{"id":2400,"date":"2026-04-24T06:21:19","date_gmt":"2026-04-24T06:21:19","guid":{"rendered":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/?post_type=product&#038;p=2400"},"modified":"2026-04-24T06:21:22","modified_gmt":"2026-04-24T06:21:22","slug":"precision-silicon-ring-single-crystal-polycrystalline-for-semiconductor-plasma-etching","status":"publish","type":"product","link":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/pl\/product\/precision-silicon-ring-single-crystal-polycrystalline-for-semiconductor-plasma-etching\/","title":{"rendered":"Precyzyjny pier\u015bcie\u0144 krzemowy (monokrystaliczny \/ polikrystaliczny) do wytrawiania plazmowego p\u00f3\u0142przewodnik\u00f3w"},"content":{"rendered":"<p data-start=\"228\" data-end=\"558\">\u00a0\u00a0<img fetchpriority=\"high\" decoding=\"async\" class=\"alignright wp-image-2404 size-medium\" src=\"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/Precision-Silicon-Ring-Single-Crystal-Polycrystalline-for-Semiconductor-Plasma-Etching-1-300x300.png\" alt=\"Precyzyjny pier\u015bcie\u0144 krzemowy (monokrystaliczny \/ polikrystaliczny) do wytrawiania plazmowego p\u00f3\u0142przewodnik\u00f3w\" width=\"300\" height=\"300\" srcset=\"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/Precision-Silicon-Ring-Single-Crystal-Polycrystalline-for-Semiconductor-Plasma-Etching-1-300x300.png 300w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/Precision-Silicon-Ring-Single-Crystal-Polycrystalline-for-Semiconductor-Plasma-Etching-1-150x150.png 150w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/Precision-Silicon-Ring-Single-Crystal-Polycrystalline-for-Semiconductor-Plasma-Etching-1-768x768.png 768w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/Precision-Silicon-Ring-Single-Crystal-Polycrystalline-for-Semiconductor-Plasma-Etching-1-12x12.png 12w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/Precision-Silicon-Ring-Single-Crystal-Polycrystalline-for-Semiconductor-Plasma-Etching-1-600x600.png 600w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/Precision-Silicon-Ring-Single-Crystal-Polycrystalline-for-Semiconductor-Plasma-Etching-1-100x100.png 100w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/Precision-Silicon-Ring-Single-Crystal-Polycrystalline-for-Semiconductor-Plasma-Etching-1.png 1000w\" sizes=\"(max-width: 300px) 100vw, 300px\" \/>Pier\u015bcie\u0144 krzemowy (Si Ring) jest szeroko stosowanym elementem w urz\u0105dzeniach do przetwarzania plazmy p\u00f3\u0142przewodnikowej, s\u0142u\u017c\u0105cym jako pier\u015bcie\u0144 ogniskuj\u0105cy, pier\u015bcie\u0144 kraw\u0119dziowy lub wyk\u0142adzina komory. Odgrywa kluczow\u0105 rol\u0119 w kontrolowaniu dystrybucji plazmy, poprawie jednorodno\u015bci trawienia i ochronie krytycznych element\u00f3w komory przed bezpo\u015brednim dzia\u0142aniem wysokoenergetycznej plazmy.