{"id":2504,"date":"2026-06-01T02:33:36","date_gmt":"2026-06-01T02:33:36","guid":{"rendered":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/?p=2504"},"modified":"2026-06-01T02:38:59","modified_gmt":"2026-06-01T02:38:59","slug":"through-glass-via-tgv-technology","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/through-glass-via-tgv-technology\/","title":{"rendered":"\u0422\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f Through Glass Via (TGV): \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u043e\u0435 \u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0434\u043b\u044f \u043c\u0435\u0436\u0441\u043e\u0435\u0434\u0438\u043d\u0435\u043d\u0438\u0439 \u0432 \u043a\u043e\u0440\u043f\u0443\u0441\u0430\u0445 2.5D\/3D \u043d\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u043a\u043e\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438 \u0438\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0447\u0438\u043f\u043b\u0435\u0442\u043e\u0432"},"content":{"rendered":"

\u0412 \u0441\u0432\u044f\u0437\u0438 \u0441 \u0431\u044b\u0441\u0442\u0440\u044b\u043c \u0440\u0430\u0437\u0432\u0438\u0442\u0438\u0435\u043c \u0432\u044b\u0447\u0438\u0441\u043b\u0435\u043d\u0438\u0439 \u043d\u0430 \u0431\u0430\u0437\u0435 \u0438\u0441\u043a\u0443\u0441\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438\u043d\u0442\u0435\u043b\u043b\u0435\u043a\u0442\u0430, \u0441\u0435\u0442\u0435\u0439 \u0441\u0432\u044f\u0437\u0438 5G\/6G \u0438 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0447\u0430\u0441\u0442\u043e\u0442\u043d\u044b\u0445 \u0440\u0430\u0434\u0438\u043e\u0447\u0430\u0441\u0442\u043e\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0438\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u0439 \u0442\u0440\u0430\u0434\u0438\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u044b\u0435 \u043c\u0435\u0436\u0441\u043e\u0435\u0434\u0438\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f (TSV) \u0432\u0441\u0435 \u0447\u0430\u0449\u0435 \u0441\u0442\u0430\u043b\u043a\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u0441 \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f\u043c\u0438, \u0441\u0432\u044f\u0437\u0430\u043d\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0441 \u043f\u043e\u0442\u0435\u0440\u044f\u043c\u0438 \u0441\u0438\u0433\u043d\u0430\u043b\u0430, \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0432\u044b\u043c\u0438 \u043d\u0430\u0433\u0440\u0443\u0437\u043a\u0430\u043c\u0438 \u0438 \u0437\u0430\u0442\u0440\u0430\u0442\u0430\u043c\u0438. \u041d\u0430 \u044d\u0442\u043e\u043c \u0444\u043e\u043d\u0435, \u0421 \u043f\u043e\u043c\u043e\u0449\u044c\u044e \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438 Glass Via (TGV)<\/strong> <\/mark>i<\/a>\u044d\u0442\u043e \u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u0438\u0442\u0441\u044f \u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u0432\u044b\u043c \u043f\u0440\u043e\u0440\u044b\u0432\u043e\u043c \u0432 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439 \u043c\u043e\u043d\u0442\u0430\u0436\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432.<\/p>\n\n\n\n

\u0422\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f TGV \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0432\u0435\u0440\u0442\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u0443\u044e \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0443\u044e \u0441\u0432\u044f\u0437\u044c \u0437\u0430 \u0441\u0447\u0435\u0442 \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0438 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043f\u0440\u043e\u0445\u043e\u0434\u043e\u0432 \u0432 \u0443\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430\u0442\u043e\u043d\u043a\u0438\u0445 \u0441\u0442\u0435\u043a\u043b\u044f\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0430\u0445. \u041e\u043d\u0430 \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u043e \u043f\u0440\u0438\u0437\u043d\u0430\u043d\u0430 \u0432 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435 \u043e\u0434\u043d\u043e\u0439 \u0438\u0437 \u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u0432\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439, \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u044e\u0449\u0438\u0445 \u0440\u0435\u0430\u043b\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u044e 2,5D\/3D-\u043a\u043e\u0440\u043f\u0443\u0441\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0438 \u0430\u0440\u0445\u0438\u0442\u0435\u043a\u0442\u0443\u0440 \u043d\u0430 \u0431\u0430\u0437\u0435 \u0447\u0438\u043f\u043b\u0435\u0442\u043e\u0432.<\/p>\n\n\n\n

\"\"<\/figure>\n\n\n\n

1. \u0427\u0442\u043e \u0442\u0430\u043a\u043e\u0435 TGV (Through Glass Via)?<\/h2>\n\n\n\n

