{"id":2555,"date":"2026-06-16T01:21:44","date_gmt":"2026-06-16T01:21:44","guid":{"rendered":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/?p=2555"},"modified":"2026-06-16T01:21:50","modified_gmt":"2026-06-16T01:21:50","slug":"what-are-wafer-ttv-bow-and-warp","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/pl\/what-are-wafer-ttv-bow-and-warp\/","title":{"rendered":"Czym s\u0105 parametry TTV, wygi\u0119cie i wypaczenie p\u0142ytek? Praktyczny przewodnik po p\u0142asko\u015bci p\u0142ytek"},"content":{"rendered":"<p>W <a href=\"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/pl\/produkty\/\"><mark style=\"background-color:rgba(0, 0, 0, 0);color:#cf2e2e\" class=\"has-inline-color\">produkcja p\u00f3\u0142przewodnik\u00f3w<\/mark><\/a>, jako\u015b\u0107 p\u0142ytki to co\u015b znacznie wi\u0119cej ni\u017c tylko czysto\u015b\u0107 materia\u0142u. Nawet idealnie wyhodowana p\u0142ytka krzemowa, szafirowa, kwarcowa lub z w\u0119glika krzemu mo\u017ce powodowa\u0107 problemy produkcyjne, je\u015bli jej geometria nie jest odpowiednio kontrolowana.<\/p>\n\n\n\n<p>Do najwa\u017cniejszych parametr\u00f3w geometrycznych p\u0142ytek nale\u017c\u0105 TTV (ca\u0142kowita zmienno\u015b\u0107 grubo\u015bci), wygi\u0119cie oraz skrzywienie. Pomiary te pomagaj\u0105 in\u017cynierom oceni\u0107 r\u00f3wnomierno\u015b\u0107 grubo\u015bci i p\u0142asko\u015b\u0107 p\u0142ytek przed ich wprowadzeniem do kluczowych proces\u00f3w, takich jak litografia, \u0142\u0105czenie, cienienie i pakowanie.<\/p>\n\n\n\n<p>W niniejszym artykule wyja\u015bniono, co oznaczaj\u0105 te parametry, dlaczego s\u0105 one istotne oraz w jaki spos\u00f3b si\u0119 je mierzy.<\/p>\n\n\n\n<figure class=\"wp-block-image size-large\"><img fetchpriority=\"high\" decoding=\"async\" width=\"1024\" height=\"683\" src=\"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/06\/What-Are-Wafer-TTV-Bow-and-Warp-1024x683.png\" alt=\"\" class=\"wp-image-2556\" srcset=\"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/06\/What-Are-Wafer-TTV-Bow-and-Warp-1024x683.png 1024w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/06\/What-Are-Wafer-TTV-Bow-and-Warp-300x200.png 300w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/06\/What-Are-Wafer-TTV-Bow-and-Warp-768x512.png 768w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/06\/What-Are-Wafer-TTV-Bow-and-Warp-18x12.png 18w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/06\/What-Are-Wafer-TTV-Bow-and-Warp-600x400.png 600w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/06\/What-Are-Wafer-TTV-Bow-and-Warp.png 1536w\" sizes=\"(max-width: 1024px) 100vw, 1024px\" \/><\/figure>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">Dlaczego p\u0142asko\u015b\u0107 p\u0142ytki ma znaczenie<\/h2>\n\n\n\n<p>Nowoczesne urz\u0105dzenia p\u00f3\u0142przewodnikowe s\u0105 produkowane z zachowaniem niezwykle w\u0105skich tolerancji. Nawet niewielkie odchylenia w grubo\u015bci lub p\u0142asko\u015bci p\u0142ytki mog\u0105 wp\u0142ywa\u0107 na:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>Dok\u0142adno\u015b\u0107 ustawiania ostro\u015bci w fotolitografii<\/li>\n\n\n\n<li>Jako\u015b\u0107 \u0142\u0105czenia p\u0142ytek<\/li>\n\n\n\n<li>R\u00f3wnomierno\u015b\u0107 osadzania cienkich warstw<\/li>\n\n\n\n<li>Wydajno\u015b\u0107 procesu CMP (polerowanie chemiczno-mechaniczne)<\/li>\n\n\n\n<li>Wydajno\u015b\u0107 krojenia w kostk\u0119 i pakowania<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p>Wraz ze wzrostem \u015brednicy p\u0142ytek i coraz wi\u0119kszym stopniem z\u0142o\u017cono\u015bci struktur urz\u0105dze\u0144 coraz wi\u0119kszego znaczenia nabiera kontrola geometrii p\u0142ytek.