![\"\"](\"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/01\/pl204262693-sic_single_crystal_resistance_heating_crystal_growth_furnace_for_6inch_8inch_12inch_sic_wafers_manufacture-300x199.webp\")
<\/p>\n<\/p>\n
A ZMSH SiC egykrist\u00e1lyos ellen\u00e1ll\u00e1sf\u0171t\u00e9ses n\u00f6veszt\u0151 kemence egy magas h\u0151m\u00e9rs\u00e9klet\u0171 krist\u00e1lyn\u00f6veszt\u0151 rendszer, amelyet kifejezetten nagy \u00e1tm\u00e9r\u0151j\u0171 szil\u00edciumkarbid egykrist\u00e1lyok gy\u00e1rt\u00e1s\u00e1ra terveztek, \u00e9s amely t\u00e1mogatja a 6, 8 \u00e9s 12 h\u00fcvelykes SiC osty\u00e1k gy\u00e1rt\u00e1s\u00e1t.<\/p>\n
<\/p>\n
uring.<\/p>\n
A kemenc\u00e9t a fizikai g\u0151ztranszport (PVT) krist\u00e1lyn\u00f6veszt\u00e9s elve alapj\u00e1n tervezt\u00e9k, amely integr\u00e1lja a pontos ellen\u00e1ll\u00e1sf\u0171t\u00e9s-szab\u00e1lyoz\u00e1st, a stabil h\u0151mez\u0151-eloszl\u00e1st, a nagyv\u00e1kuum\u00fa k\u00f6rnyezet kezel\u00e9s\u00e9t \u00e9s a pontos nyom\u00e1sszab\u00e1lyoz\u00e1st.
Ez a konfigur\u00e1ci\u00f3 lehet\u0151v\u00e9 teszi a nagy tisztas\u00e1g\u00fa, alacsony hibas\u0171r\u0171s\u00e9g\u0171 SiC egykrist\u00e1lyok n\u00f6veszt\u00e9s\u00e9t, amelyek alkalmasak a fejlett teljes\u00edtm\u00e9ny-f\u00e9lvezet\u0151 \u00e9s elektronikus eszk\u00f6z alkalmaz\u00e1sokhoz.<\/p>\n
A rendszert \u00fagy fejlesztett\u00e9k ki, hogy megfeleljen az ipari termel\u00e9s k\u00f6vetelm\u00e9nyeinek, biztos\u00edtva a folyamat stabilit\u00e1s\u00e1t, megism\u00e9telhet\u0151s\u00e9g\u00e9t \u00e9s hossz\u00fa t\u00e1v\u00fa m\u0171k\u00f6d\u00e9si megb\u00edzhat\u00f3s\u00e1g\u00e1t a nagyszab\u00e1s\u00fa SiC-krist\u00e1lyok n\u00f6veked\u00e9si k\u00f6rnyezet\u00e9ben.<\/p>\n
\n
<\/p>\n
A kemence t\u00f6bbz\u00f3n\u00e1s ellen\u00e1ll\u00e1sf\u0171t\u00e9si szerkezetet alkalmaz az egyenletes axi\u00e1lis \u00e9s radi\u00e1lis h\u0151m\u00e9rs\u00e9kleteloszl\u00e1s el\u00e9r\u00e9se \u00e9rdek\u00e9ben. Ez minimaliz\u00e1lja a h\u0151gradienseket, cs\u00f6kkenti a bels\u0151 fesz\u00fclts\u00e9get, \u00e9s jav\u00edtja a krist\u00e1lyszerkezet integrit\u00e1s\u00e1t a n\u00f6veked\u00e9si folyamat sor\u00e1n.<\/p>\n
Maxim\u00e1lis \u00fczemi h\u0151m\u00e9rs\u00e9klet 2500\u00b0C-ig<\/p>\n<\/li>\n
H\u0151m\u00e9rs\u00e9klet-szab\u00e1lyoz\u00e1si pontoss\u00e1g: \u00b11\u00b0C<\/p>\n<\/li>\n
Sz\u00e9les nyom\u00e1sszab\u00e1lyoz\u00e1si tartom\u00e1ny: mbar<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n
Ezek a param\u00e9terek stabil termodinamikai k\u00f6rnyezetet biztos\u00edtanak, amely elengedhetetlen a SiC n\u00f6veked\u00e9se sor\u00e1n a szab\u00e1lyozott szublim\u00e1ci\u00f3hoz, a g\u0151ztranszporthoz \u00e9s a krist\u00e1lyok \u00e1tkrist\u00e1lyosod\u00e1s\u00e1hoz.<\/p>\n
A 900 mm-es t\u00e9gely\u00e1tm\u00e9r\u0151vel a rendszer t\u00e1mogatja a k\u00f6vetkez\u0151 gener\u00e1ci\u00f3s 8 \u00e9s 12 h\u00fcvelykes SiC-ingotok n\u00f6veked\u00e9s\u00e9t, lehet\u0151v\u00e9 t\u00e9ve a gy\u00e1rt\u00f3k sz\u00e1m\u00e1ra a termel\u00e9s sk\u00e1l\u00e1z\u00e1s\u00e1t, mik\u00f6zben jav\u00edtja a hozamot \u00e9s a szeletek konzisztenci\u00e1j\u00e1t.<\/p>\n
