{"id":1968,"date":"2026-03-23T06:01:20","date_gmt":"2026-03-23T06:01:20","guid":{"rendered":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/?post_type=product&p=1968"},"modified":"2026-03-23T06:03:52","modified_gmt":"2026-03-23T06:03:52","slug":"lpcvd-oxidation-furnace","status":"publish","type":"product","link":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/product\/lpcvd-oxidation-furnace\/","title":{"rendered":"6\/8\/12-\u0434\u044e\u0439\u043c\u043e\u0432\u0430\u044f \u043f\u0435\u0447\u044c \u043e\u043a\u0438\u0441\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f LPCVD \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0441\u0442\u0435\u043f\u0435\u043d\u044c\u044e \u0440\u0430\u0432\u043d\u043e\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u0442\u043e\u043d\u043a\u0438\u0445 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043e\u043a \u0434\u043b\u044f \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432"},"content":{"rendered":"

\u041e\u043a\u0438\u0441\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u043f\u0435\u0447\u044c LPCVD 6\/8\/12-Inch - \u044d\u0442\u043e \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0438\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432, \u043f\u0440\u0435\u0434\u043d\u0430\u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0434\u043b\u044f \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438 \u0440\u0430\u0432\u043d\u043e\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e\u0433\u043e \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u0442\u043e\u043d\u043a\u0438\u0445 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043e\u043a. \u041e\u043d\u0430 \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u043e \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0434\u043b\u044f \u0432\u044b\u0440\u0430\u0449\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0441\u043b\u043e\u0435\u0432 \u043f\u043e\u043b\u0438\u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f, \u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434\u0430 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f \u0438 \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u0430 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f \u043d\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0430\u0445, \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u044f \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u0443\u044e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0434\u043b\u044f \u0441\u0438\u043b\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432, \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u0435\u043a \u0438 \u0434\u0440\u0443\u0433\u0438\u0445 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0442\u043e\u0447\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0438\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u0439.<\/p>\n

\u042d\u0442\u043e \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0441\u043e\u0447\u0435\u0442\u0430\u0435\u0442 \u0432 \u0441\u0435\u0431\u0435 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u0443\u044e \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044e \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u0440\u0438 \u043d\u0438\u0437\u043a\u043e\u043c \u0434\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0438, \u0438\u043d\u0442\u0435\u043b\u043b\u0435\u043a\u0442\u0443\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044c \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u044b \u0438 \u0441\u0432\u0435\u0440\u0445\u0447\u0438\u0441\u0442\u0443\u044e \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0443\u044e \u0441\u0445\u0435\u043c\u0443, \u0447\u0442\u043e \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0434\u043e\u0431\u0438\u0442\u044c\u0441\u044f \u0438\u0441\u043a\u043b\u044e\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u043e\u0434\u043d\u043e\u0440\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0442\u043e\u043d\u043a\u0438\u0445 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043e\u043a \u0438 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438. \u0412\u0435\u0440\u0442\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u043a\u043e\u043d\u0444\u0438\u0433\u0443\u0440\u0430\u0446\u0438\u044f \u0440\u0435\u0430\u043a\u0442\u043e\u0440\u0430 \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u0443\u044e \u043f\u0430\u043a\u0435\u0442\u043d\u0443\u044e \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0443, \u0430 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441 \u0442\u0435\u0440\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0438\u0437\u0431\u0435\u0436\u0430\u0442\u044c \u043f\u043e\u0432\u0440\u0435\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0439, \u0432\u044b\u0437\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0439, \u0447\u0442\u043e \u0434\u0435\u043b\u0430\u0435\u0442 \u0435\u0433\u043e \u0438\u0434\u0435\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c \u0434\u043b\u044f \u0442\u0430\u043a\u0438\u0445 \u043a\u0440\u0438\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0432\u0430\u0436\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432, \u043a\u0430\u043a \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u043a\u0430 \u0437\u0430\u0442\u0432\u043e\u0440\u0430, \u0431\u0443\u0444\u0435\u0440\u043d\u044b\u0445 \u0441\u043b\u043e\u0435\u0432 \u0438 \u0437\u0430\u0449\u0438\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u043e\u0432.<\/p>\n

