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6-8インチシリコン＆SiCウェハ洗浄・再マウントループ付きクワッドポリッシング自動化ライン
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結晶成長炉
6/8/12インチLPCVD酸化炉 先端半導体製造用高均一性薄膜蒸着装置
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結晶成長炉
高品質炭化ケイ素単結晶製造用SiC結晶成長炉(PVT/LPE/HT-CVD)
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結晶成長炉
6-12インチ炭化ケイ素結晶製造用SiC成長炉（PVT法
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