{"id":2084,"date":"2026-04-03T02:35:11","date_gmt":"2026-04-03T02:35:11","guid":{"rendered":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/?post_type=product&#038;p=2084"},"modified":"2026-04-03T02:36:56","modified_gmt":"2026-04-03T02:36:56","slug":"split-type-vertical-airflow-sic-epitaxy-equipment-for-6-8-epi-wafers","status":"publish","type":"product","link":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/product\/split-type-vertical-airflow-sic-epitaxy-equipment-for-6-8-epi-wafers\/","title":{"rendered":"\u041e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0434\u043b\u044f \u044d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u0438 SiC \u0441 \u0440\u0430\u0437\u0434\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c \u0432\u0435\u0440\u0442\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c \u043f\u043e\u0442\u043e\u043a\u043e\u043c \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0445\u0430 \u0434\u043b\u044f 6\u201d\/8\u201d \u044d\u043f\u0438\u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d"},"content":{"rendered":"<p data-start=\"207\" data-end=\"731\"><img fetchpriority=\"high\" decoding=\"async\" class=\"size-medium wp-image-2087 alignright\" src=\"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/Split-Type-Vertical-Airflow-SiC-Epitaxy-Equipment-for-68-Epi-Wafers-2-300x300.png\" alt=\"\" width=\"300\" height=\"300\" srcset=\"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/Split-Type-Vertical-Airflow-SiC-Epitaxy-Equipment-for-68-Epi-Wafers-2-300x300.png 300w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/Split-Type-Vertical-Airflow-SiC-Epitaxy-Equipment-for-68-Epi-Wafers-2-150x150.png 150w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/Split-Type-Vertical-Airflow-SiC-Epitaxy-Equipment-for-68-Epi-Wafers-2-768x768.png 768w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/Split-Type-Vertical-Airflow-SiC-Epitaxy-Equipment-for-68-Epi-Wafers-2-12x12.png 12w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/Split-Type-Vertical-Airflow-SiC-Epitaxy-Equipment-for-68-Epi-Wafers-2-600x600.png 600w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/Split-Type-Vertical-Airflow-SiC-Epitaxy-Equipment-for-68-Epi-Wafers-2-100x100.png 100w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/Split-Type-Vertical-Airflow-SiC-Epitaxy-Equipment-for-68-Epi-Wafers-2.png 1000w\" sizes=\"(max-width: 300px) 100vw, 300px\" \/>\u041e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0434\u043b\u044f \u044d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u0438 \u043a\u0430\u0440\u0431\u0438\u0434\u0430 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f (SiC) \u0441 \u0440\u0430\u0437\u0434\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c \u0442\u0438\u043f\u043e\u043c \u0432\u0435\u0440\u0442\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0448\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u0442\u043e\u043a\u0430 - \u044d\u0442\u043e \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u044f \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u044d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0440\u043e\u0441\u0442\u0430, \u043f\u0440\u0435\u0434\u043d\u0430\u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u043d\u0430\u044f \u0434\u043b\u044f \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 6- \u0438 8-\u0434\u044e\u0439\u043c\u043e\u0432\u044b\u0445 \u044d\u043f\u0438-\u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d SiC. \u0411\u043b\u0430\u0433\u043e\u0434\u0430\u0440\u044f \u043c\u043e\u0434\u0443\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0430\u0440\u0445\u0438\u0442\u0435\u043a\u0442\u0443\u0440\u0435 \u0440\u0430\u0437\u0434\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u0438\u043f\u0430 \u043c\u043e\u0434\u0443\u043b\u0438 \u043f\u0438\u0442\u0430\u043d\u0438\u044f, \u0432\u044b\u0442\u044f\u0436\u043a\u0438 \u0438 EFEM\/PM\/TM \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u0431\u044b\u0442\u044c \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u044b \u043d\u0435\u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u0438\u043c\u043e \u0434\u0440\u0443\u0433 \u043e\u0442 \u0434\u0440\u0443\u0433\u0430 \u0432 \u0441\u0435\u0440\u044b\u0445 \u0437\u043e\u043d\u0430\u0445 \u0438\u043b\u0438 \u0430\u043d\u0442\u0440\u0435\u0441\u043e\u043b\u044f\u0445. \u0422\u0430\u043a\u0430\u044f \u0433\u0438\u0431\u043a\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0435\u0442 \u043b\u0435\u0433\u043a\u043e \u0438\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0432 \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0446\u0435\u0445\u0430, \u0441\u043e\u0445\u0440\u0430\u043d\u044f\u044f \u043f\u0440\u0438 \u044d\u0442\u043e\u043c \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u043e\u043b\u043d\u043e\u0439 \u0430\u0432\u0442\u043e\u043c\u0430\u0442\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0441 \u043f\u043e\u043c\u043e\u0449\u044c\u044e \u043c\u043e\u0434\u0443\u043b\u044f SMIF \u0438 \u043c\u043e\u0441\u0442\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043a\u0440\u0430\u043d\u0430.