{"id":2389,"date":"2026-04-24T05:55:23","date_gmt":"2026-04-24T05:55:23","guid":{"rendered":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/?post_type=product&#038;p=2389"},"modified":"2026-04-24T05:55:25","modified_gmt":"2026-04-24T05:55:25","slug":"cvd-silicon-carbide-sic-ring-for-semiconductor-plasma-etching","status":"publish","type":"product","link":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/it\/product\/cvd-silicon-carbide-sic-ring-for-semiconductor-plasma-etching\/","title":{"rendered":"Anello in carburo di silicio SiC CVD per l'incisione al plasma di semiconduttori"},"content":{"rendered":"<p data-start=\"213\" data-end=\"577\"><img fetchpriority=\"high\" decoding=\"async\" class=\"alignright wp-image-2392 size-medium\" src=\"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/CVD-Silicon-Carbide-SiC-Ring-for-Semiconductor-Plasma-Etching-1-300x300.png\" alt=\"Anello in carburo di silicio SiC CVD per l&#039;incisione al plasma di semiconduttori\" width=\"300\" height=\"300\" srcset=\"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/CVD-Silicon-Carbide-SiC-Ring-for-Semiconductor-Plasma-Etching-1-300x300.png 300w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/CVD-Silicon-Carbide-SiC-Ring-for-Semiconductor-Plasma-Etching-1-150x150.png 150w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/CVD-Silicon-Carbide-SiC-Ring-for-Semiconductor-Plasma-Etching-1-768x768.png 768w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/CVD-Silicon-Carbide-SiC-Ring-for-Semiconductor-Plasma-Etching-1-12x12.png 12w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/CVD-Silicon-Carbide-SiC-Ring-for-Semiconductor-Plasma-Etching-1-600x600.png 600w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/CVD-Silicon-Carbide-SiC-Ring-for-Semiconductor-Plasma-Etching-1-100x100.png 100w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/CVD-Silicon-Carbide-SiC-Ring-for-Semiconductor-Plasma-Etching-1.png 1000w\" sizes=\"(max-width: 300px) 100vw, 300px\" \/>L'anello SiC (Silicon Carbide Ring) \u00e8 un componente ad alte prestazioni ampiamente utilizzato nelle apparecchiature di lavorazione al plasma dei semiconduttori, in particolare nelle camere di incisione e deposizione. Realizzato con carburo di silicio per deposizione chimica da vapore (CVD), questo prodotto offre un'eccezionale resistenza all'erosione da plasma, alle alte temperature e agli ambienti chimici aggressivi.<\/p>\n<p data-start=\"579\" data-end=\"989\">Nella produzione di semiconduttori, i componenti della camera sono continuamente esposti a gas reattivi come i prodotti chimici a base di fluoro e cloro (CF\u2084, SF\u2086, Cl\u2082), nonch\u00e9 a bombardamenti ionici ad alta energia. In queste condizioni, i componenti tradizionali in silicio tendono a degradarsi pi\u00f9 rapidamente. Al contrario, gli anelli di SiC offrono una durata significativamente maggiore, una ridotta generazione di particelle e una migliore stabilit\u00e0 di processo.<\/p>\n<p data-start=\"991\" data-end=\"1355\">Grazie all'eccezionale resistenza meccanica, alla conducibilit\u00e0 termica e all'inerzia chimica, il SiC CVD \u00e8 considerato uno dei materiali pi\u00f9 affidabili per le apparecchiature a semiconduttore di prossima generazione. Gli anelli in SiC sono tipicamente installati come anelli di focalizzazione, anelli di bordo o anelli di protezione della camera, contribuendo a controllare la distribuzione del plasma e a proteggere le parti critiche della camera.