TGV \u043e\u0431\u043e\u0437\u043d\u0430\u0447\u0430\u0435\u0442 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441 \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u0438\u044f \u0432\u0435\u0440\u0442\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0445\u043e\u0434\u043d\u044b\u0435 \u043e\u0442\u0432\u0435\u0440\u0441\u0442\u0438\u044f \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u0430 (10\u201350 \u043c\u043a\u043c)<\/strong> \u0432 \u0443\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430\u0442\u043e\u043d\u043a\u0438\u0435 \u0441\u0442\u0435\u043a\u043b\u044f\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438 (100\u2013700 \u043c\u043a\u043c)<\/strong> \u0442\u0430\u043a\u0438\u0445 \u043a\u0430\u043a \u0431\u043e\u0440\u043e\u0441\u0438\u043b\u0438\u043a\u0430\u0442\u043d\u043e\u0435 \u0441\u0442\u0435\u043a\u043b\u043e \u0438\u043b\u0438 \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u044b\u0439 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446, \u0441 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0435\u0439 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0435\u0439 (\u043a\u0430\u043a \u043f\u0440\u0430\u0432\u0438\u043b\u043e, \u043d\u0430\u043d\u0435\u0441\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u043c\u0435\u0434\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u043b\u043e\u044f) \u0434\u043b\u044f \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u044f\u0449\u0438\u0445 \u0434\u043e\u0440\u043e\u0436\u0435\u043a.<\/p>\n\n\n\n

\u041e\u043d\u0430 \u0437\u0430\u043c\u0435\u043d\u044f\u0435\u0442 \u0442\u0440\u0430\u0434\u0438\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0440\u043e\u043c\u0435\u0436\u0443\u0442\u043e\u0447\u043d\u044b\u0435 \u0441\u043b\u043e\u0438 TSV (Through Silicon Via) \u0438 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0434\u0430\u0435\u0442 \u0442\u0430\u043a\u0438\u043c\u0438 \u043f\u0440\u0435\u0438\u043c\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430\u043c\u0438, \u043a\u0430\u043a:<\/p>\n\n\n\n

    \n
  • \u041c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0438\u0435 \u043f\u043e\u0442\u0435\u0440\u0438 \u0441\u0438\u0433\u043d\u0430\u043b\u0430<\/li>\n\n\n\n
  • \u0421\u043d\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043d\u0430\u0433\u0440\u0443\u0437\u043a\u0438<\/li>\n\n\n\n
  • \u0421\u043d\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0437\u0430\u0442\u0440\u0430\u0442<\/li>\n\n\n\n
  • \u0423\u043b\u0443\u0447\u0448\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438 \u0432 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0447\u0430\u0441\u0442\u043e\u0442\u043d\u043e\u043c \u0434\u0438\u0430\u043f\u0430\u0437\u043e\u043d\u0435<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

    2. \u041e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u043e\u0439 \u043f\u0440\u0438\u043d\u0446\u0438\u043f \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u044b<\/h2>\n\n\n\n

    \u0422\u0438\u043f\u0438\u0447\u043d\u0430\u044f \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0430 TGV \u0441\u043e\u0441\u0442\u043e\u0438\u0442 \u0438\u0437:<\/p>\n\n\n\n

      \n
    • \u0421\u0442\u0435\u043a\u043b\u044f\u043d\u043d\u0430\u044f \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0430 (\u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u043d\u043e\u0441\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c)<\/strong><\/li>\n\n\n\n
    • \u0421\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0430 \u0432\u0435\u0440\u0442\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043f\u0440\u043e\u0445\u043e\u0434\u043e\u0432<\/strong><\/li>\n\n\n\n
    • \u041f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0445\u043e\u0434\u043d\u044b\u0435 \u043e\u0442\u0432\u0435\u0440\u0441\u0442\u0438\u044f \u0441 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c \u043d\u0430\u043f\u043e\u043b\u043d\u0438\u0442\u0435\u043b\u0435\u043c (\u043c\u0435\u0434\u044c)<\/strong><\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

      \u042d\u0442\u0438 \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0446\u0438\u0438 \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442 \u0432\u0435\u0440\u0442\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0441\u043e\u0435\u0434\u0438\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0445\u0435\u043c\u0430\u043c\u0438 \u0438\u043b\u0438 \u043c\u043e\u0434\u0443\u043b\u044f\u043c\u0438, \u0447\u0442\u043e \u043e\u0441\u043e\u0431\u0435\u043d\u043d\u043e \u043f\u043e\u0434\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u0430\u0447\u0438 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u043d\u044b\u0445 \u0438 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0447\u0430\u0441\u0442\u043e\u0442\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0438\u0433\u043d\u0430\u043b\u043e\u0432.<\/p>\n\n\n\n