<\/p>\n<p data-start=\"733\" data-end=\"1139\">\u0412 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0438 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0430 \u0438\u043d\u043d\u043e\u0432\u0430\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u0430\u044f \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0446\u0438\u044f \u0432\u0435\u0440\u0442\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0448\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u0442\u043e\u043a\u0430 \u0432 \u0441\u043e\u0447\u0435\u0442\u0430\u043d\u0438\u0438 \u0441 \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u0437\u043e\u043d\u043d\u044b\u043c \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u0435\u043c \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u043b\u044f, \u0447\u0442\u043e \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0440\u0430\u0432\u043d\u043e\u043c\u0435\u0440\u043d\u0443\u044e \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u0443 \u0438 \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u0443\u044e \u043a\u043e\u043d\u0446\u0435\u043d\u0442\u0440\u0430\u0446\u0438\u044e \u043b\u0435\u0433\u0438\u0440\u0443\u044e\u0449\u0438\u0445 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432, \u043a\u0440\u0438\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0432\u0430\u0436\u043d\u0443\u044e \u0434\u043b\u044f \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0438\u043b\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432 \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 SiC. \u041f\u043e\u043b\u043d\u0430\u044f \u0430\u0432\u0442\u043e\u043c\u0430\u0442\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u044f, \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u044f \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0443 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d EFEM \u0438 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u043d\u044b\u0439 \u043f\u0435\u0440\u0435\u043d\u043e\u0441 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d, \u0441\u043e\u043a\u0440\u0430\u0449\u0430\u0435\u0442 \u0440\u0443\u0447\u043d\u043e\u0435 \u0432\u043c\u0435\u0448\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u0441\u0442\u0432\u043e, \u0443\u043b\u0443\u0447\u0448\u0430\u0435\u0442 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 \u0438 \u043f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0430\u0435\u0442 \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u044b.<\/p>\n<p data-start=\"1141\" data-end=\"1628\">\u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u043f\u043e\u0434\u0434\u0435\u0440\u0436\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0434\u0432\u0443\u0445\u043a\u0430\u043c\u0435\u0440\u043d\u044b\u0439 \u043d\u0435\u043f\u0440\u0435\u0440\u044b\u0432\u043d\u044b\u0439 \u0440\u0435\u0436\u0438\u043c \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u044b \u0441 \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u0438\u043c\u0438 \u043f\u0435\u0447\u0430\u043c\u0438, \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u044f \u0432\u044b\u043f\u0443\u0441\u043a \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 1100 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d \u0432 \u043c\u0435\u0441\u044f\u0446 \u0438 \u0434\u043e 1200 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d \u0432 \u043c\u0435\u0441\u044f\u0446 \u0437\u0430 \u0441\u0447\u0435\u0442 \u043e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430. \u0415\u0435 \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0446\u0438\u044f \u043f\u043e\u043b\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0441\u043e\u0432\u043c\u0435\u0441\u0442\u0438\u043c\u0430 \u0441 6- \u0438 8-\u0434\u044e\u0439\u043c\u043e\u0432\u044b\u043c\u0438 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0430\u043c\u0438, \u0447\u0442\u043e \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0433\u0438\u0431\u043a\u043e\u0441\u0442\u044c \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u0435\u0439, \u043f\u0435\u0440\u0435\u0445\u043e\u0434\u044f\u0449\u0438\u0445 \u043d\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0435\u0433\u043e \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u0430. \u041a\u0440\u043e\u043c\u0435 \u0442\u043e\u0433\u043e, \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043d\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u044c \u0442\u043e\u043b\u0441\u0442\u043e\u043f\u043b\u0435\u043d\u043e\u0447\u043d\u044b\u0439 \u0440\u043e\u0441\u0442 \u043f\u043e\u0434 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u043c \u0434\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0438 \u044d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u044e \u0441 \u0437\u0430\u043f\u043e\u043b\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0442\u0440\u0430\u043d\u0448\u0435\u0439, \u0447\u0442\u043e \u0434\u0435\u043b\u0430\u0435\u0442 \u0435\u0433\u043e \u043f\u043e\u0434\u0445\u043e\u0434\u044f\u0449\u0438\u043c \u0434\u043b\u044f \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0432\u043e\u043b\u044c\u0442\u043d\u044b\u0445 \u0438 \u043c\u043e\u0449\u043d\u044b\u0445 SiC-\u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432.