{"id":2072,"date":"2026-04-02T05:49:54","date_gmt":"2026-04-02T05:49:54","guid":{"rendered":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/?p=2072"},"modified":"2026-04-02T05:54:11","modified_gmt":"2026-04-02T05:54:11","slug":"in-depth-analysis-of-the-eight-major-segments-of-semiconductor-equipment","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/in-depth-analysis-of-the-eight-major-segments-of-semiconductor-equipment\/","title":{"rendered":"\u0423\u0433\u043b\u0443\u0431\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0430\u043d\u0430\u043b\u0438\u0437 \u0432\u043e\u0441\u044c\u043c\u0438 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0435\u0433\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f"},"content":{"rendered":"

\u0412 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u0438\u0439 \u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u0440 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0430\u043b\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0434\u043b\u044f \u0432\u044b\u043f\u0443\u0441\u043a\u0430 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0438\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0445\u0435\u043c. \u0412 \u044d\u0442\u043e\u0439 \u0441\u0442\u0430\u0442\u044c\u0435 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d \u043e\u0431\u0437\u043e\u0440 \u0432\u043e\u0441\u044c\u043c\u0438 \u0432\u0430\u0436\u043d\u0435\u0439\u0448\u0438\u0445 \u043a\u0430\u0442\u0435\u0433\u043e\u0440\u0438\u0439 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0435 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435<\/mark><\/a>, \u0418\u0437\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0438\u0445 \u0444\u0443\u043d\u043a\u0446\u0438\u0439, \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438 \u0442\u0435\u043d\u0434\u0435\u043d\u0446\u0438\u0439 \u0440\u0430\u0437\u0432\u0438\u0442\u0438\u044f \u043e\u0442\u0440\u0430\u0441\u043b\u0438.<\/p>\n\n\n\n

\"\"<\/figure>\n\n\n\n

1. \u041b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435<\/h3>\n\n\n\n

\u041b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043c\u0430\u0448\u0438\u043d\u044b \u044f\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u043a\u0440\u0430\u0435\u0443\u0433\u043e\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c \u043a\u0430\u043c\u043d\u0435\u043c \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432. \u041f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u044f\u0435\u0442 \u043c\u0435\u043b\u044c\u0447\u0430\u0439\u0448\u0438\u0435 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u044b \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u043d\u0430 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0445\u0435\u043c\u0430\u0445 \u0438 \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u043c\u0443\u044e \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0443\u0437\u043b\u044b \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432. \u041f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u044b\u0435 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0445\u0435\u043c\u044b \u0447\u0430\u0441\u0442\u043e \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u044e\u0442 \u043e\u0442 60 \u0434\u043e 90 \u044d\u0442\u0430\u043f\u043e\u0432 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438, \u043f\u0440\u0438 \u044d\u0442\u043e\u043c \u043d\u0430 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u044e \u043f\u0440\u0438\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442\u0441\u044f \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e 30% \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0437\u0430\u0442\u0440\u0430\u0442 \u0438 40-50% \u043e\u0431\u0449\u0435\u0433\u043e \u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u0438 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438.<\/p>\n\n\n\n

\u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 \u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u0435\u0442 \u0432 \u0441\u0435\u0431\u044f \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a \u0441\u0432\u0435\u0442\u0430, \u043e\u043f\u0442\u0438\u043a\u0443 \u0434\u043b\u044f \u0440\u0430\u0432\u043d\u043e\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e\u0433\u043e \u043e\u0441\u0432\u0435\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f, \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043b\u0438\u043d\u0437\u044b, \u0430 \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u043f\u0440\u0435\u0446\u0438\u0437\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0438 \u0443\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u044f\u044e\u0449\u0438\u0435 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b, \u0432 \u0442\u043e\u043c \u0447\u0438\u0441\u043b\u0435 \u044d\u0442\u0430\u043f\u044b \u0434\u043b\u044f \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d \u0438 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0432\u044b\u0440\u0430\u0432\u043d\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043c\u0430\u0441\u043e\u043a. \u041f\u043e \u043c\u0435\u0440\u0435 \u0440\u043e\u0441\u0442\u0430 \u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432 \u043e\u0442\u0435\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 \u0432\u0441\u0435 \u0435\u0449\u0435 \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u043e, \u0438 \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0430\u044f \u0447\u0430\u0441\u0442\u044c \u0440\u044b\u043d\u043a\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0430\u0433\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043d\u0430 \u0438\u043c\u043f\u043e\u0440\u0442\u043d\u043e\u0435 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435. \u0422\u0435\u043a\u0443\u0449\u0438\u0435 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438 \u043d\u0430\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u044b \u043d\u0430 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0438\u0445 \u0443\u0437\u043b\u043e\u0432 \u0438 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438, \u043f\u0440\u0438 \u044d\u0442\u043e\u043c \u043d\u0430\u0431\u043b\u044e\u0434\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043f\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0433\u0440\u0435\u0441\u0441 \u0432 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f\u0445 \u0438\u043c\u043c\u0435\u0440\u0441\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438.<\/p>\n\n\n\n

