{"id":2536,"date":"2026-06-08T05:27:34","date_gmt":"2026-06-08T05:27:34","guid":{"rendered":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/?post_type=product&p=2536"},"modified":"2026-06-14T18:33:48","modified_gmt":"2026-06-14T18:33:48","slug":"12-inch-glass-wafer-for-advanced-semiconductor-mems-applications","status":"publish","type":"product","link":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/fr\/product\/12-inch-glass-wafer-for-advanced-semiconductor-mems-applications\/","title":{"rendered":"Plaquette de verre de 12 pouces destin\u00e9e aux applications avanc\u00e9es dans le domaine des semi-conducteurs et des MEMS"},"content":{"rendered":"

\"PlaquetteLa plaquette de verre de 12 pouces (300 mm) est un substrat haut de gamme con\u00e7u pour la fabrication avanc\u00e9e de semi-conducteurs, les dispositifs MEMS, les syst\u00e8mes optiques et le conditionnement au niveau de la plaquette (WLP \/ FOWLP). \u00c0 mesure que l'int\u00e9gration des composants ne cesse de s'accro\u00eetre et que les structures d'encapsulation gagnent en complexit\u00e9, les plaquettes de verre de grand diam\u00e8tre s'imposent comme une alternative incontournable aux substrats traditionnels en silicium.<\/p>\n

Par rapport aux formats de plaquettes plus petits, les plaquettes de verre de 12 pouces offrent une efficacit\u00e9 de production nettement sup\u00e9rieure, une meilleure \u00e9volutivit\u00e9 pour la production de masse et une compatibilit\u00e9 avec les proc\u00e9d\u00e9s avanc\u00e9s de lithographie et d'encapsulation. Elles sont largement utilis\u00e9es dans les syst\u00e8mes \u00e9lectroniques de nouvelle g\u00e9n\u00e9ration qui exigent une grande stabilit\u00e9 dimensionnelle, de faibles pertes di\u00e9lectriques, une excellente transparence optique et une qualit\u00e9 de surface ultra-lisse.<\/p>\n

Ces plaquettes sont fabriqu\u00e9es \u00e0 partir de mat\u00e9riaux de haute puret\u00e9, tels que le verre borosilicat\u00e9, la silice fondue, le quartz et le verre sans alcalins, en fonction des exigences de l'application. Chaque plaquette est soumise \u00e0 des processus de d\u00e9coupe, de meulage, de polissage et de nettoyage de haute pr\u00e9cision afin de garantir un contr\u00f4le rigoureux de la plan\u00e9it\u00e9, de l'uniformit\u00e9 de l'\u00e9paisseur et de la rugosit\u00e9 de surface.<\/p>\n

\n

Types de mat\u00e9riaux disponibles pour les plaquettes de verre de 12 pouces<\/strong><\/span><\/h2>\n

Verre borosilicat\u00e9 (plaquette de 12 pouces)<\/strong><\/span><\/h3>\n
    \n
  • Excellente compatibilit\u00e9 en termes de dilatation thermique avec le silicium (~3,2 ppm\/K)<\/li>\n
  • Id\u00e9al pour les applications de soudage anodique<\/li>\n
  • Haute r\u00e9sistance chimique<\/li>\n
  • Propri\u00e9t\u00e9s m\u00e9caniques stables lors des cycles thermiques<\/li>\n
  • Largement utilis\u00e9 dans les MEMS et les structures d'encapsulation<\/li>\n<\/ul>\n
    \n

    Verre de quartz (plaquette de 12 pouces)<\/strong><\/span><\/h3>\n
      \n
    • Transmission optique extr\u00eamement \u00e9lev\u00e9e (de l'UV \u00e0 l'IR)<\/li>\n
    • Teneur en impuret\u00e9s et en groupes OH tr\u00e8s faible<\/li>\n
    • R\u00e9sistance aux hautes temp\u00e9ratures<\/li>\n
    • Rugosit\u00e9 de surface pouvant atteindre Ra \u2264 0,5 nm<\/li>\n
    • Convient aux MEMS optiques et \u00e0 la photonique<\/li>\n<\/ul>\n
      \n

