{"id":1923,"date":"2026-03-16T05:17:47","date_gmt":"2026-03-16T05:17:47","guid":{"rendered":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/?p=1923"},"modified":"2026-03-16T05:25:25","modified_gmt":"2026-03-16T05:25:25","slug":"scaling-up-overcoming-the-challenges-of-12-inch-sic-wafer-production","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/scaling-up-overcoming-the-challenges-of-12-inch-sic-wafer-production\/","title":{"rendered":"\u0423\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u0430: \u041f\u0440\u0435\u043e\u0434\u043e\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0442\u0440\u0443\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u0435\u0439 \u043f\u0440\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435 12-\u0434\u044e\u0439\u043c\u043e\u0432\u044b\u0445 SiC-\u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d"},"content":{"rendered":"<p>\u041a\u0430\u0440\u0431\u0438\u0434 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f (SiC) \u0441\u0442\u0430\u043b \u043e\u0434\u043d\u0438\u043c \u0438\u0437 \u0432\u0430\u0436\u043d\u0435\u0439\u0448\u0438\u0445 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432 \u0434\u043b\u044f \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0439 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0438, \u043e\u0441\u043e\u0431\u0435\u043d\u043d\u043e \u0432 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043c\u043e\u0431\u0438\u043b\u044f\u0445 (EV), \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430\u0445 \u0432\u043e\u0437\u043e\u0431\u043d\u043e\u0432\u043b\u044f\u0435\u043c\u043e\u0439 \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u0438 \u0438 \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u043c \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u043c \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0438. \u0415\u0433\u043e \u0438\u0441\u043a\u043b\u044e\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c, \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0435 \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0431\u043e\u044f \u0438 \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u0430\u044f \u043f\u043e\u043b\u043e\u0441\u0430 \u043f\u0440\u043e\u043f\u0443\u0441\u043a\u0430\u043d\u0438\u044f \u0434\u0435\u043b\u0430\u044e\u0442 SiC \u0438\u0434\u0435\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c \u0432\u044b\u0431\u043e\u0440\u043e\u043c \u0434\u043b\u044f \u0441\u0438\u043b\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432. \u041f\u043e\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u0443 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u0430\u044f \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0441\u0442\u0440\u0435\u043c\u0438\u0442\u0441\u044f \u043a \u043f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0435\u043d\u0438\u044e \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438 \u0443\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u044e \u043c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u043e\u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430, \u043f\u0435\u0440\u0435\u0445\u043e\u0434 \u043e\u0442 6- \u0438 8-\u0434\u044e\u0439\u043c\u043e\u0432\u044b\u0445 SiC-\u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d \u043a 12-\u0434\u044e\u0439\u043c\u043e\u0432\u044b\u043c \u043f\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442 \u043a\u0430\u043a \u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438, \u0442\u0430\u043a \u0438 \u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c\u044b.<\/p>\n\n\n\n<figure class=\"wp-block-image aligncenter size-large\"><img fetchpriority=\"high\" decoding=\"async\" width=\"1024\" height=\"934\" src=\"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/03\/12-inch-sic-wafer-1024x934.jpg\" alt=\"\" class=\"wp-image-1924\" srcset=\"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/03\/12-inch-sic-wafer-1024x934.jpg 1024w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/03\/12-inch-sic-wafer-300x274.jpg 300w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/03\/12-inch-sic-wafer-768x701.jpg 768w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/03\/12-inch-sic-wafer-1536x1401.jpg 1536w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/03\/12-inch-sic-wafer-2048x1868.jpg 2048w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/03\/12-inch-sic-wafer-13x12.jpg 13w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/03\/12-inch-sic-wafer-600x547.jpg 600w\" sizes=\"(max-width: 1024px) 100vw, 1024px\" \/><\/figure>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">1. \u041f\u043e\u0447\u0435\u043c\u0443 <a href=\"https:\/\/www.galliumnitridewafer.com\/sale-54344420-12-inch-300mm-4h-n-6h-n-sic-single-crystal-silicon-carbide-wafer-for-power-led-devices.html\" target=\"_blank\" rel=\"noopener\"><mark style=\"background-color:rgba(0, 0, 0, 0);color:#0693e3\" class=\"has-inline-color\">12-\u0434\u044e\u0439\u043c\u043e\u0432\u044b\u0435 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b SiC<\/mark><\/a>?