2. \u041e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0434\u043b\u044f \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f<\/h3>\n\n\n\n

\u0422\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 - \u044d\u0442\u043e \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441 \u043f\u0435\u0440\u0435\u043d\u043e\u0441\u0430 \u0441\u0445\u0435\u043c \u0441 \u043c\u0430\u0441\u043e\u043a \u043d\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0435 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b. \u041e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0434\u043b\u044f \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0443\u0434\u0430\u043b\u044f\u0435\u0442 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b \u0441 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b \u0434\u043b\u044f \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0442\u043e\u0447\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440, \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u044b\u0445 \u0434\u043b\u044f \u0438\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0445\u0435\u043c. \u041f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u044b \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u0435\u043b\u044f\u0442\u0441\u044f \u043d\u0430 \u0441\u0443\u0445\u043e\u0435 \u0438 \u043c\u043e\u043a\u0440\u043e\u0435 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435.<\/p>\n\n\n\n

    \n
  • \u0421\u0443\u0445\u043e\u0435 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435<\/strong>, \u0412 \u0447\u0438\u0441\u043b\u043e \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u0435\u0439 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u0434\u043e\u043c\u0438\u043d\u0438\u0440\u0443\u044e\u0442 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0447\u0435\u043c \u0432 90%, \u0432\u0445\u043e\u0434\u044f\u0442 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435, \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0435 \u043d\u0430\u043f\u044b\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0438 \u0440\u0435\u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0435 \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435. \u041e\u043d\u043e \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u043b\u0443\u0447\u0448\u0443\u044e \u0430\u043d\u0438\u0437\u043e\u0442\u0440\u043e\u043f\u0438\u044e \u0438 \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0434\u043b\u044f \u0441\u0443\u0431\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432.<\/li>\n\n\n\n
  • \u041c\u043e\u043a\u0440\u043e\u0435 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435<\/strong> \u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0434\u043b\u044f \u043a\u0440\u0443\u043f\u043d\u044b\u0445 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u0438\u043b\u0438 \u0443\u0434\u0430\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u043a\u043e\u0432 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435 \u0441\u0443\u0445\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f.<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

    \u0421\u0443\u0445\u043e\u0435 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u0440\u0430\u0437\u0434\u0435\u043b\u0438\u0442\u044c \u043d\u0430 \u0444\u0438\u0437\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u0438 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435. \u0424\u0438\u0437\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0430\u043d\u043e \u043d\u0430 \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0431\u043e\u043c\u0431\u0430\u0440\u0434\u0438\u0440\u043e\u0432\u043a\u0435, \u0430 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 - \u043d\u0430 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0438 \u0440\u0435\u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b \u0441 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u043b\u0435\u0442\u0443\u0447\u0438\u0445 \u043f\u043e\u0431\u043e\u0447\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0434\u0443\u043a\u0442\u043e\u0432. \u042d\u0442\u0438 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u044b \u043e\u0447\u0435\u043d\u044c \u0432\u0430\u0436\u043d\u044b \u043f\u0440\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435 \u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0445\u0435\u043c \u0438 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0445\u0435\u043c \u043f\u0430\u043c\u044f\u0442\u0438.<\/p>\n\n\n\n

    3. \u041e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0434\u043b\u044f \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u0442\u043e\u043d\u043a\u0438\u0445 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043e\u043a<\/h3>\n\n\n\n

