0434\u0438\u0430\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u0430\u044f \u0441\u0442\u043e\u0439\u043a\u043e\u0441\u0442\u044c \u0434\u043b\u044f \u0441\u0443\u0440\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u0439 \u044d\u043a\u0441\u043f\u043b\u0443\u0430\u0442\u0430\u0446\u0438\u0438<\/li>\n<\/ul>\n<p data-start=\"1987\" data-end=\"2087\">\u042d\u0442\u0438 \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0434\u0435\u043b\u0430\u044e\u0442 SiC \u0432\u0430\u0436\u043d\u0435\u0439\u0448\u0438\u043c \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u043c \u0434\u043b\u044f \u043c\u043e\u0449\u043d\u044b\u0445 \u0438 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0438\u0431\u043e\u0440\u043e\u0432.<\/p>\n<h2 data-section-id=\"4ew6vq\" data-start=\"2094\" data-end=\"2137\"><img decoding=\"async\" class=\"alignright wp-image-2190 size-medium\" src=\"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/6_inch_silicon_carbide_sic_wafer_for_ar_glasses_mos_sbd4-300x300.webp\" alt=\"6-\u0434\u044e\u0439\u043c\u043e\u0432\u0430\u044f \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0430 \u0438\u0437 \u043a\u0430\u0440\u0431\u0438\u0434\u0430 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f 4H-N\" width=\"300\" height=\"300\" srcset=\"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/6_inch_silicon_carbide_sic_wafer_for_ar_glasses_mos_sbd4-300x300.webp 300w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/6_inch_silicon_carbide_sic_wafer_for_ar_glasses_mos_sbd4-150x150.webp 150w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/6_inch_silicon_carbide_sic_wafer_for_ar_glasses_mos_sbd4-768x768.webp 768w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/6_inch_silicon_carbide_sic_wafer_for_ar_glasses_mos_sbd4-12x12.webp 12w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/6_inch_silicon_carbide_sic_wafer_for_ar_glasses_mos_sbd4-600x600.webp 600w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/6_inch_silicon_carbide_sic_wafer_for_ar_glasses_mos_sbd4-100x100.webp 100w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/6_inch_silicon_carbide_sic_wafer_for_ar_glasses_mos_sbd4.webp 800w\" sizes=\"(max-width: 300px) 100vw, 300px\" \/>\u0412\u044b\u0440\u0430\u0449\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430<\/h2>\n<p data-start=\"2139\" data-end=\"2286\">\u041f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438 SiC \u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u0430\u0432\u043b\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u043e\u043c \u0444\u0438\u0437\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u0435\u0440\u0435\u043d\u043e\u0441\u0430 \u043f\u0430\u0440\u043e\u0432 (PVT), \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0439 \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0437\u0440\u0435\u043b\u044b\u043c \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u043c \u0434\u043b\u044f \u0432\u044b\u0440\u0430\u0449\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043e\u0431\u044a\u0435\u043c\u043d\u044b\u0445 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432 SiC.<\/p>\n<p data-start=\"2288\" data-end=\"2526\">\u0412 \u044d\u0442\u043e\u043c \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0435 \u043f\u043e\u0440\u043e\u0448\u043e\u043a SiC \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0447\u0438\u0441\u0442\u043e\u0442\u044b \u0441\u0443\u0431\u043b\u0438\u043c\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u043f\u0440\u0438 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0435 \u0432\u044b\u0448\u0435 2000\u00b0C. \u041f\u0430\u0440\u043e\u0444\u0430\u0437\u043d\u044b\u0435 \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0446\u044b \u043f\u0435\u0440\u0435\u043d\u043e\u0441\u044f\u0442\u0441\u044f \u043f\u043e\u0434 \u0442\u0449\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u0438\u0440\u0443\u0435\u043c\u044b\u043c\u0438 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0433\u0440\u0430\u0434\u0438\u0435\u043d\u0442\u0430\u043c\u0438 \u0438 \u0440\u0435\u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0437\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f \u043d\u0430 \u0437\u0430\u0442\u0440\u0430\u0432\u043e\u0447\u043d\u043e\u043c \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0435, \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u0443\u044f \u043c\u043e\u043d\u043e\u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0431\u0443\u043b\u044c.<\/p>\n<p data-start=\"2528\" data-end=\"2573\">\u041f\u043e\u0441\u043b\u0435 \u0440\u043e\u0441\u0442\u0430 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b \u043f\u043e\u0434\u0432\u0435\u0440\u0433\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0443 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438:<\/p>\n<ul data-start=\"2575\" data-end=\"2712\">\n<li data-section-id=\"1akaq77\" data-start=\"2575\" data-end=\"2608\">\u0422\u043e\u0447\u043d\u0430\u044f \u043d\u0430\u0440\u0435\u0437\u043a\u0430 \u043d\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b<\/li>\n<li data-section-id=\"h9dpd3\" data-start=\"2609\" data-end=\"2637\">\u041e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u043a\u0440\u043e\u043c\u043e\u043a \u0438 \u043f\u0440\u0438\u0442\u0438\u0440\u043a\u0430<\/li>\n<li