{"id":2077,"date":"2026-04-03T02:07:51","date_gmt":"2026-04-03T02:07:51","guid":{"rendered":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/?post_type=product&#038;p=2077"},"modified":"2026-04-03T02:09:04","modified_gmt":"2026-04-03T02:09:04","slug":"integrated-vertical-airflow-sic-epitaxy-equipment-for-6-8-epi-wafers","status":"publish","type":"product","link":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/product\/integrated-vertical-airflow-sic-epitaxy-equipment-for-6-8-epi-wafers\/","title":{"rendered":"\u0418\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u043e\u0435 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0434\u043b\u044f \u044d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u0438 SiC \u0441 \u0432\u0435\u0440\u0442\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c \u043f\u043e\u0442\u043e\u043a\u043e\u043c \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0445\u0430 \u0434\u043b\u044f 6\u201d\/8\u201d \u044d\u043f\u0438\u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d"},"content":{"rendered":"<p data-start=\"187\" data-end=\"641\"><img fetchpriority=\"high\" decoding=\"async\" class=\"size-medium wp-image-2079 alignright\" src=\"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/Integrated-Silicon-Carbide-Epitaxy-Equipment-with-Vertical-Airflow-300x300.png\" alt=\"\" width=\"300\" height=\"300\" srcset=\"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/Integrated-Silicon-Carbide-Epitaxy-Equipment-with-Vertical-Airflow-300x300.png 300w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/Integrated-Silicon-Carbide-Epitaxy-Equipment-with-Vertical-Airflow-150x150.png 150w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/Integrated-Silicon-Carbide-Epitaxy-Equipment-with-Vertical-Airflow-768x768.png 768w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/Integrated-Silicon-Carbide-Epitaxy-Equipment-with-Vertical-Airflow-12x12.png 12w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/Integrated-Silicon-Carbide-Epitaxy-Equipment-with-Vertical-Airflow-600x600.png 600w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/Integrated-Silicon-Carbide-Epitaxy-Equipment-with-Vertical-Airflow-100x100.png 100w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/Integrated-Silicon-Carbide-Epitaxy-Equipment-with-Vertical-Airflow.png 1000w\" sizes=\"(max-width: 300px) 100vw, 300px\" \/>\u0418\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u043e\u0435 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0434\u043b\u044f \u044d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u0438 \u043a\u0430\u0440\u0431\u0438\u0434\u0430 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f (SiC) \u0441 \u0432\u0435\u0440\u0442\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0448\u043d\u044b\u043c \u043f\u043e\u0442\u043e\u043a\u043e\u043c - \u044d\u0442\u043e \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u044f \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u044d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0440\u043e\u0441\u0442\u0430, \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u043d\u043d\u0430\u044f \u0434\u043b\u044f \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 6- \u0438 8-\u0434\u044e\u0439\u043c\u043e\u0432\u044b\u0445 \u044d\u043f\u0438\u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u0435\u043a SiC. \u0420\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u043d\u043d\u0430\u044f \u0434\u043b\u044f \u0443\u0434\u043e\u0432\u043b\u0435\u0442\u0432\u043e\u0440\u0435\u043d\u0438\u044f \u0440\u0430\u0441\u0442\u0443\u0449\u0438\u0445 \u043f\u043e\u0442\u0440\u0435\u0431\u043d\u043e\u0441\u0442\u0435\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0441\u0438\u043b\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432, \u044d\u0442\u0430 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u043e\u0431\u044a\u0435\u0434\u0438\u043d\u044f\u0435\u0442 \u0442\u043e\u0447\u043d\u044b\u0439 \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044c, \u043e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u0443\u044e \u0434\u0438\u043d\u0430\u043c\u0438\u043a\u0443 \u0433\u0430\u0437\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u0442\u043e\u043a\u0430 \u0438 \u0438\u043d\u0442\u0435\u043b\u043b\u0435\u043a\u0442\u0443\u0430\u043b\u044c\u043d\u0443\u044e \u0430\u0432\u0442\u043e\u043c\u0430\u0442\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u044e \u0434\u043b\u044f \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438\u0441\u043a\u043b\u044e\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a \u043e\u0434\u043d\u043e\u0440\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438, \u043f\u0440\u043e\u043f\u0443\u0441\u043a\u043d\u043e\u0439 \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044f \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432.