    \u041e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0434\u043b\u044f \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u0442\u043e\u043d\u043a\u0438\u0445 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043e\u043a \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e \u0434\u043b\u044f \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u0438\u044f \u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u044f\u0449\u0438\u0445 \u0438\u043b\u0438 \u0438\u0437\u043e\u043b\u0438\u0440\u0443\u044e\u0449\u0438\u0445 \u0441\u043b\u043e\u0435\u0432 \u043d\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0430\u0445. \u041a \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u043c \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u0430\u043c \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u044f\u0442\u0441\u044f:<\/p>\n\n\n\n

      \n
    • \u0425\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0438\u0437 \u043f\u0430\u0440\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0444\u0430\u0437\u044b (CVD)<\/strong> - \u0412\u0430\u0440\u0438\u0430\u043d\u0442\u044b PECVD, LPCVD, APCVD \u0438 SACVD \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u044e\u0442 \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0430\u0442\u044c \u0434\u0438\u043e\u043a\u0441\u0438\u0434 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f, \u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f \u0438 \u0434\u0440\u0443\u0433\u0438\u0435 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u044b \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u043e\u0434\u043d\u043e\u0440\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0438 \u043d\u0438\u0437\u043a\u0438\u043c \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u0435\u043c \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432.<\/li>\n\n\n\n
    • \u0424\u0438\u0437\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0438\u0437 \u043f\u0430\u0440\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0444\u0430\u0437\u044b (PVD)<\/strong> - \u0412 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u043e\u043c \u043d\u0430\u043f\u044b\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435, \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u043c\u043e\u0435 \u0434\u043b\u044f \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u0438\u044f \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0441\u043b\u043e\u0435\u0432 \u0432 \u041a\u041c\u041e\u041f-\u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430\u0445.<\/li>\n\n\n\n
    • \u0410\u0442\u043e\u043c\u043d\u043e-\u0441\u043b\u043e\u0435\u0432\u043e\u0435 \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 (ALD)<\/strong> - \u041f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u0432\u0430\u0442\u044c \u0441\u0432\u0435\u0440\u0445\u0442\u043e\u043d\u043a\u0438\u0435, \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0442\u043e\u0447\u043d\u044b\u0435 \u0441\u043b\u043e\u0438, \u0447\u0442\u043e \u043e\u0447\u0435\u043d\u044c \u0432\u0430\u0436\u043d\u043e \u0434\u043b\u044f \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0443\u0437\u043b\u043e\u0432 \u0438 3D-\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440 NAND.<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

      \u0421 \u0440\u043e\u0441\u0442\u043e\u043c \u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 3D-\u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432 \u043f\u0430\u043c\u044f\u0442\u0438 \u0438 FinFET-\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440 \u0441\u043f\u0440\u043e\u0441 \u043d\u0430 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0434\u043b\u044f \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u0442\u043e\u043d\u043a\u0438\u0445 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043e\u043a \u043f\u0440\u043e\u0434\u043e\u043b\u0436\u0430\u0435\u0442 \u0440\u0430\u0441\u0442\u0438 \u043a\u0430\u043a \u043d\u0430 \u0432\u043d\u0443\u0442\u0440\u0435\u043d\u043d\u0435\u043c, \u0442\u0430\u043a \u0438 \u043d\u0430 \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443\u043d\u0430\u0440\u043e\u0434\u043d\u043e\u043c \u0440\u044b\u043d\u043a\u0435.<\/p>\n\n\n\n

      4. \u041c\u0435\u0442\u0440\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u0438 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044c\u043d\u043e\u0435 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435<\/h3>\n\n\n\n

      \u041c\u0435\u0442\u0440\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0438 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0438\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442\u044b \u0438\u043c\u0435\u044e\u0442 \u0440\u0435\u0448\u0430\u044e\u0449\u0435\u0435 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u0434\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u043d\u0438\u044f \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438 \u0441\u043d\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0437\u0430\u0442\u0440\u0430\u0442.<\/p>\n\n\n\n

