{"id":2536,"date":"2026-06-08T05:27:34","date_gmt":"2026-06-08T05:27:34","guid":{"rendered":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/?post_type=product&p=2536"},"modified":"2026-06-14T18:33:48","modified_gmt":"2026-06-14T18:33:48","slug":"12-inch-glass-wafer-for-advanced-semiconductor-mems-applications","status":"publish","type":"product","link":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/pt\/product\/12-inch-glass-wafer-for-advanced-semiconductor-mems-applications\/","title":{"rendered":"Pastilha de vidro de 12 polegadas para aplica\u00e7\u00f5es avan\u00e7adas em semicondutores e MEMS"},"content":{"rendered":"

\"PastilhaA pastilha de vidro de 12 polegadas (300 mm) \u00e9 um substrato de alta qualidade concebido para o fabrico avan\u00e7ado de semicondutores, dispositivos MEMS, sistemas \u00f3ticos e embalagem ao n\u00edvel da pastilha (WLP \/ FOWLP). \u00c0 medida que a integra\u00e7\u00e3o dos dispositivos continua a aumentar e as estruturas de encapsulamento se tornam mais complexas, as pastilhas de vidro de grande di\u00e2metro est\u00e3o a tornar-se uma alternativa fundamental aos substratos tradicionais de sil\u00edcio.<\/p>\n

Em compara\u00e7\u00e3o com formatos de wafer mais pequenos, os wafers de vidro de 12 polegadas oferecem uma efici\u00eancia de produ\u00e7\u00e3o significativamente superior, melhor escalabilidade para a produ\u00e7\u00e3o em massa e compatibilidade com processos avan\u00e7ados de litografia e embalagem. S\u00e3o amplamente utilizados em sistemas eletr\u00f3nicos de pr\u00f3xima gera\u00e7\u00e3o que exigem elevada estabilidade dimensional, baixa perda diel\u00e9trica, excelente transpar\u00eancia \u00f3tica e uma qualidade de superf\u00edcie ultralisa.<\/p>\n

Estas pastilhas s\u00e3o fabricadas com materiais de elevada pureza, tais como vidro borossilicato, s\u00edlica fundida, quartzo e vidro isento de \u00e1lcalis, consoante os requisitos da aplica\u00e7\u00e3o. Cada pastilha \u00e9 submetida a processos de corte, esmerilagem, polimento e limpeza de precis\u00e3o, a fim de garantir um controlo rigoroso da planicidade, da uniformidade da espessura e da rugosidade da superf\u00edcie.<\/p>\n

\n

Tipos de material dispon\u00edveis para pastilhas de vidro de 12 polegadas<\/strong><\/span><\/h2>\n

Vidro borossilicato (wafer de 12 polegadas)<\/strong><\/span><\/h3>\n
    \n
  • Excelente compatibilidade de expans\u00e3o t\u00e9rmica com o sil\u00edcio (~3,2 ppm\/K)<\/li>\n
  • Ideal para aplica\u00e7\u00f5es de liga\u00e7\u00e3o an\u00f3dica<\/li>\n
  • Elevada resist\u00eancia qu\u00edmica<\/li>\n
  • Propriedades mec\u00e2nicas est\u00e1veis durante os ciclos t\u00e9rmicos<\/li>\n
  • Amplamente utilizado em MEMS e estruturas de encapsulamento<\/li>\n<\/ul>\n
    \n

    Vidro de quartzo (pastilha de 12 polegadas)<\/strong><\/span><\/h3>\n
      \n
    • Transmiss\u00e3o \u00f3tica extremamente elevada (gama de UV a IR)<\/li>\n
    • Teor de impurezas e de OH muito baixo<\/li>\n
    • Resist\u00eancia a altas temperaturas<\/li>\n
    • Rugosidade superficial at\u00e9 Ra \u2264 0,5 nm<\/li>\n
    • Adequado para MEMS \u00f3ticos e fot\u00f3nica<\/li>\n<\/ul>\n
      \n