<\/p>\n<p data-start=\"560\" data-end=\"882\">Wykonane z wysokiej czysto\u015bci krzemu monokrystalicznego lub polikrystalicznego, pier\u015bcienie Si oferuj\u0105 doskona\u0142\u0105 kompatybilno\u015b\u0107 z procesami wafli krzemowych. Ta wewn\u0119trzna kompatybilno\u015b\u0107 materia\u0142owa znacznie zmniejsza ryzyko zanieczyszczenia, dzi\u0119ki czemu pier\u015bcienie krzemowe s\u0105 preferowanym wyborem w wielu \u015brodowiskach produkcji p\u00f3\u0142przewodnik\u00f3w.<\/p>\n<p data-start=\"884\" data-end=\"1239\">Podczas pracy pier\u015bcienie krzemowe s\u0105 nara\u017cone na dzia\u0142anie reaktywnej plazmy generowanej przez gazy takie jak CF\u2084, SF\u2086, NF\u2083 i Cl\u2082. Warunki te stopniowo powoduj\u0105 erozj\u0119 materia\u0142u i degradacj\u0119 powierzchni. W rezultacie pier\u015bcienie krzemowe s\u0105 klasyfikowane jako krytyczne p\u00f3\u0142przewodnikowe materia\u0142y eksploatacyjne, wymagaj\u0105ce okresowej wymiany w celu utrzymania optymalnej wydajno\u015bci procesu i wydajno\u015bci.<\/p>\n<p data-start=\"1241\" data-end=\"1430\">W por\u00f3wnaniu do pier\u015bcieni SiC, pier\u015bcienie krzemowe s\u0105 bardziej op\u0142acalne i \u0142atwiejsze w obr\u00f3bce, co czyni je idealnymi do zastosowa\u0144, w kt\u00f3rych cykle wymiany s\u0105 akceptowalne, a kontrola koszt\u00f3w jest wa\u017cna.<\/p>\n<hr data-start=\"1432\" data-end=\"1435\" \/>\n<h2 data-section-id=\"1wht24f\" data-start=\"1437\" data-end=\"1457\">Kluczowe cechy<\/h2>\n<ul data-start=\"1458\" data-end=\"2054\">\n<li data-section-id=\"1wvx41j\" data-start=\"1458\" data-end=\"1549\">Materia\u0142 krzemowy o wysokiej czysto\u015bci: Dost\u0119pny w postaci monokryszta\u0142u i polikryszta\u0142u.<\/li>\n<li data-section-id=\"16rlosp\" data-start=\"1550\" data-end=\"1653\">Doskona\u0142a kompatybilno\u015b\u0107 procesowa: Idealny do przetwarzania p\u0142ytek krzemowych przy niskim ryzyku zanieczyszczenia<\/li>\n<li data-section-id=\"h5tu82\" data-start=\"1654\" data-end=\"1727\">Stabilne w\u0142a\u015bciwo\u015bci elektryczne: Zapewnia sp\u00f3jne zachowanie plazmy<\/li>\n<li data-section-id=\"qwtj7n\" data-start=\"1728\" data-end=\"1814\">Obr\u00f3bka precyzyjna: \u015acis\u0142a tolerancja (&lt;10 \u03bcm) dla zaawansowanych narz\u0119dzi p\u00f3\u0142przewodnikowych<\/li>\n<li data-section-id=\"cd4ksl\" data-start=\"1815\" data-end=\"1903\">Wiele opcji rezystywno\u015bci: Odpowiednie dla r\u00f3\u017cnych wymaga\u0144 kontroli plazmy<\/li>\n<li data-section-id=\"vfz8a3\" data-start=\"1904\" data-end=\"1984\">Ekonomiczne rozwi\u0105zanie: Ni\u017cszy koszt pocz\u0105tkowy w por\u00f3wnaniu z alternatywnymi rozwi\u0105zaniami SiC<\/li>\n<li data-section-id=\"1q6rj8k\" data-start=\"1985\" data-end=\"2054\">Niestandardowe wsparcie projektowe: Dost\u0119pne s\u0105 z\u0142o\u017cone geometrie i rozmiary<\/li>\n<\/ul>\n<hr data-start=\"2056\" data-end=\"2059\" \/>\n<h2 data-section-id=\"1vgwxle\" data-start=\"2061\" data-end=\"2093\">Specyfikacja techniczna<\/h2>\n<div class=\"TyagGW_tableContainer\">\n<div class=\"group TyagGW_tableWrapper flex flex-col-reverse w-fit\" tabindex=\"-1\">\n<table class=\"w-fit min-w-(--thread-content-width)\" data-start=\"2095\" data-end=\"2793\">\n<thead data-start=\"2095\" data-end=\"2124\">\n<tr data-start=\"2095\" data-end=\"2124\">\n<th