<\/p>\n<p data-start=\"1357\" data-end=\"1595\">Questi anelli sono classificati come consumabili critici per semiconduttori e offrono una vita utile molto pi\u00f9 lunga rispetto agli anelli di silicio convenzionali, rendendoli ideali per i nodi di processo avanzati e gli ambienti di produzione ad alta produttivit\u00e0.<\/p>\n<hr data-start=\"1597\" data-end=\"1600\" \/>\n<h2 data-section-id=\"1wht24f\" data-start=\"1602\" data-end=\"1622\">Caratteristiche principali<\/h2>\n<p><img decoding=\"async\" class=\"size-medium wp-image-2390 alignright\" src=\"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/CVD-Silicon-Carbide-SiC-Ring-for-Semiconductor-Plasma-Etching-2-300x300.png\" alt=\"\" width=\"300\" height=\"300\" srcset=\"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/CVD-Silicon-Carbide-SiC-Ring-for-Semiconductor-Plasma-Etching-2-300x300.png 300w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/CVD-Silicon-Carbide-SiC-Ring-for-Semiconductor-Plasma-Etching-2-150x150.png 150w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/CVD-Silicon-Carbide-SiC-Ring-for-Semiconductor-Plasma-Etching-2-768x768.png 768w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/CVD-Silicon-Carbide-SiC-Ring-for-Semiconductor-Plasma-Etching-2-12x12.png 12w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/CVD-Silicon-Carbide-SiC-Ring-for-Semiconductor-Plasma-Etching-2-600x600.png 600w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/CVD-Silicon-Carbide-SiC-Ring-for-Semiconductor-Plasma-Etching-2-100x100.png 100w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/CVD-Silicon-Carbide-SiC-Ring-for-Semiconductor-Plasma-Etching-2.png 1000w\" sizes=\"(max-width: 300px) 100vw, 300px\" \/><\/p>\n<ul data-start=\"1623\" data-end=\"2189\">\n<li data-section-id=\"185xteb\" data-start=\"1623\" data-end=\"1725\">Materiale SiC CVD di elevata purezza: Assicura un'eccellente integrit\u00e0 strutturale e una contaminazione minima<\/li>\n<li data-section-id=\"103qh1t\" data-start=\"1726\" data-end=\"1822\">Eccezionale resistenza al plasma: Resistenza superiore al plasma a base di fluoro e cloro.<\/li>\n<li data-section-id=\"19jl5gi\" data-start=\"1823\" data-end=\"1924\">Stabilit\u00e0 alle alte temperature: Mantiene le prestazioni in ambienti di lavorazione ad alta temperatura<\/li>\n<li data-section-id=\"ixqmoc\" data-start=\"1925\" data-end=\"2002\">Bassa generazione di particelle: Migliora la resa dei wafer e la pulizia del processo<\/li>\n<li data-section-id=\"nx34my\" data-start=\"2003\" data-end=\"2084\">Durata prolungata: In genere diverse volte pi\u00f9 lunga rispetto ai componenti in silicio.<\/li>\n<li data-section-id=\"14jsdwf\" data-start=\"2085\" data-end=\"2189\">Lavorazione di precisione: Tolleranze strette (&lt;10 \u03bcm) per una perfetta integrazione negli strumenti per semiconduttori<\/li>\n<\/ul>\n<hr data-start=\"2191\" data-end=\"2194\" \/>\n<h2 data-section-id=\"1vgwxle\" data-start=\"2196\" data-end=\"2228\">Specifiche tecniche<\/h2>\n<div class=\"TyagGW_tableContainer\">\n<div class=\"group TyagGW_tableWrapper flex flex-col-reverse w-fit\" tabindex=\"-1\">\n<table class=\"w-fit min-w-(--thread-content-width)\" data-start=\"2230\" data-end=\"2883\">\n<thead data-start=\"2230\" data-end=\"2259\">\n<tr data-start=\"2230\" data-end=\"2259\">\n<th class=\"\" data-start=\"2230\" data-end=\"2242\" data-col-size=\"sm\">Parametro<\/th>\n<th class=\"\" data-start=\"2242\" data-end=\"2259\" data-col-size=\"md\">Specifiche<\/th>\n<\/tr>\n<\/thead>\n<tbody data-start=\"2287\" data-end=\"2883\">\n<tr data-start=\"2287\" data-end=\"2327\">\n<td data-start=\"2287\" data-end=\"2298\" data-col-size=\"sm\">Materiale<\/td>\n<td data-col-size=\"md\" data-start=\"2298\" data-end=\"2327\">Carburo