<\/h2>\n\n\n\n<p>\u0421\u043f\u0440\u043e\u0441 \u043d\u0430 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043a\u0440\u0443\u043f\u043d\u044b\u0435 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438 SiC \u043e\u0431\u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0441\u043d\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u0442\u043e\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043e\u0434\u043d\u043e\u0433\u043e \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0438 \u043f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438. \u0411\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043a\u0440\u0443\u043f\u043d\u044b\u0435 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u044e\u0442 \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u0430\u0432\u043b\u0438\u0432\u0430\u0442\u044c \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0435 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432 \u043d\u0430 \u043e\u0434\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0435, \u0447\u0442\u043e \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e \u0441\u043d\u0438\u0436\u0430\u0435\u0442 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0437\u0430\u0442\u0440\u0430\u0442\u044b \u0438 \u043f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0430\u0435\u0442 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0432 \u0440\u0430\u0441\u0447\u0435\u0442\u0435 \u043d\u0430 \u043e\u0434\u043d\u0443 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0443. \u041a\u0440\u043e\u043c\u0435 \u0442\u043e\u0433\u043e, 12-\u0434\u044e\u0439\u043c\u043e\u0432\u044b\u0435 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b \u043f\u043e\u0434\u0434\u0435\u0440\u0436\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0443 \u0441\u0438\u043b\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043c\u043e\u0434\u0443\u043b\u0435\u0439 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u0438\u043c\u0435\u044e\u0442 \u0440\u0435\u0448\u0430\u044e\u0449\u0435\u0435 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0434\u043b\u044f \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043c\u043e\u0431\u0438\u043b\u0435\u0439 \u043d\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u043a\u043e\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438 \u0441\u0435\u0442\u0435\u0432\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0438\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u0439.<\/p>\n\n\n\n<p>\u041e\u0434\u043d\u0430\u043a\u043e \u043f\u0435\u0440\u0435\u0445\u043e\u0434 \u0441 8-\u0434\u044e\u0439\u043c\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043d\u0430 12-\u0434\u044e\u0439\u043c\u043e\u0432\u044b\u0435 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b - \u044d\u0442\u043e \u043d\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u043e \u0443\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u0430 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0430. \u041c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0438 \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0432\u044b\u0435 \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 SiC \u0434\u0435\u043b\u0430\u044e\u0442 \u044d\u0442\u043e\u0442 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0445\u043e\u0434 \u0447\u0440\u0435\u0437\u0432\u044b\u0447\u0430\u0439\u043d\u043e \u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u044b\u043c.<\/p>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">2. \u041e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c\u044b \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 12-\u0434\u044e\u0439\u043c\u043e\u0432\u044b\u0445 SiC-\u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d<\/h2>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">2.1 \u0412\u044b\u0440\u0430\u0449\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432 \u0438 \u0443\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u0430\u043c\u0438<\/h3>\n\n\n\n<p>\u041c\u043e\u043d\u043e\u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u044b SiC \u0432\u044b\u0440\u0430\u0449\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u043e\u043c \u0444\u0438\u0437\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u0435\u0440\u0435\u043d\u043e\u0441\u0430 \u043f\u0430\u0440\u043e\u0432 (PVT), \u043f\u0440\u0438 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u043e\u043c \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0439 \u0438 \u0443\u0433\u043b\u0435\u0440\u043e\u0434 \u0441\u0443\u0431\u043b\u0438\u043c\u0438\u0440\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f \u0438 \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u043d\u0430 \u0437\u0430\u0442\u0440\u0430\u0432\u043e\u0447\u043d\u044b\u0439 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b. \u0414\u043b\u044f 12-\u0434\u044e\u0439\u043c\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d \u043f\u043e\u0434\u0434\u0435\u0440\u0436\u0438\u0432\u0430\u0442\u044c \u043e\u0434\u043d\u043e\u0440\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432 \u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u0438\u0442\u0441\u044f \u0432\u0441\u0435 \u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u0435\u0435:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li><strong>\u0422\u0435\u043f\u043b\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0441\u0442\u0440\u0435\u0441\u0441<\/strong>: \u041a\u0440\u0443\u043f\u043d\u044b\u0435 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u044b \u0438\u0441\u043f\u044b\u0442\u044b\u0432\u0430\u044e\u0442 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u0435 \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0432\u044b\u0435 \u0433\u0440\u0430\u0434\u0438\u0435\u043d\u0442\u044b, \u0447\u0442\u043e \u043f\u0440\u0438\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442 \u043a \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044e \u0434\u0438\u0441\u043b\u043e\u043a\u0430\u0446\u0438\u0439 \u0438 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0442\u0440\u0443\u0431\u043e\u0447\u0435\u043a.<\/li>\n\n\n\n<li><strong>\u041f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432<\/strong>: \u0411\u043e\u043b\u044c\u0448\u0438\u0435 \u0434\u0438\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u044b \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043f\u043e\u0434\u0432\u0435\u0440\u0436\u0435\u043d\u044b \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u0430\u043c \u0441\u0443\u043c\u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0438 \u0434\u0438\u0441\u043b\u043e\u043a\u0430\u0446\u0438\u044f\u043c \u0432 \u0431\u0430\u0437\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043b\u043e\u0441\u043a\u043e\u0441\u0442\u0438, \u0447\u0442\u043e \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0443\u0445\u0443\u0434\u0448\u0438\u0442\u044c \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430.<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p>\u0423\u0441\u043e\u0432\u0435\u0440\u0448\u0435\u043d\u0441\u0442\u0432\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u043d\u044b\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044c \u0438 \u043e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u0430\u044f \u043e\u0440\u0438\u0435\u043d\u0442\u0430\u0446\u0438\u044f \u0441\u0435\u043c\u044f\u043d \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u044b \u0434\u043b\u044f \u0443\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u0440\u0430\u0441\u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432.<\/p>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">2.2 \u0422\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043d\u0430\u0440\u0435\u0437\u043a\u0438 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d<\/h3>\n\n\n\n<p>\u0420\u0435\u0437\u043a\u0430 12-\u0434\u044e\u0439\u043c\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0441\u043b\u0438\u0442\u043a\u043e\u0432 SiC \u043d\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u0442 \u043e\u0441\u043e\u0431\u043e\u0439 \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438. \u0422\u0432\u0435\u0440\u0434\u043e\u0441\u0442\u044c SiC (9,5 \u043f\u043e \u0448\u043a\u0430\u043b\u0435 \u041c\u043e\u043e\u0441\u0430) \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u0442 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0430\u043b\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0430\u043b\u043c\u0430\u0437\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0438\u043b \u0438\u043b\u0438 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c \u0434\u043b\u044f \u043d\u0430\u0440\u0435\u0437\u043a\u0438 \u043a\u0443\u0431\u0438\u043a\u0430\u043c\u0438. \u041a \u0447\u0438\u0441\u043b\u0443 \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c \u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u044f\u0442\u0441\u044f:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li><strong>\u0418\u0437\u043d\u043e\u0441 \u0438 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0443\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043b\u0435\u0437\u0432\u0438\u0439<\/strong>: \u0411\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043a\u0440\u0443\u043f\u043d\u044b\u0435 \u0441\u043b\u0438\u0442\u043a\u0438 \u0443\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442 \u0432\u0440\u0435\u043c\u044f \u0440\u0435\u0437\u043a\u0438, \u0443\u0441\u043a\u043e\u0440\u044f\u044e\u0442 \u0438\u0437\u043d\u043e\u0441 \u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u043b\u043e\u043a\u0438 \u0438 \u0441\u043d\u0438\u0436\u0430\u044e\u0442 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438.<\/li>\n\n\n\n<li><strong>\u0421\u043a\u043e\u043b\u044b \u043a\u0440\u043e\u043c\u043e\u043a \u0438 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0442\u0440\u0435\u0449\u0438\u043d\u044b<\/strong>: \u041b\u044e\u0431\u043e\u0435 \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u043f\u0440\u0438\u0432\u0435\u0441\u0442\u0438 \u043a \u043f\u043e\u044f\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044e \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u0440\u0430\u0441\u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u043f\u0440\u0438 \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430.