A kemence alacsony sziv\u00e1rg\u00e1s\u00fa, nagy v\u00e1kuum\u00fa n\u00f6veked\u00e9si kamr\u00e1t tart fenn, amely biztos\u00edtja a szennyez\u00e9s kock\u00e1zat\u00e1nak cs\u00f6kkent\u00e9s\u00e9t, a krist\u00e1lyok tisztas\u00e1g\u00e1nak jav\u00edt\u00e1s\u00e1t \u00e9s a stabil, hossz\u00fa ideig tart\u00f3 m\u0171k\u00f6d\u00e9st.<\/p>\n
![\"\"](\"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/wp-content\/uploads\/2026\/01\/pl204262670-sic_single_crystal_resistance_heating_crystal_growth_furnace_for_6inch_8inch_12inch_sic_wafers_manufacture-300x300.webp\")
<\/h2>\n<\/p>\n
Teljes\u00edtm\u00e9ny f\u00e9lvezet\u0151 szubsztr\u00e1tumok<\/p>\n<\/li>\n
Elektromos j\u00e1rm\u0171vek teljes\u00edtm\u00e9nymoduljai<\/p>\n<\/li>\n
Nagyfesz\u00fclts\u00e9g\u0171 MOSFET \u00e9s di\u00f3d\u00e1s eszk\u00f6z\u00f6k<\/p>\n<\/li>\n
Meg\u00fajul\u00f3 energi\u00e1t hasznos\u00edt\u00f3 energia\u00e1talak\u00edt\u00f3 rendszerek<\/p>\n<\/li>\n
Nagyfrekvenci\u00e1s \u00e9s RF elektronikai alkatr\u00e9szek<\/p>\n<\/li>\n
Ipari teljes\u00edtm\u00e9nyelektronika<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n
<\/p>\n
<\/p>\n
| Nem.<\/th>\n | Specifik\u00e1ci\u00f3<\/th>\n | R\u00e9szletek<\/th>\n<\/tr>\n<\/thead>\n |
|---|---|---|
| 1<\/td>\n | Modell<\/td>\n | PVT-RS-40<\/td>\n<\/tr>\n |
| 2<\/td>\n | A kemence m\u00e9retei (L \u00d7 Sz \u00d7 H)<\/td>\n | 2500 \u00d7 2400 \u00d7 3456 mm<\/td>\n<\/tr>\n |
| 3<\/td>\n | T\u00e9gely \u00e1tm\u00e9r\u0151je<\/td>\n | 900 mm<\/td>\n<\/tr>\n |
| 4<\/td>\n | V\u00e9gs\u0151 v\u00e1kuumnyom\u00e1s<\/td>\n | 6 \u00d7 10-\u2074 Pa (1,5 \u00f3ra v\u00e1kuum ut\u00e1n)<\/td>\n<\/tr>\n |
| 5<\/td>\n | Sziv\u00e1rg\u00e1s m\u00e9rt\u00e9ke<\/td>\n | \u22645 Pa \/ 12 \u00f3ra (s\u00fct\u00e9s)<\/td>\n<\/tr>\n |
| 6<\/td>\n | Forgat\u00e1s tengely \u00e1tm\u00e9r\u0151je<\/td>\n | 50 mm<\/td>\n<\/tr>\n |
| 7<\/td>\n | Forg\u00e1si sebess\u00e9g<\/td>\n | 0,5-5 fordulat\/perc<\/td>\n<\/tr>\n |
| 8<\/td>\n | F\u0171t\u00e9si m\u00f3dszer<\/td>\n | Elektromos ellen\u00e1ll\u00e1sf\u0171t\u00e9s<\/td>\n<\/tr>\n |
| 9<\/td>\n | Maxim\u00e1lis kemence-h\u0151m\u00e9rs\u00e9klet<\/td>\n | 2500\u00b0C<\/td>\n<\/tr>\n |
| 10<\/td>\n | F\u0171t\u00e9si teljes\u00edtm\u00e9ny<\/td>\n | 40 kW \u00d7 2 + 20 kW<\/td>\n<\/tr>\n |
| 11<\/td>\n | H\u0151m\u00e9rs\u00e9klet m\u00e9r\u00e9s<\/td>\n | K\u00e9tsz\u00edn\u0171 infrav\u00f6r\u00f6s pirom\u00e9ter<\/td>\n<\/tr>\n |
| 12<\/td>\n | H\u0151m\u00e9rs\u00e9klet tartom\u00e1ny<\/td>\n | 900-3000\u00b0C<\/td>\n<\/tr>\n |
| 13<\/td>\n | H\u0151m\u00e9rs\u00e9klet pontoss\u00e1g<\/td>\n | \u00b11\u00b0C<\/td>\n<\/tr>\n |
| 14<\/td>\n | Nyom\u00e1s tartom\u00e1ny<\/td>\n | 1-700 mbar<\/td>\n<\/tr>\n |
| 15<\/td>\n | Nyom\u00e1sszab\u00e1lyoz\u00e1s pontoss\u00e1ga<\/td>\n | \u00b10,5% teljes sk\u00e1la<\/td>\n<\/tr>\n |
| 16<\/td>\n | M\u0171velet t\u00edpusa<\/td>\n | Als\u00f3 bet\u00f6lt\u00e9s, k\u00e9zi vagy automatikus biztons\u00e1gi \u00fczemm\u00f3d<\/td>\n<\/tr>\n |
| 17<\/td>\n | V\u00e1laszthat\u00f3 konfigur\u00e1ci\u00f3k<\/td>\n | T\u00f6bbz\u00f3n\u00e1s f\u0171t\u00e9s, kett\u0151s h\u0151m\u00e9rs\u00e9klet-ellen\u0151rz\u00e9s<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/h2>\n |