<\/p>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">Czym jest TTV (ca\u0142kowita zmienno\u015b\u0107 grubo\u015bci)?<\/h2>\n\n\n\n<p>Wska\u017anik TTV (Total Thickness Variation) okre\u015bla, na ile grubo\u015b\u0107 p\u0142ytki jest jednolita na ca\u0142ej jej powierzchni.<\/p>\n\n\n\n<p>Definiuje si\u0119 j\u0105 jako r\u00f3\u017cnic\u0119 mi\u0119dzy maksymaln\u0105 a minimaln\u0105 grubo\u015bci\u0105 zmierzon\u0105 na p\u0142ytce.<\/p>\n\n\n\n<p><strong>Wz\u00f3r:<\/strong><\/p>\n\n\n\n<p>TTV = grubo\u015b\u0107 maksymalna \u2212 grubo\u015b\u0107 minimalna<\/p>\n\n\n\n<p>Na przyk\u0142ad, je\u015bli najgrubszy punkt na p\u0142ytce ma grubo\u015b\u0107 726 \u03bcm, a najcie\u0144szy \u2013 721 \u03bcm, w\u00f3wczas TTV wynosi 5 \u03bcm.<\/p>\n\n\n\n<p>Ni\u017csza warto\u015b\u0107 TTV zazwyczaj wskazuje na wi\u0119ksz\u0105 r\u00f3wnomierno\u015b\u0107 grubo\u015bci, co ma zasadnicze znaczenie dla precyzyjnej obr\u00f3bki p\u00f3\u0142przewodnik\u00f3w.<\/p>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">Dlaczego TTV jest wa\u017cne<\/h3>\n\n\n\n<p>Zbyt wysoki poziom TTV mo\u017ce prowadzi\u0107 do:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>B\u0142\u0119dy ogniskowania podczas litografii<\/li>\n\n\n\n<li>Nier\u00f3wne efekty polerowania<\/li>\n\n\n\n<li>Niska wydajno\u015b\u0107 \u0142\u0105czenia p\u0142ytek<\/li>\n\n\n\n<li>Zwi\u0119kszona zmienno\u015b\u0107 procesu<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p>W przypadku wysokiej klasy p\u0142ytek p\u00f3\u0142przewodnikowych cz\u0119sto wymagane s\u0105 warto\u015bci TTV wynosz\u0105ce zaledwie kilka mikron\u00f3w lub mniej.<\/p>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">Czym jest wygi\u0119cie p\u0142ytki?<\/h2>\n\n\n\n<p>\u0141uk okre\u015bla og\u00f3ln\u0105 krzywizn\u0119 p\u0142ytki wzgl\u0119dem p\u0142aszczyzny odniesienia.<\/p>\n\n\n\n<p>Wyobra\u017a sobie, \u017ce k\u0142adziesz p\u0142ytk\u0119 na p\u0142askiej powierzchni. Je\u015bli \u015brodek p\u0142ytki wystaje ponad p\u0142aszczyzn\u0119 odniesienia lub zag\u0142\u0119bia si\u0119 poni\u017cej niej, oznacza to, \u017ce p\u0142ytka jest wygi\u0119ta.<\/p>\n\n\n\n<p>Wygi\u0119cie jest zazwyczaj spowodowane napr\u0119\u017ceniami wewn\u0119trznymi powstaj\u0105cymi podczas:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>Wzrost epitaksjalny<\/li>\n\n\n\n<li>Osadzanie cienkich warstw<\/li>\n\n\n\n<li>Obr\u00f3bka termiczna<\/li>\n\n\n\n<li>Cienienie p\u0142ytek<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p>Wygi\u0119cie dodatnie oznacza, \u017ce \u015brodek p\u0142ytki znajduje si\u0119 powy\u017cej p\u0142aszczyzny odniesienia, natomiast wygi\u0119cie ujemne oznacza, \u017ce znajduje si\u0119 poni\u017cej tej p\u0142aszczyzny.<\/p>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">Dlaczego \u0142uk ma znaczenie<\/h3>\n\n\n\n<p>\u0141uk mo\u017ce wp\u0142ywa\u0107 na:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>Obs\u0142uga p\u0142ytek<\/li>\n\n\n\n<li>Dok\u0142adno\u015b\u0107 wyr\u00f3wnania<\/li>\n\n\n\n<li>Procesy \u0142\u0105czenia<\/li>\n\n\n\n<li>Ocena napr\u0119\u017ce\u0144 w warstwach cienkowarstwowych<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p>W przypadku p\u0142ytek in\u017cynieryjnych i zaawansowanych pod\u0142o\u017cy wygi\u0119cie jest cz\u0119sto monitorowane na wszystkich etapach procesu produkcyjnego.