<\/li>\n\n\n\n<li><strong>\u041e\u0445\u043b\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0438 \u0443\u0431\u043e\u0440\u043a\u0430 \u043c\u0443\u0441\u043e\u0440\u0430<\/strong>: \u041f\u043e\u0434\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0440\u0430\u0432\u043d\u043e\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e\u0433\u043e \u043e\u0445\u043b\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438 \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0433\u043e \u0443\u0434\u0430\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0448\u043b\u0430\u043c\u0430 \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u0440\u0435\u0448\u0430\u044e\u0449\u0435\u0435 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u0435\u0434\u043e\u0442\u0432\u0440\u0430\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f \u0442\u0435\u0440\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u0432\u0440\u0435\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f.<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">2.3 \u041f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u043a\u0430 \u0438 \u043f\u043b\u043e\u0441\u043a\u043e\u0441\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438<\/h3>\n\n\n\n<p>\u0414\u043b\u044f \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u043c\u043e\u0449\u043d\u044b\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432 \u043f\u043b\u043e\u0441\u043a\u043e\u0441\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d, \u0440\u0430\u0432\u043d\u043e\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u044b \u0438 \u0448\u0435\u0440\u043e\u0445\u043e\u0432\u0430\u0442\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438\u043c\u0435\u044e\u0442 \u0440\u0435\u0448\u0430\u044e\u0449\u0435\u0435 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435. \u041f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c 12-\u0434\u044e\u0439\u043c\u043e\u0432\u044b\u0435 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b \u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u0435\u0435, \u043f\u043e\u0442\u043e\u043c\u0443 \u0447\u0442\u043e:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li><strong>\u0420\u0438\u0441\u043a \u0434\u0435\u0444\u043e\u0440\u043c\u0430\u0446\u0438\u0438<\/strong>: \u0411\u043e\u043b\u044c\u0448\u0438\u0435 \u0442\u043e\u043d\u043a\u0438\u0435 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b \u043f\u043e\u0434\u0432\u0435\u0440\u0436\u0435\u043d\u044b \u0438\u0437\u0433\u0438\u0431\u0443 \u0432\u043e \u0432\u0440\u0435\u043c\u044f \u0445\u0438\u043c\u0438\u043a\u043e-\u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u043a\u0438 (CMP).<\/li>\n\n\n\n<li><strong>\u041a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044c \u043f\u043b\u0430\u043d\u043e\u0432\u043e\u0441\u0442\u0438<\/strong>: \u0414\u043b\u044f \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f TTV (\u043e\u0431\u0449\u0435\u0433\u043e \u043e\u0442\u043a\u043b\u043e\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u044b) \u0432 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0430\u0445 \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u0438\u0445 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043d \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u0435 \u043f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0435 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435.<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">3. \u0422\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f<\/h2>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">3.1 \u041e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0440\u043e\u0441\u0442 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432<\/h3>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li><strong>\u0423\u043b\u0443\u0447\u0448\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0435\u0447\u0438 PVT<\/strong>: \u0421\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0435\u0447\u0438 \u0441 \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u0437\u043e\u043d\u043d\u044b\u043c \u0440\u0435\u0433\u0443\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u044b \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442 \u043b\u0443\u0447\u0448\u0443\u044e \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0432\u0443\u044e \u0440\u0430\u0432\u043d\u043e\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c.<\/li>\n\n\n\n<li><strong>\u0418\u043d\u0436\u0435\u043d\u0435\u0440\u0438\u044f \u0441\u0435\u043c\u044f\u043d<\/strong>: \u0418\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0438\u0445 \u0438 \u0431\u0435\u0437\u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043d\u044b\u0445 \u0437\u0430\u0442\u0440\u0430\u0432\u043e\u0447\u043d\u044b\u0445 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432 \u0441\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442 \u043a \u043c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0443\u043c\u0443 \u0440\u0430\u0441\u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432.