data-section-id=\"lnoxjt\" data-start=\"2638\" data-end=\"2677\">\u0425\u0438\u043c\u0438\u043a\u043e-\u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u043f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u043a\u0430 (\u0425\u041c\u041f)<\/li>\n<li data-section-id=\"f7113h\" data-start=\"2678\" data-end=\"2712\">\u041e\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0430 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0432\u0435\u0440\u043a\u0430 \u043d\u0430 \u043d\u0430\u043b\u0438\u0447\u0438\u0435 \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432<\/li>\n<\/ul>\n<p data-start=\"2714\" data-end=\"2910\">\u0414\u043b\u044f \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432 \u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0438\u0442\u044c \u0434\u043e\u043f\u043e\u043b\u043d\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441 \u044d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u0438 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u043e\u043c \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438\u0437 \u043f\u0430\u0440\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0444\u0430\u0437\u044b (CVD) \u0434\u043b\u044f \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u044d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0441\u043b\u043e\u0435\u0432 \u0441 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u0438\u0440\u0443\u0435\u043c\u043e\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0446\u0435\u043d\u0442\u0440\u0430\u0446\u0438\u0435\u0439 \u043b\u0435\u0433\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0438 \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u043e\u0439.<\/p>\n<h2 data-section-id=\"mu966k\" data-start=\"2917\" data-end=\"2932\">\u041f\u0440\u0438\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f<\/h2>\n<h3 data-section-id=\"nvblr7\" data-start=\"2934\" data-end=\"2963\">\u0423\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0441\u0438\u043b\u043e\u0432\u043e\u0439 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0438<\/h3>\n<ul data-start=\"2964\" data-end=\"3162\">\n<li data-section-id=\"weto8f\" data-start=\"2964\" data-end=\"3017\">SiC \u041c\u041e\u041f-\u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u044b \u0434\u043b\u044f \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c \u043a\u043e\u043c\u043c\u0443\u0442\u0430\u0446\u0438\u0438<\/li>\n<li data-section-id=\"11pxyfb\" data-start=\"3018\" data-end=\"3083\">SiC \u0434\u0438\u043e\u0434\u044b \u0441 \u0431\u0430\u0440\u044c\u0435\u0440\u043e\u043c \u0428\u043e\u0442\u0442\u043a\u0438 (SBD) \u0434\u043b\u044f \u0432\u044b\u043f\u0440\u044f\u043c\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441 \u043c\u0430\u043b\u044b\u043c\u0438 \u043f\u043e\u0442\u0435\u0440\u044f\u043c\u0438<\/li>\n<li data-section-id=\"iw3utm\" data-start=\"3084\" data-end=\"3120\">\u041f\u0440\u0435\u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u0438 \u043f\u0438\u0442\u0430\u043d\u0438\u044f DC-DC \u0438 AC-DC<\/li>\n<li data-section-id=\"x74fmu\" data-start=\"3121\" data-end=\"3162\">\u041f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043f\u0440\u0438\u0432\u043e\u0434\u044b \u0438 \u0438\u043d\u0432\u0435\u0440\u0442\u043e\u0440\u044b<\/li>\n<\/ul>\n<h3 data-section-id=\"1htwq4x\" data-start=\"3164\" data-end=\"3204\">\u042d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043c\u043e\u0431\u0438\u043b\u0438 \u0438 \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0435\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b<\/h3>\n<ul data-start=\"3205\" data-end=\"3327\">\n<li data-section-id=\"1yymave\" data-start=\"3205\" data-end=\"3232\">\u0411\u043e\u0440\u0442\u043e\u0432\u044b\u0435 \u0437\u0430\u0440\u044f\u0434\u043d\u044b\u0435 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 (\u0411\u0417\u0423)<\/li>\n<li data-section-id=\"1usbixy\" data-start=\"3233\" data-end=\"3255\">\u0422\u044f\u0433\u043e\u0432\u044b\u0435 \u0438\u043d\u0432\u0435\u0440\u0442\u043e\u0440\u044b<\/li>\n<li data-section-id=\"1it9wh\" data-start=\"3256\" data-end=\"3281\">\u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b \u0431\u044b\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439 \u0437\u0430\u0440\u044f\u0434\u043a\u0438<\/li>\n<li data-section-id=\"1j4nm5g\" data-start=\"3282\" data-end=\"3327\">\u0418\u043d\u0432\u0435\u0440\u0442\u043e\u0440\u044b \u0434\u043b\u044f \u0432\u043e\u0437\u043e\u0431\u043d\u043e\u0432\u043b\u044f\u0435\u043c\u044b\u0445 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432 \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u0438 (\u0441\u043e\u043b\u043d\u0435\u0447\u043d\u043e\u0439 \/ \u0432\u0435\u0442\u0440\u043e\u0432\u043e\u0439)<\/li>\n<\/ul>\n<h3 data-section-id=\"1g2wpq2\" data-start=\"3329\" data-end=\"3363\">\u041f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0432 \u0441\u0443\u0440\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f\u0445<\/h3>\n<ul data-start=\"3364\" data-end=\"3503\">\n<li data-section-id=\"xrpubo\" data-start=\"3364\" data-end=\"3389\">\u0410\u044d\u0440\u043e\u043a\u043e\u0441\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0430<\/li>\n<li data-section-id=\"1kgg2fq\" data-start=\"3390\" data-end=\"3429\">\u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b<\/li>\n<li data-section-id=\"1idwz9d\" data-start=\"3430\" data-end=\"3467\">\u042d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0430 \u0434\u043b\u044f \u0440\u0430\u0437\u0432\u0435\u0434\u043a\u0438 \u043d\u0435\u0444\u0442\u0438 \u0438 \u0433\u0430\u0437\u0430<\/li>\n<li data-section-id=\"12vwqli\" data-start=\"3468\" data-end=\"3503\">\u0420\u0430\u0434\u0438\u0430\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e-\u0441\u0442\u043e\u0439\u043a\u0430\u044f \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0430<\/li>\n<\/ul>\n<h3 data-section-id=\"1hkijl5\" data-start=\"3505\" data-end=\"3543\">\u041f\u043e\u044f\u0432\u043b\u044f\u044e\u0449\u0438\u0435\u0441\u044f \u043f\u0440\u0438\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u044f<\/h3>\n<ul data-start=\"3544\" data-end=\"3658\">\n<li data-section-id=\"12zrkc2\" data-start=\"3544\" data-end=\"3596\">\u041a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043a\u0442\u043d\u044b\u0435 \u043c\u043e\u0434\u0443\u043b\u0438 \u043f\u0438\u0442\u0430\u043d\u0438\u044f \u0434\u043b\u044f \u043e\u043f\u0442\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c<\/li>\n<li data-section-id=\"wqq2vx\" data-start=\"3597\" data-end=\"3658\">\u0421\u0445\u0435\u043c\u044b \u0434\u0440\u0430\u0439\u0432\u0435\u0440\u043e\u0432 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0434\u0438\u0441\u043f\u043b\u0435\u0435\u0432 (\u0438\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0430\u0446\u0438\u044f \u043c\u0430\u043b\u043e\u043c\u043e\u0449\u043d\u044b\u0445 \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0446\u0438\u0439)<\/li>\n<\/ul>\n<h2 data-section-id=\"1cgu054\" data-start=\"3665\" data-end=\"3692\">\u0422\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438<\/h2>\n<h3 data-section-id=\"172ipod\" data-start=\"3694\" data-end=\"3737\">\u0422\u0430\u0431\u043b\u0438\u0446\u0430 \u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a 6-\u0434\u044e\u0439\u043c\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b 4H-SiC<\/h3>\n<div class=\"TyagGW_tableContainer\">\n<div class=\"group TyagGW_tableWrapper flex flex-col-reverse w-fit\" tabindex=\"-1\">\n<table class=\"w-fit min-w-(--thread-content-width)\" data-start=\"3739\" data-end=\"4525\">\n<thead data-start=\"3739\" data-end=\"3810\">\n<tr data-start=\"3739\" data-end=\"3810\">\n<th class=\"\" data-start=\"3739\" data-end=\"3750\" data-col-size=\"sm\">\u041d\u0435\u0434\u0432\u0438\u0436\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c<\/th>\n<th class=\"\" data-start=\"3750\" data-end=\"3779\" data-col-size=\"sm\">\u041a\u043b\u0430\u0441\u0441 Z (\u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043a\u043b\u0430\u0441\u0441)<\/th>\n<th class=\"\" data-start=\"3779\" data-end=\"3810\" data-col-size=\"sm\">D \u043a\u043b\u0430\u0441\u0441 (\u0438\u043d\u0436\u0435\u043d\u0435\u0440\u043d\u044b\u0439 \u043a\u043b\u0430\u0441\u0441)<\/th>\n<\/tr>\n<\/thead>\n<tbody data-start=\"3884\" data-end=\"4525\">\n<tr data-start=\"3884\" data-end=\"3934\">\n<td data-start=\"3884\" data-end=\"3895\" data-col-size=\"sm\">\u0414\u0438\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440<\/td>\n<td data-start=\"3895\" data-end=\"3914\" data-col-size=\"sm\">149,5 - 150,0 \u043c\u043c<\/td>\n<td data-start=\"3914\" data-end=\"3934\" data-col-size=\"sm\">149,5 - 150,0 \u043c\u043c<\/td>\n<\/tr>\n<tr data-start=\"3935\" data-end=\"3965\">\n<td data-start=\"3935\" data-end=\"3946\" data-col-size=\"sm\">\u041f\u043e\u043b\u0438\u0442\u0438\u043f<\/td>\n<td data-start=\"3946\" data-end=\"3955\" data-col-size=\"sm\">4H-SiC<\/td>\n<td data-start=\"3955\" data-end=\"3965\" data-col-size=\"sm\">4H-SiC<\/td>\n<\/tr>\n<tr data-start=\"3966\" data-end=\"4007\">\n<td data-start=\"3966\" data-end=\"3978\" data-col-size=\"sm\">\u0422\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u0430<\/td>\n<td data-start=\"3978\" data-end=\"3992\" data-col-size=\"sm\">350 \u00b1 15 \u043c\u043a\u043c<\/td>\n<td data-start=\"3992\" data-end=\"4007\" data-col-size=\"sm\">350 \u00b1 25 \u043c\u043a\u043c<\/td>\n<\/tr>\n<tr data-start=\"4008\" data-end=\"4047\">\n<td data-start=\"4008\" data-end=\"4028\" data-col-size=\"sm\">\u0422\u0438\u043f \u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438<\/td>\n<td data-start=\"4028\" data-end=\"4037\" data-col-size=\"sm\">N-\u0442\u0438\u043f<\/td>\n<td data-start=\"4037\" data-end=\"4047\" data-col-size=\"sm\">N-\u0442\u0438\u043f<\/td>\n<\/tr>\n<tr data-start=\"4048\" data-end=\"4124\">\n<td data-start=\"4048\" data-end=\"4065\" data-col-size=\"sm\">\u0412\u043d\u0435\u043e\u0441\u0435\u0432\u043e\u0439 \u0443\u0433\u043e\u043b<\/td>\n<td data-start=\"4065\" data-end=\"4094\" data-col-size=\"sm\">4,0\u00b0 \u0432 \u043d\u0430\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0438  \u00b1 0,5\u00b0<\/td>\n<td data-start=\"4094\" data-end=\"4124\" data-col-size=\"sm\">4,0\u00b0 \u0432 \u043d\u0430\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0438  \u00b1 0,5\u00b0<\/td>\n<\/tr>\n<tr data-start=\"4125\" data-end=\"4182\">\n<td data-start=\"4125\" data-end=\"4139\" data-col-size=\"sm\">\u0421\u043e\u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435<\/td>\n<td data-start=\"4139\" data-end=\"4160\" data-col-size=\"sm\">0,015 - 0,024 \u03a9-\u0441\u043c<\/td>\n<td data-start=\"4160\" data-end=\"4182\" data-col-size=\"sm\">0,015 - 0,028 \u03a9-\u0441\u043c<\/td>\n<\/tr>\n<tr data-start=\"4183\" data-end=\"4229\">\n<td