<\/p>\n<p data-start=\"643\" data-end=\"982\">\u0412 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b \u043b\u0435\u0436\u0438\u0442 \u0438\u043d\u043d\u043e\u0432\u0430\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u0430\u044f \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0446\u0438\u044f \u0434\u0443\u0448\u0435\u0432\u043e\u0439 \u0433\u043e\u043b\u043e\u0432\u043a\u0438 \u0441 \u0432\u0435\u0440\u0442\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c \u043f\u043e\u0442\u043e\u043a\u043e\u043c \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0445\u0430, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u0430\u044f \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0440\u0430\u0432\u043d\u043e\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e\u0435 \u0440\u0430\u0441\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0433\u0430\u0437\u043e\u0432 \u043f\u043e \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b. \u0412 \u0441\u043e\u0447\u0435\u0442\u0430\u043d\u0438\u0438 \u0441 \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u0437\u043e\u043d\u043d\u044b\u043c \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u0435\u043c \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u043b\u044f \u044d\u0442\u043e \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u043f\u0440\u0435\u0432\u043e\u0441\u0445\u043e\u0434\u043d\u0443\u044e \u0440\u0430\u0432\u043d\u043e\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u044b \u0438 \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u0443\u044e \u043a\u043e\u043d\u0446\u0435\u043d\u0442\u0440\u0430\u0446\u0438\u044e \u043b\u0435\u0433\u0438\u0440\u0443\u044e\u0449\u0438\u0445 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432, \u0447\u0442\u043e \u043a\u0440\u0430\u0439\u043d\u0435 \u0432\u0430\u0436\u043d\u043e \u0434\u043b\u044f \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0438\u043b\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432 SiC.<\/p>\n<p data-start=\"984\" data-end=\"1310\">\u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0438\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u0443\u044e \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0443 \u0441 \u0430\u0432\u0442\u043e\u043c\u0430\u0442\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d \u0441 \u043f\u043e\u043c\u043e\u0449\u044c\u044e \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b EFEM, \u0430 \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u043d\u044b\u0439 \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0437\u043c \u043f\u0435\u0440\u0435\u043d\u043e\u0441\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d. \u042d\u0442\u043e \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0435\u0442 \u043b\u0435\u0433\u043a\u043e \u0438\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0443 \u0432 \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043b\u0438\u043d\u0438\u0438 \u043f\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0443 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432, \u0441\u043e\u043a\u0440\u0430\u0442\u0438\u0442\u044c \u043a\u043e\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e \u0440\u0443\u0447\u043d\u044b\u0445 \u043e\u043f\u0435\u0440\u0430\u0446\u0438\u0439, \u043f\u043e\u0432\u044b\u0441\u0438\u0442\u044c \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 \u0438 \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u044b.<\/p>\n<p data-start=\"1312\" data-end=\"1615\">\u0414\u043b\u044f \u043f\u043e\u0434\u0434\u0435\u0440\u0436\u043a\u0438 \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u0434\u0432\u0443\u0445\u043a\u0430\u043c\u0435\u0440\u043d\u0443\u044e \u043a\u043e\u043d\u0444\u0438\u0433\u0443\u0440\u0430\u0446\u0438\u044e, \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043d\u0443\u044e \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u0442\u044c \u0432 \u043d\u0435\u043f\u0440\u0435\u0440\u044b\u0432\u043d\u043e\u043c \u0440\u0435\u0436\u0438\u043c\u0435 \u0441 \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u0438\u043c\u0438 \u043f\u0435\u0447\u0430\u043c\u0438. \u041f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 1100 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d \u0432 \u043c\u0435\u0441\u044f\u0446, \u0430 \u043f\u0440\u0438 \u043e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 - \u0434\u043e 1200 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d, \u043f\u043e\u044d\u0442\u043e\u043c\u0443 \u043e\u043d\u043e \u0445\u043e\u0440\u043e\u0448\u043e \u043f\u043e\u0434\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u0434\u043b\u044f \u043a\u0440\u0443\u043f\u043d\u043e\u0441\u0435\u0440\u0438\u0439\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430.