<\/li>\n\n\n\n<li><strong>\u041c\u043e\u043d\u0438\u0442\u043e\u0440\u0438\u043d\u0433 \u043d\u0430 \u043c\u0435\u0441\u0442\u0435<\/strong>: \u0414\u0430\u0442\u0447\u0438\u043a\u0438 \u0432 \u0440\u0435\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u043c \u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u0438 \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u044f\u044e\u0442 \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0430 \u0438 \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u044e\u0442 \u0434\u0438\u043d\u0430\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0440\u0435\u0433\u0443\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0435\u0433\u043e \u0432 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0435 \u0440\u043e\u0441\u0442\u0430.<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">3.2 \u041f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u044b\u0435 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u044b \u043d\u0430\u0440\u0435\u0437\u043a\u0438 \u043a\u0443\u0431\u0438\u043a\u0430\u043c\u0438<\/h3>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li><strong>\u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0442\u043e\u0447\u043d\u044b\u0435 \u0430\u043b\u043c\u0430\u0437\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u043b\u043e\u0447\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0438\u043b\u044b<\/strong>: \u041c\u043d\u043e\u0433\u043e\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u043b\u043e\u0447\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b \u0443\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0430\u044e\u0442 \u0441\u043a\u043e\u043b\u044b \u043a\u0440\u043e\u043c\u043e\u043a \u0438 \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442 \u0440\u0430\u0432\u043d\u043e\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0440\u0435\u0437\u043a\u0438.<\/li>\n\n\n\n<li><strong>\u041d\u0430\u0440\u0435\u0437\u043a\u0430 \u0441 \u043f\u043e\u043c\u043e\u0449\u044c\u044e \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u0430<\/strong>: \u041d\u0430\u043d\u043e\u0441\u0435\u043a\u0443\u043d\u0434\u043d\u044b\u0435 \u0438\u043b\u0438 \u043f\u0438\u043a\u043e\u0441\u0435\u043a\u0443\u043d\u0434\u043d\u044b\u0435 \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u044b \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0432\u0430\u0440\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u0440\u0430\u0441\u043a\u0430\u043b\u044b\u0432\u0430\u0442\u044c \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b, \u0443\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0430\u044f \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435.<\/li>\n\n\n\n<li><strong>\u041e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u043e\u0435 \u043e\u0445\u043b\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0438 \u0441\u043c\u0430\u0437\u043a\u0430<\/strong>: \u0423\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0441\u0440\u043e\u043a \u0441\u043b\u0443\u0436\u0431\u044b \u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u043b\u043e\u043a\u0438 \u0438 \u0443\u043b\u0443\u0447\u0448\u0430\u0435\u0442 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438.<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">3.3 \u041f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u043a\u0430 \u0438 \u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f<\/h3>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li><strong>\u0418\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442\u044b \u0434\u043b\u044f \u043a\u0440\u0443\u043f\u043d\u043e\u0433\u0430\u0431\u0430\u0440\u0438\u0442\u043d\u043e\u0433\u043e CMP<\/strong>: \u041e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0440\u0430\u0432\u043d\u043e\u043c\u0435\u0440\u043d\u0443\u044e \u043f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u043a\u0443 \u0431\u0435\u0437 \u0434\u0435\u0444\u043e\u0440\u043c\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d.<\/li>\n\n\n\n<li><strong>\u0410\u0432\u0442\u043e\u043c\u0430\u0442\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u0430\u044f \u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f<\/strong>: \u0418\u043d\u0442\u0435\u0440\u0444\u0435\u0440\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0438\u044f \u0438 \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u0441\u043a\u0430\u043d\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0438\u0437\u043c\u0435\u0440\u044f\u044e\u0442 TTV \u0438 \u0448\u0435\u0440\u043e\u0445\u043e\u0432\u0430\u0442\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0432 \u0440\u0435\u0436\u0438\u043c\u0435 \u0440\u0435\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u0438.<\/li>\n\n\n\n<li><strong>\u041c\u0435\u0442\u043e\u0434\u044b \u0441\u043d\u044f\u0442\u0438\u044f \u0441\u0442\u0440\u0435\u0441\u0441\u0430<\/strong>: \u0422\u0435\u0440\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u043e\u0442\u0436\u0438\u0433 \u0441\u043d\u0438\u0436\u0430\u0435\u0442 \u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0435 \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435, \u043f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0430\u044f \u0442\u0435\u043a\u0443\u0447\u0435\u0441\u0442\u044c.