data-start=\"4183\" data-end=\"4203\" data-col-size=\"sm\">\u041f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0442\u0440\u0443\u0431\u043e\u043a<\/td>\n<td data-start=\"4203\" data-end=\"4216\" data-col-size=\"sm\">\u2264 0,2 \u0441\u043c-\u00b2<\/td>\n<td data-start=\"4216\" data-end=\"4229\" data-col-size=\"sm\">\u2264 15 \u0441\u043c-\u00b2<\/td>\n<\/tr>\n<tr data-start=\"4230\" data-end=\"4274\">\n<td data-start=\"4230\" data-end=\"4255\" data-col-size=\"sm\">\u0428\u0435\u0440\u043e\u0445\u043e\u0432\u0430\u0442\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 (Ra)<\/td>\n<td data-start=\"4255\" data-end=\"4264\" data-col-size=\"sm\">\u2264 1 \u043d\u043c<\/td>\n<td data-start=\"4264\" data-end=\"4274\" data-col-size=\"sm\">\u2264 1 \u043d\u043c<\/td>\n<\/tr>\n<tr data-start=\"4275\" data-end=\"4314\">\n<td data-start=\"4275\" data-end=\"4291\" data-col-size=\"sm\">\u0428\u0435\u0440\u043e\u0445\u043e\u0432\u0430\u0442\u043e\u0441\u0442\u044c CMP<\/td>\n<td data-start=\"4291\" data-end=\"4302\" data-col-size=\"sm\">\u2264 0,2 \u043d\u043c<\/td>\n<td data-start=\"4302\" data-end=\"4314\" data-col-size=\"sm\">\u2264 0,5 \u043d\u043c<\/td>\n<\/tr>\n<tr data-start=\"4315\" data-end=\"4342\">\n<td data-start=\"4315\" data-end=\"4321\" data-col-size=\"sm\">LTV<\/td>\n<td data-start=\"4321\" data-end=\"4332\" data-col-size=\"sm\">\u2264 2,5 \u043c\u043a\u043c<\/td>\n<td data-start=\"4332\" data-end=\"4342\" data-col-size=\"sm\">\u2264 5 \u043c\u043a\u043c<\/td>\n<\/tr>\n<tr data-start=\"4343\" data-end=\"4369\">\n<td data-start=\"4343\" data-end=\"4349\" data-col-size=\"sm\">TTV<\/td>\n<td data-start=\"4349\" data-end=\"4358\" data-col-size=\"sm\">\u2264 6 \u043c\u043a\u043c<\/td>\n<td data-start=\"4358\" data-end=\"4369\" data-col-size=\"sm\">\u2264 15 \u043c\u043a\u043c<\/td>\n<\/tr>\n<tr data-start=\"4370\" data-end=\"4397\">\n<td data-start=\"4370\" data-end=\"4376\" data-col-size=\"sm\">\u041b\u0443\u043a<\/td>\n<td data-start=\"4376\" data-end=\"4386\" data-col-size=\"sm\">\u2264 25 \u043c\u043a\u043c<\/td>\n<td data-start=\"4386\" data-end=\"4397\" data-col-size=\"sm\">\u2264 40 \u043c\u043a\u043c<\/td>\n<\/tr>\n<tr data-start=\"4398\" data-end=\"4426\">\n<td data-start=\"4398\" data-end=\"4405\" data-col-size=\"sm\">Warp<\/td>\n<td data-start=\"4405\" data-end=\"4415\" data-col-size=\"sm\">\u2264 35 \u043c\u043a\u043c<\/td>\n<td data-start=\"4415\" data-end=\"4426\" data-col-size=\"sm\">\u2264 60 \u043c\u043a\u043c<\/td>\n<\/tr>\n<tr data-start=\"4427\" data-end=\"4459\">\n<td data-start=\"4427\" data-end=\"4444\" data-col-size=\"sm\">\u0418\u0441\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043a\u0440\u0430\u0435\u0432<\/td>\n<td data-start=\"4444\" data-end=\"4451\" data-col-size=\"sm\">3 \u043c\u043c<\/td>\n<td data-start=\"4451\" data-end=\"4459\" data-col-size=\"sm\">3 \u043c\u043c<\/td>\n<\/tr>\n<tr data-start=\"4460\" data-end=\"4525\">\n<td data-start=\"4460\" data-end=\"4472\" data-col-size=\"sm\">\u0423\u043f\u0430\u043a\u043e\u0432\u043a\u0430<\/td>\n<td data-start=\"4472\" data-end=\"4498\" data-col-size=\"sm\">\u041a\u0430\u0441\u0441\u0435\u0442\u0430 \/ \u041e\u0434\u0438\u043d\u043e\u0447\u043d\u0430\u044f \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0430<\/td>\n<td data-start=\"4498\" data-end=\"4525\" data-col-size=\"sm\">\u041a\u0430\u0441\u0441\u0435\u0442\u0430 \/ \u041e\u0434\u0438\u043d\u043e\u0447\u043d\u0430\u044f \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0430<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<\/div>\n<\/div>\n<h2 data-section-id=\"1r0wkfr\" data-start=\"4532\" data-end=\"4563\"><img decoding=\"async\" class=\"alignright wp-image-2193 size-medium\" src=\"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/6_inch_silicon_carbide_sic_wafer_for_ar_glasses_mos_sbd1-300x300.webp\" alt=\"6-\u0434\u044e\u0439\u043c\u043e\u0432\u0430\u044f \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0430 \u0438\u0437 \u043a\u0430\u0440\u0431\u0438\u0434\u0430 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f 4H-N\" width=\"300\" height=\"300\" srcset=\"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/6_inch_silicon_carbide_sic_wafer_for_ar_glasses_mos_sbd1-300x300.webp 300w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/6_inch_silicon_carbide_sic_wafer_for_ar_glasses_mos_sbd1-150x150.webp 150w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/6_inch_silicon_carbide_sic_wafer_for_ar_glasses_mos_sbd1-768x768.webp 768w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/6_inch_silicon_carbide_sic_wafer_for_ar_glasses_mos_sbd1-12x12.webp 12w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/6_inch_silicon_carbide_sic_wafer_for_ar_glasses_mos_sbd1-600x600.webp 600w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/6_inch_silicon_carbide_sic_wafer_for_ar_glasses_mos_sbd1-100x100.webp 100w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/6_inch_silicon_carbide_sic_wafer_for_ar_glasses_mos_sbd1.webp 800w\" sizes=\"(max-width: 300px) 100vw, 300px\" \/>\u041a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044c \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0438 \u0438\u043d\u0441\u043f\u0435\u043a\u0446\u0438\u044f<\/h2>\n<p data-start=\"4565\" data-end=\"4684\">\u0414\u043b\u044f \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u043e\u0433\u043b\u0430\u0441\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438 \u0441\u043e\u0432\u043c\u0435\u0441\u0442\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432 \u043a\u0430\u0436\u0434\u0430\u044f \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u0441\u0442\u0440\u043e\u0433\u0438\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044c \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430, \u0432 \u0442\u043e\u043c \u0447\u0438\u0441\u043b\u0435:<\/p>\n<ul data-start=\"4686\" data-end=\"4997\">\n<li data-section-id=\"1458qbn\" data-start=\"4686\" data-end=\"4746\">\u0420\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d\u043e\u0432\u0441\u043a\u0430\u044f \u0434\u0438\u0444\u0440\u0430\u043a\u0446\u0438\u044f (XRD) \u0434\u043b\u044f \u043e\u0446\u0435\u043d\u043a\u0438 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u044b<\/li>\n<li data-section-id=\"18tpu9z\" data-start=\"4747\" data-end=\"4814\">\u0410\u0442\u043e\u043c\u043d\u043e-\u0441\u0438\u043b\u043e\u0432\u0430\u044f \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u043a\u043e\u043f\u0438\u044f (\u0410\u0421\u041c) \u0434\u043b\u044f \u0438\u0437\u043c\u0435\u0440\u0435\u043d\u0438\u044f \u0448\u0435\u0440\u043e\u0445\u043e\u0432\u0430\u0442\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438<\/li>\n<li data-section-id=\"d0tbx4\" data-start=\"4815\" data-end=\"4882\">\u0424\u043e\u0442\u043e\u043b\u044e\u043c\u0438\u043d\u0435\u0441\u0446\u0435\u043d\u0442\u043d\u043e\u0435 \u043a\u0430\u0440\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 (\u0424\u041b) \u0434\u043b\u044f \u0430\u043d\u0430\u043b\u0438\u0437\u0430 \u0440\u0430\u0441\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432<\/li>\n<li data-section-id=\"192mx5h\" data-start=\"4883\" data-end=\"4939\">\u041e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044c \u043f\u0440\u0438 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0438\u043d\u0442\u0435\u043d\u0441\u0438\u0432\u043d\u043e\u043c \u043e\u0441\u0432\u0435\u0449\u0435\u043d\u0438\u0438<\/li>\n<li data-section-id=\"nltw7\" data-start=\"4940\" data-end=\"4997\">\u0413\u0435\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044c (\u043f\u0435\u0440\u0435\u043a\u043e\u0441, \u0438\u0441\u043a\u0440\u0438\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435, \u0438\u0437\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u044b)<\/li>\n<\/ul>\n<p data-start=\"4999\" data-end=\"5095\">\u042d\u0442\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0432\u0435\u0440\u043a\u0438 \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442 \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u0435\u043a \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0435\u0433\u043e \u044d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0440\u043e\u0441\u0442\u0430 \u0438 \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432.<\/p>\n<h2 data-section-id=\"1344z7h\" data-start=\"5102\" data-end=\"5115\">\u041f\u0440\u0435\u0438\u043c\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430<\/h2>\n<p data-start=\"5117\" data-end=\"5177\">6-\u0434\u044e\u0439\u043c\u043e\u0432\u0430\u044f \u043f\u043b\u0430\u0442\u0444\u043e\u0440\u043c\u0430 \u0434\u043b\u044f SiC-\u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u0435\u043a \u043e\u0431\u043b\u0430\u0434\u0430\u0435\u0442 \u0440\u044f\u0434\u043e\u043c \u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u0432\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0435\u0438\u043c\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432:<\/p>\n<ul data-start=\"5179\" data-end=\"5512\">\n<li data-section-id=\"158oj8v\" data-start=\"5179\" data-end=\"5233\">\u0420\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u0442\u0430\u043d\u0434\u0430\u0440\u0442\u0430 \u0434\u043b\u044f \u043c\u0430\u0441\u0441\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430<\/li>\n<li data-section-id=\"108qfmr\" data-start=\"5234\" data-end=\"5293\">\u0421\u043d\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0441\u0442\u043e\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043e\u0434\u043d\u043e\u0433\u043e \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0431\u043b\u0430\u0433\u043e\u0434\u0430\u0440\u044f \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0441\u0442\u0435\u043f\u0435\u043d\u0438 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d<\/li>\n<li data-section-id=\"10czy6p\" data-start=\"5294\" data-end=\"5352\">\u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u0430\u044f \u0441\u043e\u0432\u043c\u0435\u0441\u0442\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u0441 \u044d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430\u043c\u0438 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430\u043c\u0438 \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432<\/li>\n<li data-section-id=\"1eclhbg\" data-start=\"5353\" data-end=\"5410\">\u041d\u0438\u0437\u043a\u0430\u044f \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432 (\u043e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0430 \u0434\u043b\u044f \u0432\u044b\u0445\u043e\u0434\u0430 \u0441\u0438\u043b\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432)<\/li>\n<li data-section-id=\"13oslub\" data-start=\"5411\" data-end=\"5456\">\u0421\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0438 \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0432\u044b\u0435 