      3. \u0421\u0442\u0430\u043d\u0434\u0430\u0440\u0442\u043d\u0430\u044f \u0441\u0445\u0435\u043c\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 TGV<\/h2>\n\n\n\n

      1) \u041f\u043e\u0434\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043a\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f<\/h3>\n\n\n\n
        \n
      • \u0427\u0438\u0441\u0442\u043a\u0430 \u0438 \u0441\u0443\u0448\u043a\u0430<\/li>\n\n\n\n
      • \u041d\u0430\u043d\u0435\u0441\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0444\u043e\u0442\u043e\u0440\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442\u0430 \/ \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u044f<\/li>\n\n\n\n
      • \u0423\u0434\u0430\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u043d\u044b\u0445 \u0437\u0430\u0433\u0440\u044f\u0437\u043d\u0435\u043d\u0438\u0439<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

        2) \u041b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043d\u043e\u0435 \u0441\u0432\u0435\u0440\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0441\u043a\u0432\u043e\u0437\u043d\u044b\u0445 \u043e\u0442\u0432\u0435\u0440\u0441\u0442\u0438\u0439 (\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u0432\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441)<\/h3>\n\n\n\n

        \u0421\u0432\u0435\u0440\u0445\u0431\u044b\u0441\u0442\u0440\u0430\u044f \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043d\u0430\u044f \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 (\u0441 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u043f\u0438\u043a\u043e\u0441\u0435\u043a\u0443\u043d\u0434\u043d\u044b\u0445 \u0438\u043b\u0438 \u0444\u0435\u043c\u0442\u043e\u0441\u0435\u043a\u0443\u043d\u0434\u043d\u044b\u0445 \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043e\u0432) \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0434\u043b\u044f \u0438\u0437\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432\u043d\u0443\u0442\u0440\u0435\u043d\u043d\u0435\u0439 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u044b \u0441\u0442\u0435\u043a\u043b\u0430:<\/p>\n\n\n\n

          \n
        • \u0412\u044b\u0437\u044b\u0432\u0430\u0435\u0442 \u043f\u043e\u044f\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0442\u0440\u0435\u0449\u0438\u043d \u0438\u043b\u0438 \u0437\u043e\u043d \u0438\u0437\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u044b<\/li>\n\n\n\n
        • \u041e\u0431\u0440\u0430\u0437\u0443\u0435\u0442 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0443\u044e \u043f\u0440\u043e\u0434\u043e\u043b\u044c\u043d\u0443\u044e \u043f\u0440\u043e\u043f\u043e\u0440\u0446\u0438\u044e \u0441 \u043f\u043e\u043c\u043e\u0449\u044c\u044e \u043a\u0430\u043d\u0430\u043b\u043e\u0432<\/li>\n\n\n\n
        • \u0414\u043e\u0441\u0442\u0438\u0433\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0437\u0430 \u0441\u0447\u0435\u0442 \u0434\u0438\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u0432 \u0434\u043e 3 \u043c\u043a\u043c<\/strong><\/li>\n\n\n\n
        • \u0421\u043e\u043e\u0442\u043d\u043e\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d \u0434\u043e 150:1<\/strong><\/li>\n\n\n\n
        • \u0427\u0435\u0440\u0435\u0437 \u043e\u0434\u043d\u043e\u0440\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c > 95%<\/strong><\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

          \u042d\u0442\u043e \u0441\u0430\u043c\u044b\u0439 \u0432\u0430\u0436\u043d\u044b\u0439 \u044d\u0442\u0430\u043f \u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435 \u043f\u043e\u0435\u0437\u0434\u043e\u0432 TGV.<\/p>\n\n\n\n

          3) \u0412\u043b\u0430\u0436\u043d\u043e\u0435 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0438 \u043e\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0430<\/h3>\n\n\n\n
            \n
          • \u0425\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 HF\/BHF<\/li>\n\n\n\n
          • \u0423\u0434\u0430\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0443\u0447\u0430\u0441\u0442\u043a\u043e\u0432, \u043f\u043e\u0434\u0432\u0435\u0440\u0433\u0448\u0438\u0445\u0441\u044f \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043d\u043e\u0439 \u043c\u043e\u0434\u0438\u0444\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u0438<\/li>\n\n\n\n
          • \u0421\u0433\u043b\u0430\u0436\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0441 \u043f\u043e\u043c\u043e\u0449\u044c\u044e \u0431\u043e\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0441\u0442\u0435\u043d\u043e\u043a<\/li>\n\n\n\n
          • \u0422\u043e\u0447\u043d\u044b\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044c \u0434\u0438\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u0430<\/li>\n\n\n\n
          • \u0423\u0434\u0430\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0437\u0430\u0433\u0440\u044f\u0437\u043d\u0435\u043d\u0438\u0439<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