<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">4. \u0422\u0435\u043d\u0434\u0435\u043d\u0446\u0438\u0438 \u0438 \u043f\u0435\u0440\u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u044b \u0440\u0430\u0437\u0432\u0438\u0442\u0438\u044f \u043e\u0442\u0440\u0430\u0441\u043b\u0438<\/h2>\n\n\n\n<p>\u041f\u0435\u0440\u0435\u0445\u043e\u0434 \u043d\u0430 12-\u0434\u044e\u0439\u043c\u043e\u0432\u044b\u0435 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b SiC \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0447\u0430\u0441\u0442\u044c\u044e \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0442\u0435\u043d\u0434\u0435\u043d\u0446\u0438\u0438 \u043a \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u0438\u044e \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0439 \u0438 \u043d\u0435\u0434\u043e\u0440\u043e\u0433\u043e\u0439 \u0441\u0438\u043b\u043e\u0432\u043e\u0439 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0438. \u0412\u0435\u0434\u0443\u0449\u0438\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u0438 \u0432\u043a\u043b\u0430\u0434\u044b\u0432\u0430\u044e\u0442 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0432 \u0430\u0432\u0442\u043e\u043c\u0430\u0442\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u044e, \u043f\u043e\u0442\u043e\u0447\u043d\u044b\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044c \u0438 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u044b\u0435 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438 \u043d\u0430\u0440\u0435\u0437\u043a\u0438, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u0443\u0434\u043e\u0432\u043b\u0435\u0442\u0432\u043e\u0440\u0438\u0442\u044c \u0440\u0430\u0441\u0442\u0443\u0449\u0438\u0439 \u0441\u043f\u0440\u043e\u0441 \u0441\u043e \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d\u044b \u0440\u044b\u043d\u043a\u043e\u0432 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043c\u043e\u0431\u0438\u043b\u0435\u0439 \u0438 \u0432\u043e\u0437\u043e\u0431\u043d\u043e\u0432\u043b\u044f\u0435\u043c\u044b\u0445 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432 \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u0438.<\/p>\n\n\n\n<p>\u041d\u0435\u0441\u043c\u043e\u0442\u0440\u044f \u043d\u0430 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0442\u0440\u0443\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438, \u0441\u043e\u0447\u0435\u0442\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0432\u044b\u0440\u0430\u0449\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432, \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0439 \u043d\u0430\u0440\u0435\u0437\u043a\u0438 \u043a\u0443\u0431\u0438\u043a\u0430\u043c\u0438 \u0438 \u0443\u0441\u043e\u0432\u0435\u0440\u0448\u0435\u043d\u0441\u0442\u0432\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u043a\u0438 \u0434\u0435\u043b\u0430\u0435\u0442 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e 12-\u0434\u044e\u0439\u043c\u043e\u0432\u044b\u0445 SiC-\u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d \u0432 \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u0430\u0445 \u0432\u043f\u043e\u043b\u043d\u0435 \u043e\u0441\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0438\u043c\u044b\u043c. \u041a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u0438, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u0443\u0441\u043f\u0435\u0448\u043d\u043e \u043c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u0438\u0440\u0443\u044e\u0442 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e \u0434\u043e \u0442\u0430\u043a\u0438\u0445 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u043e\u0432, \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0430\u0442 \u043a\u043e\u043d\u043a\u0443\u0440\u0435\u043d\u0442\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0440\u0435\u0438\u043c\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043f\u043e \u0432\u044b\u0445\u043e\u0434\u0443, \u0441\u0442\u043e\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432.<\/p>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">5. \u0417\u0430\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435<\/h2>\n\n\n\n<p>\u041c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0434\u043e 12-\u0434\u044e\u0439\u043c\u043e\u0432\u044b\u0445 SiC-\u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u0435\u043a \u043f\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0441\u043e\u0431\u043e\u0439 \u043a\u0430\u043a \u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0443\u044e \u0437\u0430\u0434\u0430\u0447\u0443, \u0442\u0430\u043a \u0438 \u0441\u0442\u0440\u0430\u0442\u0435\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0443\u044e \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c. \u0414\u043b\u044f \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u0443\u0441\u043f\u0435\u0445\u0430 \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u043a\u043e\u043c\u043f\u043b\u0435\u043a\u0441\u043d\u044b\u0439 \u043f\u043e\u0434\u0445\u043e\u0434: \u0443\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u0430\u043c\u0438 