class=\"\" data-start=\"2095\" data-end=\"2107\" data-col-size=\"sm\">Parametr<\/th>\n<th class=\"\" data-start=\"2107\" data-end=\"2124\" data-col-size=\"md\">Specyfikacja<\/th>\n<\/tr>\n<\/thead>\n<tbody data-start=\"2152\" data-end=\"2793\">\n<tr data-start=\"2152\" data-end=\"2215\">\n<td data-start=\"2152\" data-end=\"2163\" data-col-size=\"sm\">Materia\u0142<\/td>\n<td data-col-size=\"md\" data-start=\"2163\" data-end=\"2215\">Krzem monokrystaliczny \/ krzem polikrystaliczny<\/td>\n<\/tr>\n<tr data-start=\"2216\" data-end=\"2263\">\n<td data-start=\"2216\" data-end=\"2225\" data-col-size=\"sm\">Czysto\u015b\u0107<\/td>\n<td data-col-size=\"md\" data-start=\"2225\" data-end=\"2263\">\u2265 99,999% (klasa p\u00f3\u0142przewodnikowa 5N)<\/td>\n<\/tr>\n<tr data-start=\"2264\" data-end=\"2297\">\n<td data-start=\"2264\" data-end=\"2281\" data-col-size=\"sm\">\u015arednica (maks.)<\/td>\n<td data-col-size=\"md\" data-start=\"2281\" data-end=\"2297\">Do 480 mm<\/td>\n<\/tr>\n<tr data-start=\"2298\" data-end=\"2340\">\n<td data-start=\"2298\" data-end=\"2310\" data-col-size=\"sm\">Grubo\u015b\u0107<\/td>\n<td data-col-size=\"md\" data-start=\"2310\" data-end=\"2340\">Niestandardowe (zazwyczaj 5-30 mm)<\/td>\n<\/tr>\n<tr data-start=\"2341\" data-end=\"2376\">\n<td data-start=\"2341\" data-end=\"2361\" data-col-size=\"sm\">Rezystywno\u015b\u0107 (niska)<\/td>\n<td data-col-size=\"md\" data-start=\"2361\" data-end=\"2376\">&lt; 0,02 \u03a9-cm<\/td>\n<\/tr>\n<tr data-start=\"2377\" data-end=\"2414\">\n<td data-start=\"2377\" data-end=\"2400\" data-col-size=\"sm\">Rezystywno\u015b\u0107 (\u015brednia)<\/td>\n<td data-col-size=\"md\" data-start=\"2400\" data-end=\"2414\">1 - 4 \u03a9-cm<\/td>\n<\/tr>\n<tr data-start=\"2415\" data-end=\"2452\">\n<td data-start=\"2415\" data-end=\"2436\" data-col-size=\"sm\">Rezystywno\u015b\u0107 (wysoka)<\/td>\n<td data-col-size=\"md\" data-start=\"2436\" data-end=\"2452\">70 - 90 \u03a9-cm<\/td>\n<\/tr>\n<tr data-start=\"2453\" data-end=\"2492\">\n<td data-start=\"2453\" data-end=\"2484\" data-col-size=\"sm\">Jednorodno\u015b\u0107 rezystywno\u015bci (RRG)<\/td>\n<td data-col-size=\"md\" data-start=\"2484\" data-end=\"2492\">&lt; 5%<\/td>\n<\/tr>\n<tr data-start=\"2493\" data-end=\"2543\">\n<td data-start=\"2493\" data-end=\"2513\" data-col-size=\"sm\">Stan powierzchni<\/td>\n<td data-col-size=\"md\" data-start=\"2513\" data-end=\"2543\">Polerowane \/ docierane \/ szlifowane<\/td>\n<\/tr>\n<tr data-start=\"2544\" data-end=\"2605\">\n<td data-start=\"2544\" data-end=\"2569\" data-col-size=\"sm\">Chropowato\u015b\u0107 powierzchni (Ra)<\/td>\n<td data-col-size=\"md\" data-start=\"2569\" data-end=\"2605\">\u2264 0,8 \u03bcm (polerowane mog\u0105 by\u0107 ni\u017csze)<\/td>\n<\/tr>\n<tr data-start=\"2606\" data-end=\"2639\">\n<td data-start=\"2606\" data-end=\"2628\" data-col-size=\"sm\">Precyzja obr\u00f3bki<\/td>\n<td data-col-size=\"md\" data-start=\"2628\" data-end=\"2639\">&lt; 10 \u03bcm<\/td>\n<\/tr>\n<tr data-start=\"2640\" data-end=\"2682\">\n<td data-start=\"2640\" data-end=\"2651\" data-col-size=\"sm\">P\u0142asko\u015b\u0107<\/td>\n<td