      S\u00edlica fundida (wafer de 12 polegadas)<\/strong><\/span><\/h3>\n
        \n
      • Expans\u00e3o t\u00e9rmica ultrabaixa (~0,5 ppm\/K)<\/li>\n
      • Material sint\u00e9tico de elevada pureza<\/li>\n
      • Excelente resist\u00eancia ao choque t\u00e9rmico<\/li>\n
      • Transmiss\u00e3o \u00f3tica >90% (intervalo de 200\u20132000 nm)<\/li>\n
      • Ideal para aplica\u00e7\u00f5es de alta tecnologia nas \u00e1reas da \u00f3ptica e dos semicondutores<\/li>\n<\/ul>\n
        \n

        Vidro sem \u00e1lcalis (wafer de 12 polegadas)<\/strong><\/span><\/h3>\n
          \n
        • Isento de contamina\u00e7\u00e3o por metais pesados (As, Sb, Ba, halogenetos)<\/li>\n
        • Baixo ru\u00eddo de fundo de fluoresc\u00eancia<\/li>\n
        • Elevada estabilidade diel\u00e9trica<\/li>\n
        • Compat\u00edvel com processos avan\u00e7ados de semicondutores<\/li>\n
        • Excelente resist\u00eancia qu\u00edmica<\/li>\n<\/ul>\n
          \n

          Principais especifica\u00e7\u00f5es t\u00e9cnicas (pastilha de vidro de 12 polegadas)<\/strong><\/span><\/h2>\n

          Par\u00e2metros dimensionais<\/strong><\/span><\/h3>\n
            \n
          • Di\u00e2metro da pastilha: 300 mm (12 polegadas)<\/li>\n
          • Intervalo de espessura: 500 \u03bcm \u2013 2000 \u03bcm (personaliz\u00e1vel)<\/li>\n
          • Toler\u00e2ncia de espessura: \u00b15 \u03bcm a \u00b120 \u03bcm<\/li>\n
          • Varia\u00e7\u00e3o da espessura total (TTV): \u2264 10\u201315 \u03bcm (grau de alta precis\u00e3o)<\/li>\n<\/ul>\n
            \n

            Qualidade da superf\u00edcie<\/strong><\/span><\/h3>\n
              \n
            • Rugosidade da superf\u00edcie (Ra): \u2264 1,0 nm (padr\u00e3o)<\/li>\n
            • Op\u00e7\u00e3o de polimento ultrafino: Ra \u2264 0,5 nm<\/li>\n
            • Planicidade da superf\u00edcie: \u2264 \u03bb\/10 (especifica\u00e7\u00e3o opcional de alta qualidade)<\/li>\n
            • Acabamento das arestas: chanfrado \/ arredondado \/ perfil personalizado<\/li>\n
            • Dispon\u00edvel com polimento em ambos os lados (DSP) ou num \u00fanico lado (SSP)<\/li>\n<\/ul>\n

              \"\"<\/p>\n

              \n

              Desempenho do material (valores de refer\u00eancia)<\/strong><\/span><\/h3>\n
              \n
              \n\n\n\n\n\n\n\n\n
              Tipo de material<\/th>\nCTE (ppm\/K)<\/th>\nTransmiss\u00e3o<\/th>\nCaracter\u00edstica principal<\/th>\n<\/tr>\n<\/thead>\n
              Borossilicato<\/td>\n~3.2<\/td>\nM\u00e9dio<\/td>\nCompatibilidade na liga\u00e7\u00e3o de sil\u00edcio<\/td>\n<\/tr>\n
              Quartzo<\/td>\n~0.55<\/td>\nElevado (UV\u2013IR)<\/td>\nDesempenho de n\u00edvel \u00f3tico<\/td>\n<\/tr>\n
              S\u00edlica fundida<\/td>\n~0.5<\/td>\n>90%<\/td>\nUltrapuro e est\u00e1vel<\/td>\n<\/tr>\n
              Vidro sem \u00e1lcalis<\/td>\n~3\u20134<\/td>\nN\/A<\/td>\nBaixa contamina\u00e7\u00e3o<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<\/div>\n<\/div>\n
              \n

              Capacidades de fabrico<\/strong><\/span><\/h2>\n

              As nossas pastilhas de vidro de 12 polegadas s\u00e3o produzidas em condi\u00e7\u00f5es avan\u00e7adas de fabrico de precis\u00e3o:<\/p>\n