            4) \u041c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u044f (\u043a\u0440\u0438\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u044d\u0442\u0430\u043f)<\/h3>\n\n\n\n

            (1) \u041d\u0430\u043d\u0435\u0441\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0441\u043b\u043e\u044f \u0437\u0430\u0440\u043e\u0434\u044b\u0448\u0435\u0432\u043e\u0433\u043e \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430<\/h4>\n\n\n\n
              \n
            • \u041d\u0430\u043f\u044b\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0441\u043b\u043e\u0435\u0432 Ti\/Cu \u0438\u043b\u0438 AlN\/Cu<\/li>\n\n\n\n
            • \u041e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0430\u0434\u0433\u0435\u0437\u0438\u044e \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

              (2) \u0413\u0430\u043b\u044c\u0432\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u0435 \u043c\u0435\u0434\u044c\u044e<\/h4>\n\n\n\n
                \n
              • \u0418\u043c\u043f\u0443\u043b\u044c\u0441\u043d\u0430\u044f \u0438\u043b\u0438 \u043f\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u043d\u043d\u0430\u044f \u0433\u0430\u043b\u044c\u0432\u0430\u043d\u0438\u043a\u0430<\/li>\n\n\n\n
              • \u0417\u0430\u043f\u043e\u043b\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043e\u0442\u0432\u0435\u0440\u0441\u0442\u0438\u0439<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

                (3) \u0412\u044b\u0440\u0430\u0432\u043d\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438<\/h4>\n\n\n\n
                  \n
                • \u0425\u0438\u043c\u0438\u043a\u043e-\u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u043f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u043a\u0430 (CMP)<\/li>\n\n\n\n
                • \u0410\u043d\u0442\u0438\u043e\u043a\u0438\u0441\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

                  5) \u0423\u0440\u043e\u0432\u0435\u043d\u044c \u043f\u0435\u0440\u0435\u0440\u0430\u0441\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f (RDL) \u0438 \u0431\u0443\u043c\u043f\u0438\u043d\u0433<\/h3>\n\n\n\n
                    \n
                  • \u0421\u0432\u0435\u0440\u0445\u0442\u043e\u043d\u043a\u0430\u044f \u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043a\u0430 RDL<\/li>\n\n\n\n
                  • \u0421\u0442\u0440\u043e\u043a\u0430\/\u043f\u0440\u043e\u0431\u0435\u043b \u0432\u043d\u0438\u0437 \u0434\u043e \u22642 \u043c\u043a\u043c<\/strong><\/li>\n\n\n\n
                  • \u041c\u043d\u043e\u0433\u043e\u0441\u043b\u043e\u0439\u043d\u0430\u044f \u0442\u0440\u0430\u0441\u0441\u0438\u0440\u043e\u0432\u043a\u0430 (\u0434\u043e 6 \u0441\u043b\u043e\u0435\u0432 RDL)<\/li>\n\n\n\n
                  • \u041c\u0435\u0434\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0442\u043e\u043b\u0431\u0438\u043a\u0438 \u0438\u043b\u0438 \u043f\u0430\u044f\u043d\u044b\u0435 \u0432\u044b\u0441\u0442\u0443\u043f\u044b \u0434\u043b\u044f \u0441\u043e\u0435\u0434\u0438\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

                    6) \u0422\u0435\u0441\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0438 \u043d\u0430\u0440\u0435\u0437\u043a\u0430<\/h3>\n\n\n\n
                      \n
                    • \u042d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0438\u0441\u043f\u044b\u0442\u0430\u043d\u0438\u044f<\/li>\n\n\n\n
                    • \u041d\u0430\u0440\u0435\u0437\u043a\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d<\/li>\n\n\n\n
                    • \u041e\u043a\u043e\u043d\u0447\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u043f\u0440\u043e\u0432\u0435\u0440\u043a\u0430 \u0438 \u0443\u043f\u0430\u043a\u043e\u0432\u043a\u0430<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

