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タグ: CVD epitaxy system
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エピタキシー装置
研削盤
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レーザー切断機
レーザー穴あけ機
研磨機
ウエハー
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ワイヤーソー
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エピタキシー装置
6”/8 ”エピウエハー用集積型垂直気流SiCエピタキシー装置
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