di silicio CVD (SiC)<\/td>\n<\/tr>\n<tr data-start=\"2328\" data-end=\"2348\">\n<td data-start=\"2328\" data-end=\"2337\" data-col-size=\"sm\">La purezza<\/td>\n<td data-col-size=\"md\" data-start=\"2337\" data-end=\"2348\">\u2265 99,9%<\/td>\n<\/tr>\n<tr data-start=\"2349\" data-end=\"2374\">\n<td data-start=\"2349\" data-end=\"2359\" data-col-size=\"sm\">Densit\u00e0<\/td>\n<td data-col-size=\"md\" data-start=\"2359\" data-end=\"2374\">\u2265 3,1 g\/cm\u00b3<\/td>\n<\/tr>\n<tr data-start=\"2375\" data-end=\"2408\">\n<td data-start=\"2375\" data-end=\"2392\" data-col-size=\"sm\">Diametro (max)<\/td>\n<td data-col-size=\"md\" data-start=\"2392\" data-end=\"2408\">Fino a 370 mm<\/td>\n<\/tr>\n<tr data-start=\"2409\" data-end=\"2451\">\n<td data-start=\"2409\" data-end=\"2421\" data-col-size=\"sm\">Spessore<\/td>\n<td data-col-size=\"md\" data-start=\"2421\" data-end=\"2451\">Personalizzato (in genere 5-30 mm)<\/td>\n<\/tr>\n<tr data-start=\"2452\" data-end=\"2487\">\n<td data-start=\"2452\" data-end=\"2472\" data-col-size=\"sm\">Resistivit\u00e0 (bassa)<\/td>\n<td data-col-size=\"md\" data-start=\"2472\" data-end=\"2487\">&lt; 0,02 \u03a9-cm<\/td>\n<\/tr>\n<tr data-start=\"2488\" data-end=\"2528\">\n<td data-start=\"2488\" data-end=\"2511\" data-col-size=\"sm\">Resistivit\u00e0 (media)<\/td>\n<td data-col-size=\"md\" data-start=\"2511\" data-end=\"2528\">0,2 - 25 \u03a9-cm<\/td>\n<\/tr>\n<tr data-start=\"2529\" data-end=\"2564\">\n<td data-start=\"2529\" data-end=\"2550\" data-col-size=\"sm\">Resistivit\u00e0 (alta)<\/td>\n<td data-col-size=\"md\" data-start=\"2550\" data-end=\"2564\">&gt; 100 \u03a9-cm<\/td>\n<\/tr>\n<tr data-start=\"2565\" data-end=\"2604\">\n<td data-start=\"2565\" data-end=\"2596\" data-col-size=\"sm\">Uniformit\u00e0 di resistivit\u00e0 (RRG)<\/td>\n<td data-col-size=\"md\" data-start=\"2596\" data-end=\"2604\">&lt; 5%<\/td>\n<\/tr>\n<tr data-start=\"2605\" data-end=\"2670\">\n<td data-start=\"2605\" data-end=\"2625\" data-col-size=\"sm\">Condizione della superficie<\/td>\n<td data-col-size=\"md\" data-start=\"2625\" data-end=\"2670\">Terra (lucidatura disponibile su richiesta)<\/td>\n<\/tr>\n<tr data-start=\"2671\" data-end=\"2723\">\n<td data-start=\"2671\" data-end=\"2696\" data-col-size=\"sm\">Rugosit\u00e0 superficiale (Ra)<\/td>\n<td data-col-size=\"md\" data-start=\"2696\" data-end=\"2723\">\u2264 1,6 \u03bcm (personalizzabile)<\/td>\n<\/tr>\n<tr data-start=\"2724\" data-end=\"2757\">\n<td data-start=\"2724\" data-end=\"2746\" data-col-size=\"sm\">Lavorazione di precisione<\/td>\n<td data-col-size=\"md\" data-start=\"2746\" data-end=\"2757\">&lt; 10 \u03bcm<\/td>\n<\/tr>\n<tr data-start=\"2758\" data-end=\"2799\">\n<td data-start=\"2758\" data-end=\"2781\" data-col-size=\"sm\">Conduttivit\u00e0 termica<\/td>\n<td data-col-size=\"md\" data-start=\"2781\" data-end=\"2799\">~120-200 W\/m-K<\/td>\n<\/tr>\n<tr data-start=\"2800\" data-end=\"2824\">\n<td data-start=\"2800\" data-end=\"2811\" data-col-size=\"sm\">Durezza<\/td>\n<td data-col-size=\"md\" data-start=\"2811\" data-end=\"2824\">~9,2 Mohs<\/td>\n<\/tr>\n<tr data-start=\"2825\" data-end=\"2883\">\n<td data-start=\"2825\" data-end=\"2843\" data-col-size=\"sm\">Controllo qualit\u00e0<\/td>\n<td data-col-size=\"md\" data-start=\"2843\" data-end=\"2883\">Senza crepe, scheggiature e contaminazioni<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<\/div>\n<\/div>\n<hr data-start=\"2885\" data-end=\"2888\" \/>\n<h2 data-section-id=\"1gggyhy\" data-start=\"2890\" data-end=\"2910\">Applicazioni<\/h2>\n<p data-start=\"2911\" data-end=\"3025\">Gli anelli SiC sono componenti