                      4. \u0421\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439 \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043f\u0435\u0440\u0435\u0445\u043e\u0434\u043d\u044b\u0445 \u043e\u0442\u0432\u0435\u0440\u0441\u0442\u0438\u0439<\/h2>\n\n\n\n
                      \u0422\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f<\/th>\u041f\u0440\u0435\u0438\u043c\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430<\/th>\u041d\u0435\u0434\u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u043a\u0438<\/th>\u041f\u0440\u0438\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f<\/th><\/tr><\/thead>
                      \u0421\u0432\u0435\u0440\u0445\u0431\u044b\u0441\u0442\u0440\u044b\u0439 \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440 + \u0432\u043b\u0430\u0436\u043d\u043e\u0435 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435<\/td>\u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u0430\u044f \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c, \u0441\u043a\u0432\u043e\u0437\u043d\u044b\u0435 \u043e\u0442\u0432\u0435\u0440\u0441\u0442\u0438\u044f \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u043e\u043c 3\u201310 \u043c\u043a\u043c, \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0435 \u0441\u043e\u043e\u0442\u043d\u043e\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d, \u043f\u0440\u0435\u0432\u043e\u0441\u0445\u043e\u0434\u043d\u0430\u044f \u043e\u0434\u043d\u043e\u0440\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c<\/td>\u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u0430\u044f \u0441\u0442\u043e\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f, \u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u044b\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441<\/td>\u0427\u0438\u043f\u044b \u0438\u0441\u043a\u0443\u0441\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438\u043d\u0442\u0435\u043b\u043b\u0435\u043a\u0442\u0430, HBM, \u0440\u0430\u0434\u0438\u043e\u0447\u0430\u0441\u0442\u043e\u0442\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0440\u0438\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f<\/td><\/tr>
                      \u041f\u0440\u044f\u043c\u043e\u0435 \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043d\u043e\u0435 \u0441\u0432\u0435\u0440\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435<\/td>\u041d\u0438\u0437\u043a\u0430\u044f \u0441\u0442\u043e\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c, \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0430\u044f \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c<\/td>\u0428\u0435\u0440\u043e\u0445\u043e\u0432\u0430\u0442\u044b\u0435 \u0431\u043e\u043a\u043e\u0432\u044b\u0435 \u0441\u0442\u0435\u043d\u043a\u0438, \u043d\u0438\u0437\u043a\u043e\u0435 \u0441\u043e\u043e\u0442\u043d\u043e\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0432\u044b\u0441\u043e\u0442\u044b \u043a \u0448\u0438\u0440\u0438\u043d\u0435 (<20:1)<\/td>\u041a\u0440\u0443\u043f\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0445\u043e\u0434\u043d\u044b\u0435 \u043e\u0442\u0432\u0435\u0440\u0441\u0442\u0438\u044f, \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0432 \u043d\u0438\u0437\u043a\u043e\u0447\u0430\u0441\u0442\u043e\u0442\u043d\u044b\u0445 \u0446\u0435\u043f\u044f\u0445<\/td><\/tr>
                      \u0421\u0443\u0445\u043e\u0435 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 (RIE\/ICP)<\/td>\u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u0430\u044f \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c, \u0432\u0435\u0440\u0442\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0431\u043e\u043a\u043e\u0432\u044b\u0435 \u0441\u0442\u0435\u043d\u043a\u0438<\/td>\u041c\u0435\u0434\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e, \u0434\u043e\u0440\u043e\u0433\u043e<\/td>\u0421\u0432\u0435\u0440\u0445\u043c\u0430\u043b\u044b\u0435 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0445\u043e\u0434\u043d\u044b\u0435 \u043e\u0442\u0432\u0435\u0440\u0441\u0442\u0438\u044f (<5 \u043c\u043a\u043c)<\/td><\/tr><\/tbody><\/table><\/figure>\n\n\n\n

                      5. \u0422\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u043e\u043c \u0444\u0438\u0437\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438\u0437 \u043f\u0430\u0440\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0444\u0430\u0437\u044b \u043d\u0430 \u0441\u0442\u0435\u043a\u043b\u044f\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0435<\/h2>\n\n\n\n

                      \u041f\u0440\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435 \u043f\u043e\u0435\u0437\u0434\u043e\u0432 TGV, \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f \u043d\u0430\u043d\u0435\u0441\u0435\u043d\u0438\u044f PVD-\u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u0439 \u043d\u0430 \u0441\u0442\u0435\u043a\u043b\u044f\u043d\u043d\u0443\u044e \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0443<\/strong> \u0438\u0433\u0440\u0430\u0435\u0442 \u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u0432\u0443\u044e \u0432\u0441\u043f\u043e\u043c\u043e\u0433\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u0443\u044e \u0440\u043e\u043b\u044c \u0432 \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u0438\u0438 \u043d\u0430\u0434\u0451\u0436\u043d\u044b\u0445 \u0441\u043e\u0435\u0434\u0438\u043d\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0446\u0438\u0439.<\/p>\n\n\n\n