      Silice fondue (plaquette de 12 pouces)<\/strong><\/span><\/h3>\n
        \n
      • Dilatation thermique extr\u00eamement faible (~0,5 ppm\/K)<\/li>\n
      • Mat\u00e9riau synth\u00e9tique de haute puret\u00e9<\/li>\n
      • Excellente r\u00e9sistance aux chocs thermiques<\/li>\n
      • Transmission optique >90% (plage de 200 \u00e0 2 000 nm)<\/li>\n
      • Id\u00e9al pour les applications haut de gamme dans les domaines de l'optique et des semi-conducteurs<\/li>\n<\/ul>\n
        \n

        Verre sans alcalins (plaquette de 12 pouces)<\/strong><\/span><\/h3>\n
          \n
        • Exempt de toute contamination par des m\u00e9taux lourds (As, Sb, Ba, halog\u00e9nures)<\/li>\n
        • Faible bruit de fond de fluorescence<\/li>\n
        • Stabilit\u00e9 di\u00e9lectrique \u00e9lev\u00e9e<\/li>\n
        • Compatible avec les proc\u00e9d\u00e9s avanc\u00e9s de fabrication de semi-conducteurs<\/li>\n
        • Excellente r\u00e9sistance chimique<\/li>\n<\/ul>\n
          \n

          Caract\u00e9ristiques techniques principales (plaquette de verre de 12 pouces)<\/strong><\/span><\/h2>\n

          Param\u00e8tres dimensionnels<\/strong><\/span><\/h3>\n
            \n
          • Diam\u00e8tre de la plaquette : 300 mm (12 pouces)<\/li>\n
          • Plage d'\u00e9paisseur : 500 \u03bcm \u2013 2 000 \u03bcm (personnalisable)<\/li>\n
          • Tol\u00e9rance d'\u00e9paisseur : de \u00b15 \u03bcm \u00e0 \u00b120 \u03bcm<\/li>\n
          • Variation d'\u00e9paisseur totale (TTV) : \u2264 10\u201315 \u03bcm (grade haute pr\u00e9cision)<\/li>\n<\/ul>\n
            \n

            Qualit\u00e9 de surface<\/strong><\/span><\/h3>\n
              \n
            • Rugosit\u00e9 de surface (Ra) : \u2264 1,0 nm (norme)<\/li>\n
            • Option \u00ab ultra-polie \u00bb : Ra \u2264 0,5 nm<\/li>\n
            • Plan\u00e9it\u00e9 de surface : \u2264 \u03bb\/10 (sp\u00e9cification haut de gamme en option)<\/li>\n
            • Finition des bords : chanfrein\u00e9e \/ arrondie \/ profil sur mesure<\/li>\n
            • Disponible en version polie des deux c\u00f4t\u00e9s (DSP) ou d'un seul c\u00f4t\u00e9 (SSP)<\/li>\n<\/ul>\n

              \"\"<\/p>\n

              \n

              Performances des mat\u00e9riaux (valeurs de r\u00e9f\u00e9rence)<\/strong><\/span><\/h3>\n
              \n
              \n\n\n\n\n\n\n\n\n
              Type de mat\u00e9riau<\/th>\nCTE (ppm\/K)<\/th>\nTransmission<\/th>\nCaract\u00e9ristique principale<\/th>\n<\/tr>\n<\/thead>\n
              Borosilicate<\/td>\n~3.2<\/td>\nMoyen<\/td>\nCompatibilit\u00e9 de liaison du silicium<\/td>\n<\/tr>\n
              Quartz<\/td>\n~0.55<\/td>\n\u00c9lev\u00e9 (UV\u2013IR)<\/td>\nPerformances de qualit\u00e9 optique<\/td>\n<\/tr>\n
              Silice fondue<\/td>\n~0.5<\/td>\n>90%<\/td>\nUltra-pur et stable<\/td>\n<\/tr>\n
              Verre sans alcalins<\/td>\n~3\u20134<\/td>\nN\/A<\/td>\nFaible niveau de contamination<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<\/div>\n<\/div>\n
              \n

              Capacit\u00e9s de fabrication<\/strong><\/span><\/h2>\n

              Nos plaquettes de verre de 12 pouces sont fabriqu\u00e9es dans des conditions de fabrication de haute pr\u00e9cision :<\/p>\n