data-col-size=\"md\" data-start=\"2651\" data-end=\"2682\">\u2264 30 \u03bcm (w zale\u017cno\u015bci od rozmiaru)<\/td>\n<\/tr>\n<tr data-start=\"2683\" data-end=\"2728\">\n<td data-start=\"2683\" data-end=\"2695\" data-col-size=\"sm\">Typ kraw\u0119dzi<\/td>\n<td data-col-size=\"md\" data-start=\"2695\" data-end=\"2728\">Mo\u017cliwo\u015b\u0107 dostosowania fazy \/ promienia<\/td>\n<\/tr>\n<tr data-start=\"2729\" data-end=\"2793\">\n<td data-start=\"2729\" data-end=\"2747\" data-col-size=\"sm\">Kontrola jako\u015bci<\/td>\n<td data-col-size=\"md\" data-start=\"2747\" data-end=\"2793\">Brak p\u0119kni\u0119\u0107, odprysk\u00f3w, zadrapa\u0144, zanieczyszcze\u0144<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<\/div>\n<\/div>\n<hr data-start=\"2795\" data-end=\"2798\" \/>\n<h2 data-section-id=\"1gggyhy\" data-start=\"2800\" data-end=\"2820\">Zastosowania<\/h2>\n<p data-start=\"2821\" data-end=\"2903\">Pier\u015bcienie krzemowe s\u0105 niezb\u0119dne w r\u00f3\u017cnych \u015brodowiskach przetwarzania p\u00f3\u0142przewodnik\u00f3w:<\/p>\n<ul data-start=\"2905\" data-end=\"3108\">\n<li data-section-id=\"qzqq98\" data-start=\"2905\" data-end=\"2943\">Systemy trawienia plazmowego (ICP \/ RIE)<\/li>\n<li data-section-id=\"1iourx1\" data-start=\"2944\" data-end=\"2987\">Chemiczne osadzanie z fazy gazowej (CVD \/ PECVD)<\/li>\n<li data-section-id=\"1hekjdg\" data-start=\"2988\" data-end=\"3025\">Pier\u015bcie\u0144 ostro\u015bci \/ elementy pier\u015bcienia kraw\u0119dziowego<\/li>\n<li data-section-id=\"y1zl6l\" data-start=\"3026\" data-end=\"3065\">Ochrona komory i cz\u0119\u015bci wyk\u0142adziny<\/li>\n<li data-section-id=\"83pt8g\" data-start=\"3066\" data-end=\"3108\">Aplikacje do kontroli plazmy na kraw\u0119dzi wafla<\/li>\n<\/ul>\n<p data-start=\"3110\" data-end=\"3235\">S\u0105 one szeroko stosowane zar\u00f3wno w dojrza\u0142ych, jak i po\u015brednich w\u0119z\u0142ach procesowych, gdzie wymagana jest efektywno\u015b\u0107 kosztowa i stabilna wydajno\u015b\u0107.<\/p>\n<p data-start=\"3110\" data-end=\"3235\"><img decoding=\"async\" class=\"aligncenter wp-image-2406 size-large\" src=\"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/nqhpoIZB7ZFQ0FgmKSApdpD5LVDKRh2mgeWJ0h_n8YC-oFDqn-Z2JB5pyoBfyG-_oDLzw_pC2C1A3AoLJoKcLErEuU3bYIhN8vq8CwcolHLoXu8EmdfU22zT2CiuFBN0qxhzObBOZwWh-dASuFxcJnit1n-yH8VsKHv8U2e2dzbKmApkzAOkXyVy8SRUL7r0-1024x681.jpg\" alt=\"Precyzyjny pier\u015bcie\u0144 krzemowy (monokrystaliczny \/ polikrystaliczny) do wytrawiania plazmowego p\u00f3\u0142przewodnik\u00f3w\" width=\"1024\" height=\"681\" srcset=\"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/nqhpoIZB7ZFQ0FgmKSApdpD5LVDKRh2mgeWJ0h_n8YC-oFDqn-Z2JB5pyoBfyG-_oDLzw_pC2C1A3AoLJoKcLErEuU3bYIhN8vq8CwcolHLoXu8EmdfU22zT2CiuFBN0qxhzObBOZwWh-dASuFxcJnit1n-yH8VsKHv8U2e2dzbKmApkzAOkXyVy8SRUL7r0-1024x681.jpg 1024w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/nqhpoIZB7ZFQ0FgmKSApdpD5LVDKRh2mgeWJ0h_n8YC-oFDqn-Z2JB5pyoBfyG-_oDLzw_pC2C1A3AoLJoKcLErEuU3bYIhN8vq8CwcolHLoXu8EmdfU22zT2CiuFBN0qxhzObBOZwWh-dASuFxcJnit1n-yH8VsKHv8U2e2dzbKmApkzAOkXyVy8SRUL7r0-300x199.jpg 