<\/p>\n<p data-start=\"1630\" data-end=\"1829\">\u041f\u0440\u043e\u0447\u043d\u0430\u044f \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0446\u0438\u044f \u0440\u0430\u0437\u044a\u0435\u043c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u0438\u043f\u0430 \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u043d\u0438\u0437\u043a\u0443\u044e \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432, \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u0439 \u0432\u044b\u0445\u043e\u0434 \u043f\u0440\u043e\u0434\u0443\u043a\u0446\u0438\u0438, \u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u043e\u0442\u0443 \u043e\u0431\u0441\u043b\u0443\u0436\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0438 \u0434\u043e\u043b\u0433\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u0443\u044e \u043d\u0430\u0434\u0435\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c, \u043c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0438\u0437\u0438\u0440\u0443\u044f \u043e\u0431\u0449\u0443\u044e \u0441\u0442\u043e\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u0432\u043b\u0430\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u0435\u0439 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432.<\/p>\n<h3 data-section-id=\"xj0uai\" data-start=\"1836\" data-end=\"1866\"><img decoding=\"async\" class=\"size-medium wp-image-2091 alignright\" src=\"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/Split-Type-Vertical-Airflow-SiC-Epitaxy-Equipment-for-68-Epi-Wafers-3-1-300x300.png\" alt=\"\" width=\"300\" height=\"300\" srcset=\"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/Split-Type-Vertical-Airflow-SiC-Epitaxy-Equipment-for-68-Epi-Wafers-3-1-300x300.png 300w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/Split-Type-Vertical-Airflow-SiC-Epitaxy-Equipment-for-68-Epi-Wafers-3-1-150x150.png 150w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/Split-Type-Vertical-Airflow-SiC-Epitaxy-Equipment-for-68-Epi-Wafers-3-1-768x768.png 768w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/Split-Type-Vertical-Airflow-SiC-Epitaxy-Equipment-for-68-Epi-Wafers-3-1-12x12.png 12w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/Split-Type-Vertical-Airflow-SiC-Epitaxy-Equipment-for-68-Epi-Wafers-3-1-600x600.png 600w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/Split-Type-Vertical-Airflow-SiC-Epitaxy-Equipment-for-68-Epi-Wafers-3-1-100x100.png 100w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/Split-Type-Vertical-Airflow-SiC-Epitaxy-Equipment-for-68-Epi-Wafers-3-1.png 1000w\" sizes=\"(max-width: 300px) 100vw, 300px\" \/>\u041a\u043b\u044e\u0447\u0435\u0432\u044b\u0435 \u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043f\u0440\u0435\u0438\u043c\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430<\/h3>\n<ul data-start=\"1867\" data-end=\"2438\">\n<li data-section-id=\"wpnig9\" data-start=\"1867\" data-end=\"1961\">\u041c\u043e\u0434\u0443\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0446\u0438\u044f \u0440\u0430\u0437\u0434\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u0438\u043f\u0430 \u0434\u043b\u044f \u043d\u0435\u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u0438\u043c\u043e\u0439 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0438 \u043c\u043e\u0434\u0443\u043b\u0435\u0439 \u043f\u0438\u0442\u0430\u043d\u0438\u044f, \u0432\u044b\u0442\u044f\u0436\u043a\u0438 \u0438 EFEM<\/li>\n<li data-section-id=\"151uc73\" data-start=\"1962\" data-end=\"2039\">\u0414\u0443\u0448\u0435\u0432\u0430\u044f \u043b\u0435\u0439\u043a\u0430 \u0441 \u0432\u0435\u0440\u0442\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c \u043f\u043e\u0442\u043e\u043a\u043e\u043c \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0445\u0430 \u0434\u043b\u044f \u0440\u0430\u0432\u043d\u043e\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e\u0433\u043e \u0440\u0430\u0441\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0433\u0430\u0437\u0430 \u043f\u043e \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0435<\/li>\n<li data-section-id=\"1lzu0dd\" data-start=\"2040\" data-end=\"2105\">\u041c\u043d\u043e\u0433\u043e\u0437\u043e\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044c \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u044b \u0434\u043b\u044f \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u0440\u0435\u0433\u0443\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f<\/li>\n<li data-section-id=\"c5t7pm\" data-start=\"2106\" data-end=\"2167\">\u0414\u0432\u0443\u0445\u043a\u0430\u043c\u0435\u0440\u043d\u0430\u044f \u043a\u043e\u043d\u0444\u0438\u0433\u0443\u0440\u0430\u0446\u0438\u044f \u0434\u043b\u044f \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430<\/li>\n<li data-section-id=\"rs6yfl\" data-start=\"2168\" data-end=\"2217\">\u041d\u0438\u0437\u043a\u0430\u044f \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432 \u0438 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0430\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c<\/li>\n<li