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438<\/li>\n<li data-section-id=\"e2lef4\" data-start=\"5457\" data-end=\"5512\">\u041f\u043e\u0434\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u043a\u0430\u043a \u0434\u043b\u044f \u043d\u0430\u0443\u0447\u043d\u043e-\u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442, \u0442\u0430\u043a \u0438 \u0434\u043b\u044f \u043a\u0440\u0443\u043f\u043d\u043e\u043c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430<\/li>\n<\/ul>\n<h2 data-section-id=\"rnyyeg\" data-start=\"5519\" data-end=\"5543\">\u041f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u044b \u043d\u0430\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u043a\u0438<\/h2>\n<p data-start=\"5545\" data-end=\"5613\">\u041c\u044b \u043f\u043e\u0434\u0434\u0435\u0440\u0436\u0438\u0432\u0430\u0435\u043c \u0433\u0438\u0431\u043a\u0443\u044e \u043d\u0430\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u043a\u0443 \u0432 \u0441\u043e\u043e\u0442\u0432\u0435\u0442\u0441\u0442\u0432\u0438\u0438 \u0441 \u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f\u043c\u0438 \u043f\u0440\u0438\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f:<\/p>\n<ul data-start=\"5615\" data-end=\"5853\">\n<li data-section-id=\"1s9j489\" data-start=\"5615\" data-end=\"5654\">N-\u0442\u0438\u043f \/ \u043f\u043e\u043b\u0443\u0438\u0437\u043e\u043b\u0438\u0440\u0443\u044e\u0449\u0438\u0435 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438<\/li>\n<li data-section-id=\"1a5mkb2\" data-start=\"5655\" data-end=\"5690\">\u0420\u0435\u0433\u0443\u043b\u0438\u0440\u0443\u0435\u043c\u0430\u044f \u043a\u043e\u043d\u0446\u0435\u043d\u0442\u0440\u0430\u0446\u0438\u044f \u043b\u0435\u0433\u0438\u0440\u0443\u044e\u0449\u0438\u0445 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432<\/li>\n<li data-section-id=\"1qkr4i0\" data-start=\"5691\" data-end=\"5717\">\u041d\u0435\u0441\u0442\u0430\u043d\u0434\u0430\u0440\u0442\u043d\u044b\u0435 \u0443\u0433\u043b\u044b \u043d\u0430\u043a\u043b\u043e\u043d\u0430 \u0432\u043d\u0435 \u043e\u0441\u0438<\/li>\n<li data-section-id=\"um3e5a\" data-start=\"5718\" data-end=\"5751\">\u041f\u043e\u0434\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043a\u0430 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043a \u044d\u043f\u0438\u043b\u044f\u0446\u0438\u0438<\/li>\n<li data-section-id=\"7su7ry\" data-start=\"5752\" data-end=\"5809\">\u0413\u0440\u0430\u0434\u0430\u0446\u0438\u044f \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432 (\u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043a\u043b\u0430\u0441\u0441)<\/li>\n<li data-section-id=\"1rllfkp\" data-start=\"5810\" data-end=\"5853\">\u041d\u0430\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u043a\u0430 \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u044b \u0438 \u0443\u0434\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u043e\u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f<\/li>\n<\/ul>\n<h2 data-section-id=\"11wdcdx\" data-start=\"71\" data-end=\"88\">\u0427\u0410\u0421\u0422\u041e \u0417\u0410\u0414\u0410\u0412\u0410\u0415\u041c\u042b\u0415 \u0412\u041e\u041f\u0420\u041e\u0421\u042b<\/h2>\n<p data-start=\"90\" data-end=\"502\"><strong data-start=\"90\" data-end=\"162\">\u0412\u043e\u043f\u0440\u043e\u0441 1: \u041f\u043e\u0447\u0435\u043c\u0443 4H-SiC \u043f\u0440\u0435\u0434\u043f\u043e\u0447\u0442\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u0435\u0435 \u0434\u0440\u0443\u0433\u0438\u0445 \u043f\u043e\u043b\u0438\u0442\u0438\u043f\u043e\u0432 SiC, \u0442\u0430\u043a\u0438\u0445 \u043a\u0430\u043a 6H-SiC?<\/strong><br data-start=\"162\" data-end=\"165\" \/>4H-SiC \u043e\u0431\u043b\u0430\u0434\u0430\u0435\u0442 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u043f\u043e\u0434\u0432\u0438\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043e\u0432 \u0438 \u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0438\u043c \u0441\u043e\u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u044e \u0441 6H-SiC, \u0447\u0442\u043e \u0434\u0435\u043b\u0430\u0435\u0442 \u0435\u0433\u043e \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043f\u043e\u0434\u0445\u043e\u0434\u044f\u0449\u0438\u043c \u0434\u043b\u044f \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0447\u0430\u0441\u0442\u043e\u0442\u043d\u044b\u0445 \u0438 \u043c\u043e\u0449\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0438\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u0439 \u043f\u0435\u0440\u0435\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f. \u041e\u043d \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u043b\u0443\u0447\u0448\u0443\u044e \u043e\u0431\u0449\u0443\u044e \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a \u0432 \u041c\u041e\u041f-\u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u0430\u0445 \u0438 \u0441\u0438\u043b\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0434\u0438\u043e\u0434\u0430\u0445, \u043f\u043e\u044d\u0442\u043e\u043c\u0443 \u043e\u043d \u0441\u0442\u0430\u043b \u0434\u043e\u043c\u0438\u043d\u0438\u0440\u0443\u044e\u0449\u0438\u043c \u043f\u043e\u043b\u0438\u0442\u0438\u043f\u043e\u043c \u0432 \u043a\u043e\u043c\u043c\u0435\u0440\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0441\u0438\u043b\u043e\u0432\u043e\u0439 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0435.