<\/p>\n<p data-start=\"1617\" data-end=\"1971\">\u041e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0441\u043e\u0432\u043c\u0435\u0441\u0442\u0438\u043c\u043e \u0441 6- \u0438 8-\u0434\u044e\u0439\u043c\u043e\u0432\u044b\u043c\u0438 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0430\u043c\u0438 SiC, \u0447\u0442\u043e \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0433\u0438\u0431\u043a\u043e\u0441\u0442\u044c \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u0435\u0439, \u043f\u0435\u0440\u0435\u0445\u043e\u0434\u044f\u0449\u0438\u0445 \u043d\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0435\u0433\u043e \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u0430. \u041e\u043d\u043e \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u0434\u0435\u043c\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442 \u043e\u0442\u043b\u0438\u0447\u043d\u044b\u0435 \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0434\u043b\u044f \u0432\u044b\u0440\u0430\u0449\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0442\u043e\u043b\u0441\u0442\u044b\u0445 \u044d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0441\u043b\u043e\u0435\u0432 \u0438 \u044d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u0438 \u0441 \u0437\u0430\u043f\u043e\u043b\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0442\u0440\u0430\u043d\u0448\u0435\u0439, \u0447\u0442\u043e \u0434\u0435\u043b\u0430\u0435\u0442 \u0435\u0433\u043e \u043e\u0441\u043e\u0431\u0435\u043d\u043d\u043e \u043f\u043e\u0434\u0445\u043e\u0434\u044f\u0449\u0438\u043c \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0432\u043e\u043b\u044c\u0442\u043d\u044b\u0445 \u0438 \u043c\u043e\u0449\u043d\u044b\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432.<\/p>\n<p data-start=\"1973\" data-end=\"2214\">\u041a\u0440\u043e\u043c\u0435 \u0442\u043e\u0433\u043e, \u043e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u0430\u044f \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0446\u0438\u044f \u0440\u0435\u0430\u043a\u0442\u043e\u0440\u0430 \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u043d\u0438\u0437\u043a\u0443\u044e \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432, \u043f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0435\u043d\u043d\u0443\u044e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438 \u0441\u043d\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0441\u0442\u043e\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0432\u043b\u0430\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f. \u041f\u0440\u043e\u0447\u043d\u0430\u044f \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0446\u0438\u044f \u0438 \u0443\u0434\u043e\u0431\u0441\u0442\u0432\u043e \u043e\u0431\u0441\u043b\u0443\u0436\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0435\u0449\u0435 \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0435 \u043f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0430\u044e\u0442 \u043d\u0430\u0434\u0435\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438 \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u044b \u0432 \u0434\u043e\u043b\u0433\u043e\u0441\u0440\u043e\u0447\u043d\u043e\u0439 \u043f\u0435\u0440\u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u0435.<\/p>\n<h2 data-section-id=\"qpn8c9\" data-start=\"2221\" data-end=\"2252\"><span role=\"text\"><img decoding=\"async\" class=\"size-medium wp-image-2078 alignright\" src=\"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/Integrated-Silicon-Carbide-Epitaxy-Equipment-with-Vertical-Airflow2-300x300.png\" alt=\"\" width=\"300\" height=\"300\" srcset=\"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/Integrated-Silicon-Carbide-Epitaxy-Equipment-with-Vertical-Airflow2-300x300.png 300w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/Integrated-Silicon-Carbide-Epitaxy-Equipment-with-Vertical-Airflow2-150x150.png 150w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/Integrated-Silicon-Carbide-Epitaxy-Equipment-with-Vertical-Airflow2-768x768.png 768w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/Integrated-Silicon-Carbide-Epitaxy-Equipment-with-Vertical-Airflow2-12x12.png 12w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/Integrated-Silicon-Carbide-Epitaxy-Equipment-with-Vertical-Airflow2-600x600.png 600w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/Integrated-Silicon-Carbide-Epitaxy-Equipment-with-Vertical-Airflow2-100x100.png 100w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/Integrated-Silicon-Carbide-Epitaxy-Equipment-with-Vertical-Airflow2.png 1000w\" sizes=\"(max-width: 300px) 100vw, 300px\" \/>\u041a\u043b\u044e\u0447\u0435\u0432\u044b\u0435 \u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043f\u0440\u0435\u0438\u043c\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430<\/span><\/h2>\n<ul data-start=\"2254\" data-end=\"2704\">\n<li data-section-id=\"1q2t12k\" data-start=\"2254\" data-end=\"2321\">\u0414\u0443\u0448\u0435\u0432\u0430\u044f \u043b\u0435\u0439\u043a\u0430 \u0441 \u0432\u0435\u0440\u0442\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c \u043f\u043e\u0442\u043e\u043a\u043e\u043c \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0445\u0430 \u0434\u043b\u044f \u0440\u0430\u0432\u043d\u043e\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e\u0433\u043e \u0440\u0430\u0441\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0433\u0430\u0437\u0430<\/li>\n<li data-section-id=\"1lzu0dd\" data-start=\"2322\" data-end=\"2387\">\u041c\u043d\u043e\u0433\u043e\u0437\u043e\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044c \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u044b \u0434\u043b\u044f \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u0440\u0435\u0433\u0443\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f<\/li>\n<li data-section-id=\"1emeqzr\" data-start=\"2388\" data-end=\"2449\">\u0414\u0432\u0443\u0445\u043a\u0430\u043c\u0435\u0440\u043d\u0430\u044f \u043a\u043e\u043d\u0444\u0438\u0433\u0443\u0440\u0430\u0446\u0438\u044f \u0434\u043b\u044f \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430<\/li>\n<li data-section-id=\"rs6yfl\" data-start=\"2450\" data-end=\"2499\">\u041d\u0438\u0437\u043a\u0430\u044f \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432 \u0438 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0430\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c<\/li>\n<li data-section-id=\"h9m4ox\" data-start=\"2500\" data-end=\"2550\">\u0410\u0432\u0442\u043e\u043c\u0430\u0442\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u0430\u044f \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d \u0441 \u0438\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0430\u0446\u0438\u0435\u0439 EFEM<\/li>\n<li data-section-id=\"bze71o\" data-start=\"2551\" data-end=\"2594\">\u0421\u043e\u0432\u043c\u0435\u0441\u0442\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u0441 6- \u0438 8-\u0434\u044e\u0439\u043c\u043e\u0432\u044b\u043c\u0438 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0430\u043c\u0438 SiC<\/li>\n<li data-section-id=\"xhhop\" data-start=\"2595\" data-end=\"2655\">\u041e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u044b \u0434\u043b\u044f \u0442\u043e\u043b\u0441\u0442\u043e\u0439 \u044d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u0438 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u0437\u0430\u043f\u043e\u043b\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u0442\u0440\u0430\u043d\u0448\u0435\u0439<\/li>\n<li data-section-id=\"1a3549x\" data-start=\"2656\" data-end=\"2704\">\u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u0430\u044f \u043d\u0430\u0434\u0435\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u0440\u0438 \u0443\u043f\u0440\u043e\u0449\u0435\u043d\u043d\u043e\u043c \u043e\u0431\u0441\u043b\u0443\u0436\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u0438<\/li>\n<\/ul>\n<h2 data-section-id=\"ca04ra\" data-start=\"2711\" data-end=\"2737\"><span role=\"text\">\u041f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430<\/span><\/h2>\n<div class=\"TyagGW_tableContainer\">\n<div class=\"group TyagGW_tableWrapper flex flex-col-reverse w-fit\" tabindex=\"-1\">\n<table class=\"w-fit min-w-(--thread-content-width)\" data-start=\"2739\" data-end=\"3287\">\n<thead data-start=\"2739\" data-end=\"2768\">\n<tr data-start=\"2739\" data-end=\"2768\">\n<th class=\"\" data-start=\"2739\" data-end=\"2751\" data-col-size=\"sm\">\u041f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440<\/th>\n<th class=\"\" data-start=\"2751\" data-end=\"2768\" data-col-size=\"md\">\u0422\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438<\/th>\n<\/tr>\n<\/thead>\n<tbody data-start=\"2796\" data-end=\"3287\">\n<tr data-start=\"2796\" data-end=\"2884\">\n<td data-start=\"2796\" data-end=\"2809\" data-col-size=\"sm\">\u041f\u0440\u043e\u043f\u0443\u0441\u043a\u043d\u0430\u044f \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c<\/td>\n<td data-start=\"2809\" data-end=\"2884\" data-col-size=\"md\">\u22651100 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\/\u043c\u0435\u0441\u044f\u0446 (\u0432 \u0434\u0432\u0443\u0445 \u043a\u0430\u043c\u0435\u0440\u0430\u0445), \u0434\u043e 1200 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\/\u043c\u0435\u0441\u044f\u0446 (\u0432 \u043e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043a\u0430\u043c\u0435\u0440\u0435)<\/td>\n<\/tr>\n<tr data-start=\"2885\" data-end=\"2938\">\n<td data-start=\"2885\" data-end=\"2912\" data-col-size=\"sm\">\u0421\u043e\u0432\u043c\u0435\u0441\u0442\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u0441 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d<\/td>\n<td data-col-size=\"md\" data-start=\"2912\" data-end=\"2938\">6\u201d \/ 8\u201d \u044d\u043f\u0438-\u0432\u0430\u0444\u043b\u0438 \u0438\u0437 SiC<\/td>\n<\/tr>\n<tr data-start=\"2939\" data-end=\"2975\">\n<td data-start=\"2939\" data-end=\"2961\" data-col-size=\"sm\">\u041a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044c \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u044b<\/td>\n<td data-start=\"2961\" data-end=\"2975\" data-col-size=\"md\">\u041c\u0443\u043b\u044c\u0442\u0438\u0437\u043e\u043d\u0430<\/td>\n<\/tr>\n<tr data-start=\"2976\" data-end=\"3035\">\n<td data-start=\"2976\" data-end=\"2993\" data-col-size=\"sm\">\u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0448\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u0442\u043e\u043a\u0430<\/td>\n<td data-start=\"2993\" data-end=\"3035\" data-col-size=\"md\">\u0412\u0435\u0440\u0442\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u0440\u0435\u0433\u0443\u043b\u0438\u0440\u0443\u0435\u043c\u044b\u0439 \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u0437\u043e\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0448\u043d\u044b\u0439 \u043f\u043e\u0442\u043e\u043a<\/td>\n<\/tr>\n<tr data-start=\"3036\" data-end=\"3067\">\n<td data-start=\"3036\" data-end=\"3053\" data-col-size=\"sm\">\u0421\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c \u0432\u0440\u0430\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f<\/td>\n<td data-start=\"3053\" data-end=\"3067\" data-col-size=\"md\">0-1000 \u043e\u0431\/\u043c\u0438\u043d<\/td>\n<\/tr>\n<tr data-start=\"3068\" data-end=\"3101\">\n<td data-start=\"3068\" data-end=\"3086\" data-col-size=\"sm\">\u041c\u0430\u043a\u0441\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u0442\u0435\u043c\u043f \u0440\u043e\u0441\u0442\u0430<\/td>\n<td data-start=\"3086\" data-end=\"3101\" data-col-size=\"md\">\u226560 \u043c\u043a\u043c\/\u0447\u0430\u0441<\/td>\n<\/tr>\n<tr data-start=\"3102\" data-end=\"3163\">\n<td data-start=\"3102\" data-end=\"3125\" data-col-size=\"sm\">\u0420\u0430\u0432\u043d\u043e\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u044b<\/td>\n<td data-col-size=\"md\" data-start=\"3125\" data-end=\"3163\">\u22642% (\u043e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0439 \u22641%, \u03c3\/avg, EE 5 \u043c\u043c)<\/td>\n<\/tr>\n<tr data-start=\"3164\" data-end=\"3224\">\n<td data-start=\"3164\" data-end=\"3184\" data-col-size=\"sm\">\u0420\u0430\u0432\u043d\u043e\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043b\u0435\u0433\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f<\/td>\n<td data-col-size=\"md\" data-start=\"3184\" data-end=\"3224\">\u22643% (\u043e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0439 \u22641,5%, \u03c3\/avg, EE 5 \u043c\u043c)<\/td>\n<\/tr>\n<tr data-start=\"3225\" data-end=\"3287\">\n<td data-start=\"3225\" data-end=\"3249\" data-col-size=\"sm\">\u0423\u0431\u0438\u0439\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u0430\u044f \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432<\/td>\n<td data-col-size=\"md\" data-start=\"3249\" data-end=\"3287\">\u22640,2 \u0441\u043c-\u00b2 (\u043e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043e \u0434\u043e 0,01 \u0441\u043c-\u00b2)<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<\/div>\n<\/div>\n<h2 data-section-id=\"1w46w82\" data-start=\"3294\" data-end=\"3322\"><span role=\"text\">\u0421\u0446\u0435\u043d\u0430\u0440\u0438\u0438 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f<\/span><\/h2>\n<p data-start=\"3324\" data-end=\"3514\">\u042d\u0442\u043e \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u043e \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435 \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0438\u0431\u043e\u0440\u043e\u0432 \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 SiC, \u043e\u0441\u043e\u0431\u0435\u043d\u043d\u043e \u0432 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0441\u043b\u044f\u0445, \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u044e\u0449\u0438\u0445 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438, \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0433\u043e \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u0445 \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a:<\/p>\n<ul data-start=\"3516\" data-end=\"4364\">\n<li data-section-id=\"qrtaas\" data-start=\"3516\" data-end=\"3707\">\u042d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043c\u043e\u0431\u0438\u043b\u0438 (EV)<br data-start=\"3545\" data-end=\"3548\" \/>\u0418\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435 SiC MOSFET \u0438 \u0441\u0438\u043b\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043c\u043e\u0434\u0443\u043b\u0435\u0439 \u0434\u043b\u044f \u0438\u043d\u0432\u0435\u0440\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432, \u0431\u043e\u0440\u0442\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0437\u0430\u0440\u044f\u0434\u043d\u044b\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432 \u0438 DC-DC \u043f\u0440\u0435\u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u0435\u0439, \u043f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0430\u044f \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u043e\u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438 \u0434\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u043e\u0435\u0437\u0434\u043a\u0438.