data-section-id=\"1rmzhz1\" data-start=\"2218\" data-end=\"2293\">\u041f\u043e\u043b\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0430\u0432\u0442\u043e\u043c\u0430\u0442\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u0430\u044f \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d \u0441 \u043f\u043e\u043c\u043e\u0449\u044c\u044e EFEM \u0438 \u0438\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043c\u043e\u0441\u0442\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043a\u0440\u0430\u043d\u0430<\/li>\n<li data-section-id=\"1o0wgtg\" data-start=\"2294\" data-end=\"2334\">\u0421\u043e\u0432\u043c\u0435\u0441\u0442\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u0441 6- \u0438 8-\u0434\u044e\u0439\u043c\u043e\u0432\u044b\u043c\u0438 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0430\u043c\u0438 SiC<\/li>\n<li data-section-id=\"1vtm55j\" data-start=\"2335\" data-end=\"2390\">\u041e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d \u0434\u043b\u044f \u044d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u0438 \u0442\u043e\u043b\u0441\u0442\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043e\u043a \u0438 \u0437\u0430\u043f\u043e\u043b\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u0442\u0440\u0430\u043d\u0448\u0435\u0439<\/li>\n<li data-section-id=\"1usg9u4\" data-start=\"2391\" data-end=\"2438\">\u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u0430\u044f \u043d\u0430\u0434\u0435\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438 \u0443\u043f\u0440\u043e\u0449\u0435\u043d\u043d\u043e\u0435 \u043e\u0431\u0441\u043b\u0443\u0436\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435<\/li>\n<\/ul>\n<h3 data-section-id=\"4v9b11\" data-start=\"2445\" data-end=\"2470\">\u041f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430<\/h3>\n<div class=\"TyagGW_tableContainer\">\n<div class=\"group TyagGW_tableWrapper flex flex-col-reverse w-fit\" tabindex=\"-1\">\n<table class=\"w-fit min-w-(--thread-content-width)\" data-start=\"2472\" data-end=\"3023\">\n<thead data-start=\"2472\" data-end=\"2501\">\n<tr data-start=\"2472\" data-end=\"2501\">\n<th class=\"\" data-start=\"2472\" data-end=\"2484\" data-col-size=\"sm\">\u041f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440<\/th>\n<th class=\"\" data-start=\"2484\" data-end=\"2501\" data-col-size=\"md\">\u0422\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438<\/th>\n<\/tr>\n<\/thead>\n<tbody data-start=\"2532\" data-end=\"3023\">\n<tr data-start=\"2532\" data-end=\"2620\">\n<td data-start=\"2532\" data-end=\"2545\" data-col-size=\"sm\">\u041f\u0440\u043e\u043f\u0443\u0441\u043a\u043d\u0430\u044f \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c<\/td>\n<td data-start=\"2545\" data-end=\"2620\" data-col-size=\"md\">\u22651100 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\/\u043c\u0435\u0441\u044f\u0446 (\u0432 \u0434\u0432\u0443\u0445 \u043a\u0430\u043c\u0435\u0440\u0430\u0445), \u0434\u043e 1200 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\/\u043c\u0435\u0441\u044f\u0446 (\u0432 \u043e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043a\u0430\u043c\u0435\u0440\u0435)<\/td>\n<\/tr>\n<tr data-start=\"2621\" data-end=\"2674\">\n<td data-start=\"2621\" data-end=\"2648\" data-col-size=\"sm\">\u0421\u043e\u0432\u043c\u0435\u0441\u0442\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u0441 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d<\/td>\n<td data-col-size=\"md\" data-start=\"2648\" data-end=\"2674\">6\u201d \/ 8\u201d \u044d\u043f\u0438-\u0432\u0430\u0444\u043b\u0438 \u0438\u0437 SiC<\/td>\n<\/tr>\n<tr data-start=\"2675\" data-end=\"2711\">\n<td data-start=\"2675\" data-end=\"2697\" data-col-size=\"sm\">\u041a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044c \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u044b<\/td>\n<td data-col-size=\"md\" data-start=\"2697\" data-end=\"2711\">\u041c\u0443\u043b\u044c\u0442\u0438\u0437\u043e\u043d\u0430<\/td>\n<\/tr>\n<tr data-start=\"2712\" data-end=\"2771\">\n<td data-start=\"2712\" data-end=\"2729\" data-col-size=\"sm\">\u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0448\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u0442\u043e\u043a\u0430<\/td>\n<td data-col-size=\"md\" data-start=\"2729\" data-end=\"2771\">\u0412\u0435\u0440\u0442\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u0440\u0435\u0433\u0443\u043b\u0438\u0440\u0443\u0435\u043c\u044b\u0439 \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u0437\u043e\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0448\u043d\u044b\u0439 \u043f\u043e\u0442\u043e\u043a<\/td>\n<\/tr>\n<tr data-start=\"2772\" data-end=\"2803\">\n<td data-start=\"2772\" data-end=\"2789\" data-col-size=\"sm\">\u0421\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c \u0432\u0440\u0430\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f<\/td>\n<td data-col-size=\"md\" data-start=\"2789\" data-end=\"2803\">0-1000 \u043e\u0431\/\u043c\u0438\u043d<\/td>\n<\/tr>\n<tr data-start=\"2804\" data-end=\"2837\">\n<td data-start=\"2804\" data-end=\"2822\" data-col-size=\"sm\">\u041c\u0430\u043a\u0441\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u0442\u0435\u043c\u043f \u0440\u043e\u0441\u0442\u0430<\/td>\n<td