![\"\"](\"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/03\/sic_growth_furnace_pvt_method_6inch_8inch_12_inch_low_energy_consumption1-300x300.webp\")
O forno de crescimento de SiC (m\u00e9todo PVT) \u00e9 um sistema de alto desempenho concebido para a produ\u00e7\u00e3o de monocristais de carboneto de sil\u00edcio (SiC) de 6 polegadas, 8 polegadas e 12 polegadas.<\/p>\nO forno de crescimento de SiC (m\u00e9todo PVT) \u00e9 um sistema de alto desempenho concebido para a produ\u00e7\u00e3o de monocristais de carboneto de sil\u00edcio (SiC) de 6 polegadas, 8 polegadas e 12 polegadas.<\/p>\n
Utilizando uma tecnologia avan\u00e7ada de aquecimento por indu\u00e7\u00e3o, o forno proporciona um aquecimento r\u00e1pido, um controlo preciso da temperatura e um baixo consumo de energia, o que o torna uma solu\u00e7\u00e3o ideal para o crescimento de cristais de SiC \u00e0 escala industrial.<\/p>\n
\u00c9 amplamente utilizado no fabrico de substratos de SiC para eletr\u00f3nica de pot\u00eancia, dispositivos de RF e aplica\u00e7\u00f5es de semicondutores da pr\u00f3xima gera\u00e7\u00e3o.<\/p>\n
Sistema de aquecimento por indu\u00e7\u00e3o
O aquecimento eletromagn\u00e9tico direto do cadinho de grafite garante uma elevada efici\u00eancia e uma resposta t\u00e9rmica r\u00e1pida<\/p>\n<\/li>\n
Controlo de temperatura ultra-preciso
Precis\u00e3o at\u00e9 \u00b11\u00b0C, assegurando condi\u00e7\u00f5es est\u00e1veis de crescimento de cristais<\/p>\n<\/li>\n
Baixo consumo de energia
O design t\u00e9rmico optimizado reduz significativamente o custo operacional<\/p>\n<\/li>\n
Alta estabilidade e baixa contamina\u00e7\u00e3o
Aquecimento sem contacto + ambiente de g\u00e1s inerte minimiza as impurezas<\/p>\n<\/li>\n
Escal\u00e1vel para cristais de grande di\u00e2metro
Suporta o crescimento de cristais de SiC de 6\u2033, 8\u2033 e 12\u2033<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n
| Par\u00e2metro<\/th>\n | Especifica\u00e7\u00e3o<\/th>\n<\/tr>\n<\/thead>\n |
|---|---|
| Dimens\u00f5es (C\u00d7L\u00d7A)<\/td>\n | 3200 \u00d7 1150 \u00d7 3600 mm (personaliz\u00e1vel)<\/td>\n<\/tr>\n |
| Di\u00e2metro da c\u00e2mara do forno<\/td>\n | 400 mm<\/td>\n<\/tr>\n |
| Temperatura m\u00e1xima<\/td>\n | 2400\u00b0C<\/td>\n<\/tr>\n |
| Gama de temperaturas<\/td>\n | 900-3000\u00b0C<\/td>\n<\/tr>\n |
| Precis\u00e3o da temperatura<\/td>\n | \u00b11\u00b0C<\/td>\n<\/tr>\n |
| M\u00e9todo de aquecimento<\/td>\n | Aquecimento por indu\u00e7\u00e3o<\/td>\n<\/tr>\n |
| Fonte de alimenta\u00e7\u00e3o<\/td>\n | 40 kW, 8-12 kHz<\/td>\n<\/tr>\n |
| N\u00edvel de v\u00e1cuo<\/td>\n | 5 \u00d7 10-\u2074 Pa<\/td>\n<\/tr>\n |
| Gama de press\u00e3o<\/td>\n | 1-700 mbar<\/td>\n<\/tr>\n |
| Medi\u00e7\u00e3o da temperatura<\/td>\n | Infravermelhos de duas cores<\/td>\n<\/tr>\n |
| M\u00e9todo de carregamento<\/td>\n | Carregamento pelo fundo<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<\/div>\n<\/div>\nVantagens da conce\u00e7\u00e3o<\/span><\/h2>\nCompat\u00edvel com crescimento de cristais de SiC semi-isolantes e condutores<\/p>\n<\/li>\n O sistema de rota\u00e7\u00e3o do cadinho melhora a uniformidade da temperatura<\/p>\n<\/li>\n A eleva\u00e7\u00e3o ajust\u00e1vel da bobina de indu\u00e7\u00e3o reduz as perturba\u00e7\u00f5es t\u00e9rmicas<\/p>\n<\/li>\n A c\u00e2mara de quartzo arrefecida a \u00e1gua de camada dupla aumenta a vida \u00fatil do equipamento<\/p>\n<\/li>\n Monitoriza\u00e7\u00e3o da temperatura de ponto duplo em tempo real<\/p>\n<\/li>\n M\u00faltiplos modos de controlo: pot\u00eancia constante \/ corrente \/ temperatura<\/p>\n<\/li>\n Arranque inteligente com um clique para um funcionamento autom\u00e1tico<\/p>\n<\/li>\n Estrutura compacta para uma disposi\u00e7\u00e3o eficiente da f\u00e1brica<\/p>\n<\/li>\n Controlo de press\u00e3o de alta precis\u00e3o (at\u00e9 \u00b11 Pa)<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n Desempenho e aplica\u00e7\u00f5es<\/span><\/h2>\nMOSFETs de SiC<\/p>\n<\/li>\n D\u00edodos Schottky<\/p>\n<\/li>\n Dispositivos RF<\/p>\n<\/li>\n Ve\u00edculos el\u00e9ctricos (m\u00f3dulos de pot\u00eancia EV)<\/p>\n<\/li>\n Inversores solares<\/p>\n<\/li>\n Sistemas de comunica\u00e7\u00e3o 5G<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n Com um controlo t\u00e9rmico est\u00e1vel e condi\u00e7\u00f5es de crescimento optimizadas, o sistema garante um elevado rendimento, consist\u00eancia e escalabilidade para a produ\u00e7\u00e3o industrial.<\/p>\n
As nossas capacidades (ZMSH)<\/span><\/h2>\n
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