300w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/nqhpoIZB7ZFQ0FgmKSApdpD5LVDKRh2mgeWJ0h_n8YC-oFDqn-Z2JB5pyoBfyG-_oDLzw_pC2C1A3AoLJoKcLErEuU3bYIhN8vq8CwcolHLoXu8EmdfU22zT2CiuFBN0qxhzObBOZwWh-dASuFxcJnit1n-yH8VsKHv8U2e2dzbKmApkzAOkXyVy8SRUL7r0-768x510.jpg 768w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/nqhpoIZB7ZFQ0FgmKSApdpD5LVDKRh2mgeWJ0h_n8YC-oFDqn-Z2JB5pyoBfyG-_oDLzw_pC2C1A3AoLJoKcLErEuU3bYIhN8vq8CwcolHLoXu8EmdfU22zT2CiuFBN0qxhzObBOZwWh-dASuFxcJnit1n-yH8VsKHv8U2e2dzbKmApkzAOkXyVy8SRUL7r0-1536x1021.jpg 1536w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/nqhpoIZB7ZFQ0FgmKSApdpD5LVDKRh2mgeWJ0h_n8YC-oFDqn-Z2JB5pyoBfyG-_oDLzw_pC2C1A3AoLJoKcLErEuU3bYIhN8vq8CwcolHLoXu8EmdfU22zT2CiuFBN0qxhzObBOZwWh-dASuFxcJnit1n-yH8VsKHv8U2e2dzbKmApkzAOkXyVy8SRUL7r0-18x12.jpg 18w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/nqhpoIZB7ZFQ0FgmKSApdpD5LVDKRh2mgeWJ0h_n8YC-oFDqn-Z2JB5pyoBfyG-_oDLzw_pC2C1A3AoLJoKcLErEuU3bYIhN8vq8CwcolHLoXu8EmdfU22zT2CiuFBN0qxhzObBOZwWh-dASuFxcJnit1n-yH8VsKHv8U2e2dzbKmApkzAOkXyVy8SRUL7r0-600x399.jpg 600w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/nqhpoIZB7ZFQ0FgmKSApdpD5LVDKRh2mgeWJ0h_n8YC-oFDqn-Z2JB5pyoBfyG-_oDLzw_pC2C1A3AoLJoKcLErEuU3bYIhN8vq8CwcolHLoXu8EmdfU22zT2CiuFBN0qxhzObBOZwWh-dASuFxcJnit1n-yH8VsKHv8U2e2dzbKmApkzAOkXyVy8SRUL7r0.jpg 2048w\" sizes=\"(max-width: 1024px) 100vw, 1024px\" \/><\/p>\n<hr data-start=\"3237\" data-end=\"3240\" \/>\n<h2 data-section-id=\"1misgzs\" data-start=\"3242\" data-end=\"3274\">Zalety i pozycjonowanie<\/h2>\n<p data-start=\"3275\" data-end=\"3371\">Pier\u015bcienie krzemowe zapewniaj\u0105 zr\u00f3wnowa\u017cone rozwi\u0105zanie mi\u0119dzy wydajno\u015bci\u0105 a kosztami. W por\u00f3wnaniu z pier\u015bcieniami SiC:<\/p>\n<ul data-start=\"3373\" data-end=\"3681\">\n<li data-section-id=\"qgkkrh\" data-start=\"3373\" data-end=\"3449\">Ni\u017cszy koszt: idealne rozwi\u0105zanie w przypadku scenariuszy o ograniczonym bud\u017cecie lub wymagaj\u0105cych cz\u0119stej wymiany<\/li>\n<li data-section-id=\"fe5ihf\" data-start=\"3450\" data-end=\"3533\">Dobra kompatybilno\u015b\u0107 z procesami: Szczeg\u00f3lnie nadaje si\u0119 do proces\u00f3w opartych na krzemie<\/li>\n<li data-section-id=\"1wgvfgt\" data-start=\"3534\" data-end=\"3604\">Elastyczna produkcja: \u0141atwiejsza obr\u00f3bka skomplikowanych projekt\u00f3w<\/li>\n<li data-section-id=\"1855g4l\" data-start=\"3605\" data-end=\"3681\">Niezawodna wydajno\u015b\u0107: Sprawdzone w produkcji p\u00f3\u0142przewodnik\u00f3w na du\u017c\u0105 skal\u0119<\/li>\n<\/ul>\n<p data-start=\"3683\" data-end=\"3894\">Jednak w ekstremalnie trudnych warunkach plazmowych pier\u015bcienie krzemowe mog\u0105 zu\u017cywa\u0107 si\u0119 szybciej ni\u017c pier\u015bcienie SiC. Dlatego wyb\u00f3r materia\u0142u powinien opiera\u0107 si\u0119 na intensywno\u015bci procesu, oczekiwaniach dotycz\u0105cych \u017cywotno\u015bci i kosztach.