\"\"<\/p>\n

\n

\u041a\u043b\u044e\u0447\u0435\u0432\u044b\u0435 \u043f\u0440\u0435\u0438\u043c\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430<\/strong><\/span><\/h2>\n
    \n
  • \u041e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0442\u043e\u043d\u043a\u0438\u0445 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043e\u043a \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0441\u0442\u0435\u043f\u0435\u043d\u044c\u044e \u0440\u0430\u0432\u043d\u043e\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438:<\/strong> \u0421\u0440\u0435\u0434\u0430 \u0441 \u043d\u0438\u0437\u043a\u0438\u043c \u0434\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c (0,1-10 \u0422\u043e\u0440\u0440) \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u043e\u0434\u043d\u043e\u0440\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0430\u043c\u0438 \u0438 \u0432\u043d\u0443\u0442\u0440\u0438 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d \u00b11,5%, \u0447\u0442\u043e \u043e\u0447\u0435\u043d\u044c \u0432\u0430\u0436\u043d\u043e \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432.<\/li>\n
  • \u041a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0446\u0438\u044f \u0432\u0435\u0440\u0442\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0440\u0435\u0430\u043a\u0442\u043e\u0440\u0430:<\/strong> \u041e\u0431\u0440\u0430\u0431\u0430\u0442\u044b\u0432\u0430\u0435\u0442 150-200 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d \u0437\u0430 \u043f\u0430\u0440\u0442\u0438\u044e, \u043f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0430\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438 \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0432 \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u0430\u0445 \u0434\u043b\u044f \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432.<\/li>\n
  • \u041f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441 \u0442\u0435\u0440\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f (500-900\u00b0C):<\/strong> \u041e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0449\u0430\u0434\u044f\u0449\u0435\u0435 \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0431\u0435\u0437 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b \u0434\u043b\u044f \u0437\u0430\u0449\u0438\u0442\u044b \u0447\u0443\u0432\u0441\u0442\u0432\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u0435\u043a \u0438 \u0441\u043e\u0445\u0440\u0430\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0433\u043e \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043a\u0438.<\/li>\n
  • \u0418\u043d\u0442\u0435\u043b\u043b\u0435\u043a\u0442\u0443\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044c \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u044b:<\/strong> \u041a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044c \u0438 \u0440\u0435\u0433\u0443\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u043a\u0430 \u0432 \u0440\u0435\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u043c \u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u0438 \u0441 \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u00b11\u00b0C \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445, \u0432\u043e\u0441\u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u043c\u044b\u0445 \u0440\u0435\u0437\u0443\u043b\u044c\u0442\u0430\u0442\u043e\u0432.<\/li>\n
  • \u0421\u0432\u0435\u0440\u0445\u0447\u0438\u0441\u0442\u0430\u044f \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u043a\u0430\u043c\u0435\u0440\u0430:<\/strong> \u041c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0438\u0437\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442 \u0437\u0430\u0433\u0440\u044f\u0437\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0446\u0430\u043c\u0438, \u043f\u043e\u0434\u0434\u0435\u0440\u0436\u0438\u0432\u0430\u044f SiC \u0438 \u0434\u0440\u0443\u0433\u0438\u0435 \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u044b \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u0435\u043a.<\/li>\n
  • \u041d\u0430\u0441\u0442\u0440\u0430\u0438\u0432\u0430\u0435\u043c\u0430\u044f \u043a\u043e\u043d\u0444\u0438\u0433\u0443\u0440\u0430\u0446\u0438\u044f:<\/strong> \u0413\u0438\u0431\u043a\u0430\u044f \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0446\u0438\u044f \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0432\u044b\u043f\u043e\u043b\u043d\u044f\u0442\u044c \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u043d\u044b\u0435 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f, \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u044f \u0441\u0443\u0445\u043e\u0435 \u0438\u043b\u0438 \u043c\u043e\u043a\u0440\u043e\u0435 \u043e\u043a\u0438\u0441\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0438 \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u043d\u044b\u0435 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u044b \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d.<\/li>\n<\/ul>\n