        \n
      • \u041c\u0435\u0442\u0440\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435<\/strong> \u0438\u0437\u043c\u0435\u0440\u044f\u0435\u0442 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0443 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d, \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u0443 \u0442\u043e\u043d\u043a\u0438\u0445 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043e\u043a, \u043a\u0440\u0438\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u044b \u0438 \u043c\u043e\u0440\u0444\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044e \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0434\u043b\u044f \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u043e\u043e\u0442\u0432\u0435\u0442\u0441\u0442\u0432\u0438\u044f \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u043c\u0443 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0443.<\/li>\n\n\n\n
      • \u0418\u043d\u0441\u043f\u0435\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0435 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435<\/strong> \u043e\u0431\u043d\u0430\u0440\u0443\u0436\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u044b, \u0442\u0430\u043a\u0438\u0435 \u043a\u0430\u043a \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0446\u044b, \u0446\u0430\u0440\u0430\u043f\u0438\u043d\u044b \u0438\u043b\u0438 \u0430\u043d\u043e\u043c\u0430\u043b\u0438\u0438 \u0441\u0445\u0435\u043c\u044b, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u043f\u0440\u0435\u0434\u043e\u0442\u0432\u0440\u0430\u0442\u0438\u0442\u044c \u043f\u043e\u0442\u0435\u0440\u044e \u0443\u0440\u043e\u0436\u0430\u044f.<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

        \u041a\u0438\u0442\u0430\u0439\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0440\u044b\u043d\u043e\u043a \u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u0432\u044b\u0440\u043e\u0441 \u0437\u0430 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u043d\u0438\u0435 \u0433\u043e\u0434\u044b, \u0437\u0430\u043d\u0438\u043c\u0430\u044f \u0432\u0441\u0435 \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0443\u044e \u0434\u043e\u043b\u044e \u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u0440\u044b\u043d\u043a\u0430 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0434\u043b\u044f \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432.<\/p>\n\n\n\n

        5. \u041e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0434\u043b\u044f \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0438\u043c\u043f\u043b\u0430\u043d\u0442\u0430\u0446\u0438\u0438<\/h3>\n\n\n\n

        \u0418\u043e\u043d\u043d\u0430\u044f \u0438\u043c\u043f\u043b\u0430\u043d\u0442\u0430\u0446\u0438\u044f - \u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u0432\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441 \u043b\u0435\u0433\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d. \u041e\u043d \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u0435\u0442 \u0432 \u0441\u0435\u0431\u044f \u0443\u0441\u043a\u043e\u0440\u0435\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0432\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0438\u043e\u043d\u043e\u0432 \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u0432 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u0443\u044e \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0443 \u0434\u043b\u044f \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438\u0437\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432. \u041f\u0440\u0435\u0438\u043c\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043f\u043e \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u044e \u0441 \u0442\u0440\u0430\u0434\u0438\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u043c \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u0434\u0438\u0444\u0444\u0443\u0437\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u043c \u043b\u0435\u0433\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u044e\u0442:<\/p>\n\n\n\n

          \n
        • \u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u0430\u044f \u0440\u0430\u0432\u043d\u043e\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u0438\u0440\u0443\u0435\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u0440\u0430\u0441\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043b\u0435\u0433\u0438\u0440\u0443\u044e\u0449\u0438\u0445 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432<\/li>\n\n\n\n
        • \u0412\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0432\u044b\u0431\u043e\u0440\u043e\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u043d\u0430\u043d\u0435\u0441\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u044f \u043d\u0430 \u0443\u0437\u043e\u0440\u0447\u0430\u0442\u044b\u0435 \u0443\u0447\u0430\u0441\u0442\u043a\u0438<\/li>\n\n\n\n
        • \u041d\u0435\u0442 \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u0439, \u0441\u0432\u044f\u0437\u0430\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0441 \u0440\u0430\u0441\u0442\u0432\u043e\u0440\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

          \u0418\u043e\u043d\u043d\u0430\u044f \u0438\u043c\u043f\u043b\u0430\u043d\u0442\u0430\u0446\u0438\u044f \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u043e \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043b\u043e\u0433\u0438\u043a\u0438, \u043f\u0430\u043c\u044f\u0442\u0438 \u0438 \u0441\u043e\u043b\u043d\u0435\u0447\u043d\u044b\u0445 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432. \u041e\u0442\u0435\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0433\u043b\u0438 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0443\u0441\u043f\u0435\u0445\u043e\u0432, \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432 \u043f\u043e\u043b\u043d\u0443\u044e \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0443\u044e \u043f\u043e\u0434\u0434\u0435\u0440\u0436\u043a\u0443 12-\u0434\u044e\u0439\u043c\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u0435\u043a \u043d\u0430 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0443\u0437\u043b\u0430\u0445.<\/p>\n\n\n\n