data-col-size=\"md\" data-start=\"2822\" data-end=\"2837\">\u226560 \u043c\u043a\u043c\/\u0447\u0430\u0441<\/td>\n<\/tr>\n<tr data-start=\"2838\" data-end=\"2899\">\n<td data-start=\"2838\" data-end=\"2861\" data-col-size=\"sm\">\u0420\u0430\u0432\u043d\u043e\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u044b<\/td>\n<td data-col-size=\"md\" data-start=\"2861\" data-end=\"2899\">\u22642% (\u043e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0439 \u22641%, \u03c3\/avg, EE 5 \u043c\u043c)<\/td>\n<\/tr>\n<tr data-start=\"2900\" data-end=\"2960\">\n<td data-start=\"2900\" data-end=\"2920\" data-col-size=\"sm\">\u0420\u0430\u0432\u043d\u043e\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043b\u0435\u0433\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f<\/td>\n<td data-col-size=\"md\" data-start=\"2920\" data-end=\"2960\">\u22643% (\u043e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0439 \u22641,5%, \u03c3\/avg, EE 5 \u043c\u043c)<\/td>\n<\/tr>\n<tr data-start=\"2961\" data-end=\"3023\">\n<td data-start=\"2961\" data-end=\"2985\" data-col-size=\"sm\">\u0423\u0431\u0438\u0439\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u0430\u044f \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432<\/td>\n<td data-col-size=\"md\" data-start=\"2985\" data-end=\"3023\">\u22640,2 \u0441\u043c-\u00b2 (\u043e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043e \u0434\u043e 0,01 \u0441\u043c-\u00b2)<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<\/div>\n<\/div>\n<h3 data-section-id=\"mn7c2p\" data-start=\"3030\" data-end=\"3057\">\u0421\u0446\u0435\u043d\u0430\u0440\u0438\u0438 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f<\/h3>\n<p data-start=\"3059\" data-end=\"3280\">\u041e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0434\u043b\u044f \u044d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u0438 SiC \u0441 \u0440\u0430\u0437\u0434\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c \u0432\u0435\u0440\u0442\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0448\u043d\u044b\u043c \u043f\u043e\u0442\u043e\u043a\u043e\u043c \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u043e \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432 SiC, \u043e\u0441\u043e\u0431\u0435\u043d\u043d\u043e \u0432 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0441\u043b\u044f\u0445, \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u044e\u0449\u0438\u0445 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438, \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0433\u043e \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u0445 \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a:<\/p>\n<p data-start=\"3282\" data-end=\"3471\"><strong data-start=\"3282\" data-end=\"3309\">\u042d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043c\u043e\u0431\u0438\u043b\u0438 (EV)<\/strong><br data-start=\"3309\" data-end=\"3312\" \/>\u0418\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435 SiC MOSFET \u0438 \u0441\u0438\u043b\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043c\u043e\u0434\u0443\u043b\u0435\u0439 \u0434\u043b\u044f \u0438\u043d\u0432\u0435\u0440\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432, \u0431\u043e\u0440\u0442\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0437\u0430\u0440\u044f\u0434\u043d\u044b\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432 \u0438 DC-DC \u043f\u0440\u0435\u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u0435\u0439, \u043f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0430\u044f \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u043e\u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438 \u0434\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u043e\u0435\u0437\u0434\u043a\u0438.<\/p>\n<p data-start=\"3473\" data-end=\"3622\"><strong data-start=\"3473\" data-end=\"3501\">\u0412\u043e\u0437\u043e\u0431\u043d\u043e\u0432\u043b\u044f\u0435\u043c\u044b\u0435 \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0435\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b<\/strong><br data-start=\"3501\" data-end=\"3504\" \/>\u041f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u0432 \u0444\u043e\u0442\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0438\u043d\u0432\u0435\u0440\u0442\u043e\u0440\u0430\u0445 \u0438 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430\u0445 \u043d\u0430\u043a\u043e\u043f\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u0438, \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u044f \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0443\u044e \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u0440\u0435\u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0438 \u043d\u0430\u0434\u0435\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c.