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タグ: SiC PVT growth furnace
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結晶成長炉
PVT、LelyおよびTSSG法による6インチおよび8インチ結晶用SiC単結晶成長炉
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結晶成長炉
6インチ、8インチ、12インチウェーハ製造用SiC単結晶抵抗加熱成長炉（PVT法）
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