          6. \u041e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0434\u043b\u044f \u0443\u0431\u043e\u0440\u043a\u0438<\/h3>\n\n\n\n

          \u041e\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u0439 \u0432\u044b\u0445\u043e\u0434 \u043f\u0440\u043e\u0434\u0443\u043a\u0446\u0438\u0438 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432 \u0437\u0430 \u0441\u0447\u0435\u0442 \u0443\u0434\u0430\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0446, \u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u043a\u043e\u0432, \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432 \u0438 \u0434\u0440\u0443\u0433\u0438\u0445 \u0437\u0430\u0433\u0440\u044f\u0437\u043d\u0435\u043d\u0438\u0439. \u041e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0434\u043b\u044f \u043e\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0438 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442 \u0434\u0432\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e\u0434\u0445\u043e\u0434\u0430:<\/p>\n\n\n\n

            \n
          • \u0412\u043b\u0430\u0436\u043d\u0430\u044f \u0443\u0431\u043e\u0440\u043a\u0430<\/strong> - \u0418\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0440\u0430\u0441\u0442\u0432\u043e\u0440\u044b \u0438 \u0434\u0435\u0438\u043e\u043d\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u0430\u044f \u0432\u043e\u0434\u0430, \u0447\u0430\u0441\u0442\u043e \u0441 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0443\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430\u0437\u0432\u0443\u043a\u0430 \u0438\u043b\u0438 \u0440\u0430\u0441\u043f\u044b\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f; \u043d\u0430 \u043d\u0435\u0433\u043e \u043f\u0440\u0438\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442\u0441\u044f \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 90% \u044d\u0442\u0430\u043f\u043e\u0432 \u043e\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0438.<\/li>\n\n\n\n
          • \u0425\u0438\u043c\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0430<\/strong> - \u0418\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442 \u0433\u0430\u0437\u043e\u0444\u0430\u0437\u043d\u044b\u0435 \u0445\u0438\u043c\u0438\u043a\u0430\u0442\u044b \u0438\u043b\u0438 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0443 \u0434\u043b\u044f \u0443\u0434\u0430\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0437\u0430\u0433\u0440\u044f\u0437\u043d\u0435\u043d\u0438\u0439, \u0432 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u043e\u043c \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0443\u0437\u043b\u0430\u0445.<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

            \u0422\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438 \u043e\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0434\u043e\u043b\u0436\u0430\u044e\u0442 \u0440\u0430\u0437\u0432\u0438\u0432\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u0432 \u043d\u0430\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0443\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u0437\u0430\u043d\u0438\u043c\u0430\u0435\u043c\u043e\u0439 \u043f\u043b\u043e\u0449\u0430\u0434\u0438, \u043f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438 \u044d\u043a\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438. \u0412\u043e\u0437\u0440\u0430\u0441\u0442\u0430\u044e\u0449\u0430\u044f \u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0442\u0440\u0435\u0445\u043c\u0435\u0440\u043d\u044b\u0445 \u0438\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0445\u0435\u043c \u043e\u0431\u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u043b\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0441\u043f\u0440\u043e\u0441 \u043d\u0430 \u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u044b \u043e\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0438 \u043d\u0430 \u0432\u0441\u0435\u0445 \u044d\u0442\u0430\u043f\u0430\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d.<\/p>\n\n\n\n

            7. \u041e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0434\u043b\u044f \u0445\u0438\u043c\u0438\u043a\u043e-\u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u043a\u0438 (\u0425\u041c\u041f)<\/h3>\n\n\n\n