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0430, \u043e\u0441\u0432\u043e\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u0440\u0435\u0446\u0438\u0437\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043d\u0430\u0440\u0435\u0437\u043a\u0438 \u0438 \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438. \u041f\u043e \u043c\u0435\u0440\u0435 \u0442\u043e\u0433\u043e \u043a\u0430\u043a \u043e\u0442\u0440\u0430\u0441\u043b\u044c \u043f\u0440\u043e\u0434\u043e\u043b\u0436\u0430\u0435\u0442 \u0432\u043d\u0435\u0434\u0440\u044f\u0442\u044c \u0438\u043d\u043d\u043e\u0432\u0430\u0446\u0438\u0438, 12-\u0434\u044e\u0439\u043c\u043e\u0432\u044b\u0435 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u0441\u0442\u0430\u0442\u044c \u043d\u043e\u0432\u044b\u043c \u0441\u0442\u0430\u043d\u0434\u0430\u0440\u0442\u043e\u043c \u0434\u043b\u044f \u043c\u043e\u0449\u043d\u044b\u0445 \u0438 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432, \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u044e\u0449\u0438\u0445 \u043f\u0438\u0442\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0435\u0433\u043e \u043f\u043e\u043a\u043e\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043c\u043e\u0431\u0438\u043b\u0435\u0439, \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0438 \u0438 \u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u0439 \u0432 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438 \u0432\u043e\u0437\u043e\u0431\u043d\u043e\u0432\u043b\u044f\u0435\u043c\u044b\u0445 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432 \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u0438.<\/p>","protected":false},"excerpt":{"rendered":"<p>Silicon carbide (SiC) has emerged as a critical material in high-power electronics, particularly in electric vehicles (EVs), renewable energy systems, and advanced industrial equipment. Its exceptional thermal conductivity, high breakdown voltage, and wide bandgap make SiC an ideal choice for power devices. With the semiconductor industry pushing for higher efficiency and larger-scale production, the move [&hellip;]<\/p>\n","protected":false},"author":1,"featured_media":1924,"comment_status":"open","ping_status":"open","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"site-sidebar-layout":"default","site-content-layout":"","ast-site-content-layout":"default","site-content-style":"default","site-sidebar-style":"default","ast-global-header-display":"","ast-banner-title-visibility":"","ast-main-header-display":"","ast-hfb-above-header-display":"","ast-hfb-below-header-display":"","ast-hfb-mobile-header-display":"","site-post-title":"","ast-breadcrumbs-content":"","ast-featured-img":"","footer-sml-layout":"","ast-disable-related-posts":"","theme-transparent-header-meta":"","adv-header-id-meta":"","stick-header-meta":"","header-above-stick-meta":"","header-main-stick-meta":"","header-below-stick-meta":"","astra-migrate-meta-layouts":"set","ast-page-background-enabled":"default","ast-page-background-meta":{"desktop":{"background-color":"var(--ast-global-color-4)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"tablet":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"mobile":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""}},"ast-content-background-meta":{"desktop":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"tablet":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"mobile":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""}},"footnotes":""},"categories":[24],"tags":[366,387,378,197,334,386,115,375,371,380,381,379,384,370,376,383,385,369,382,36,184,368,367,72,377,374,373,372,196,113],"class_list":["post-1923","post","type-post","status-publish","format-standard","has-post-thumbnail","hentry","category-industry-news","tag-12-inch-sic-wafer","tag-advanced-semiconductor-materials","tag-basal-plane-dislocations","tag-chemical-mechanical-polishing","tag-cmp","tag-device-yield","tag-diamond-wire-saw","tag-dislocations","tag-edge-chipping","tag-electric-vehicles","tag-ev-power-devices","tag-high-power-electronics","tag-inline-inspection","tag-laser-dicing","tag-micropipes","tag-precision-metrology","tag-process-optimization","tag-pvt-method","tag-renewable-energy","tag-semiconductor-manufacturing","tag-sic","tag-sic-crystal-growth","tag-sic-wafer-production","tag-silicon-carbide","tag-stacking-faults","tag-thermal-stress","tag-thickness-uniformity","tag-wafer-flatness","tag-wafer-polishing","tag-wafer-slicing"],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/1923","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/users\/1"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=1923"}],"version-history":[{"count":1,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/1923\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":1925,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/1923\/revisions\/1925"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/media\/1924"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=1923"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=1923"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=1923"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}