                \n
              • Modelagem e corte CNC de alta precis\u00e3o<\/li>\n
              • Polimento qu\u00edmico-mec\u00e2nico (CMP)<\/li>\n
              • Tecnologia de acabamento de superf\u00edcies subnanom\u00e9tricas<\/li>\n
              • Limpeza e inspe\u00e7\u00e3o de n\u00edvel de sala limpa<\/li>\n
              • Controlo metrol\u00f3gico da espessura e da planicidade<\/li>\n
              • Compatibilidade com as normas SEMI \/ JEIDA (quando aplic\u00e1vel)<\/li>\n<\/ul>\n

                Apoiamos tanto o desenvolvimento de prot\u00f3tipos como a produ\u00e7\u00e3o em massa em grande escala.<\/p>\n

                \"\"<\/p>\n

                \n

                Aplica\u00e7\u00f5es da pastilha de vidro de 12 polegadas<\/strong><\/span><\/h2>\n

                As pastilhas de vidro de 12 polegadas s\u00e3o amplamente utilizadas em ind\u00fastrias avan\u00e7adas de pr\u00f3xima gera\u00e7\u00e3o:<\/p>\n

                  \n
                • Embalagem ao n\u00edvel da pastilha de semicondutores (WLP \/ FOWLP)<\/li>\n
                • Sensores e atuadores MEMS<\/li>\n
                • Circuitos integrados fot\u00f3nicos (PIC)<\/li>\n
                • M\u00f3dulos de comunica\u00e7\u00e3o \u00f3tica<\/li>\n
                • Tecnologias avan\u00e7adas de visualiza\u00e7\u00e3o (OLED \/ MicroLED)<\/li>\n
                • Sistemas de dete\u00e7\u00e3o autom\u00f3vel (LiDAR, radar, imagem)<\/li>\n
                • Biochips e dispositivos de diagn\u00f3stico m\u00e9dico<\/li>\n
                • Componentes de RF de alta frequ\u00eancia e de micro-ondas<\/li>\n
                • Sistemas \u00f3ticos de precis\u00e3o e plataformas de litografia<\/li>\n<\/ul>\n
                  \n

                  Vantagens da pastilha de vidro de 12 polegadas<\/strong><\/span><\/h2>\n
                    \n
                  • Total compatibilidade com linhas de produ\u00e7\u00e3o de semicondutores de 300 mm<\/li>\n
                  • Excelente estabilidade dimensional para o processamento de grandes superf\u00edcies<\/li>\n
                  • Rugosidade superficial ultrabaixa (<1 nm Ra)<\/li>\n
                  • Elevada transpar\u00eancia \u00f3tica (dependendo do tipo de material)<\/li>\n
                  • Propriedades de isolamento el\u00e9trico superiores<\/li>\n
                  • Elevada estabilidade qu\u00edmica e t\u00e9rmica<\/li>\n
                  • Adequado para ambientes de produ\u00e7\u00e3o em grande escala<\/li>\n
                  • Espessura, material e acabamento superficial personaliz\u00e1veis<\/li>\n<\/ul>\n

                    Perguntas Frequentes (FAQ)<\/strong><\/span><\/h2>\n

                    P1: As pastilhas de vidro de 12 polegadas podem substituir as pastilhas de sil\u00edcio em aplica\u00e7\u00f5es de semicondutores?<\/strong><\/span><\/h3>\n

                    As pastilhas de vidro de 12 polegadas n\u00e3o substituem totalmente as pastilhas de sil\u00edcio na fabrica\u00e7\u00e3o de dispositivos ativos, mas s\u00e3o amplamente utilizadas como materiais avan\u00e7ados de substrato ou suporte<\/strong> na embalagem de semicondutores, MEMS e sistemas fot\u00f3nicos. As pastilhas de vidro oferecem um isolamento el\u00e9trico superior, transpar\u00eancia \u00f3tica e menor perda diel\u00e9trica, tornando-as ideais para aplica\u00e7\u00f5es de embalagem ao n\u00edvel da pastilha (WLP), WLP com ramifica\u00e7\u00e3o (FOWLP) e integra\u00e7\u00e3o \u00f3tica, nas quais o sil\u00edcio n\u00e3o \u00e9 necess\u00e1rio como camada semicondutora ativa.<\/p>\n

                    \n

                    P2: Que n\u00edvel de planicidade e qualidade de superf\u00edcie conseguem alcan\u00e7ar em pastilhas de vidro de 12 polegadas?<\/strong><\/span><\/h3>\n