    \u0422\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438<\/strong><\/span><\/h2>\n
    \n
    \n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n
    \u0425\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0430<\/th>\n\u0422\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438<\/th>\n<\/tr>\n<\/thead>\n
    \u0420\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b<\/td>\n6\/8\/12 \u0434\u044e\u0439\u043c\u0430<\/td>\n<\/tr>\n
    \u0421\u043e\u0432\u043c\u0435\u0441\u0442\u0438\u043c\u044b\u0435 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u044b<\/td>\n\u041f\u043e\u043b\u0438\u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0439, \u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f, \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f<\/td>\n<\/tr>\n
    \u0422\u0438\u043f \u043e\u043a\u0438\u0441\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f<\/td>\n\u0421\u0443\u0445\u043e\u0439 \u043a\u0438\u0441\u043b\u043e\u0440\u043e\u0434 \/ \u0432\u043b\u0430\u0436\u043d\u044b\u0439 \u043a\u0438\u0441\u043b\u043e\u0440\u043e\u0434 (DCE, HCL)<\/td>\n<\/tr>\n
    \u0414\u0438\u0430\u043f\u0430\u0437\u043e\u043d \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u044b \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430<\/td>\n500\u00b0C-900\u00b0C<\/td>\n<\/tr>\n
    \u0417\u043e\u043d\u0430 \u043f\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u044b<\/td>\n\u2265800 \u043c\u043c<\/td>\n<\/tr>\n
    \u0422\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044f \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u044b<\/td>\n\u00b11\u00b0C<\/td>\n<\/tr>\n
    \u041a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044c \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0446<\/td>\n0,32 \u043c\u043a\u043c), 0,32 \u043c\u043a\u043c), 0,226 \u043c\u043a\u043c)<\/td>\n<\/tr>\n
    \u0422\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u0430 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043a\u0438<\/td>\nNIT1500 \u00b150 \u00c5<\/td>\n<\/tr>\n
    \u0420\u0430\u0432\u043d\u043e\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c<\/td>\n\u0412 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0430\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b <2,5%, \u043e\u0442 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b \u043a \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0435 <2,5%, \u043e\u0442 \u043f\u0430\u0440\u0442\u0438\u0438 \u043a \u043f\u0430\u0440\u0442\u0438\u0438 <2%<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<\/div>\n<\/div>\n

    \u0425\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438 \u0442\u043e\u0432\u0430\u0440\u0430<\/strong><\/span><\/h2>\n
      \n
    • \u0410\u0432\u0442\u043e\u043c\u0430\u0442\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u0430\u044f \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0443\u044e \u0431\u0435\u0437\u043e\u043f\u0430\u0441\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438 \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u044b.<\/li>\n
    • \u0421\u0432\u0435\u0440\u0445\u0447\u0438\u0441\u0442\u0430\u044f \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u043a\u0430\u043c\u0435\u0440\u0430 \u0441\u043d\u0438\u0436\u0430\u0435\u0442 \u0440\u0438\u0441\u043a \u0437\u0430\u0433\u0440\u044f\u0437\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438 \u043f\u043e\u0434\u0434\u0435\u0440\u0436\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0435 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e \u043f\u043b\u0435\u043d\u043a\u0438.<\/li>\n
    • \u041f\u0440\u0435\u0432\u043e\u0441\u0445\u043e\u0434\u043d\u0430\u044f \u043e\u0434\u043d\u043e\u0440\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u044b \u043f\u043b\u0435\u043d\u043a\u0438 \u043f\u043e\u0434\u0434\u0435\u0440\u0436\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u043e\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e \u0443\u0437\u043b\u043e\u0432.<\/li>\n
    • \u0418\u043d\u0442\u0435\u043b\u043b\u0435\u043a\u0442\u0443\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044c \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u044b \u0438 \u0434\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432 \u0440\u0435\u0436\u0438\u043c\u0435 \u0440\u0435\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u0438 \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e \u0440\u0435\u0433\u0443\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441.<\/li>\n
    • \u041e\u043f\u043e\u0440\u0430 \u0434\u043b\u044f \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d \u0438\u0437 SiC \u0441\u043d\u0438\u0436\u0430\u0435\u0442 \u0442\u0440\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0438 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0446, \u043f\u0440\u043e\u0434\u043b\u0435\u0432\u0430\u044f \u0441\u0440\u043e\u043a \u0441\u043b\u0443\u0436\u0431\u044b \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d.<\/li>\n
    • \u041c\u043e\u0434\u0443\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0446\u0438\u044f \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043d\u0430\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u043a\u0438 \u043f\u043e\u0434 \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u043d\u044b\u0435 \u0437\u0430\u0434\u0430\u0447\u0438 \u0438 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043f\u043e\u0442\u0440\u0435\u0431\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438.<\/li>\n<\/ul>\n