essenziali nelle apparecchiature per semiconduttori, dove la durata e la resistenza al plasma sono fondamentali:<\/p>\n<ul data-start=\"3027\" data-end=\"3241\">\n<li data-section-id=\"qzqq98\" data-start=\"3027\" data-end=\"3065\">Sistemi di incisione al plasma (ICP \/ RIE)<\/li>\n<li data-section-id=\"1iourx1\" data-start=\"3066\" data-end=\"3109\">Deposizione di vapore chimico (CVD \/ PECVD)<\/li>\n<li data-section-id=\"yfc3l\" data-start=\"3110\" data-end=\"3149\">Applicazioni dell'anello di messa a fuoco e dell'anello perimetrale<\/li>\n<li data-section-id=\"14j8f1u\" data-start=\"3150\" data-end=\"3193\">Rivestimento della camera e componenti di protezione<\/li>\n<li data-section-id=\"1l8pbfg\" data-start=\"3194\" data-end=\"3241\">Ambienti di lavorazione al plasma ad alta densit\u00e0<\/li>\n<\/ul>\n<p data-start=\"3243\" data-end=\"3383\">Sono particolarmente adatti ai nodi avanzati e ai processi di incisione difficili, dove i componenti in silicio non possono soddisfare i requisiti di durata.<\/p>\n<p data-start=\"3243\" data-end=\"3383\"><img decoding=\"async\" class=\"aligncenter wp-image-2393 size-large\" src=\"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/V-XNjEkVLOxdQ3vNkqwRlwTnQIJEWLvn8yKCuqVOt3LGwjYhcj9HcJSqdlRSxOCdMdZ33IUySbpwQnVceltXtWhkg6VNrYi_ptiSJF92Api4RpFrek_-pbJFl5pgNytSMfwNYWSx43dQ6jT4QYV9yjBEYcR61Je4jzErkENr5eeHHxdHesqnUnHvdt1ORiva-1024x511.jpg\" alt=\"\" width=\"1024\" height=\"511\" srcset=\"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/V-XNjEkVLOxdQ3vNkqwRlwTnQIJEWLvn8yKCuqVOt3LGwjYhcj9HcJSqdlRSxOCdMdZ33IUySbpwQnVceltXtWhkg6VNrYi_ptiSJF92Api4RpFrek_-pbJFl5pgNytSMfwNYWSx43dQ6jT4QYV9yjBEYcR61Je4jzErkENr5eeHHxdHesqnUnHvdt1ORiva-1024x511.jpg 1024w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/V-XNjEkVLOxdQ3vNkqwRlwTnQIJEWLvn8yKCuqVOt3LGwjYhcj9HcJSqdlRSxOCdMdZ33IUySbpwQnVceltXtWhkg6VNrYi_ptiSJF92Api4RpFrek_-pbJFl5pgNytSMfwNYWSx43dQ6jT4QYV9yjBEYcR61Je4jzErkENr5eeHHxdHesqnUnHvdt1ORiva-300x150.jpg 300w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/V-XNjEkVLOxdQ3vNkqwRlwTnQIJEWLvn8yKCuqVOt3LGwjYhcj9HcJSqdlRSxOCdMdZ33IUySbpwQnVceltXtWhkg6VNrYi_ptiSJF92Api4RpFrek_-pbJFl5pgNytSMfwNYWSx43dQ6jT4QYV9yjBEYcR61Je4jzErkENr5eeHHxdHesqnUnHvdt1ORiva-768x383.jpg 768w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/V-XNjEkVLOxdQ3vNkqwRlwTnQIJEWLvn8yKCuqVOt3LGwjYhcj9HcJSqdlRSxOCdMdZ33IUySbpwQnVceltXtWhkg6VNrYi_ptiSJF92Api4RpFrek_-pbJFl5pgNytSMfwNYWSx43dQ6jT4QYV9yjBEYcR61Je4jzErkENr5eeHHxdHesqnUnHvdt1ORiva-18x9.jpg 18w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/V-XNjEkVLOxdQ3vNkqwRlwTnQIJEWLvn8yKCuqVOt3LGwjYhcj9HcJSqdlRSxOCdMdZ33IUySbpwQnVceltXtWhkg6VNrYi_ptiSJF92Api4RpFrek_-pbJFl5pgNytSMfwNYWSx43dQ6jT4QYV9yjBEYcR61Je4jzErkENr5eeHHxdHesqnUnHvdt1ORiva-600x299.jpg 600w, https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/V-XNjEkVLOxdQ3vNkqwRlwTnQIJEWLvn8yKCuqVOt3LGwjYhcj9HcJSqdlRSxOCdMdZ33IUySbpwQnVceltXtWhkg6VNrYi_ptiSJF92Api4RpFrek_-pbJFl5pgNytSMfwNYWSx43dQ6jT4QYV9yjBEYcR61Je4jzErkENr5eeHHxdHesqnUnHvdt1ORiva.jpg 1080w\" sizes=\"(max-width: 1024px) 100vw, 1024px\" \/><\/p>\n<hr data-start=\"3385\" data-end=\"3388\" \/>\n<h2 data-section-id=\"j4gip\" data-start=\"3390\" data-end=\"3436\">Perch\u00e9 scegliere l'anello SiC rispetto all'anello in silicio?<\/h2>\n<p data-start=\"3437\" data-end=\"3702\">Rispetto ai tradizionali anelli in silicio, gli anelli in SiC offrono un significativo miglioramento della durata e della stabilit\u00e0 del processo. Sebbene gli anelli in silicio siano inizialmente pi\u00f9 convenienti, si usurano pi\u00f9 rapidamente in condizioni di plasma aggressivo e richiedono sostituzioni pi\u00f9 frequenti.