<\/p>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">Czym jest wypaczenie p\u0142ytki?<\/h2>\n\n\n\n<p>Warp mierzy og\u00f3lne odkszta\u0142cenie swobodnie zawieszonej p\u0142ytki.<\/p>\n\n\n\n<p>W przeciwie\u0144stwie do poj\u0119cia \u201ewygi\u0119cia\u201d, kt\u00f3re odnosi si\u0119 g\u0142\u00f3wnie do jednolitej krzywizny, poj\u0119cie \u201ewypaczenia\u201d obejmuje zar\u00f3wno og\u00f3lne wygi\u0119cie, jak i lokalne zniekszta\u0142cenia powierzchni.<\/p>\n\n\n\n<p>W zwi\u0105zku z tym odkszta\u0142cenie zazwyczaj zapewnia bardziej realistyczne odwzorowanie rzeczywistego kszta\u0142tu p\u0142ytki.<\/p>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">Dlaczego Warp jest wa\u017cny<\/h3>\n\n\n\n<p>Wysokie warto\u015bci osnowy mog\u0105 powodowa\u0107:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>Problemy zwi\u0105zane z obs\u0142ug\u0105 sprz\u0119tu<\/li>\n\n\n\n<li>Problemy zwi\u0105zane z mocowaniem pr\u00f3\u017cniowym<\/li>\n\n\n\n<li>Obni\u017cona wydajno\u015b\u0107 wi\u0105zania<\/li>\n\n\n\n<li>Obawy dotycz\u0105ce niezawodno\u015bci opakowa\u0144<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p>Osnowa zyska\u0142a szczeg\u00f3lne znaczenie w zaawansowanych technologiach pakowania, w kt\u00f3rych \u0142\u0105czy si\u0119 wiele materia\u0142\u00f3w o r\u00f3\u017cnych wsp\u00f3\u0142czynnikach rozszerzalno\u015bci cieplnej.<\/p>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">\u0141uk a osnowa: jaka jest r\u00f3\u017cnica?<\/h2>\n\n\n\n<p>Chocia\u017c terminy te s\u0105 cz\u0119sto u\u017cywane razem, opisuj\u0105 one r\u00f3\u017cne aspekty geometrii p\u0142ytki.<\/p>\n\n\n\n<figure class=\"wp-block-table\"><table class=\"has-fixed-layout\"><tbody><tr><th>Parametr<\/th><th>\u0141uk<\/th><th>Osnowa<\/th><\/tr><tr><td>\u015arodki<\/td><td>Og\u00f3lna krzywizna<\/td><td>Ca\u0142kowite odkszta\u0142cenie<\/td><\/tr><tr><td>Zawiera zniekszta\u0142cenia lokalne<\/td><td>Nie<\/td><td>Tak<\/td><\/tr><tr><td>Warto\u015b\u0107 typowa<\/td><td>Mniejsze<\/td><td>Wi\u0119ksze<\/td><\/tr><tr><td>G\u0142\u00f3wne zastosowanie<\/td><td>Analiza napr\u0119\u017ce\u0144<\/td><td>Pakowanie i klejenie<\/td><\/tr><\/tbody><\/table><\/figure>\n\n\n\n<p>Prosty spos\u00f3b na zapami\u0119tanie tej r\u00f3\u017cnicy to:<\/p>\n\n\n\n<p><strong>Termin \u201eBow\u201d odnosi si\u0119 do krzywizny p\u0142ytki, natomiast termin \u201ewarp\u201d \u2013 do jej rzeczywistego kszta\u0142tu.<\/strong><\/p>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">Jak mierzy si\u0119 TTV, wygi\u0119cie i skrzywienie?<\/h2>\n\n\n\n<p>Wsp\u00f3\u0142czesna metrologia p\u0142ytek p\u00f3\u0142przewodnikowych opiera si\u0119 przede wszystkim na bezkontaktowych technikach pomiar\u00f3w optycznych.<\/p>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">Systemy skanowania laserowego<\/h3>\n\n\n\n<p>Systemy laserowe skanuj\u0105 obie powierzchnie p\u0142ytek i generuj\u0105 szczeg\u00f3\u0142owe mapy grubo\u015bci oraz p\u0142asko\u015bci.<\/p>\n\n\n\n<p>Systemy te mog\u0105 mierzy\u0107:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>Grubo\u015b\u0107<\/li>\n\n\n\n<li>TTV<\/li>\n\n\n\n<li>\u0141uk<\/li>\n\n\n\n<li>Osnowa<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p>Znajduj\u0105 szerokie zastosowanie w produkcji p\u0142ytek krzemowych, szafirowych, kwarcowych i z w\u0119glika krzemu (SiC).