                      \u041e\u0441\u043e\u0431\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430<\/h3>\n\n\n\n
                        \n
                      • \u0412\u043d\u0443\u0442\u0440\u0435\u043d\u043d\u0435\u0435 \u043d\u0430\u043f\u044b\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u043e\u043c PVD \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430<\/li>\n\n\n\n
                      • \u041d\u0430\u043d\u0435\u0441\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043c\u0435\u0434\u0438 \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0430\u0434\u0433\u0435\u0437\u0438\u0435\u0439<\/li>\n\n\n\n
                      • \u041c\u0430\u043a\u0441\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u0430 \u043c\u0435\u0434\u0438 \u0434\u043e 10 \u043c\u043a\u043c<\/strong><\/li>\n\n\n\n
                      • \u041f\u0440\u0435\u0432\u043e\u0441\u0445\u043e\u0434\u043d\u0430\u044f \u043e\u0434\u043d\u043e\u0440\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u044b<\/li>\n\n\n\n
                      • \u041d\u0438\u0437\u043a\u0430\u044f \u0441\u043a\u043b\u043e\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043a \u043a\u043e\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043d\u0438\u044e \u0438 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0430\u044f \u043f\u043b\u043e\u0441\u043a\u043e\u0441\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

                        \u041f\u0440\u0435\u0438\u043c\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430<\/h3>\n\n\n\n
                          \n
                        • \u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u0430\u044f \u0442\u0432\u0435\u0440\u0434\u043e\u0441\u0442\u044c<\/li>\n\n\n\n
                        • \u041f\u0440\u0435\u0432\u043e\u0441\u0445\u043e\u0434\u043d\u0430\u044f \u0438\u0437\u043d\u043e\u0441\u043e\u0441\u0442\u043e\u0439\u043a\u043e\u0441\u0442\u044c<\/li>\n\n\n\n
                        • \u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u0430\u044f \u043a\u043e\u0440\u0440\u043e\u0437\u0438\u043e\u043d\u043d\u0430\u044f \u0441\u0442\u043e\u0439\u043a\u043e\u0441\u0442\u044c<\/li>\n\n\n\n
                        • \u0421\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430<\/li>\n\n\n\n
                        • \u0414\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u0441\u0440\u043e\u043a \u0441\u043b\u0443\u0436\u0431\u044b \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u044f<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

                          6. \u041e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0440\u0435\u0438\u043c\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438 TGV<\/h2>\n\n\n\n

                          \u041f\u043e \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u044e \u0441 \u0442\u0440\u0430\u0434\u0438\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0435\u0439 TSV \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f TGV \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442:<\/p>\n\n\n\n

                            \n
                          • \u041c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0438\u0435 \u043f\u043e\u0442\u0435\u0440\u0438 \u043f\u0440\u0438 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u0430\u0447\u0435 \u0441\u0438\u0433\u043d\u0430\u043b\u0430 (\u0438\u0434\u0435\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u043f\u043e\u0434\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u0434\u043b\u044f \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0447\u0430\u0441\u0442\u043e\u0442\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c)<\/li>\n\n\n\n
                          • \u0421\u043d\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u0439 (\u043b\u0443\u0447\u0448\u0435\u0435 \u0441\u043e\u0433\u043b\u0430\u0441\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043a\u043e\u044d\u0444\u0444\u0438\u0446\u0438\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u0440\u0430\u0441\u0448\u0438\u0440\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u0442\u0435\u043a\u043b\u0430)<\/li>\n\n\n\n
                          • \u0412\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0441\u043d\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0437\u0430\u0442\u0440\u0430\u0442<\/li>\n\n\n\n
                          • \u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u0430\u044f \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u043e\u0432<\/li>\n\n\n\n
                          • \u0411\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0430\u044f \u043f\u0440\u0438\u0433\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0434\u043b\u044f \u0430\u0440\u0445\u0438\u0442\u0435\u043a\u0442\u0443\u0440 \u0441 \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0445\u0435\u043c\u043e\u0439 \u0441\u043e\u0435\u0434\u0438\u043d\u0435\u043d\u0438\u0439<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

                            7. \u041e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f<\/h2>\n\n\n\n

                            \u0422\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f TGV \u0441\u0442\u0440\u0435\u043c\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u0440\u0430\u0441\u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0438\u0445 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u044f\u0445:<\/p>\n\n\n\n