      \u041f\u0440\u0438\u043d\u0446\u0438\u043f \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f\"\"<\/strong><\/span><\/h2>\n
        \n
      1. \u0413\u0430\u0437\u043e\u0432\u043e\u0435 \u0432\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435:<\/strong> \u0420\u0435\u0430\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0433\u0430\u0437\u044b \u0432\u0432\u043e\u0434\u044f\u0442\u0441\u044f \u0432 \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0443 \u043f\u0440\u0438 \u043d\u0438\u0437\u043a\u043e\u043c \u0434\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0438 (0,25-1 \u0422\u043e\u0440\u0440).<\/li>\n
      2. \u041f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u043d\u0430\u044f \u0434\u0438\u0444\u0444\u0443\u0437\u0438\u044f:<\/strong> \u041c\u043e\u043b\u0435\u043a\u0443\u043b\u044b \u0441\u0432\u043e\u0431\u043e\u0434\u043d\u043e \u0434\u0438\u0444\u0444\u0443\u043d\u0434\u0438\u0440\u0443\u044e\u0442 \u043f\u043e \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b, \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u044f \u0440\u0430\u0432\u043d\u043e\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e\u0435 \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u0435.<\/li>\n
      3. \u0410\u0434\u0441\u043e\u0440\u0431\u0446\u0438\u044f:<\/strong> \u0420\u0435\u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u044b \u043f\u0440\u0438\u043b\u0438\u043f\u0430\u044e\u0442 \u043a \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b \u0434\u043e \u043d\u0430\u0447\u0430\u043b\u0430 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0440\u0435\u0430\u043a\u0446\u0438\u0438.<\/li>\n
      4. \u0425\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u0440\u0435\u0430\u043a\u0446\u0438\u044f:<\/strong> \u0422\u0435\u0440\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u0440\u0430\u0437\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442 \u0436\u0435\u043b\u0430\u0435\u043c\u0443\u044e \u0442\u043e\u043d\u043a\u0443\u044e \u043f\u043b\u0435\u043d\u043a\u0443 \u043d\u0435\u043f\u043e\u0441\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0435.<\/li>\n
      5. \u0423\u0434\u0430\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u043e\u0431\u043e\u0447\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0434\u0443\u043a\u0442\u043e\u0432:<\/strong> \u0414\u043b\u044f \u0441\u043e\u0445\u0440\u0430\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u0447\u0438\u0441\u0442\u043e\u0442\u044b \u0438 \u043f\u0440\u0435\u0434\u043e\u0442\u0432\u0440\u0430\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e\u043c\u0435\u0445 \u043d\u0435\u0440\u0435\u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u0435 \u0433\u0430\u0437\u044b \u043e\u0442\u043a\u0430\u0447\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f.<\/li>\n
      6. \u0424\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0444\u0438\u043b\u044c\u043c\u0430:<\/strong> \u041f\u0440\u043e\u0434\u0443\u043a\u0442\u044b \u0440\u0435\u0430\u043a\u0446\u0438\u0438 \u043f\u043e\u0441\u0442\u0435\u043f\u0435\u043d\u043d\u043e \u043d\u0430\u043a\u0430\u043f\u043b\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f, \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u0443\u044f \u0440\u0430\u0432\u043d\u043e\u043c\u0435\u0440\u043d\u044b\u0439, \u0443\u0441\u0442\u043e\u0439\u0447\u0438\u0432\u044b\u0439 \u0442\u043e\u043d\u043a\u043e\u043f\u043b\u0435\u043d\u043e\u0447\u043d\u044b\u0439 \u0441\u043b\u043e\u0439.<\/li>\n<\/ol>\n

        \u041f\u0440\u0438\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f<\/strong><\/span><\/h2>\n
          \n
        • \u042d\u043a\u0440\u0430\u043d\u0438\u0440\u0443\u044e\u0449\u0438\u0439 \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u043d\u044b\u0439 \u0441\u043b\u043e\u0439:<\/strong> \u0417\u0430\u0449\u0438\u0449\u0430\u0435\u0442 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u044b\u0435 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b \u043e\u0442 \u0437\u0430\u0433\u0440\u044f\u0437\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438 \u0443\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0430\u0435\u0442 \u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043a\u0430\u043d\u0430\u043b\u044b \u0432\u043e \u0432\u0440\u0435\u043c\u044f \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u043b\u0435\u0433\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f.<\/li>\n<\/ul>\n