<\/p>\n<p data-start=\"3683\" data-end=\"3894\"><img decoding=\"async\" class=\"wp-image-2383 size-large aligncenter\" src=\"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/\u5fae\u4fe1\u56fe\u7247_20260423181006_366_381-1024x486.png\" alt=\"\" width=\"1024\" height=\"486\" srcset=\"\" sizes=\"(max-width: 1024px) 100vw, 1024px\" data-srcset=\"\" \/><\/p>\n<hr data-start=\"3896\" data-end=\"3899\" \/>\n<h2 data-section-id=\"cpu4ih\" data-start=\"3901\" data-end=\"3912\">FAQ<\/h2>\n<p data-start=\"3914\" data-end=\"4070\">P1: Czy pier\u015bcie\u0144 silikonowy jest produktem eksploatacyjnym?<br data-start=\"3963\" data-end=\"3966\" \/>Tak. Jest uwa\u017cany za krytyczny materia\u0142 eksploatacyjny p\u00f3\u0142przewodnika ze wzgl\u0119du na stopniow\u0105 erozj\u0119 w \u015brodowisku plazmy.<\/p>\n<p data-start=\"4072\" data-end=\"4291\">P2: Jaka jest r\u00f3\u017cnica mi\u0119dzy monokrystalicznymi i polikrystalicznymi pier\u015bcieniami krzemowymi?<br data-start=\"4160\" data-end=\"4163\" \/>Krzem monokrystaliczny oferuje lepsz\u0105 jednorodno\u015b\u0107 i w\u0142a\u015bciwo\u015bci elektryczne, podczas gdy krzem polikrystaliczny jest bardziej op\u0142acalny.<\/p>\n<p data-start=\"4293\" data-end=\"4452\">P3: Czy silikonowy pier\u015bcie\u0144 mo\u017cna dostosowa\u0107?<br data-start=\"4336\" data-end=\"4339\" \/>Tak. Rozmiar, grubo\u015b\u0107, rezystywno\u015b\u0107, wyko\u0144czenie powierzchni i geometria mog\u0105 by\u0107 dostosowane zgodnie z rysunkami.<\/p>\n<p data-start=\"4454\" data-end=\"4622\">P4: Jak cz\u0119sto nale\u017cy wymienia\u0107 pier\u015bcie\u0144 silikonowy?<br data-start=\"4509\" data-end=\"4512\" \/>Zale\u017cy to od warunk\u00f3w procesu, ale zwykle cz\u0119\u015bciej ni\u017c pier\u015bcienie SiC ze wzgl\u0119du na ni\u017csz\u0105 odporno\u015b\u0107 na plazm\u0119.<\/p>\n<p data-start=\"4624\" data-end=\"4743\">P5: Jaki jest typowy czas realizacji zam\u00f3wienia?<br data-start=\"4662\" data-end=\"4665\" \/>Produkcja trwa zazwyczaj 3-5 tygodni w zale\u017cno\u015bci od specyfikacji i ilo\u015bci.<\/p>","protected":false},"excerpt":{"rendered":"<p>Pier\u015bcie\u0144 krzemowy (Si Ring) jest szeroko stosowanym elementem w urz\u0105dzeniach do przetwarzania plazmy p\u00f3\u0142przewodnikowej, s\u0142u\u017c\u0105cym jako pier\u015bcie\u0144 ogniskuj\u0105cy, pier\u015bcie\u0144 kraw\u0119dziowy lub wyk\u0142adzina komory. Odgrywa kluczow\u0105 rol\u0119 w kontrolowaniu dystrybucji plazmy, poprawie jednorodno\u015bci trawienia i ochronie krytycznych element\u00f3w komory przed bezpo\u015brednim dzia\u0142aniem wysokoenergetycznej plazmy.<\/p>","protected":false},"featured_media":2404,"comment_status":"open","ping_status":"closed","template":"","meta":{"site-sidebar-layout":"default","site-content-layout":"","ast-site-content-layout":"default","site-content-style":"default","site-sidebar-style":"default","ast-global-header-display":"","ast-banner-title-visibility":"","ast-main-header-display":"","ast-hfb-above-header-display":"","ast-hfb-below-header-display":"","ast-hfb-mobile-header-display":"","site-post-title":"","ast-breadcrumbs-content":"","ast-featured-img":"","footer-sml-layout":"","ast-disable-related-posts":"","theme-transparent-header-meta":"default