<\/p>\n<p data-start=\"3624\" data-end=\"3794\"><strong data-start=\"3624\" data-end=\"3656\">\u041f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u0430\u044f \u0441\u0438\u043b\u043e\u0432\u0430\u044f \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0430<\/strong><br data-start=\"3656\" data-end=\"3659\" \/>\u041f\u043e\u0434\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u0434\u043b\u044f \u043c\u043e\u0449\u043d\u044b\u0445 \u043c\u043e\u0442\u043e\u0440\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0438\u0432\u043e\u0434\u043e\u0432, \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0430\u0432\u0442\u043e\u043c\u0430\u0442\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0438 \u0431\u043b\u043e\u043a\u043e\u0432 \u043f\u0438\u0442\u0430\u043d\u0438\u044f, \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u044e\u0449\u0438\u0445 \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0438 \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0439 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u044b.<\/p>\n<p data-start=\"3796\" data-end=\"3957\"><strong data-start=\"3796\" data-end=\"3826\">\u0416\u0435\u043b\u0435\u0437\u043d\u043e\u0434\u043e\u0440\u043e\u0436\u043d\u044b\u0439 \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0442 \u0438 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u0441\u0435\u0442\u0438<\/strong><br data-start=\"3826\" data-end=\"3829\" \/>\u041f\u043e\u0434\u0434\u0435\u0440\u0436\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0432\u043e\u043b\u044c\u0442\u043d\u044b\u0435 \u0438 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0447\u0430\u0441\u0442\u043e\u0442\u043d\u044b\u0435 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430, \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u043c\u044b\u0435 \u0432 \u0438\u043d\u0442\u0435\u043b\u043b\u0435\u043a\u0442\u0443\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0435\u0442\u044f\u0445, \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430\u0445 \u0442\u044f\u0433\u0438 \u0438 \u0438\u043d\u0444\u0440\u0430\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0435 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u0430\u0447\u0438 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u0438.<\/p>\n<p data-start=\"3959\" data-end=\"4113\"><strong data-start=\"3959\" data-end=\"3985\">\u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u043d\u044b\u0435 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043f\u0438\u0442\u0430\u043d\u0438\u044f<\/strong><br data-start=\"3985\" data-end=\"3988\" \/>\u0418\u0434\u0435\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u043f\u043e\u0434\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 SiC-\u043f\u0440\u0438\u0431\u043e\u0440\u043e\u0432, \u0442\u0430\u043a\u0438\u0445 \u043a\u0430\u043a \u0434\u0438\u043e\u0434\u044b \u0428\u043e\u0442\u0442\u043a\u0438, \u041c\u041e\u041f-\u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u044b \u0438 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0432\u043e\u043b\u044c\u0442\u043d\u044b\u0435 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u044b \u043d\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u043a\u043e\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f.<\/p>\n<p data-start=\"3959\" data-end=\"4113\"><img decoding=\"async\" class=\"wp-image-2080 size-large aligncenter\" src=\"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/application-1024x578.png\" alt=\"\" width=\"1024\" height=\"578\" srcset=\"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/application-1024x578.png 1024w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/application-300x169.png 300w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/application-768x433.png 768w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/application-18x10.png 18w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/application-600x339.png 600w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/application.png 1285w\" sizes=\"(max-width: 1024px) 100vw, 1024px\" \/><\/p>\n<h3 data-section-id=\"6toqgg\" data-start=\"4120\" data-end=\"4129\">\u0427\u0410\u0421\u0422\u041e \u0417\u0410\u0414\u0410\u0412\u0410\u0415\u041c\u042b\u0415 \u0412\u041e\u041f\u0420\u041e\u0421\u042b<\/h3>\n<p data-start=\"4131\" data-end=\"4359\"><strong data-start=\"4131\" data-end=\"4206\">1. \u041a\u0430\u043a\u0438\u0435 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u044b \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d \u043f\u043e\u0434\u0434\u0435\u0440\u0436\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0434\u0430\u043d\u043d\u043e\u0435 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0434\u043b\u044f \u044d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u0438 \u0440\u0430\u0437\u0434\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u0438\u043f\u0430?<\/strong><br data-start=\"4206\" data-end=\"4209\" \/>\u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u043f\u043e\u0434\u0434\u0435\u0440\u0436\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u043a\u0430\u043a 6-, \u0442\u0430\u043a \u0438 8-\u0434\u044e\u0439\u043c\u043e\u0432\u044b\u0435 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b SiC, \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044f\u043c \u0443\u0434\u043e\u0432\u043b\u0435\u0442\u0432\u043e\u0440\u044f\u0442\u044c \u0442\u0435\u043a\u0443\u0449\u0438\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043f\u043e\u0442\u0440\u0435\u0431\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438 \u043e\u0434\u043d\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e \u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u0438\u0442\u044c\u0441\u044f \u043a \u0431\u0443\u0434\u0443\u0449\u0435\u043c\u0443 \u043c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044e.