![\"\"](\"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/03\/sic_growth_furnace_pvt_method_6inch_8inch_12_inch_low_energy_consumption1-300x300.webp\")
A SiC-n\u00f6veszt\u0151 kemence (PVT-m\u00f3dszer) egy nagy teljes\u00edtm\u00e9ny\u0171 rendszer, amelyet 6, 8 \u00e9s 12 h\u00fcvelykes szil\u00edciumkarbid (SiC) egykrist\u00e1lyok el\u0151\u00e1ll\u00edt\u00e1s\u00e1ra terveztek.<\/p>\nA SiC-n\u00f6veszt\u0151 kemence (PVT-m\u00f3dszer) egy nagy teljes\u00edtm\u00e9ny\u0171 rendszer, amelyet 6, 8 \u00e9s 12 h\u00fcvelykes szil\u00edciumkarbid (SiC) egykrist\u00e1lyok el\u0151\u00e1ll\u00edt\u00e1s\u00e1ra terveztek.<\/p>\n
A fejlett indukci\u00f3s f\u0171t\u00e9si technol\u00f3gi\u00e1t alkalmaz\u00f3 kemence gyors f\u0171t\u00e9st, pontos h\u0151m\u00e9rs\u00e9klet-szab\u00e1lyoz\u00e1st \u00e9s alacsony energiafogyaszt\u00e1st biztos\u00edt, \u00edgy ide\u00e1lis megold\u00e1s az ipari m\u00e9ret\u0171 SiC-krist\u00e1lyok n\u00f6veszt\u00e9s\u00e9hez.<\/p>\n
Sz\u00e9les k\u00f6rben haszn\u00e1lj\u00e1k a SiC szubsztr\u00e1tumok gy\u00e1rt\u00e1s\u00e1hoz a teljes\u00edtm\u00e9nyelektronika, az RF-eszk\u00f6z\u00f6k \u00e9s a k\u00f6vetkez\u0151 gener\u00e1ci\u00f3s f\u00e9lvezet\u0151 alkalmaz\u00e1sok sz\u00e1m\u00e1ra.<\/p>\n
Indukci\u00f3s f\u0171t\u00e9si rendszer
A grafitt\u00e9gely k\u00f6zvetlen elektrom\u00e1gneses f\u0171t\u00e9se nagy hat\u00e9konys\u00e1got \u00e9s gyors h\u0151reakci\u00f3t biztos\u00edt<\/p>\n<\/li>\n
Ultrapontos h\u0151m\u00e9rs\u00e9klet-szab\u00e1lyoz\u00e1s
\u00b11\u00b0C-os pontoss\u00e1g, stabil krist\u00e1lyn\u00f6veked\u00e9si felt\u00e9telek biztos\u00edt\u00e1sa<\/p>\n<\/li>\n
Alacsony energiafogyaszt\u00e1s
Az optimaliz\u00e1lt h\u0151technikai kialak\u00edt\u00e1s jelent\u0151sen cs\u00f6kkenti az \u00fczemeltet\u00e9si k\u00f6lts\u00e9geket<\/p>\n<\/li>\n
Nagy stabilit\u00e1s \u00e9s alacsony szennyezetts\u00e9g
\u00c9rint\u00e9smentes f\u0171t\u00e9s + inert g\u00e1zos k\u00f6rnyezet minimaliz\u00e1lja a szennyez\u0151d\u00e9seket<\/p>\n<\/li>\n
Sk\u00e1l\u00e1zhat\u00f3 nagy \u00e1tm\u00e9r\u0151j\u0171 krist\u00e1lyokhoz
T\u00e1mogatja a 6\u2033, 8\u2033 \u00e9s 12\u2033 SiC krist\u00e1lyok n\u00f6veked\u00e9s\u00e9t<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n
| Param\u00e9ter<\/th>\n | Specifik\u00e1ci\u00f3<\/th>\n<\/tr>\n<\/thead>\n |
|---|---|
| M\u00e9retek (L\u00d7Ny\u00d7H)<\/td>\n | 3200 \u00d7 1150 \u00d7 3600 mm (testre szabhat\u00f3)<\/td>\n<\/tr>\n |
| Kemencekamra \u00e1tm\u00e9r\u0151je<\/td>\n | 400 mm<\/td>\n<\/tr>\n |
| Maxim\u00e1lis h\u0151m\u00e9rs\u00e9klet<\/td>\n | 2400\u00b0C<\/td>\n<\/tr>\n |