","adv-header-id-meta":"","stick-header-meta":"default","header-above-stick-meta":"","header-main-stick-meta":"","header-below-stick-meta":"","astra-migrate-meta-layouts":"set","ast-page-background-enabled":"default","ast-page-background-meta":{"desktop":{"background-color":"var(--ast-global-color-4)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"tablet":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"mobile":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""}},"ast-content-background-meta":{"desktop":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"tablet":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"mobile":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""}}},"product_brand":[],"product_cat":[1212],"product_tag":[1251,1250,1246,1237,1254,1218,1232,1249,1252,1248,1255,1253,1256],"class_list":{"0":"post-2400","1":"product","2":"type-product","3":"status-publish","4":"has-post-thumbnail","6":"product_cat-semiconductor-consumables","7":"product_tag-edge-ring-semiconductor","8":"product_tag-focus-ring-silicon","9":"product_tag-icp-rie-ring","10":"product_tag-plasma-etching-ring","11":"product_tag-polycrystalline-silicon-ring","12":"product_tag-semiconductor-consumables","13":"product_tag-semiconductor-equipment-parts","14":"product_tag-si-ring-semiconductor","15":"product_tag-silicon-chamber-parts","16":"product_tag-silicon-ring","17":"product_tag-silicon-wear-parts","18":"product_tag-single-crystal-silicon-ring","19":"product_tag-wafer-processing-components","20":"desktop-align-left","21":"tablet-align-left","22":"mobile-align-left","23":"ast-product-gallery-layout-horizontal-slider","24":"ast-product-tabs-layout-horizontal","26":"first","27":"instock","28":"shipping-taxable","29":"product-type-simple"},"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/pl\/wp-json\/wp\/v2\/product\/2400","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/pl\/wp-json\/wp\/v2\/product"}],"about":[{"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/pl\/wp-json\/wp\/v2\/types\/product"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/pl\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=2400"}],"version-history":[{"count":2,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/pl\/wp-json\/wp\/v2\/product\/2400\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":2408,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/pl\/wp-json\/wp\/v2\/product\/2400\/revisions\/2408"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/pl\/wp-json\/wp\/v2\/media\/2404"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/pl\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=2400"}],"wp:term":[{"taxonomy":"product_brand","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/pl\/wp-json\/wp\/v2\/product_brand?post=2400"},{"taxonomy":"product_cat","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/pl\/wp-json\/wp\/v2\/product_cat?post=2400"},{"taxonomy":"product_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/pl\/wp-json\/wp\/v2\/product_tag?post=2400"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}