            \u041e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 CMP \u0432\u044b\u043f\u043e\u043b\u043d\u044f\u0435\u0442 \u0433\u043b\u043e\u0431\u0430\u043b\u044c\u043d\u0443\u044e \u043f\u043b\u0430\u043d\u0430\u0440\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u044e \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d, \u0441\u043e\u0447\u0435\u0442\u0430\u044f \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0441 \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u043a\u043e\u0439. \u042d\u0442\u043e \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u043f\u043b\u043e\u0441\u043a\u043e\u0441\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438\u043b\u0438 \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438 \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u0440\u0435\u0448\u0430\u044e\u0449\u0435\u0435 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0443\u043f\u0430\u043a\u043e\u0432\u043e\u0447\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0438\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u0439, \u0442\u0430\u043a\u0438\u0445 \u043a\u0430\u043a \u0438\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0430\u0446\u0438\u044f 2,5D\/3D \u0418\u0421 \u0438 TSV-\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440.<\/p>\n\n\n\n

            \u041f\u043e \u043c\u0435\u0440\u0435 \u0443\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432 \u0438 \u0443\u043a\u043b\u0430\u0434\u043a\u0438 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0441\u043b\u043e\u0435\u0432 CMP \u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u0438\u0442\u0441\u044f \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u044b\u043c \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u0434\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u043d\u0438\u044f \u043e\u0434\u043d\u043e\u0440\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438, \u043c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432 \u0438 \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u043c \u0440\u0430\u0437\u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c.<\/p>\n\n\n\n

            8. \u041e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0434\u043b\u044f \u0442\u0435\u0441\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432<\/h3>\n\n\n\n

            \u0418\u0441\u043f\u044b\u0442\u0430\u043d\u0438\u044f \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442 \u0441\u043e\u043e\u0442\u0432\u0435\u0442\u0441\u0442\u0432\u0438\u0435 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0438\u0431\u043e\u0440\u043e\u0432 \u0444\u0443\u043d\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c \u0438 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0444\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u044f\u043c. \u0418\u0441\u043f\u044b\u0442\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0435 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u0435\u0442:<\/p>\n\n\n\n

              \n
            • \u0422\u0435\u0441\u0442\u0435\u0440\u044b<\/strong> - \u041e\u0446\u0435\u043d\u043a\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438 \u0444\u0443\u043d\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d \u0438 \u0443\u043f\u0430\u043a\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0445\u0435\u043c.<\/li>\n\n\n\n
            • \u0417\u043e\u043d\u0434\u043e\u0432\u044b\u0435 \u0441\u0442\u0430\u043d\u0446\u0438\u0438<\/strong> - \u041f\u043e\u0434\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d \u043a \u0442\u0435\u0441\u0442\u0435\u0440\u0430\u043c \u0434\u043b\u044f \u0442\u0435\u0441\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0432 \u043b\u0438\u043d\u0438\u0438.<\/li>\n\n\n\n
            • \u0421\u043e\u0440\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u0449\u0438\u043a\u0438<\/strong> - \u0410\u0432\u0442\u043e\u043c\u0430\u0442\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u044f \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438 \u0438 \u043a\u043b\u0430\u0441\u0441\u0438\u0444\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0432\u0435\u0440\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432.<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

              \u0422\u0435\u0441\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u0443\u044e \u0447\u0430\u0441\u0442\u044c \u0441\u0442\u043e\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f, \u0447\u0430\u0441\u0442\u043e \u043f\u0440\u0435\u0432\u044b\u0448\u0430\u044e\u0449\u0443\u044e 60%, \u0447\u0442\u043e \u043f\u043e\u0434\u0447\u0435\u0440\u043a\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0435\u0433\u043e \u0432\u0430\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0432 \u0446\u0435\u043f\u043e\u0447\u043a\u0435 \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u0438\u044f \u0441\u0442\u043e\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432 \u043e\u0442 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d \u0434\u043e \u043e\u043a\u043e\u043d\u0447\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0431\u043e\u0440\u043a\u0438.<\/p>\n\n\n\n

              \u0417\u0430\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435<\/h3>\n\n\n\n