                              \n
                            • \u041a\u043e\u0440\u043f\u0443\u0441\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0432\u044b\u0447\u0438\u0441\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0447\u0438\u043f\u043e\u0432 \u0438\u0441\u043a\u0443\u0441\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438\u043d\u0442\u0435\u043b\u043b\u0435\u043a\u0442\u0430<\/li>\n\n\n\n
                            • \u041f\u0430\u043c\u044f\u0442\u044c \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u043f\u0443\u0441\u043a\u043d\u043e\u0439 \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e (HBM)<\/li>\n\n\n\n
                            • \u041c\u043e\u0434\u0443\u043b\u0438 \u0440\u0430\u0434\u0438\u043e\u0447\u0430\u0441\u0442\u043e\u0442\u043d\u043e\u0433\u043e \u0432\u0445\u043e\u0434\u0430 5G\/6G<\/li>\n\n\n\n
                            • \u041a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u0430\u044f \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u0438\u043a\u0430 \u0438 \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0441\u043e\u0435\u0434\u0438\u043d\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u044b (CPO)<\/li>\n\n\n\n
                            • \u0413\u0435\u0442\u0435\u0440\u043e\u0433\u0435\u043d\u043d\u0430\u044f \u0438\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0430\u0446\u0438\u044f \u0447\u0438\u043f\u043b\u0435\u0442\u043e\u0432<\/li>\n\n\n\n
                            • \u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u043d\u044b\u0435 \u043c\u0435\u0436\u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u043d\u044b\u0435 \u0441\u043e\u0435\u0434\u0438\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432 \u0446\u0435\u043d\u0442\u0440\u0430\u0445 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438 \u0434\u0430\u043d\u043d\u044b\u0445<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

                              8. \u041f\u0435\u0440\u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u044b \u0440\u0430\u0437\u0432\u0438\u0442\u0438\u044f \u043e\u0442\u0440\u0430\u0441\u043b\u0438<\/h2>\n\n\n\n

                              \u041f\u043e \u043c\u0435\u0440\u0435 \u0442\u043e\u0433\u043e \u043a\u0430\u043a \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438 \u0443\u043f\u0430\u043a\u043e\u0432\u043a\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0434\u043e\u043b\u0436\u0430\u044e\u0442 \u0440\u0430\u0437\u0432\u0438\u0432\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u0432 \u043d\u0430\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0438 \u043f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438, \u0441\u043d\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u043e\u043f\u043e\u0442\u0440\u0435\u0431\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u044b \u043d\u0430 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u0445 \u0447\u0430\u0441\u0442\u043e\u0442\u0430\u0445, \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f TGV \u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u0438\u0442\u0441\u044f \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043e\u043f\u043e\u043b\u0430\u0433\u0430\u044e\u0449\u0435\u0439 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0435\u0439 \u0434\u043b\u044f:<\/p>\n\n\n\n

                              \n

                              \u0410\u0440\u0445\u0438\u0442\u0435\u043a\u0442\u0443\u0440\u044b 3D-\u043c\u0435\u0436\u0441\u043e\u0435\u0434\u0438\u043d\u0435\u043d\u0438\u0439 \u0432 \u044d\u043f\u043e\u0445\u0443 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435 \u0437\u0430\u043a\u043e\u043d\u0430 \u041c\u0443\u0440\u0430<\/strong><\/p>\n<\/blockquote>\n\n\n\n

                              \u041a \u0447\u0438\u0441\u043b\u0443 \u0431\u0443\u0434\u0443\u0449\u0438\u0445 \u0442\u0435\u043d\u0434\u0435\u043d\u0446\u0438\u0439 \u0440\u0430\u0437\u0432\u0438\u0442\u0438\u044f \u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u044f\u0442\u0441\u044f:<\/p>\n\n\n\n

                                \n
                              • \u041a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0446\u0438\u0438 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0445\u043e\u0434\u043d\u044b\u0445 \u043e\u0442\u0432\u0435\u0440\u0441\u0442\u0438\u0439 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u043e\u043c \u043c\u0435\u043d\u0435\u0435 5 \u043c\u043a\u043c<\/li>\n\n\n\n
                              • \u0418\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0430\u0446\u0438\u044f RDL \u0441 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e<\/li>\n\n\n\n
                              • \u041f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043c\u0430\u0441\u0441\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430<\/li>\n\n\n\n
                              • \u0413\u043b\u0443\u0431\u043e\u043a\u0430\u044f \u0438\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0430\u0446\u0438\u044f \u0441 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430\u043c\u0438 \u043d\u0430 \u0431\u0430\u0437\u0435 \u0447\u0438\u043f\u043b\u0435\u0442\u043e\u0432<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

                                \u0417\u0430\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435<\/h2>\n\n\n\n

                                \u0422\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f TGV (Through Glass Via) \u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u0438\u0442\u0441\u044f \u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0434\u043b\u044f \u043c\u0435\u0436\u0441\u043e\u0435\u0434\u0438\u043d\u0435\u043d\u0438\u0439 \u043d\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u043a\u043e\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0431\u043b\u0430\u0433\u043e\u0434\u0430\u0440\u044f \u0441\u0432\u043e\u0438\u043c \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0447\u0430\u0441\u0442\u043e\u0442\u043d\u044b\u043c \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0430\u043c, \u043d\u0438\u0437\u043a\u0438\u043c \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0432\u044b\u043c \u043d\u0430\u0433\u0440\u0443\u0437\u043a\u0430\u043c \u0438 \u044d\u043a\u043e\u043d\u043e\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438.<\/p>\n\n\n\n