<\/li>\n<li data-section-id=\"1j97evh\" data-start=\"3709\" data-end=\"3867\">\u0412\u043e\u0437\u043e\u0431\u043d\u043e\u0432\u043b\u044f\u0435\u043c\u044b\u0435 \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0435\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b<br data-start=\"3739\" data-end=\"3742\" \/>\u041f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u0432 \u0444\u043e\u0442\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0438\u043d\u0432\u0435\u0440\u0442\u043e\u0440\u0430\u0445 \u0438 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430\u0445 \u043d\u0430\u043a\u043e\u043f\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u0438, \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u044f \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0443\u044e \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u0440\u0435\u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0438 \u043d\u0430\u0434\u0435\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b.<\/li>\n<li data-section-id=\"8pfhmh\" data-start=\"3869\" data-end=\"4041\">\u041f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u0430\u044f \u0441\u0438\u043b\u043e\u0432\u0430\u044f \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0430<br data-start=\"3903\" data-end=\"3906\" \/>\u041f\u043e\u0434\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u0434\u043b\u044f \u043c\u043e\u0449\u043d\u044b\u0445 \u043c\u043e\u0442\u043e\u0440\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0438\u0432\u043e\u0434\u043e\u0432, \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0430\u0432\u0442\u043e\u043c\u0430\u0442\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0438 \u0431\u043b\u043e\u043a\u043e\u0432 \u043f\u0438\u0442\u0430\u043d\u0438\u044f, \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u044e\u0449\u0438\u0445 \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0438 \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0439 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u044b.<\/li>\n<li data-section-id=\"frfj8s\" data-start=\"4043\" data-end=\"4206\">\u0416\u0435\u043b\u0435\u0437\u043d\u043e\u0434\u043e\u0440\u043e\u0436\u043d\u044b\u0439 \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0442 \u0438 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u0441\u0435\u0442\u0438<br data-start=\"4075\" data-end=\"4078\" \/>\u041f\u043e\u0434\u0434\u0435\u0440\u0436\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0432\u043e\u043b\u044c\u0442\u043d\u044b\u0435 \u0438 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0447\u0430\u0441\u0442\u043e\u0442\u043d\u044b\u0435 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430, \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u043c\u044b\u0435 \u0432 \u0438\u043d\u0442\u0435\u043b\u043b\u0435\u043a\u0442\u0443\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0435\u0442\u044f\u0445, \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430\u0445 \u0442\u044f\u0433\u0438 \u0438 \u0438\u043d\u0444\u0440\u0430\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0435 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u0430\u0447\u0438 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u0438.<\/li>\n<li data-section-id=\"1k6eb43\" data-start=\"4208\" data-end=\"4364\">\u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u043d\u044b\u0435 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043f\u0438\u0442\u0430\u043d\u0438\u044f<br data-start=\"4236\" data-end=\"4239\" \/>\u0418\u0434\u0435\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u043f\u043e\u0434\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 SiC-\u043f\u0440\u0438\u0431\u043e\u0440\u043e\u0432, \u0442\u0430\u043a\u0438\u0445 \u043a\u0430\u043a \u0434\u0438\u043e\u0434\u044b \u0428\u043e\u0442\u0442\u043a\u0438, \u041c\u041e\u041f-\u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u044b \u0438 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0432\u043e\u043b\u044c\u0442\u043d\u044b\u0435 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u044b \u043d\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u043a\u043e\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f.