<\/p>\n<p data-start=\"509\" data-end=\"872\"><strong data-start=\"509\" data-end=\"573\">\u0412\u043e\u043f\u0440\u043e\u0441 2: \u041a\u0430\u043a\u043e\u0432\u043e \u043d\u0430\u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0432\u043d\u0435\u043e\u0441\u0435\u0432\u043e\u0433\u043e \u0443\u0433\u043b\u0430 \u0432 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0430\u0445 SiC?<\/strong><br data-start=\"573\" data-end=\"576\" \/>\u0412\u043d\u0435\u043e\u0441\u0435\u0432\u043e\u0439 \u0443\u0433\u043e\u043b (\u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e 4\u00b0 \u0432 \u043d\u0430\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0438 ) \u0432\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0441\u044f \u0434\u043b\u044f \u0443\u043b\u0443\u0447\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u044d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u043b\u043e\u044f \u0432 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0435 CVD-\u0440\u043e\u0441\u0442\u0430. \u041e\u043d \u043f\u043e\u043c\u043e\u0433\u0430\u0435\u0442 \u043f\u043e\u0434\u0430\u0432\u0438\u0442\u044c \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u043d\u044b\u0435 \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u044b, \u0442\u0430\u043a\u0438\u0435 \u043a\u0430\u043a \u0441\u0442\u0443\u043f\u0435\u043d\u0447\u0430\u0442\u043e\u0435 \u043d\u0430\u0433\u0440\u043e\u043c\u043e\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435, \u0438 \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u0441\u0442\u0432\u0443\u0435\u0442 \u0440\u0430\u0437\u0432\u0438\u0442\u0438\u044e \u0440\u0435\u0436\u0438\u043c\u0430 \u0440\u043e\u0441\u0442\u0430 step-flow, \u0447\u0442\u043e \u043f\u0440\u0438\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442 \u043a \u0443\u043b\u0443\u0447\u0448\u0435\u043d\u0438\u044e \u043e\u0434\u043d\u043e\u0440\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0430 \u0438 \u043f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0435\u043d\u0438\u044e \u0432\u044b\u0445\u043e\u0434\u0430 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432 \u0432 \u044d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0430\u0445.<\/p>\n<p data-start=\"879\" data-end=\"1229\"><strong data-start=\"879\" data-end=\"958\">\u0412\u043e\u043f\u0440\u043e\u0441 3: \u041a\u0430\u043a\u0438\u0435 \u0444\u0430\u043a\u0442\u043e\u0440\u044b \u0432 \u043d\u0430\u0438\u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0435\u0439 \u0441\u0442\u0435\u043f\u0435\u043d\u0438 \u0432\u043b\u0438\u044f\u044e\u0442 \u043d\u0430 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e SiC-\u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u0435\u043a \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432?<\/strong><br data-start=\"958\" data-end=\"961\" \/>\u041a\u043b\u044e\u0447\u0435\u0432\u044b\u043c\u0438 \u0444\u0430\u043a\u0442\u043e\u0440\u0430\u043c\u0438 \u044f\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0442\u0440\u0443\u0431\u043e\u043a, \u0443\u0440\u043e\u0432\u0435\u043d\u044c \u0434\u0438\u0441\u043b\u043e\u043a\u0430\u0446\u0438\u0439 \u0432 \u0431\u0430\u0437\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043b\u043e\u0441\u043a\u043e\u0441\u0442\u0438 (BPD), \u0448\u0435\u0440\u043e\u0445\u043e\u0432\u0430\u0442\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 (Ra \u0438 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e CMP), \u0430 \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u0438\u0437\u0433\u0438\u0431 \u0438 \u0438\u0441\u043a\u0440\u0438\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b. \u0421\u0440\u0435\u0434\u0438 \u043d\u0438\u0445 \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432 \u0438 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043e\u043a\u0430\u0437\u044b\u0432\u0430\u044e\u0442 \u0441\u0430\u043c\u043e\u0435 \u043d\u0435\u043f\u043e\u0441\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0432\u043b\u0438\u044f\u043d\u0438\u0435 \u043d\u0430 \u043d\u0430\u0434\u0435\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u041c\u041e\u041f-\u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432 \u0438 \u0434\u043e\u043b\u0433\u043e\u0441\u0440\u043e\u0447\u043d\u044b\u0435 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432.<\/p>\n<p data-start=\"6178\" data-end=\"6420\">","protected":false},"excerpt":{"rendered":"<p data-start=\"5875\" data-end=\"6176\">6-\u0434\u044e\u0439\u043c\u043e\u0432\u0430\u044f \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0430 \u043a\u0430\u0440\u0431\u0438\u0434\u0430 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f 4H-N \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u043c \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u043c \u0434\u043b\u044f \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0438\u043b\u043e\u0432\u043e\u0439 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0438. \u0421\u043e\u0447\u0435\u0442\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432 \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u043e\u0439 \u043f\u043e\u043b\u043e\u0441\u044b \u043f\u0440\u043e\u043f\u0443\u0441\u043a\u0430\u043d\u0438\u044f, \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0447\u043d\u043e\u0439 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0434\u0435\u043b\u0430\u0435\u0442 \u0435\u0433\u043e \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u044b\u043c \u0434\u043b\u044f \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c \u043f\u0440\u0435\u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u0438 \u0438 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0438\u0431\u043e\u0440\u043e\u0432 \u043d\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u043a\u043e\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f.