{"id":2440,"date":"2026-04-30T02:35:44","date_gmt":"2026-04-30T02:35:44","guid":{"rendered":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/?p=2440"},"modified":"2026-04-30T02:48:31","modified_gmt":"2026-04-30T02:48:31","slug":"why-cvd-silicon-carbide-is-a-key-material-in-advanced-engineering","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/why-cvd-silicon-carbide-is-a-key-material-in-advanced-engineering\/","title":{"rendered":"\u041f\u043e\u0447\u0435\u043c\u0443 CVD-\u043a\u0430\u0440\u0431\u0438\u0434 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u0432\u044b\u043c \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u043c \u0432 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0438\u043d\u0436\u0435\u043d\u0435\u0440\u0438\u0438: \u0421\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0430, \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0438 \u044d\u043a\u0441\u043f\u043b\u0443\u0430\u0442\u0430\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438"},"content":{"rendered":"<p>\u041a\u0430\u0440\u0431\u0438\u0434 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f (SiC) - \u044d\u0442\u043e \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u043a\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438\u043a\u0430, \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u043e \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u043c\u0430\u044f \u0432 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u043a\u0435, \u043e\u043f\u0442\u0438\u043a\u0435 \u0438 \u0436\u0435\u0441\u0442\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f\u0445. \u0421\u0440\u0435\u0434\u0438 \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u043d\u044b\u0445 \u0444\u043e\u0440\u043c \u043a\u0430\u0440\u0431\u0438\u0434\u0430 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f CVD (CVD SiC), \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0430\u0435\u043c\u043e\u0433\u043e \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u043e\u043c \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438\u0437 \u043f\u0430\u0440\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0444\u0430\u0437\u044b, \u0447\u0430\u0441\u0442\u043e \u0440\u0430\u0441\u0441\u043c\u0430\u0442\u0440\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043a\u0430\u043a \u043e\u0434\u0438\u043d \u0438\u0437 \u0441\u0430\u043c\u044b\u0445 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043a\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432 \u0431\u043b\u0430\u0433\u043e\u0434\u0430\u0440\u044f \u0441\u0432\u043e\u0435\u0439 \u0438\u0441\u043a\u043b\u044e\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0447\u0438\u0441\u0442\u043e\u0442\u0435, \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438 \u043e\u0434\u043d\u043e\u0440\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u044b.<\/p>\n\n\n\n<p>\u0412 \u044d\u0442\u043e\u0439 \u0441\u0442\u0430\u0442\u044c\u0435 \u0440\u0430\u0441\u0441\u043c\u0430\u0442\u0440\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430, \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0430 \u0438 \u043f\u0440\u0435\u0438\u043c\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f CVD SiC, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u043f\u043e\u0434\u043a\u0440\u0435\u043f\u043b\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0434\u0430\u043d\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0441 \u0434\u0440\u0443\u0433\u0438\u043c\u0438 \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u043e \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u043c\u044b\u043c\u0438 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430\u043c\u0438.<\/p>\n\n\n\n<figure class=\"wp-block-image aligncenter size-full\"><img fetchpriority=\"high\" decoding=\"async\" width=\"500\" height=\"403\" src=\"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/low.jpg\" alt=\"\" class=\"wp-image-2441\" srcset=\"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/low.jpg 500w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/low-300x242.jpg 300w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/low-15x12.jpg 15w\" sizes=\"(max-width: 500px) 100vw, 500px\" \/><\/figure>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">1. \u0421\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432: \u0421\u0440\u0430\u0432\u043d\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u043f\u0435\u0440\u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u0430<\/h2>\n\n\n\n<p>\u041e\u0441\u043d\u043e\u0432\u044b\u0432\u0430\u044f\u0441\u044c \u043d\u0430 \u0442\u0438\u043f\u0438\u0447\u043d\u044b\u0445 \u0438\u043d\u0436\u0435\u043d\u0435\u0440\u043d\u044b\u0445 \u0434\u0430\u043d\u043d\u044b\u0445, CVD SiC \u0434\u0435\u043c\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442 \u043f\u0440\u0435\u0432\u043e\u0441\u0445\u043e\u0434\u043d\u044b\u0435 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438 \u043f\u043e \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u0438\u043c \u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u0432\u044b\u043c \u043f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u0430\u043c:<\/p>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">\u0422\u0430\u0431\u043b\u0438\u0446\u0430 