<\/li>\n<\/ul>\n<p><img decoding=\"async\" class=\"wp-image-2080 size-large aligncenter\" src=\"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/application-1024x578.png\" alt=\"\" width=\"1024\" height=\"578\" srcset=\"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/application-1024x578.png 1024w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/application-300x169.png 300w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/application-768x433.png 768w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/application-18x10.png 18w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/application-600x339.png 600w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/application.png 1285w\" sizes=\"(max-width: 1024px) 100vw, 1024px\" \/><\/p>\n<h2 data-section-id=\"elc90z\" data-start=\"4371\" data-end=\"4381\"><span role=\"text\">\u0427\u0410\u0421\u0422\u041e \u0417\u0410\u0414\u0410\u0412\u0410\u0415\u041c\u042b\u0415 \u0412\u041e\u041f\u0420\u041e\u0421\u042b<\/span><\/h2>\n<h3 data-section-id=\"1f731tm\" data-start=\"4383\" data-end=\"4453\"><span role=\"text\">1. \u041a\u0430\u043a\u0438\u0435 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u044b \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d \u043f\u043e\u0434\u0434\u0435\u0440\u0436\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0434\u0430\u043d\u043d\u043e\u0435 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0434\u043b\u044f \u044d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u0438?<\/span><\/h3>\n<p data-start=\"4454\" data-end=\"4606\">\u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u043f\u043e\u0434\u0434\u0435\u0440\u0436\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u043a\u0430\u043a 6-, \u0442\u0430\u043a \u0438 8-\u0434\u044e\u0439\u043c\u043e\u0432\u044b\u0435 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b SiC, \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044f\u043c \u0443\u0434\u043e\u0432\u043b\u0435\u0442\u0432\u043e\u0440\u044f\u0442\u044c \u0442\u0435\u043a\u0443\u0449\u0438\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043f\u043e\u0442\u0440\u0435\u0431\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438 \u043e\u0434\u043d\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e \u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u0438\u0442\u044c\u0441\u044f \u043a \u0431\u0443\u0434\u0443\u0449\u0435\u043c\u0443 \u043c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044e.<\/p>\n<h3 data-section-id=\"8a4v60\" data-start=\"4613\" data-end=\"4683\"><span role=\"text\">2. \u041a\u0430\u043a\u0438\u0435 \u043f\u0440\u0435\u0438\u043c\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0434\u0430\u0435\u0442 \u0432\u0435\u0440\u0442\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0446\u0438\u044f \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0448\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u0442\u043e\u043a\u0430?<\/span><\/h3>\n<p data-start=\"4684\" data-end=\"4858\">\u0412\u0435\u0440\u0442\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u043f\u043e\u0434\u0430\u0447\u0438 \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0445\u0430 \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0440\u0430\u0432\u043d\u043e\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e\u0435 \u0440\u0430\u0441\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0433\u0430\u0437\u0430 \u043f\u043e \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0435, \u0443\u043b\u0443\u0447\u0448\u0430\u044f \u0440\u0430\u0432\u043d\u043e\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u044b, \u0443\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0430\u044f \u043a\u043e\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432 \u0438 \u043f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0430\u044f \u043e\u0431\u0449\u0435\u0435 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e \u044d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u0438.<\/p>\n<h3 data-section-id=\"1rbmoqb\" data-start=\"4865\" data-end=\"4935\"><span role=\"text\">3. \u041f\u043e\u0434\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u043b\u0438 \u044d\u0442\u043e \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0434\u043b\u044f \u043a\u0440\u0443\u043f\u043d\u043e\u0441\u0435\u0440\u0438\u0439\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430?<\/span><\/h3>\n<p data-start=\"4936\" data-end=\"5110\">\u0414\u0430, \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u0434\u0432\u0443\u0445\u043a\u0430\u043c\u0435\u0440\u043d\u0443\u044e \u043a\u043e\u043d\u0444\u0438\u0433\u0443\u0440\u0430\u0446\u0438\u044e \u0438 \u043d\u0435\u043f\u0440\u0435\u0440\u044b\u0432\u043d\u044b\u0439 \u0440\u0435\u0436\u0438\u043c \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u044b, \u0430 \u0435\u0435 \u043c\u0435\u0441\u044f\u0447\u043d\u0430\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u0440\u0435\u0432\u044b\u0448\u0430\u0435\u0442 1100 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d. \u041e\u043d\u0430 \u0445\u043e\u0440\u043e\u0448\u043e \u043f\u043e\u0434\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u0434\u043b\u044f \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0440\u0443\u043f\u043d\u043e\u043c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430, \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u044f \u043f\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u043d\u043d\u0443\u044e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c, \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0443\u044e \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0432\u044b\u0445\u043e\u0434\u0430 \u0438 \u0434\u043e\u043b\u0433\u043e\u0441\u0440\u043e\u0447\u043d\u0443\u044e \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u044b.