<\/p>\n<p data-start=\"6178\" data-end=\"6420\">\u041e\u0436\u0438\u0434\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f, \u0447\u0442\u043e \u0441 \u0431\u044b\u0441\u0442\u0440\u044b\u043c \u0440\u0430\u0437\u0432\u0438\u0442\u0438\u0435\u043c \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043c\u043e\u0431\u0438\u043b\u0435\u0439, \u0438\u043d\u0444\u0440\u0430\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u044b \u0432\u043e\u0437\u043e\u0431\u043d\u043e\u0432\u043b\u044f\u0435\u043c\u044b\u0445 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432 \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u0438 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0430\u0432\u0442\u043e\u043c\u0430\u0442\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 SiC \u043f\u0440\u043e\u0434\u043e\u043b\u0436\u0430\u0442 \u0432\u044b\u0442\u0435\u0441\u043d\u044f\u0442\u044c \u0442\u0440\u0430\u0434\u0438\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u044b\u0435 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438 \u0432 \u043c\u043e\u0449\u043d\u044b\u0445 \u0438 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0438\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f\u0445.<\/p>","protected":false},"featured_media":2192,"comment_status":"open","ping_status":"closed","template":"","meta":{"site-sidebar-layout":"default","site-content-layout":"","ast-site-content-layout":"default","site-content-style":"default","site-sidebar-style":"default","ast-global-header-display":"","ast-banner-title-visibility":"","ast-main-header-display":"","ast-hfb-above-header-display":"","ast-hfb-below-header-display":"","ast-hfb-mobile-header-display":"","site-post-title":"","ast-breadcrumbs-content":"","ast-featured-img":"","footer-sml-layout":"","ast-disable-related-posts":"","theme-transparent-header-meta":"default","adv-header-id-meta":"","stick-header-meta":"default","header-above-stick-meta":"","header-main-stick-meta":"","header-below-stick-meta":"","astra-migrate-meta-layouts":"set","ast-page-background-enabled":"default","ast-page-background-meta":{"desktop":{"background-color":"var(--ast-global-color-4)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"tablet":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"mobile":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""}},"ast-content-background-meta":{"desktop":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"tablet":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"mobile":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""}}},"product_brand":[],"product_cat":[729],"product_tag":[949,734,958,963,957,962,961,965,953,952,959,964,956,960,954,955,928,951,950,927,692],"class_list":{"0":"post-2189","1":"product","2":"type-product","3":"status-publish","4":"has-post-thumbnail","6":"product_cat-wafer","7":"product_tag-4h-sic","8":"product_tag-6-inch-sic-wafer","9":"product_tag-cvd-epitaxy","10":"product_tag-electric-vehicle-power-electronics","11":"product_tag-epitaxial-sic-wafer","12":"product_tag-high-temperature-semiconductor","13":"product_tag-high-voltage-device-material","14":"product_tag-industrial-power-module","15":"product_tag-mosfet-substrate","16":"product_tag-power-semiconductor-materials","17":"product_tag-pvt-growth-sic","18":"product_tag-renewable-energy-inverter","19":"product_tag-schottky-diode-wafer","20":"product_tag-semiconductor-wafer-150mm","21":"product_tag-sic-mosfet","22":"product_tag-sic-sbd","23":"product_tag-sic-substrate","24":"product_tag-sic-wafer-manufacturer","25":"product_tag-sic-wafer-supplier","26":"product_tag-silicon-carbide-wafer","27":"product_tag-wide-bandgap-semiconductor","28":"desktop-align-left","29":"tablet-align-left","30":"mobile-align-left","31":"ast-product-gallery-layout-horizontal-slider","32":"ast-product-tabs-layout-horizontal","34":"first","35":"instock","36":"shipping-taxable","37":"product-type-simple"},"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/product\/2189","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/product"}],"about":[{"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/types\/product"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=2189"}],"version-history":[{"count":2,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/product\/2189\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":2195,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/product\/2189\/revisions\/2195"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/media\/2192"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=2189"}],"wp:term":[{"taxonomy":"product_brand","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/product_brand?post=2189"},{"taxonomy":"product_cat","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/product_cat?post=2189"},{"taxonomy":"product_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/product_tag?post=2189"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}