<\/p>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">Profilometry optyczne<\/h3>\n\n\n\n<p>Profilometry optyczne tworz\u0105 tr\u00f3jwymiarowe profile powierzchni z du\u017c\u0105 dok\u0142adno\u015bci\u0105.<\/p>\n\n\n\n<p>S\u0105 one powszechnie stosowane do:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>Analiza osnowy<\/li>\n\n\n\n<li>Pomiar topografii powierzchni<\/li>\n\n\n\n<li>Kontrola p\u0142asko\u015bci<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">Interferometry \u015bwiat\u0142a bia\u0142ego<\/h3>\n\n\n\n<p>W zastosowaniach wymagaj\u0105cych najwy\u017cszej precyzji interferometria \u015bwiat\u0142a bia\u0142ego mo\u017ce zapewni\u0107 rozdzielczo\u015b\u0107 pomiarow\u0105 rz\u0119du poni\u017cej mikrona, a nawet nanometra.<\/p>\n\n\n\n<p>Systemy te s\u0105 cz\u0119sto wykorzystywane w technologiach MEMS, fotonice oraz w zastosowaniach badawczych.<\/p>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">Typowe parametry geometryczne p\u0142ytek<\/h2>\n\n\n\n<p>Dopuszczalne warto\u015bci TTV, wygi\u0119cia i skrzywienia r\u00f3\u017cni\u0105 si\u0119 w zale\u017cno\u015bci od materia\u0142u p\u0142ytki i zastosowania.<\/p>\n\n\n\n<p>Do typowych przyk\u0142ad\u00f3w nale\u017c\u0105:<\/p>\n\n\n\n<figure class=\"wp-block-table\"><table class=\"has-fixed-layout\"><tbody><tr><td>Typ p\u0142ytki<\/td><td>Typowa warto\u015b\u0107 TTV<\/td><\/tr><tr><td>Wafel krzemowy<\/td><td>1\u20135 \u03bcm<\/td><\/tr><tr><td>P\u0142ytka szafirowa<\/td><td>3\u201310 \u03bcm<\/td><\/tr><tr><td>P\u0142ytka kwarcowa<\/td><td>5\u201320 \u03bcm<\/td><\/tr><tr><td>Wafel SiC<\/td><td>2\u201310 \u03bcm<\/td><\/tr><\/tbody><\/table><\/figure>\n\n\n\n<p>Rzeczywiste parametry techniczne zale\u017c\u0105 od \u015brednicy p\u0142ytki, jej grubo\u015bci oraz wymaga\u0144 dotycz\u0105cych przeznaczenia.<\/p>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">Wnioski<\/h2>\n\n\n\n<p>TTV, wygi\u0119cie i odchylenie s\u0105 podstawowymi parametrami s\u0142u\u017c\u0105cymi do oceny geometrii i p\u0142asko\u015bci p\u0142ytki.<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li><strong>TTV<\/strong> mierzy r\u00f3wnomierno\u015b\u0107 grubo\u015bci.<\/li>\n\n\n\n<li><strong>\u0141uk<\/strong> mierzy ca\u0142kowit\u0105 krzywizn\u0119 p\u0142ytki.<\/li>\n\n\n\n<li><strong>Osnowa<\/strong> mierzy ca\u0142kowite odkszta\u0142cenie p\u0142ytki.<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p>Wraz z post\u0119pem w dziedzinie produkcji p\u00f3\u0142przewodnik\u00f3w coraz \u015bci\u015blejsza kontrola tych parametr\u00f3w ma zasadnicze znaczenie dla osi\u0105gni\u0119cia wy\u017cszej wydajno\u015bci, lepszej wydajno\u015bci urz\u0105dze\u0144 oraz wi\u0119kszej stabilno\u015bci procesu.<\/p>\n\n\n\n<p>Niezale\u017cnie od tego, czy zajmujesz si\u0119 zaopatrzeniem <a href=\"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/pl\/kategoria-produktu\/wafer\/\"><mark style=\"background-color:rgba(0, 0, 0, 0);color:#cf2e2e\" class=\"has-inline-color\">p\u0142ytki krzemowe, p\u0142ytki szafirowe, p\u0142ytki kwarcowe lub pod\u0142o\u017ca z w\u0119glika krzemu<\/mark><\/a>, a zrozumienie parametr\u00f3w TTV, wygi\u0119cia i wypaczenia mo\u017ce pom\u00f3c w doborze odpowiednich parametr\u00f3w p\u0142ytki do danego zastosowania.