                                \u0415\u0433\u043e \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u0435 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u0437\u0430\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u0432 \u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0435\u043c:<\/p>\n\n\n\n

                                  \n
                                • \u0424\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0441\u043a\u0432\u043e\u0437\u043d\u044b\u0445 \u043e\u0442\u0432\u0435\u0440\u0441\u0442\u0438\u0439 \u0441 \u043f\u043e\u043c\u043e\u0449\u044c\u044e \u0441\u0432\u0435\u0440\u0445\u0431\u044b\u0441\u0442\u0440\u043e\u0433\u043e \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u0430<\/li>\n\n\n\n
                                • \u0413\u0430\u043b\u044c\u0432\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u0435 \u0438\u0437 \u043c\u0435\u0434\u0438 \u0431\u0435\u0437 \u043f\u0443\u0441\u0442\u043e\u0442<\/li>\n\n\n\n
                                • \u0423\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430\u0442\u043e\u043d\u043a\u0430\u044f \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u0441\u043b\u043e\u0439\u043d\u0430\u044f \u0442\u0440\u0430\u0441\u0441\u0438\u0440\u043e\u0432\u043a\u0430 RDL<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

                                  \u041e\u0436\u0438\u0434\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f, \u0447\u0442\u043e \u0432 \u0431\u043b\u0438\u0436\u0430\u0439\u0448\u0438\u0435 \u0433\u043e\u0434\u044b \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f TGV \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0438\u0442 \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u043e\u0435 \u043a\u043e\u043c\u043c\u0435\u0440\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0438 \u0441\u044b\u0433\u0440\u0430\u0435\u0442 \u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u0432\u0443\u044e \u0440\u043e\u043b\u044c \u0432 \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u044b \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c \u0438\u0441\u043a\u0443\u0441\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438\u043d\u0442\u0435\u043b\u043b\u0435\u043a\u0442\u0430 \u0438 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c \u0441\u0432\u044f\u0437\u0438.<\/p>","protected":false},"excerpt":{"rendered":"

                                  With the rapid growth of AI computing, 5G\/6G communications, and high-frequency RF applications, traditional silicon-based interconnects (TSV) are increasingly limited by signal loss, thermal stress, and cost constraints. Against this backdrop, Through Glass Via (TGV) technology is emerging as a key breakthrough in advanced semiconductor packaging. TGV enables vertical electrical interconnection by forming and metallizing […]<\/p>\n","protected":false},"author":1,"featured_media":2507,"comment_status":"open","ping_status":"open","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"site-sidebar-layout":"default","site-content-layout":"","ast-site-content-layout":"default","site-content-style":"default","site-sidebar-style":"default","ast-global-header-display":"","ast-banner-title-visibility":"","ast-main-header-display":"","ast-hfb-above-header-display":"","ast-hfb-below-header-display":"","ast-hfb-mobile-header-display":"","site-post-title":"","ast-breadcrumbs-content":"","ast-featured-img":"","footer-sml-layout":"","ast-disable-related-posts":"","theme-transparent-header-meta":"","adv-header-id-meta":"","stick-header-meta":"","header-above-stick-meta":"","header-main-stick-meta":"","header-below-stick-meta":"","astra-migrate-meta-layouts":"set","ast-page-background-enabled":"default","ast-page-background-meta":{"desktop":{"background-color":"var(--ast-global-color-4)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"tablet":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"mobile":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""}},"ast-content-background-meta":{"desktop":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"tablet":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"mobile":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""}},"footnotes":""},"categories":[25],"tags":[1354,1410,44,1412,1411,1414,1409,1415,1417,1418,214,1407,1408,1416,1413],"class_list":["post-2504","post","type-post","status-publish","format-standard","has-post-thumbnail","hentry","category-technology-applications","tag-2-5d-packaging","tag-3d-packaging","tag-advanced-packaging","tag-borosilicate-glass","tag-chiplet-integration","tag-fused-silica","tag-glass-interposer","tag-glass-via","tag-high-frequency-interconnect","tag-low-signal-loss","tag-semiconductor-packaging","tag-tgv","tag-through-glass-via","tag-tsv-alternative","tag-ultra-thin-glass-substrate"],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/2504","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/users\/1"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=2504"}],"version-history":[{"count":3,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/2504\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":2510,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/2504\/revisions\/2510"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/media\/2507"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=2504"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=2504"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=2504"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}