1. \u0421\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0442\u0438\u043f\u0438\u0447\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432<\/h3>\n\n\n\n<figure class=\"wp-block-table\"><table class=\"has-fixed-layout\"><thead><tr><th>\u041c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b<\/th><th>\u041f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c (\u0433\/\u0441\u043c\u00b3)<\/th><th>\u0422\u0435\u043f\u043b\u043e\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c (\u0412\u0442\/\u043c-\u041a)<\/th><th>\u0423\u0434\u0435\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0442\u0430 (\u0414\u0436\/\u043a\u0433-\u041a)<\/th><th>\u041c\u043e\u0434\u0443\u043b\u044c \u0443\u043f\u0440\u0443\u0433\u043e\u0441\u0442\u0438 (\u0413\u041f\u0430)<\/th><th>CTE (\u00d710-\u2076 \/K)<\/th><th>\u041e\u0442\u0434\u0435\u043b\u043a\u0430 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438<\/th><\/tr><\/thead><tbody><tr><td>\u0411\u0435\u0440\u0438\u043b\u043b\u0438\u0439 (Be)<\/td><td>~1.85<\/td><td>~216<\/td><td>~1880<\/td><td>~303<\/td><td>~11.4<\/td><td>\u226410 \u00c5 RMS<\/td><\/tr><tr><td>ULE Glass<\/td><td>~2.20<\/td><td>~1.30<\/td><td>~708<\/td><td>~67<\/td><td>~0.03<\/td><td>\u22643 \u00c5 RMS<\/td><\/tr><tr><td>\u041f\u043e\u043b\u0438\u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 SiC<\/td><td>~2.30<\/td><td>~150<\/td><td>~920<\/td><td>~110<\/td><td>~3.8<\/td><td>\u22645 \u00c5 RMS<\/td><\/tr><tr><td>\u041a\u0432\u0430\u0440\u0446<\/td><td>~2.20<\/td><td>~1.40<\/td><td>~1210<\/td><td>~70<\/td><td>~0.5<\/td><td>\u22643 \u00c5 RMS<\/td><\/tr><tr><td><strong>CVD SiC<\/strong><\/td><td><strong>~3.21<\/strong><\/td><td><strong>~300<\/strong><\/td><td><strong>~640<\/strong><\/td><td><strong>~466<\/strong><\/td><td><strong>~4.0<\/strong><\/td><td><strong>\u22643 \u00c5 RMS<\/strong><\/td><\/tr><tr><td>\u0420\u0435\u0430\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e-\u0441\u0432\u044f\u0437\u0430\u043d\u043d\u044b\u0439 SiC<\/td><td>~3.10<\/td><td>120-170<\/td><td>\u2014<\/td><td>~391<\/td><td>~4.3<\/td><td>\u226520 \u00c5 RMS<\/td><\/tr><tr><td>\u0413\u043e\u0440\u044f\u0447\u0435\u043f\u0440\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0439 SiC<\/td><td>~3.20<\/td><td>50-120<\/td><td>\u2014<\/td><td>~451<\/td><td>~4.6<\/td><td>\u226550 \u00c5 RMS<\/td><\/tr><tr><td>\u0421\u043f\u0435\u0447\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 SiC<\/td><td>~3.10<\/td><td>50-120<\/td><td>\u2014<\/td><td>~408<\/td><td>~4.5<\/td><td>\u2265100 \u00c5 RMS<\/td><\/tr><\/tbody><\/table><\/figure>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">\u041e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u0435 \u043d\u0430\u0431\u043b\u044e\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f<\/h2>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">1. \u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u0430\u044f \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c<\/h3>\n\n\n\n<p>CVD SiC (~300 \u0412\u0442\/\u043c-\u041a) \u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u043f\u0440\u0435\u0432\u043e\u0441\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446 \u0438 \u0441\u0442\u0435\u043a\u043b\u043e.<\/p>\n\n\n\n<p><strong>\u041f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u0441\u0442\u0432\u0438\u044f:<\/strong><br>\u042d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u0439 \u043e\u0442\u0432\u043e\u0434 \u0442\u0435\u043f\u043b\u0430 \u0438 \u0441\u043d\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0433\u0440\u0430\u0434\u0438\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u0432 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430\u0445.<\/p>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">2. \u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u0439 \u043c\u043e\u0434\u0443\u043b\u044c \u0443\u043f\u0440\u0443\u0433\u043e\u0441\u0442\u0438<\/h3>\n\n\n\n<p>\u041f\u0440\u0438 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f\u0445, \u043f\u0440\u0435\u0432\u044b\u0448\u0430\u044e\u0449\u0438\u0445 450 \u0413\u041f\u0430, CVD SiC \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0438\u0441\u043a\u043b\u044e\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u0443\u044e \u0436\u0435\u0441\u0442\u043a\u043e\u0441\u0442\u044c.<\/p>\n\n\n\n<p><strong>\u041f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u0441\u0442\u0432\u0438\u044f:<\/strong><br>\u0421\u043e\u0445\u0440\u0430\u043d\u044f\u0435\u0442 \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u043e\u0432 \u043f\u0440\u0438 \u0442\u0435\u0440\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0438 \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043d\u0430\u0433\u0440\u0443\u0437\u043a\u0430\u0445.<\/p>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">3. \u041d\u0438\u0437\u043a\u043e\u0435 \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0432\u043e\u0435 \u0440\u0430\u0441\u0448\u0438\u0440\u0435\u043d\u0438\u0435<\/h3>\n\n\n\n<p>\u041e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u043d\u0438\u0437\u043a\u0438\u0439 \u043a\u043e\u044d\u0444\u0444\u0438\u0446\u0438\u0435\u043d\u0442 \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u0440\u0430\u0441\u0448\u0438\u0440\u0435\u043d\u0438\u044f (CTE) \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u043c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u0443\u044e \u0434\u0435\u0444\u043e\u0440\u043c\u0430\u0446\u0438\u044e.