              \u0418\u043d\u0434\u0443\u0441\u0442\u0440\u0438\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043e\u0445\u0432\u0430\u0442\u044b\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0441\u0435\u0433\u043c\u0435\u043d\u0442\u044b \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438, \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f, \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f, \u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438, \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0438\u043c\u043f\u043b\u0430\u043d\u0442\u0430\u0446\u0438\u0438, \u043e\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0438, CMP \u0438 \u0442\u0435\u0441\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f. \u0422\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0433\u0440\u0435\u0441\u0441 \u0432 \u043a\u0430\u0436\u0434\u043e\u0439 \u043a\u0430\u0442\u0435\u0433\u043e\u0440\u0438\u0438 \u0436\u0438\u0437\u043d\u0435\u043d\u043d\u043e \u0432\u0430\u0436\u0435\u043d \u0434\u043b\u044f \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438, \u0443\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0443\u0437\u043b\u043e\u0432 \u0438 \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u0438\u044f \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u044b\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432. \u0412 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f\u0445 \u0440\u043e\u0441\u0442\u0430 \u0432\u043d\u0443\u0442\u0440\u0435\u043d\u043d\u0435\u0433\u043e \u0438 \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443\u043d\u0430\u0440\u043e\u0434\u043d\u043e\u0433\u043e \u0440\u044b\u043d\u043a\u043e\u0432 \u0438\u043d\u043d\u043e\u0432\u0430\u0446\u0438\u0438, \u0430\u0432\u0442\u043e\u043c\u0430\u0442\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u044f \u0438 \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0431\u0443\u0434\u0443\u0442 \u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u0432\u044b\u043c\u0438 \u0444\u0430\u043a\u0442\u043e\u0440\u0430\u043c\u0438 \u0440\u0430\u0437\u0432\u0438\u0442\u0438\u044f \u0441\u0435\u043a\u0442\u043e\u0440\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f.<\/p>","protected":false},"excerpt":{"rendered":"

              The semiconductor manufacturing industry relies on a wide array of highly specialized equipment to produce advanced integrated circuits. This article provides an overview of eight critical categories of semiconductor equipment, examining their functions, technological significance, and industry trends. 1. Lithography Equipment Lithography machines are the cornerstone of semiconductor manufacturing. The lithography process defines the smallest […]<\/p>\n","protected":false},"author":1,"featured_media":2073,"comment_status":"open","ping_status":"open","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"site-sidebar-layout":"default","site-content-layout":"","ast-site-content-layout":"default","site-content-style":"default","site-sidebar-style":"default","ast-global-header-display":"","ast-banner-title-visibility":"","ast-main-header-display":"","ast-hfb-above-header-display":"","ast-hfb-below-header-display":"","ast-hfb-mobile-header-display":"","site-post-title":"","ast-breadcrumbs-content":"","ast-featured-img":"","footer-sml-layout":"","ast-disable-related-posts":"","theme-transparent-header-meta":"","adv-header-id-meta":"","stick-header-meta":"","header-above-stick-meta":"","header-main-stick-meta":"","header-below-stick-meta":"","astra-migrate-meta-layouts":"set","ast-page-background-enabled":"default","ast-page-background-meta":{"desktop":{"background-color":"var(--ast-global-color-4)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"tablet":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"mobile":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""}},"ast-content-background-meta":{"desktop":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"tablet":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"mobile":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""}},"footnotes":""},"categories":[24],"tags":[718,44,187,717,720,334,713,710,276,709,706,705,722,716,704,715,181,712,40,721,723,708,266,350,707,714,719,711],"class_list":["post-2072","post","type-post","status-publish","format-standard","has-post-thumbnail","hentry","category-industry-news","tag-3d-nand","tag-advanced-packaging","tag-ald","tag-ald-deposition","tag-chip-fabrication","tag-cmp","tag-cvd","tag-dry-etching","tag-etching-equipment","tag-ic-manufacturing","tag-ion-implantation","tag-metrology-equipment","tag-nanotechnology","tag-pecvd","tag-photolithography","tag-plasma-etching","tag-process-control","tag-pvd","tag-semiconductor-equipment","tag-semiconductor-industry","tag-semiconductor-process","tag-semiconductor-testing","tag-semiconductor-yield","tag-thin-film-deposition","tag-wafer-cleaning","tag-wafer-inspection","tag-wafer-planarization","tag-wet-etching"],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/2072","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/users\/1"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=2072"}],"version-history":[{"count":1,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/2072\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":2074,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/2072\/revisions\/2074"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/media\/2073"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=2072"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=2072"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=2072"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}