<\/p>\n\n\n\n<p><\/p>","protected":false},"excerpt":{"rendered":"<p>In semiconductor manufacturing, wafer quality is about much more than material purity. Even a perfectly grown silicon, sapphire, quartz, or silicon carbide wafer can cause production issues if its geometry is not properly controlled. Among the most important wafer geometry parameters are TTV (Total Thickness Variation), Bow, and Warp. These measurements help engineers evaluate wafer [&hellip;]<\/p>\n","protected":false},"author":1,"featured_media":2556,"comment_status":"open","ping_status":"open","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"site-sidebar-layout":"default","site-content-layout":"","ast-site-content-layout":"default","site-content-style":"default","site-sidebar-style":"default","ast-global-header-display":"","ast-banner-title-visibility":"","ast-main-header-display":"","ast-hfb-above-header-display":"","ast-hfb-below-header-display":"","ast-hfb-mobile-header-display":"","site-post-title":"","ast-breadcrumbs-content":"","ast-featured-img":"","footer-sml-layout":"","ast-disable-related-posts":"","theme-transparent-header-meta":"","adv-header-id-meta":"","stick-header-meta":"","header-above-stick-meta":"","header-main-stick-meta":"","header-below-stick-meta":"","astra-migrate-meta-layouts":"set","ast-page-background-enabled":"default","ast-page-background-meta":{"desktop":{"background-color":"var(--ast-global-color-4)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"tablet":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"mobile":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""}},"ast-content-background-meta":{"desktop":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"tablet":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"mobile":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""}},"footnotes":""},"categories":[25],"tags":[44,1514,639,36,1509,637,1090,1518,372,1515,1516,1517,873,131],"class_list":["post-2555","post","type-post","status-publish","format-standard","has-post-thumbnail","hentry","category-technology-applications","tag-advanced-packaging","tag-quartz-wafer","tag-sapphire-wafer","tag-semiconductor-manufacturing","tag-semiconductor-wafer","tag-sic-wafer","tag-silicon-wafer","tag-wafer-bow","tag-wafer-flatness","tag-wafer-geometry","tag-wafer-measurement","tag-wafer-metrology","tag-wafer-ttv","tag-wafer-warp"],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/pl\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/2555","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/pl\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/pl\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/pl\/wp-json\/wp\/v2\/users\/1"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/pl\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=2555"}],"version-history":[{"count":1,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/pl\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/2555\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":2557,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/pl\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/2555\/revisions\/2557"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/pl\/wp-json\/wp\/v2\/media\/2556"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/pl\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=2555"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/pl\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=2555"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/pl\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=2555"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}