                \n
              • Usinage et d\u00e9coupe CNC de haute pr\u00e9cision<\/li>\n
              • Polissage chimico-m\u00e9canique (CMP)<\/li>\n
              • Technologie de finition de surface \u00e0 l'\u00e9chelle subnanom\u00e9trique<\/li>\n
              • Nettoyage et inspection conformes aux normes des salles blanches<\/li>\n
              • Contr\u00f4le m\u00e9trologique de l'\u00e9paisseur et de la plan\u00e9it\u00e9<\/li>\n
              • Compatibilit\u00e9 avec les normes SEMI \/ JEIDA (le cas \u00e9ch\u00e9ant)<\/li>\n<\/ul>\n

                Nous intervenons aussi bien dans le d\u00e9veloppement de prototypes que dans la production en s\u00e9rie \u00e0 grande \u00e9chelle.<\/p>\n

                \"\"<\/p>\n

                \n

                Applications des plaquettes de verre de 12 pouces<\/strong><\/span><\/h2>\n

                Les plaquettes de verre de 12 pouces sont largement utilis\u00e9es dans les industries de pointe de nouvelle g\u00e9n\u00e9ration :<\/p>\n

                  \n
                • Conditionnement au niveau de la plaquette de semi-conducteurs (WLP \/ FOWLP)<\/li>\n
                • Capteurs et actionneurs MEMS<\/li>\n
                • Circuits int\u00e9gr\u00e9s photoniques (PIC)<\/li>\n
                • Modules de communication optique<\/li>\n
                • Technologies d'affichage de pointe (OLED \/ MicroLED)<\/li>\n
                • Syst\u00e8mes de d\u00e9tection automobile (LiDAR, radar, imagerie)<\/li>\n
                • Biopuces et dispositifs de diagnostic m\u00e9dical<\/li>\n
                • Composants RF haute fr\u00e9quence et hyperfr\u00e9quences<\/li>\n
                • Syst\u00e8mes optiques de pr\u00e9cision et plateformes de lithographie<\/li>\n<\/ul>\n
                  \n

                  Avantages des plaquettes de verre de 12 pouces<\/strong><\/span><\/h2>\n
                    \n
                  • Compatibilit\u00e9 totale avec les lignes de production de semi-conducteurs de 300 mm<\/li>\n
                  • Excellente stabilit\u00e9 dimensionnelle pour l'usinage de grandes surfaces<\/li>\n
                  • Rugosit\u00e9 de surface extr\u00eamement faible (< 1 nm Ra)<\/li>\n
                  • Haute transparence optique (selon le type de mat\u00e9riau)<\/li>\n
                  • Propri\u00e9t\u00e9s d'isolation \u00e9lectrique exceptionnelles<\/li>\n
                  • Grande stabilit\u00e9 chimique et thermique<\/li>\n
                  • Convient aux environnements de production \u00e0 grand volume<\/li>\n
                  • \u00c9paisseur, mat\u00e9riau et finition de surface personnalisables<\/li>\n<\/ul>\n

                    FAQ (Foire aux questions)<\/strong><\/span><\/h2>\n

                    Q1 : Les plaquettes de verre de 12 pouces peuvent-elles remplacer les plaquettes de silicium dans les applications li\u00e9es aux semi-conducteurs ?<\/strong><\/span><\/h3>\n

                    Les plaquettes de verre de 12 pouces ne remplacent pas enti\u00e8rement les plaquettes de silicium dans la fabrication de dispositifs actifs, mais elles sont largement utilis\u00e9es comme mat\u00e9riaux de substrat ou de support de pointe<\/strong> dans le domaine de l'encapsulation des semi-conducteurs, des MEMS et des syst\u00e8mes photoniques. Les plaquettes de verre offrent une isolation \u00e9lectrique sup\u00e9rieure, une transparence optique et des pertes di\u00e9lectriques r\u00e9duites, ce qui les rend id\u00e9ales pour l'encapsulation au niveau de la plaquette (WLP), l'encapsulation WLP \u00e0 fan-out (FOWLP) et les applications d'int\u00e9gration optique o\u00f9 le silicium n'est pas n\u00e9cessaire en tant que couche semi-conductrice active.<\/p>\n

                    \n

                    Q2 : Quel niveau de plan\u00e9it\u00e9 et de qualit\u00e9 de surface pouvez-vous obtenir pour des plaquettes de verre de 12 pouces ?<\/strong><\/span><\/h3>\n