          \"\"<\/p>\n

            \n
          • \u041e\u043a\u0441\u0438\u0434\u043d\u044b\u0439 \u0441\u043b\u043e\u0439:<\/strong> \u0414\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0443\u0435\u0442 \u043a\u0430\u043a \u0431\u0443\u0444\u0435\u0440 \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 \u0441\u043b\u043e\u044f\u043c\u0438 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f \u0438 \u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434\u0430 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f, \u043f\u0440\u0435\u0434\u043e\u0442\u0432\u0440\u0430\u0449\u0430\u044f \u0440\u0430\u0441\u0442\u0440\u0435\u0441\u043a\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d \u0438 \u043f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0430\u044f \u0438\u0445 \u0432\u044b\u0445\u043e\u0434.<\/li>\n<\/ul>\n

            \"\"<\/p>\n

              \n
            • \u041e\u043a\u0441\u0438\u0434\u043d\u044b\u0439 \u0441\u043b\u043e\u0439 \u0437\u0430\u0442\u0432\u043e\u0440\u0430:<\/strong> \u041e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0441\u043b\u043e\u0439 \u0432 \u041c\u041e\u041f-\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0430\u0445, \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u044f \u0442\u043e\u0447\u043d\u0443\u044e \u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u0442\u043e\u043a\u0430 \u0438 \u0443\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u043e\u043b\u0435\u0432\u044b\u043c \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u043c.<\/li>\n<\/ul>\n

              \"\"<\/p>\n

              \u041a\u043e\u043d\u0444\u0438\u0433\u0443\u0440\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b<\/strong><\/span><\/h2>\n
                \n
              • \u0412\u0435\u0440\u0442\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 LPCVD:<\/strong> \u0422\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0433\u0430\u0437\u044b \u043f\u043e\u0434\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u0441\u0432\u0435\u0440\u0445\u0443 \u0432\u043d\u0438\u0437, \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u044f \u0440\u0430\u0432\u043d\u043e\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e\u0435 \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043d\u0430 \u0432\u0441\u0435\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0430\u0445 \u0432 \u043f\u0430\u0440\u0442\u0438\u0438.<\/li>\n<\/ul>\n

                \"\"<\/p>\n

                  \n
                • \u0413\u043e\u0440\u0438\u0437\u043e\u043d\u0442\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 LPCVD:<\/strong> \u0413\u0430\u0437\u044b \u0442\u0435\u043a\u0443\u0442 \u043f\u043e \u0432\u0441\u0435\u0439 \u0434\u043b\u0438\u043d\u0435 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u0435\u043a, \u0447\u0442\u043e \u043f\u043e\u0434\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u0434\u043b\u044f \u043d\u0435\u043f\u0440\u0435\u0440\u044b\u0432\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0440\u0443\u043f\u043d\u043e\u0441\u0435\u0440\u0438\u0439\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430, \u0445\u043e\u0442\u044f \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u0430 \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u043d\u0435\u043c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438\u0437\u043c\u0435\u043d\u044f\u0442\u044c\u0441\u044f \u0432\u0431\u043b\u0438\u0437\u0438 \u0432\u0445\u043e\u0434\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d\u044b.<\/li>\n<\/ul>\n

                  \"\"<\/p>\n

                  \u0427\u0430\u0441\u0442\u043e \u0437\u0430\u0434\u0430\u0432\u0430\u0435\u043c\u044b\u0435 \u0432\u043e\u043f\u0440\u043e\u0441\u044b<\/strong><\/span><\/h2>\n

                  Q1: \u0414\u043b\u044f \u0447\u0435\u0433\u043e \u0432 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u043e\u043c \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f LPCVD?<\/strong>
                  \u041e: LPCVD - \u044d\u0442\u043e \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441 \u0442\u043e\u043d\u043a\u043e\u043f\u043b\u0435\u043d\u043e\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e\u0434 \u043d\u0438\u0437\u043a\u0438\u043c \u0434\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c, \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u043e \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u043c\u044b\u0439 \u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432 \u0434\u043b\u044f \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e\u043b\u0438\u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f, \u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434\u0430 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f \u0438 \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u0430 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f, \u0447\u0442\u043e \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0435\u0442 \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0430\u0442\u044c \u043e\u0434\u043d\u043e\u0440\u043e\u0434\u043d\u044b\u0435 \u0438 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043a\u0438 \u0434\u043b\u044f \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432.<\/p>\n