<\/p>\n\n\n\n<p><strong>\u041f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u0441\u0442\u0432\u0438\u044f:<\/strong><br>\u041a\u0440\u0438\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0432\u0430\u0436\u0435\u043d \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u0435\u0446\u0438\u0437\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0439, \u0442\u0430\u043a\u0438\u0445 \u043a\u0430\u043a \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432 \u0438 \u043e\u043f\u0442\u0438\u043a\u0430.<\/p>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">4. \u0423\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430\u0433\u043b\u0430\u0434\u043a\u0430\u044f \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c<\/h3>\n\n\n\n<p>\u0428\u0435\u0440\u043e\u0445\u043e\u0432\u0430\u0442\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0433\u0430\u0442\u044c \u0430\u043d\u0433\u0441\u0442\u0440\u0435\u043c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u044f (\u22643 \u00c5 RMS).<\/p>\n\n\n\n<p><strong>\u041f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u0441\u0442\u0432\u0438\u044f:<\/strong><br>\u041c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0438\u0437\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442 \u0437\u0430\u0433\u0440\u044f\u0437\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0446\u0430\u043c\u0438 \u0432 \u0441\u0432\u0435\u0440\u0445\u0447\u0438\u0441\u0442\u044b\u0445 \u0441\u0440\u0435\u0434\u0430\u0445.<\/p>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">2. \u041c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0430: \u041f\u0440\u0435\u0438\u043c\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e CVD-\u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438<\/h2>\n\n\n\n<p>CVD SiC \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u0440\u0435\u0437\u0443\u043b\u044c\u0442\u0430\u0442\u0435 \u0433\u0430\u0437\u043e\u0444\u0430\u0437\u043d\u044b\u0445 \u0440\u0435\u0430\u043a\u0446\u0438\u0439, \u0432 \u0440\u0435\u0437\u0443\u043b\u044c\u0442\u0430\u0442\u0435 \u0447\u0435\u0433\u043e \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043f\u043e\u043b\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0435 \u0442\u0432\u0435\u0440\u0434\u043e\u0435 \u0432\u0435\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e \u0431\u0435\u0437 \u043f\u043e\u0440.<\/p>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">\u041a\u043b\u044e\u0447\u0435\u0432\u044b\u0435 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u043d\u044b\u0435 \u043e\u0441\u043e\u0431\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438:<\/h3>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0427\u0438\u0441\u0442\u043e\u0442\u0430 \u0434\u043e ~99,999%<\/li>\n\n\n\n<li>\u041e\u043a\u043e\u043b\u043e\u0442\u0435\u043e\u0440\u0435\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c<\/li>\n\n\n\n<li>\u041e\u0442\u0441\u0443\u0442\u0441\u0442\u0432\u0438\u0435 \u0437\u0435\u0440\u043d\u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u043d\u044b\u0445 \u0432\u0442\u043e\u0440\u0438\u0447\u043d\u044b\u0445 \u0444\u0430\u0437<\/li>\n\n\n\n<li>\u041a\u0443\u0431\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0430 \u03b2-SiC (\u0438\u0437\u043e\u0442\u0440\u043e\u043f\u043d\u043e\u0435 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435)<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p><strong>\u041d\u0430\u0443\u0447\u043d\u0430\u044f \u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c:<\/strong><\/p>\n\n\n\n<p>\u0412 \u043e\u0442\u043b\u0438\u0447\u0438\u0435 \u043e\u0442 \u043a\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438\u043a\u0438 \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 \u043f\u043e\u0440\u043e\u0448\u043a\u0430, \u0432 CVD SiC \u043e\u0442\u0441\u0443\u0442\u0441\u0442\u0432\u0443\u044e\u0442 \u0432\u043d\u0443\u0442\u0440\u0435\u043d\u043d\u0438\u0435 \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u044b, \u0442\u0430\u043a\u0438\u0435 \u043a\u0430\u043a \u043f\u043e\u0440\u044b \u0438\u043b\u0438 \u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u043a\u0438 \u0441\u0432\u044f\u0437\u0443\u044e\u0449\u0438\u0445 \u0432\u0435\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u043d\u044b \u0434\u043b\u044f \u0441\u043f\u0435\u0447\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432. \u042d\u0442\u043e \u043f\u0440\u0438\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442 \u043a:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0423\u043b\u0443\u0447\u0448\u0435\u043d\u043d\u0430\u044f \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c<\/li>\n\n\n\n<li>\u0423\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0446<\/li>\n\n\n\n<li>\u041f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0435\u043d\u043d\u0430\u044f \u0432\u043e\u0441\u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">3. \u0420\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430 \u0432 \u0436\u0435\u0441\u0442\u043a\u0438\u0445 