                    Pour les plaquettes de verre de 12 pouces de haute pr\u00e9cision, nous sommes en mesure d'assurer un contr\u00f4le extr\u00eamement rigoureux de la surface. Les sp\u00e9cifications types sont les suivantes :<\/p>\n

                      \n
                    • Rugosit\u00e9 de surface (Ra) : \u2264 1,0 nm (qualit\u00e9 standard), jusqu'\u00e0 \u2264 0,5 nm (qualit\u00e9 ultra-polie)<\/li>\n
                    • Variation d'\u00e9paisseur totale (TTV) : \u2264 10 \u00e0 15 \u03bcm selon le mat\u00e9riau et l'\u00e9paisseur<\/li>\n
                    • Plan\u00e9it\u00e9 de surface : jusqu'\u00e0 \u03bb\/10 (sp\u00e9cification haut de gamme en option)<\/li>\n<\/ul>\n

                      Ces param\u00e8tres garantissent une excellente compatibilit\u00e9 avec les proc\u00e9d\u00e9s avanc\u00e9s de lithographie, de collage et de d\u00e9p\u00f4t de couches minces.<\/p>\n

                      \n

                      Q3 : Les plaquettes de verre de 12 pouces peuvent-elles \u00eatre personnalis\u00e9es pour r\u00e9pondre \u00e0 des applications ou \u00e0 des exigences de processus sp\u00e9cifiques ?<\/strong><\/span><\/h3>\n

                      Oui. Les plaquettes de verre de 12 pouces offrent une grande flexibilit\u00e9 de personnalisation. Nous pouvons adapter plusieurs param\u00e8tres en fonction des exigences de votre processus, notamment :<\/p>\n

                        \n
                      • Type de mat\u00e9riau (borosilicate, quartz, silice fondue, verre sans alcalins)<\/li>\n
                      • \u00c9paisseur (de 500 \u03bcm \u00e0 2 mm ou plus)<\/li>\n
                      • Finition de surface (polissage SSP ou DSP)<\/li>\n
                      • Profil des bords (chanfrein\u00e9, arrondi ou sur mesure)<\/li>\n
                      • Niveaux de plan\u00e9it\u00e9, de TTV et de rugosit\u00e9 de surface<\/li>\n
                      • Motifs sp\u00e9ciaux, rep\u00e8res d'alignement ou gravure au laser<\/li>\n<\/ul>\n

                        La personnalisation rev\u00eat une importance particuli\u00e8re pour les MEMS, les syst\u00e8mes optiques et les applications d'encapsulation de pointe, o\u00f9 la compatibilit\u00e9 des proc\u00e9d\u00e9s est essentielle.<\/p>","protected":false},"excerpt":{"rendered":"

                        La plaquette de verre de 12 pouces est un mat\u00e9riau essentiel pour le conditionnement des semi-conducteurs de nouvelle g\u00e9n\u00e9ration, l'int\u00e9gration des MEMS et le d\u00e9veloppement de syst\u00e8mes optiques. Alliant \u00e9volutivit\u00e9 gr\u00e2ce \u00e0 son grand diam\u00e8tre, une qualit\u00e9 de surface d'une pr\u00e9cision extr\u00eame et des propri\u00e9t\u00e9s mat\u00e9rielles personnalisables, elle est de plus en plus adopt\u00e9e par les industries de fabrication de pointe \u00e0 la recherche d'alternatives aux plaquettes de silicium traditionnelles.<\/p>","protected":false},"featured_media":2539,"comment_status":"open","ping_status":"closed","template":"","meta":{"site-sidebar-layout":"default","site-content-layout":"","ast-site-content-layout":"default","site-content-style":"default","site-sidebar-style":"default","ast-global-header-display":"","ast-banner-title-visibility":"","ast-main-header-display":"","ast-hfb-above-header-display":"","ast-hfb-below-header-display":"","ast-hfb-mobile-header-display":"","site-post-title":"","ast-breadcrumbs-content":"","ast-featured-img":"","footer-sml-layout":"","ast-disable-related-posts":"","theme-transparent-header-meta":"default","adv-header-id-meta":"","stick-header-meta":"default","header-above-stick-meta":"","header-main-stick-meta":"","header-below-stick-meta":"","astra-migrate-meta-layouts":"set","ast-page-background-enabled":"default","ast-page-background-meta":{"desktop":{"background-color":"var(--ast-global-color-4)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center 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