<\/p>\n<p data-start=\"3704\" data-end=\"3742\">Gli anelli SiC, invece, forniscono:<\/p>\n<ul data-start=\"3743\" data-end=\"3903\">\n<li data-section-id=\"17mv8nk\" data-start=\"3743\" data-end=\"3772\">Durata da 3 a 10 volte superiore<\/li>\n<li data-section-id=\"16lo0t8\" data-start=\"3773\" data-end=\"3820\">Migliore resistenza alla corrosione chimica<\/li>\n<li data-section-id=\"19uuz0f\" data-start=\"3821\" data-end=\"3857\">Minore contaminazione di particelle<\/li>\n<li data-section-id=\"uhpkja\" data-start=\"3858\" data-end=\"3903\">Riduzione dei tempi di inattivit\u00e0 e dei costi di manutenzione<\/li>\n<\/ul>\n<p data-start=\"3905\" data-end=\"4056\">Per la produzione di semiconduttori di fascia alta, il costo totale di propriet\u00e0 (TCO) \u00e8 spesso inferiore quando si utilizzano componenti SiC, nonostante il loro costo iniziale pi\u00f9 elevato.<\/p>\n<p data-start=\"3905\" data-end=\"4056\"><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" class=\"wp-image-2383 size-large aligncenter\" src=\"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/\u5fae\u4fe1\u56fe\u7247_20260423181006_366_381-1024x486.png\" alt=\"\" width=\"1024\" height=\"486\" srcset=\"\" sizes=\"(max-width: 1024px) 100vw, 1024px\" data-srcset=\"\" \/><\/p>\n<hr data-start=\"4058\" data-end=\"4061\" \/>\n<h2 data-section-id=\"cpu4ih\" data-start=\"4063\" data-end=\"4074\">FAQ<\/h2>\n<p data-start=\"4076\" data-end=\"4283\">D1: L'anello SiC \u00e8 un prodotto consumabile?<br data-start=\"4121\" data-end=\"4124\" \/>S\u00ec, \u00e8 considerato un consumabile critico per i semiconduttori. Sebbene abbia una durata di vita pi\u00f9 lunga rispetto alle parti in silicio, alla fine si usurer\u00e0 con l'esposizione al plasma.<\/p>\n<p data-start=\"4285\" data-end=\"4492\">D2: Qual \u00e8 il vantaggio del materiale SiC CVD?<br data-start=\"4335\" data-end=\"4338\" \/>Il SiC CVD offre una purezza estremamente elevata, una struttura densa e un'eccellente resistenza al plasma e alle sostanze chimiche, che lo rendono ideale per le applicazioni dei semiconduttori.<\/p>\n<p data-start=\"4494\" data-end=\"4668\">Q3: L'anello SiC pu\u00f2 essere personalizzato?<br data-start=\"4533\" data-end=\"4536\" \/>S\u00ec. Diametro, spessore, resistivit\u00e0 e finitura superficiale possono essere personalizzati in base ai vostri disegni o ai requisiti dell'apparecchiatura.<\/p>\n<p data-start=\"4670\" data-end=\"4814\">D4: Quanto dura un anello in SiC rispetto a uno in silicio?<br data-start=\"4735\" data-end=\"4738\" \/>In genere, gli anelli SiC durano da 3 a 10 volte di pi\u00f9, a seconda delle condizioni di processo.<\/p>\n<p data-start=\"4816\" data-end=\"4928\">D5: Qual \u00e8 il tempo di consegna?<br data-start=\"4846\" data-end=\"4849\" \/>La produzione richiede solitamente 4-8 settimane, a seconda della complessit\u00e0 del design e della quantit\u00e0.<\/p>","protected":false},"excerpt":{"rendered":"<p>L'anello SiC (Silicon Carbide Ring) \u00e8 un componente ad alte prestazioni ampiamente utilizzato nelle apparecchiature di lavorazione al plasma dei semiconduttori, in particolare nelle camere di incisione e deposizione. Realizzato con carburo di silicio per deposizione chimica da vapore (CVD), questo prodotto offre un'eccezionale resistenza all'erosione da plasma, alle alte temperature e agli ambienti chimici aggressivi.