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f\u0445<\/h2>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">3.1 \u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u043d\u0430\u044f \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c<\/h2>\n\n\n\n<p>\u041a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u044b CVD SiC \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u0442\u044c \u0432 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f\u0445, \u043f\u0440\u0435\u0432\u044b\u0448\u0430\u044e\u0449\u0438\u0445 <strong>1500\u00b0C<\/strong>, \u0421\u043e\u0445\u0440\u0430\u043d\u044f\u044f \u0446\u0435\u043b\u043e\u0441\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0446\u0438\u0438 \u0438 \u044d\u043a\u0441\u043f\u043b\u0443\u0430\u0442\u0430\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438.<\/p>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">3.2 \u0425\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u0441\u0442\u043e\u0439\u043a\u043e\u0441\u0442\u044c<\/h2>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0423\u0441\u0442\u043e\u0439\u0447\u0438\u0432\u043e\u0441\u0442\u044c \u043a \u0430\u0433\u0440\u0435\u0441\u0441\u0438\u0432\u043d\u044b\u043c \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c \u0432\u0435\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430\u043c<\/li>\n\n\n\n<li>\u041c\u043e\u0436\u043d\u043e \u043e\u0447\u0438\u0449\u0430\u0442\u044c \u0441\u0438\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043a\u0438\u0441\u043b\u043e\u0442\u0430\u043c\u0438, \u0442\u0430\u043a\u0438\u043c\u0438 \u043a\u0430\u043a HF \u0438 HCl, \u0441 \u043c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c \u0440\u0430\u0437\u0440\u0443\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c.<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p><strong>\u041f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u0441\u0442\u0432\u0438\u044f:<\/strong><br>\u041f\u043e\u0434\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u0434\u043b\u044f \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u043a\u0440\u0430\u0442\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0432 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0430\u0433\u0440\u0435\u0441\u0441\u0438\u0432\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0440\u0435\u0434\u0430\u0445 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438.<\/p>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">3.3 \u041d\u0438\u0437\u043a\u043e\u0435 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0446<\/h2>\n\n\n\n<p>\u0411\u043b\u0430\u0433\u043e\u0434\u0430\u0440\u044f \u043e\u0442\u0441\u0443\u0442\u0441\u0442\u0432\u0438\u044e \u0437\u0435\u0440\u043d\u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u043d\u044b\u0445 \u0444\u0430\u0437:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0412\u043e \u0432\u0440\u0435\u043c\u044f \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u044b \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435 \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0446<\/li>\n\n\n\n<li>\u0421\u043d\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0440\u0438\u0441\u043a\u0430 \u0437\u0430\u0433\u0440\u044f\u0437\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432 \u0447\u0443\u0432\u0441\u0442\u0432\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430\u0445<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">4. \u041f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0432 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0435 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432<\/h2>\n\n\n\n<p>CVD SiC \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u043e \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0438 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432, \u0432 \u0442\u043e\u043c \u0447\u0438\u0441\u043b\u0435:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u041a\u043e\u043b\u044c\u0446\u0430 \u0438 \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u043e\u0440\u044b \u0434\u043b\u044f \u0431\u044b\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439 \u0442\u0435\u0440\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438 (RTP)<\/li>\n\n\n\n<li>\u041a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u044b \u044d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u0438 (Epi)<\/li>\n\n\n\n<li>\u0414\u0435\u0442\u0430\u043b\u0438 \u043a\u0430\u043c\u0435\u0440\u044b \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">\u041f\u043e\u0447\u0435\u043c\u0443 \u0435\u0433\u043e \u043f\u0440\u0435\u0434\u043f\u043e\u0447\u0438\u0442\u0430\u044e\u0442:<\/h3>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u0435 \u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043a \u0447\u0438\u0441\u0442\u043e\u0442\u0435 (&gt;99,999%)<\/li>\n\n\n\n<li>\u0420\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430 \u043f\u0440\u0438 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u0445 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430\u0445 (&gt;1500\u00b0C)<\/li>\n\n\n\n<li>\u0421\u0438\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u0443\u0441\u0442\u043e\u0439\u0447\u0438\u0432\u043e\u0441\u0442\u044c \u043a \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0438 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043a\u043e\u0440\u0440\u043e\u0437\u0438\u0438<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p>\u041a\u0440\u043e\u043c\u0435 \u0442\u043e\u0433\u043e, \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u044b \u0441 <strong>\u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u0438\u0440\u0443\u0435\u043c\u043e\u0435 \u0443\u0434\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0435 \u0441\u043e\u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435<\/strong> \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f \u0432 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430\u0445 \u0441 \u0440\u0430\u0434\u0438\u043e\u0447\u0430\u0441\u0442\u043e\u0442\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0432\u044f\u0437\u044c\u044e, \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u044f \u0441\u043e\u0432\u043c\u0435\u0441\u0442\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u0441 \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u043d\u044b\u043c\u0438 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c\u0438 \u0441\u0440\u0435\u0434\u0430\u043c\u0438.<\/p>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">5. \u0421\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0441\u043e \u0441\u043f\u0435\u0447\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c \u043a\u0430\u0440\u0431\u0438\u0434\u043e\u043c \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f<\/h2>\n\n\n\n<p>\u0425\u043e\u0442\u044f \u043c\u043d\u043e\u0433\u0438\u0435 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u044b \u0438\u0437 SiC \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u044f\u0442\u0441\u044f \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u043e\u043c \u0441\u043f\u0435\u043a\u0430\u043d\u0438\u044f \u0438\u043b\u0438 \u0433\u043e\u0440\u044f\u0447\u0435\u0433\u043e \u043f\u0440\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f, \u044d\u0442\u0438 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u044b \u043f\u0440\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u044f\u0442 \u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e \u043d\u043e\u0432\u044b\u0435 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u044b:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0413\u0440\u0430\u043d\u0438\u0446\u044b \u0437\u0435\u0440\u0435\u043d<\/li>\n\n\n\n<li>\u041e\u0441\u0442\u0430\u0442\u043e\u0447\u043d\u044b\u0435 \u0444\u0430\u0437\u044b<\/li>\n\n\n\n<li>\u041f\u043e\u0440\u0438\u0441\u0442\u043e\u0441\u0442\u044c<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p>\u042d\u0442\u0438 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u043d\u044b\u0435 \u043e\u0441\u043e\u0431\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0421\u043d\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0441\u0442\u043e\u0439\u043a\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043a \u043e\u043a\u0438\u0441\u043b\u0435\u043d\u0438\u044e \u043f\u0440\u0438 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u0445 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430\u0445<\/li>\n\n\n\n<li>\u0423\u0441\u0438\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0446<\/li>\n\n\n\n<li>\u041f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0432 \u0441\u0432\u0435\u0440\u0445\u0447\u0438\u0441\u0442\u044b\u0445 \u0441\u0440\u0435\u0434\u0430\u0445<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p><strong>\u0417\u0430\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435:<\/strong><br>CVD SiC, \u043a\u0430\u043a \u043f\u0440\u0430\u0432\u0438\u043b\u043e, \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0435 \u043f\u043e\u0434\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u0434\u043b\u044f \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0447\u0438\u0441\u0442\u044b\u0445, \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u043d\u044b\u0445 \u0438 \u0447\u0443\u0432\u0441\u0442\u0432\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u043a \u0437\u0430\u0433\u0440\u044f\u0437\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f\u043c \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0439, \u0432 \u0442\u043e \u0432\u0440\u0435\u043c\u044f \u043a\u0430\u043a \u0441\u043f\u0435\u0447\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 SiC \u043e\u0441\u0442\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u043c \u0434\u043b\u044f \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u043d\u044b\u0445 \u0438 \u0447\u0443\u0432\u0441\u0442\u0432\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u043a \u0441\u0442\u043e\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0439.