| H\u0151m\u00e9rs\u00e9klet tartom\u00e1ny<\/td>\n | 900-3000\u00b0C<\/td>\n<\/tr>\n |
| H\u0151m\u00e9rs\u00e9klet pontoss\u00e1g<\/td>\n | \u00b11\u00b0C<\/td>\n<\/tr>\n |
| F\u0171t\u00e9si m\u00f3dszer<\/td>\n | Indukci\u00f3s f\u0171t\u00e9s<\/td>\n<\/tr>\n |
| T\u00e1pegys\u00e9g<\/td>\n | 40 kW, 8-12 kHz<\/td>\n<\/tr>\n |
| V\u00e1kuumszint<\/td>\n | 5 \u00d7 10-\u2074 Pa<\/td>\n<\/tr>\n |
| Nyom\u00e1s tartom\u00e1ny<\/td>\n | 1-700 mbar<\/td>\n<\/tr>\n |
| H\u0151m\u00e9rs\u00e9klet m\u00e9r\u00e9s<\/td>\n | K\u00e9tsz\u00edn\u0171 infrav\u00f6r\u00f6s<\/td>\n<\/tr>\n |
| Bet\u00f6lt\u00e9si m\u00f3dszer<\/td>\n | Als\u00f3 bet\u00f6lt\u00e9s<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<\/div>\n<\/div>\nTervez\u00e9si el\u0151ny\u00f6k<\/span><\/h2>\nKompatibilis a f\u00e9lig szigetel\u0151 \u00e9s vezet\u0151 SiC krist\u00e1lyn\u00f6veked\u00e9ssel<\/p>\n<\/li>\n A t\u00e9gelyforgat\u00f3 rendszer jav\u00edtja a h\u0151m\u00e9rs\u00e9klet egyenletess\u00e9g\u00e9t<\/p>\n<\/li>\n A szab\u00e1lyozhat\u00f3 indukci\u00f3s tekercs emel\u00e9se cs\u00f6kkenti a termikus zavarokat<\/p>\n<\/li>\n A k\u00e9tr\u00e9teg\u0171 v\u00edzh\u0171t\u00e9ses kvarckamra meghosszabb\u00edtja a berendez\u00e9s \u00e9lettartam\u00e1t<\/p>\n<\/li>\n Val\u00f3s idej\u0171 k\u00e9tpontos h\u0151m\u00e9rs\u00e9klet-ellen\u0151rz\u00e9s<\/p>\n<\/li>\n T\u00f6bbf\u00e9le vez\u00e9rl\u00e9si m\u00f3d: \u00e1lland\u00f3 teljes\u00edtm\u00e9ny \/ \u00e1ram \/ h\u0151m\u00e9rs\u00e9klet<\/p>\n<\/li>\n Egy kattint\u00e1ssal t\u00f6rt\u00e9n\u0151 intelligens ind\u00edt\u00e1s az automatiz\u00e1lt m\u0171k\u00f6d\u00e9shez<\/p>\n<\/li>\n Kompakt fel\u00e9p\u00edt\u00e9s a hat\u00e9kony gy\u00e1ri elrendez\u00e9shez<\/p>\n<\/li>\n Nagy pontoss\u00e1g\u00fa nyom\u00e1sszab\u00e1lyoz\u00e1s (\u00b11 Pa-ig)<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n Teljes\u00edtm\u00e9ny \u00e9s alkalmaz\u00e1sok<\/span><\/h2>\nSiC MOSFET-ek<\/p>\n<\/li>\n Schottky di\u00f3d\u00e1k<\/p>\n<\/li>\n RF eszk\u00f6z\u00f6k<\/p>\n<\/li>\n Elektromos j\u00e1rm\u0171vek (EV t\u00e1pegys\u00e9gek)<\/p>\n<\/li>\n Napelemes inverterek<\/p>\n<\/li>\n 5G kommunik\u00e1ci\u00f3s rendszerek<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n A stabil h\u0151szab\u00e1lyoz\u00e1ssal \u00e9s az optimaliz\u00e1lt n\u00f6veked\u00e9si k\u00f6r\u00fclm\u00e9nyekkel a rendszer nagy hozamot, konzisztenci\u00e1t \u00e9s m\u00e9retezhet\u0151s\u00e9get biztos\u00edt az ipari termel\u00e9shez.<\/p>\n
K\u00e9pess\u00e9geink (ZMSH)<\/span><\/h2>\n
|
![\"\"](\"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/03\/SiC-Growth-Furnace5.png\")
<\/p>\n