<\/p>\n<p data-start=\"4361\" data-end=\"4591\"><strong data-start=\"4361\" data-end=\"4417\">2. \u041a\u0430\u043a\u043e\u0432\u044b \u043f\u0440\u0435\u0438\u043c\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0446\u0438\u0438 \u0440\u0430\u0437\u0434\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u0438\u043f\u0430?<\/strong><br data-start=\"4417\" data-end=\"4420\" \/>\u0420\u0430\u0437\u0431\u043e\u0440\u043d\u0430\u044f \u043c\u043e\u0434\u0443\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0446\u0438\u044f \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0435\u0442 \u043d\u0435\u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u0438\u043c\u043e \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u0430\u0432\u043b\u0438\u0432\u0430\u0442\u044c \u043c\u043e\u0434\u0443\u043b\u0438 \u043f\u0438\u0442\u0430\u043d\u0438\u044f, \u0432\u044b\u0442\u044f\u0436\u043a\u0438 \u0438 EFEM, \u0447\u0442\u043e \u043f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0430\u0435\u0442 \u0433\u0438\u0431\u043a\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u043b\u0430\u043d\u0438\u0440\u043e\u0432\u043a\u0438 \u0446\u0435\u0445\u0430 \u0438 \u0443\u0434\u043e\u0431\u0441\u0442\u0432\u043e \u043e\u0431\u0441\u043b\u0443\u0436\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f.<\/p>\n<p data-start=\"4593\" data-end=\"4809\"><strong data-start=\"4593\" data-end=\"4661\">3. \u041a\u0430\u043a \u0432\u0435\u0440\u0442\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0448\u043d\u044b\u0439 \u043f\u043e\u0442\u043e\u043a \u0443\u043b\u0443\u0447\u0448\u0430\u0435\u0442 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e \u044d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u0438?<\/strong><br data-start=\"4661\" data-end=\"4664\" \/>\u0412\u0435\u0440\u0442\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u043f\u043e\u0442\u043e\u043a \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0445\u0430 \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0440\u0430\u0432\u043d\u043e\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e\u0435 \u0440\u0430\u0441\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0433\u0430\u0437\u0430 \u043f\u043e \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0435, \u0447\u0442\u043e \u043f\u0440\u0438\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442 \u043a \u0440\u0430\u0432\u043d\u043e\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e\u0439 \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u0435, \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u043c\u0443 \u043b\u0435\u0433\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044e \u0438 \u0441\u043d\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u044e \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432.<\/p>\n<p data-start=\"4811\" data-end=\"5053\"><strong data-start=\"4811\" data-end=\"4875\">4. \u041f\u043e\u0434\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u043b\u0438 \u044d\u0442\u043e \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0434\u043b\u044f \u043a\u0440\u0443\u043f\u043d\u043e\u0441\u0435\u0440\u0438\u0439\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430?<\/strong><\/p>\n<p data-pm-slice=\"0 0 []\">\u0414\u0430, \u0434\u0432\u0443\u0445\u043a\u0430\u043c\u0435\u0440\u043d\u0430\u044f \u043a\u043e\u043d\u0444\u0438\u0433\u0443\u0440\u0430\u0446\u0438\u044f \u043f\u043e\u0434\u0434\u0435\u0440\u0436\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u043d\u0435\u043f\u0440\u0435\u0440\u044b\u0432\u043d\u0443\u044e \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0443 \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0435\u0447\u0435\u0439 \u0441 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 1100 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d \u0432 \u043c\u0435\u0441\u044f\u0446, \u0447\u0442\u043e \u0434\u0435\u043b\u0430\u0435\u0442 \u0435\u0435 \u0438\u0434\u0435\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0434\u043b\u044f \u043a\u0440\u0443\u043f\u043d\u043e\u043c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0438 \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0435 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d \u043f\u0440\u0438 \u0441\u043e\u043a\u0440\u0430\u0449\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f.