                    No caso das pastilhas de vidro de 12 polegadas de alta precis\u00e3o, conseguimos garantir um controlo extremamente rigoroso da superf\u00edcie. As especifica\u00e7\u00f5es t\u00edpicas incluem:<\/p>\n

                      \n
                    • Rugosidade da superf\u00edcie (Ra): \u2264 1,0 nm (grau padr\u00e3o), at\u00e9 \u2264 0,5 nm (grau ultrapolido)<\/li>\n
                    • Varia\u00e7\u00e3o da espessura total (TTV): \u2264 10\u201315 \u03bcm, dependendo do material e da espessura<\/li>\n
                    • Planicidade da superf\u00edcie: at\u00e9 \u03bb\/10 (especifica\u00e7\u00e3o opcional de gama alta)<\/li>\n<\/ul>\n

                      Estes par\u00e2metros garantem uma excelente compatibilidade com processos avan\u00e7ados de litografia, colagem e deposi\u00e7\u00e3o de pel\u00edculas finas.<\/p>\n

                      \n

                      P3: \u00c9 poss\u00edvel personalizar as pastilhas de vidro de 12 polegadas para aplica\u00e7\u00f5es espec\u00edficas ou requisitos de processo?<\/strong><\/span><\/h3>\n

                      Sim. As pastilhas de vidro de 12 polegadas s\u00e3o altamente personaliz\u00e1veis. Podemos ajustar v\u00e1rios par\u00e2metros de acordo com os requisitos do seu processo, incluindo:<\/p>\n

                        \n
                      • Tipo de material (borossilicato, quartzo, s\u00edlica fundida, vidro isento de \u00e1lcalis)<\/li>\n
                      • Espessura (de 500 \u03bcm at\u00e9 2 mm ou mais)<\/li>\n
                      • Acabamento da superf\u00edcie (polimento SSP ou DSP)<\/li>\n
                      • Perfil da borda (chanfrada, arredondada ou com design personalizado)<\/li>\n
                      • N\u00edveis de planicidade, TTV e rugosidade superficial<\/li>\n
                      • Padr\u00f5es especiais, marcas de alinhamento ou grava\u00e7\u00e3o a laser<\/li>\n<\/ul>\n

                        A personaliza\u00e7\u00e3o \u00e9 especialmente importante para MEMS, sistemas \u00f3ticos e aplica\u00e7\u00f5es de embalagem avan\u00e7ada, em que a compatibilidade dos processos \u00e9 fundamental.<\/p>","protected":false},"excerpt":{"rendered":"

                        A pastilha de vidro de 12 polegadas \u00e9 um material essencial para o encapsulamento de semicondutores da pr\u00f3xima gera\u00e7\u00e3o, a integra\u00e7\u00e3o de MEMS e o desenvolvimento de sistemas \u00f3ticos. Gra\u00e7as \u00e0 combina\u00e7\u00e3o de escalabilidade de grande di\u00e2metro, qualidade de superf\u00edcie de precis\u00e3o ultra-elevada e propriedades do material personaliz\u00e1veis, est\u00e1 a ser cada vez mais adotada em ind\u00fastrias de fabrico avan\u00e7adas que procuram alternativas \u00e0s pastilhas de sil\u00edcio tradicionais.<\/p>","protected":false},"featured_media":2539,"comment_status":"open","ping_status":"closed","template":"","meta":{"site-sidebar-layout":"default","site-content-layout":"","ast-site-content-layout":"default","site-content-style":"default","site-sidebar-style":"default","ast-global-header-display":"","ast-banner-title-visibility":"","ast-main-header-display":"","ast-hfb-above-header-display":"","ast-hfb-below-header-display":"","ast-hfb-mobile-header-display":"","site-post-title":"","ast-breadcrumbs-content":"","ast-featured-img":"","footer-sml-layout":"","ast-disable-related-posts":"","theme-transparent-header-meta":"default","adv-header-id-meta":"","stick-header-meta":"default","header-above-stick-meta":"","header-main-stick-meta":"","header-below-stick-meta":"","astra-migrate-meta-layouts":"set","ast-page-background-enabled":"default","ast-page-background-meta":{"desktop":{"background-color":"var(--ast-global-color-4)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center 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