<\/p>","protected":false},"excerpt":{"rendered":"<p>\u0418\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u043e\u0435 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0434\u043b\u044f \u044d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u0438 \u043a\u0430\u0440\u0431\u0438\u0434\u0430 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f (SiC) \u0441 \u0432\u0435\u0440\u0442\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0448\u043d\u044b\u043c \u043f\u043e\u0442\u043e\u043a\u043e\u043c - \u044d\u0442\u043e \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u044f \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u044d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0440\u043e\u0441\u0442\u0430, \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u043d\u043d\u0430\u044f \u0434\u043b\u044f \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 6- \u0438 8-\u0434\u044e\u0439\u043c\u043e\u0432\u044b\u0445 \u044d\u043f\u0438\u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u0435\u043a SiC.<\/p>","protected":false},"featured_media":2078,"comment_status":"open","ping_status":"closed","template":"","meta":{"site-sidebar-layout":"default","site-content-layout":"","ast-site-content-layout":"default","site-content-style":"default","site-sidebar-style":"default","ast-global-header-display":"","ast-banner-title-visibility":"","ast-main-header-display":"","ast-hfb-above-header-display":"","ast-hfb-below-header-display":"","ast-hfb-mobile-header-display":"","site-post-title":"","ast-breadcrumbs-content":"","ast-featured-img":"","footer-sml-layout":"","ast-disable-related-posts":"","theme-transparent-header-meta":"default","adv-header-id-meta":"","stick-header-meta":"default","header-above-stick-meta":"","header-main-stick-meta":"","header-below-stick-meta":"","astra-migrate-meta-layouts":"set","ast-page-background-enabled":"default","ast-page-background-meta":{"desktop":{"background-color":"var(--ast-global-color-4)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"tablet":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"mobile":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""}},"ast-content-background-meta":{"desktop":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"tablet":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"mobile":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""}}},"product_brand":[],"product_cat":[730],"product_tag":[734,735,737,738,745,740,744,739,733,731,603,732,742,741,736,743],"class_list":{"0":"post-2077","1":"product","2":"type-product","3":"status-publish","4":"has-post-thumbnail","6":"product_cat-epitaxy-equipment","7":"product_tag-6-inch-sic-wafer","8":"product_tag-8-inch-sic-wafer","9":"product_tag-cvd-epitaxy-system","10":"product_tag-epitaxial-growth-system","11":"product_tag-ev-power-semiconductors","12":"product_tag-high-voltage-sic-devices","13":"product_tag-industrial-power-electronics","14":"product_tag-semiconductor-manufacturing-equipment","15":"product_tag-sic-epi-wafer-production","16":"product_tag-sic-epitaxy-equipment","17":"product_tag-sic-power-devices","18":"product_tag-silicon-carbide-epitaxy-reactor","19":"product_tag-thick-epitaxy-growth","20":"product_tag-trench-filling-epitaxy","21":"product_tag-vertical-airflow-epitaxy","22":"product_tag-wafer-epitaxy-reactor","23":"desktop-align-left","24":"tablet-align-left","25":"mobile-align-left","26":"ast-product-gallery-layout-horizontal-slider","27":"ast-product-tabs-layout-horizontal","29":"first","30":"instock","31":"shipping-taxable","32":"product-type-simple"},"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/product\/2077","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/product"}],"about":[{"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/types\/product"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=2077"}],"version-history":[{"count":2,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/product\/2077\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":2082,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/product\/2077\/revisions\/2082"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/media\/2078"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=2077"}],"wp:term":[{"taxonomy":"product_brand","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/product_brand?post=2077"},{"taxonomy":"product_cat","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/product_cat?post=2077"},{"taxonomy":"product_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/product_tag?post=2077"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}