<\/p>","protected":false},"featured_media":2392,"comment_status":"open","ping_status":"closed","template":"","meta":{"site-sidebar-layout":"default","site-content-layout":"","ast-site-content-layout":"default","site-content-style":"default","site-sidebar-style":"default","ast-global-header-display":"","ast-banner-title-visibility":"","ast-main-header-display":"","ast-hfb-above-header-display":"","ast-hfb-below-header-display":"","ast-hfb-mobile-header-display":"","site-post-title":"","ast-breadcrumbs-content":"","ast-featured-img":"","footer-sml-layout":"","ast-disable-related-posts":"","theme-transparent-header-meta":"default","adv-header-id-meta":"","stick-header-meta":"default","header-above-stick-meta":"","header-main-stick-meta":"","header-below-stick-meta":"","astra-migrate-meta-layouts":"set","ast-page-background-enabled":"default","ast-page-background-meta":{"desktop":{"background-color":"var(--ast-global-color-4)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"tablet":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"mobile":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""}},"ast-content-background-meta":{"desktop":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"tablet":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"mobile":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""}}},"product_brand":[],"product_cat":[1212],"product_tag":[1247,1235,1239,1238,1243,1246,1237,1242,1241,1236,1245,1240,1244,1233,1234],"class_list":{"0":"post-2389","1":"product","2":"type-product","3":"status-publish","4":"has-post-thumbnail","6":"product_cat-semiconductor-consumables","7":"product_tag-cvd-sic-components","8":"product_tag-cvd-sic-ring","9":"product_tag-edge-ring-sic","10":"product_tag-focus-ring-semiconductor","11":"product_tag-high-temperature-ceramic-ring","12":"product_tag-icp-rie-ring","13":"product_tag-plasma-etching-ring","14":"product_tag-plasma-resistant-materials","15":"product_tag-semiconductor-chamber-parts","16":"product_tag-semiconductor-sic-component","17":"product_tag-semiconductor-wear-parts","18":"product_tag-sic-consumables-semiconductor","19":"product_tag-sic-liner-ring","20":"product_tag-sic-ring","21":"product_tag-silicon-carbide-ring","22":"desktop-align-left","23":"tablet-align-left","24":"mobile-align-left","25":"ast-product-gallery-layout-horizontal-slider","26":"ast-product-gallery-with-no-image","27":"ast-product-tabs-layout-horizontal","29":"first","30":"instock","31":"shipping-taxable","32":"product-type-simple"},"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/it\/wp-json\/wp\/v2\/product\/2389","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/it\/wp-json\/wp\/v2\/product"}],"about":[{"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/it\/wp-json\/wp\/v2\/types\/product"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/it\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=2389"}],"version-history":[{"count":2,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/it\/wp-json\/wp\/v2\/product\/2389\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":2395,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/it\/wp-json\/wp\/v2\/product\/2389\/revisions\/2395"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/it\/wp-json\/wp\/v2\/media\/2392"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/it\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=2389"}],"wp:term":[{"taxonomy":"product_brand","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/it\/wp-json\/wp\/v2\/product_brand?post=2389"},{"taxonomy":"product_cat","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/it\/wp-json\/wp\/v2\/product_cat?post=2389"},{"taxonomy":"product_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/it\/wp-json\/wp\/v2\/product_tag?post=2389"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}