                  \u0412\u043e\u043f\u0440\u043e\u0441 2: \u0427\u0435\u043c LPCVD \u043e\u0442\u043b\u0438\u0447\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043e\u0442 PECVD?<\/strong>
                  \u041e: LPCVD \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0430\u043d \u043d\u0430 \u0442\u0435\u0440\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043f\u0440\u0438 \u043d\u0438\u0437\u043a\u043e\u043c \u0434\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0447\u0438\u0441\u0442\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043e\u043a, \u0432 \u0442\u043e \u0432\u0440\u0435\u043c\u044f \u043a\u0430\u043a PECVD \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0443 \u043f\u0440\u0438 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043d\u0438\u0437\u043a\u0438\u0445 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430\u0445 \u0434\u043b\u044f \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0431\u044b\u0441\u0442\u0440\u043e\u0433\u043e \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f, \u0447\u0430\u0441\u0442\u043e \u0441 \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043d\u0438\u0437\u043a\u0438\u043c \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e\u043c \u043f\u043b\u0435\u043d\u043a\u0438.<\/p>\n

                  Q3: \u041a\u0430\u043a\u0438\u0435 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u044b \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d \u0438 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u044b \u0441\u043e\u0432\u043c\u0435\u0441\u0442\u0438\u043c\u044b \u0441 \u044d\u0442\u043e\u0439 \u043f\u0435\u0447\u044c\u044e \u0434\u043b\u044f \u043e\u043a\u0438\u0441\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f LPCVD?<\/strong>
                  \u041e: \u042d\u0442\u0430 \u043f\u0435\u0447\u044c \u043f\u043e\u0434\u0434\u0435\u0440\u0436\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 6-, 8- \u0438 12-\u0434\u044e\u0439\u043c\u043e\u0432\u044b\u0435 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b \u0438 \u0441\u043e\u0432\u043c\u0435\u0441\u0442\u0438\u043c\u0430 \u0441 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0430\u043c\u0438 \u0438\u0437 \u043f\u043e\u043b\u0438\u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f, \u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434\u0430 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f, \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u0430 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f \u0438 SiC, \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u044f \u0433\u0438\u0431\u043a\u043e\u0441\u0442\u044c \u0434\u043b\u044f \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0438\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u0439.<\/p>\n

                  Q4: \u041c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u043b\u0438 \u043f\u0435\u0447\u044c \u0434\u043b\u044f \u043e\u043a\u0438\u0441\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f LPCVD \u0431\u044b\u0442\u044c \u043d\u0430\u0441\u0442\u0440\u043e\u0435\u043d\u0430 \u0434\u043b\u044f \u043a\u043e\u043d\u043a\u0440\u0435\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432?<\/strong>
                  \u041e: \u0414\u0430, \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u043f\u0440\u0435\u0434\u043b\u0430\u0433\u0430\u0435\u0442 \u043c\u043e\u0434\u0443\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u043a\u043e\u043d\u0444\u0438\u0433\u0443\u0440\u0430\u0446\u0438\u0438, \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u044f \u0440\u0435\u0433\u0443\u043b\u0438\u0440\u0443\u0435\u043c\u044b\u0435 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u043d\u044b\u0435 \u0437\u043e\u043d\u044b, \u0443\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u043e\u0442\u043e\u043a\u043e\u043c \u0433\u0430\u0437\u0430 \u0438 \u0440\u0435\u0436\u0438\u043c\u044b \u043e\u043a\u0438\u0441\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f (\u0441\u0443\u0445\u043e\u0435 \u0438\u043b\u0438 \u043c\u043e\u043a\u0440\u043e\u0435), \u0447\u0442\u043e \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0443\u0434\u043e\u0432\u043b\u0435\u0442\u0432\u043e\u0440\u0438\u0442\u044c \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u043d\u044b\u0435 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043a\u0430\u043a \u0434\u043b\u044f \u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0439, \u0442\u0430\u043a \u0438 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430.<\/p>","protected":false},"excerpt":{"rendered":"