<\/p>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">6. \u0417\u0430\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435<\/h2>\n\n\n\n<p>\u041a\u0430\u0440\u0431\u0438\u0434 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f CVD \u043f\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0441\u043e\u0431\u043e\u0439 \u043f\u0440\u0430\u043a\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0438\u0434\u0435\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u043a\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b \u0441 \u0442\u043e\u0447\u043a\u0438 \u0437\u0440\u0435\u043d\u0438\u044f \u0447\u0438\u0441\u0442\u043e\u0442\u044b, \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438 \u043f\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u043d\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a. \u0415\u0433\u043e \u043f\u0440\u0435\u0438\u043c\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u043c\u0443\u044e \u043e\u0431\u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u044b \u0443\u043d\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u043c \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0439 \u0443\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u044f\u0435\u0442 \u043c\u043d\u043e\u0433\u0438\u0435 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u043d\u044b\u0435 \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f, \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u043d\u044b\u0435 \u0434\u043b\u044f \u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e\u0439 \u043a\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438\u043a\u0438.<\/p>\n\n\n\n<p>\u041f\u043e\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u0443 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u044b\u0435 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0434\u043e\u043b\u0436\u0430\u044e\u0442 \u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0441\u0432\u043e\u0435\u0433\u043e \u0440\u0430\u0437\u0432\u0438\u0442\u0438\u044f:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u041f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0435\u043d\u043d\u0430\u044f \u0447\u0438\u0441\u0442\u043e\u0442\u0430<\/li>\n\n\n\n<li>\u041f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0435\u043d\u043d\u0430\u044f \u0442\u0435\u0440\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c<\/li>\n\n\n\n<li>\u041f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0435\u043d\u043d\u0430\u044f \u043d\u0430\u0434\u0435\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p>\u041e\u0436\u0438\u0434\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f, \u0447\u0442\u043e CVD SiC \u043e\u0441\u0442\u0430\u043d\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432\u0430\u0436\u043d\u0435\u0439\u0448\u0438\u043c \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u043c \u0434\u043b\u044f \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u043d\u044b\u0445 \u0438\u043d\u0436\u0435\u043d\u0435\u0440\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0438\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u0439.<\/p>","protected":false},"excerpt":{"rendered":"<p>Silicon carbide (SiC) is a high-performance ceramic widely used in semiconductor processing, optics, and harsh industrial environments. Among its various forms, CVD Silicon Carbide (CVD SiC)\u2014produced via Chemical Vapor Deposition\u2014is often regarded as one of the most advanced ceramic materials due to its exceptional purity, density, and structural uniformity. This article examines the material properties, [&hellip;]<\/p>\n","protected":false},"author":1,"featured_media":0,"comment_status":"open","ping_status":"open","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"site-sidebar-layout":"default","site-content-layout":"","ast-site-content-layout":"default","site-content-style":"default","site-sidebar-style":"default","ast-global-header-display":"","ast-banner-title-visibility":"","ast-main-header-display":"","ast-hfb-above-header-display":"","ast-hfb-below-header-display":"","ast-hfb-mobile-header-display":"","site-post-title":"","ast-breadcrumbs-content":"","ast-featured-img":"","footer-sml-layout":"","ast-disable-related-posts":"","theme-transparent-header-meta":"","adv-header-id-meta":"","stick-header-meta":"","header-above-stick-meta":"","header-main-stick-meta":"","header-below-stick-meta":"","astra-migrate-meta-layouts":"set","ast-page-background-enabled":"default","ast-page-background-meta":{"desktop":{"background-color":"var(--ast-global-color-4)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"tablet":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"mobile":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""}},"ast-content-background-meta":{"desktop":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"tablet":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"mobile":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""}},"footnotes":""},"categories":[25],"tags":[1312],"class_list":["post-2440","post","type-post","status-publish","format-standard","hentry","category-technology-applications","tag-cvd-sic"],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/2440","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/users\/1"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=2440"}],"version-history":[{"count":1,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/2440\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":2442,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/2440\/revisions\/2442"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=2440"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=2440"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=2440"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}