<\/p>","protected":false},"excerpt":{"rendered":"<p>\u041e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0434\u043b\u044f \u044d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u0438 \u043a\u0430\u0440\u0431\u0438\u0434\u0430 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f (SiC) \u0441 \u0440\u0430\u0437\u0434\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c \u0442\u0438\u043f\u043e\u043c \u0432\u0435\u0440\u0442\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0448\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u0442\u043e\u043a\u0430 - \u044d\u0442\u043e \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u044f \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u044d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0440\u043e\u0441\u0442\u0430, \u043f\u0440\u0435\u0434\u043d\u0430\u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u043d\u0430\u044f \u0434\u043b\u044f \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 6- \u0438 8-\u0434\u044e\u0439\u043c\u043e\u0432\u044b\u0445 \u044d\u043f\u0438-\u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d SiC. \u0411\u043b\u0430\u0433\u043e\u0434\u0430\u0440\u044f \u043c\u043e\u0434\u0443\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0430\u0440\u0445\u0438\u0442\u0435\u043a\u0442\u0443\u0440\u0435 \u0441\u043f\u043b\u0438\u0442-\u0442\u0438\u043f\u0430 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u0438 \u043f\u0438\u0442\u0430\u043d\u0438\u044f, \u0432\u044b\u0442\u044f\u0436\u043d\u044b\u0435 \u043c\u043e\u0434\u0443\u043b\u0438 \u0438 \u043c\u043e\u0434\u0443\u043b\u0438 EFEM\/PM\/TM \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u0431\u044b\u0442\u044c \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u044b \u043d\u0435\u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u0438\u043c\u043e \u0434\u0440\u0443\u0433 \u043e\u0442 \u0434\u0440\u0443\u0433\u0430 \u0432 \u0441\u0435\u0440\u044b\u0445 \u0437\u043e\u043d\u0430\u0445 \u0438\u043b\u0438 \u043d\u0430 \u0430\u043d\u0442\u0440\u0435\u0441\u043e\u043b\u044f\u0445.<\/p>","protected":false},"featured_media":2087,"comment_status":"open","ping_status":"closed","template":"","meta":{"site-sidebar-layout":"default","site-content-layout":"","ast-site-content-layout":"default","site-content-style":"default","site-sidebar-style":"default","ast-global-header-display":"","ast-banner-title-visibility":"","ast-main-header-display":"","ast-hfb-above-header-display":"","ast-hfb-below-header-display":"","ast-hfb-mobile-header-display":"","site-post-title":"","ast-breadcrumbs-content":"","ast-featured-img":"","footer-sml-layout":"","ast-disable-related-posts":"","theme-transparent-header-meta":"default","adv-header-id-meta":"","stick-header-meta":"default","header-above-stick-meta":"","header-main-stick-meta":"","header-below-stick-meta":"","astra-migrate-meta-layouts":"set","ast-page-background-enabled":"default","ast-page-background-meta":{"desktop":{"background-color":"var(--ast-global-color-4)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"tablet":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"mobile":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""}},"ast-content-background-meta":{"desktop":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"tablet":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"mobile":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""}}},"product_brand":[],"product_cat":[730],"product_tag":[615,616,485,751,752,756,749,759,744,750,753,755,758,757,748,746,754,741,747],"class_list":{"0":"post-2084","1":"product","2":"type-product","3":"status-publish","4":"has-post-thumbnail","6":"product_cat-epitaxy-equipment","7":"product_tag-6-inch-wafer","8":"product_tag-8-inch-wafer","9":"product_tag-automated-wafer-handling","10":"product_tag-dual-chamber","11":"product_tag-efem-integration","12":"product_tag-electric-vehicle","13":"product_tag-high-throughput","14":"product_tag-high-end-sic-devices","15":"product_tag-industrial-power-electronics","16":"product_tag-low-defect","17":"product_tag-multi-zone-temperature-control","18":"product_tag-power-semiconductor","19":"product_tag-rail-transit","20":"product_tag-renewable-energy","21":"product_tag-sic-epitaxy","22":"product_tag-split-type-sic-epitaxy-equipment","23":"product_tag-thick-film-epitaxy","24":"product_tag-trench-filling-epitaxy","25":"product_tag-vertical-airflow","26":"desktop-align-left","27":"tablet-align-left","28":"mobile-align-left","29":"ast-product-gallery-layout-horizontal-slider","30":"ast-product-tabs-layout-horizontal","32":"first","33":"instock","34":"shipping-taxable","35":"product-type-simple"},"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/product\/2084","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/product"}],"about":[{"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/types\/product"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=2084"}],"version-history":[{"count":3,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/product\/2084\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":2093,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/product\/2084\/revisions\/2093"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/media\/2087"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=2084"}],"wp:term":[{"taxonomy":"product_brand","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/product_brand?post=2084"},{"taxonomy":"product_cat","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/product_cat?post=2084"},{"taxonomy":"product_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/product_tag?post=2084"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}