                  \u041e\u043a\u0438\u0441\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u043f\u0435\u0447\u044c 6\/8\/12-Inch LPCVD (Low Pressure Chemical Vapor Deposition) - \u044d\u0442\u043e \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u0435 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432, \u043f\u0440\u0435\u0434\u043d\u0430\u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0434\u043b\u044f \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438 \u0440\u0430\u0432\u043d\u043e\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e\u0433\u043e \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u0442\u043e\u043d\u043a\u0438\u0445 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043e\u043a. \u041e\u043d\u0430 \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u043e \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0434\u043b\u044f \u0432\u044b\u0440\u0430\u0449\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0441\u043b\u043e\u0435\u0432 \u043f\u043e\u043b\u0438\u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f, \u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434\u0430 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f \u0438 \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u0430 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f \u043d\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0430\u0445, \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u044f \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u0443\u044e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0434\u043b\u044f \u0441\u0438\u043b\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432, \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u0435\u043a \u0438 \u0434\u0440\u0443\u0433\u0438\u0445 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0442\u043e\u0447\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0438\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u0439.<\/p>","protected":false},"featured_media":1969,"comment_status":"open","ping_status":"closed","template":"","meta":{"site-sidebar-layout":"default","site-content-layout":"","ast-site-content-layout":"default","site-content-style":"default","site-sidebar-style":"default","ast-global-header-display":"","ast-banner-title-visibility":"","ast-main-header-display":"","ast-hfb-above-header-display":"","ast-hfb-below-header-display":"","ast-hfb-mobile-header-display":"","site-post-title":"","ast-breadcrumbs-content":"","ast-featured-img":"","footer-sml-layout":"","ast-disable-related-posts":"","theme-transparent-header-meta":"default","adv-header-id-meta":"","stick-header-meta":"default","header-above-stick-meta":"","header-main-stick-meta":"","header-below-stick-meta":"","astra-migrate-meta-layouts":"set","ast-page-background-enabled":"default","ast-page-background-meta":{"desktop":{"background-color":"var(--ast-global-color-4)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"tablet":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"mobile":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""}},"ast-content-background-meta":{"desktop":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"tablet":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"mobile":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""}}},"product_brand":[],"product_cat":[15],"product_tag":[468,485,488,480,484,479,476,469,477,470,481,472,110,475,482,102,473,474,486,471,487,478,483],"class_list":{"0":"post-1968","1":"product","2":"type-product","3":"status-publish","4":"has-post-thumbnail","6":"product_cat-crystal-growth-furnace","7":"product_tag-6-8-12-inch-lpcvd-oxidation-furnace","8":"product_tag-automated-wafer-handling","9":"product_tag-customizable-lpcvd","10":"product_tag-gate-oxide","11":"product_tag-high-uniformity-thin-film","12":"product_tag-horizontal-lpcvd","13":"product_tag-low-pressure-chemical-vapor-deposition","14":"product_tag-lpcvd","15":"product_tag-lpcvd-vs-pecvd","16":"product_tag-oxygen-furnace","17":"product_tag-pad-oxide","18":"product_tag-polysilicon","19":"product_tag-semiconductor-equipment","20":"product_tag-semiconductor-manufacturing","21":"product_tag-shielding-oxide","22":"product_tag-sic-wafer","23":"product_tag-silicon-nitride","24":"product_tag-silicon-oxide","25":"product_tag-temperature-control","26":"product_tag-thin-film-deposition","27":"product_tag-ultra-clean-chamber","28":"product_tag-vertical-lpcvd","29":"product_tag-wafer-processing","30":"desktop-align-left","31":"tablet-align-left","32":"mobile-align-left","33":"ast-product-gallery-layout-horizontal-slider","34":"ast-product-tabs-layout-horizontal","36":"first","37":"instock","38":"shipping-taxable","39":"product-type-simple"},"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/product\/1968","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/product"}],"about":[{"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/types\/product"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=1968"}],"version-history":[{"count":3,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/product\/1968\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":1999,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/product\/1968\/revisions\/1999"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/media\/1969"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=1968"}],"wp:term":[{"taxonomy":"product_brand","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/product_brand?post=1968"},{"taxonomy":"product_cat","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/product_cat?post=1968"},{"taxonomy":"product_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/product_tag?post=1968"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}