{"id":2638,"date":"2026-07-24T06:04:09","date_gmt":"2026-07-24T06:04:09","guid":{"rendered":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/?post_type=product&p=2638"},"modified":"2026-07-24T06:04:11","modified_gmt":"2026-07-24T06:04:11","slug":"custom-fused-quartz-fixture-ring-with-radial-support-ribs","status":"publish","type":"product","link":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/de\/product\/custom-fused-quartz-fixture-ring-with-radial-support-ribs\/","title":{"rendered":"Ma\u00dfgefertigter Ring aus geschmolzenem Quarz mit radialen St\u00fctzrippen"},"content":{"rendered":"

ZMSH fertigt ma\u00dfgeschneiderte Halteringe aus Quarzglas f\u00fcr Halbleiterprozessanlagen, Wafer-W\u00e4rmebehandlungssysteme und andere hochtemperaturbehaftete, reinheitsempfindliche Anwendungen.<\/p>\n

Das Bauteil besteht aus einem gro\u00dfen, ringf\u00f6rmigen Quarzk\u00f6rper mit einer zentralen \u00d6ffnung und mehreren radialen St\u00fctzrippen. Die gerippte Struktur dient dazu, die Steifigkeit zu verbessern und mechanische Belastungen zu verteilen, w\u00e4hrend gleichzeitig eine offene Innenkonfiguration erhalten bleibt. Au\u00dfendurchmesser, Innendurchmesser, Gesamtdicke, Anordnung der Rippen, Befestigungsl\u00f6cher und Positionierungsmerkmale k\u00f6nnen gem\u00e4\u00df den Zeichnungen des Kunden gefertigt werden.<\/p>\n

Jede Leuchte wird vor der Fertigung hinsichtlich ihrer Betriebstemperatur, ihres Temperaturzyklus, ihrer Belastungsbedingungen, ihrer Anbindung an andere Ger\u00e4te sowie der Reinheitsanforderungen gepr\u00fcft.<\/p>\n

Produktspezifikationen<\/h2>\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n
Artikel<\/th>\nVerf\u00fcgbare Spezifikationen<\/th>\n<\/tr>\n
Produktname<\/td>\nBefestigungsring aus geschmolzenem Quarz<\/td>\n<\/tr>\n
Marke<\/td>\nZMSH<\/td>\n<\/tr>\n
Material<\/td>\nQuarzglas<\/td>\n<\/tr>\n
Struktur<\/td>\nRing mit radialen St\u00fctzrippen<\/td>\n<\/tr>\n
Au\u00dfendurchmesser<\/td>\nMa\u00dfgeschneidert<\/td>\n<\/tr>\n
Innendurchmesser<\/td>\nMa\u00dfgeschneidert<\/td>\n<\/tr>\n
Gesamtdicke<\/td>\nMa\u00dfgeschneidert<\/td>\n<\/tr>\n
Anzahl der Rippen<\/td>\nGem\u00e4\u00df Kundenzeichnung<\/td>\n<\/tr>\n
Rippenabmessungen<\/td>\nBreite, H\u00f6he und Position individuell anpassbar<\/td>\n<\/tr>\n
Oberfl\u00e4chenbeschaffenheit<\/td>\nTransparent, durchscheinend oder matt<\/td>\n<\/tr>\n
Kantenbearbeitung<\/td>\ngeschliffen, gefast, abgerundet oder poliert<\/td>\n<\/tr>\n
Weitere Funktionen<\/td>\nBefestigungsl\u00f6cher, Positionierungsl\u00f6cher, Schlitze, Nuten und Stufen<\/td>\n<\/tr>\n
Ebenheit<\/td>\nGem\u00e4\u00df Zeichnung und Antrag<\/td>\n<\/tr>\n
Ma\u00dftoleranz<\/td>\nJe nach Bauteilgr\u00f6\u00dfe und technischen Anforderungen<\/td>\n<\/tr>\n
Fertigungsverfahren<\/td>\nQuarzformung, Schwei\u00dfen, Schleifen und Pr\u00e4zisionsbearbeitung<\/td>\n<\/tr>\n
Pr\u00fcfung<\/td>\nMa\u00df-, Sicht- und Sauberkeitspr\u00fcfung<\/td>\n<\/tr>\n
Verpackung<\/td>\nEinzelverpackung oder saubere Verpackung<\/td>\n<\/tr>\n
Mindestbestellmenge<\/td>\nIn der Regel 50 St\u00fcck; Entwicklungsmengen vorbehaltlich einer Best\u00e4tigung<\/td>\n<\/tr>\n
Lieferzeit<\/td>\nEtwa 2\u20134 Wochen<\/td>\n<\/tr>\n
Zahlungsbedingungen<\/td>\nT\/T<\/td>\n<\/tr>\n
Herkunftsort<\/td>\nShanghai, China<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n

Die endg\u00fcltigen Spezifikationen werden nach Pr\u00fcfung der Bauteilzeichnung und der Betriebsbedingungen festgelegt.<\/p>\n

Wichtigste Produktmerkmale<\/h2>\n

Ringf\u00f6rmige Struktur mit radialer Verst\u00e4rkung<\/h3>\n

Die gro\u00dfe zentrale \u00d6ffnung und die Anordnung der radialen Rippen bieten eine praktische Konstruktion f\u00fcr Ger\u00e4tehalterungen, die einen offenen Prozessbereich erfordern. Anzahl, Breite, H\u00f6he und Abstand der Rippen lassen sich entsprechend den erforderlichen Auflagepunkten und der Lastverteilung anpassen.<\/p>\n

Die tats\u00e4chliche mechanische Leistung h\u00e4ngt von den Abmessungen der Bauteile, der Befestigungsart, der Betriebstemperatur und der aufgebrachten Belastung ab.<\/p>\n

Geringe W\u00e4rmeausdehnung<\/h3>\n

Quarzglas weist einen niedrigen W\u00e4rmeausdehnungskoeffizienten auf, wodurch die Vorrichtung ihre Formstabilit\u00e4t w\u00e4hrend der Aufheiz- und Abk\u00fchlzyklen beibeh\u00e4lt. Diese Eigenschaft ist bei thermischen Prozessen in der Halbleiterindustrie von Nutzen, bei denen es zu wiederholten Temperaturschwankungen kommen kann.<\/p>\n

Vertr\u00e4glichkeit mit Hochtemperaturprozessen<\/h3>\n

Quarzglas findet breite Anwendung in Halbleiter\u00f6fen und Anlagen zur thermischen Bearbeitung, da es bei erh\u00f6hten Temperaturen eine gute Stabilit\u00e4t aufweist.<\/p>\n

Die maximal zul\u00e4ssige Betriebstemperatur h\u00e4ngt von der Quarzsorte, der Geometrie der Halterung, der aufgebrachten Belastung, der Prozessatmosph\u00e4re und dem Temperaturzyklus ab.<\/p>\n

Chemische Best\u00e4ndigkeit<\/h3>\n

Geschmolzenes Quarz ist best\u00e4ndig gegen viele S\u00e4uren und Prozesschemikalien, die in Halbleiter- und Laborumgebungen zum Einsatz kommen. Die chemische Vertr\u00e4glichkeit sollte dennoch anhand der tats\u00e4chlich verwendeten Prozessgase, Fl\u00fcssigkeiten und Reinigungschemikalien \u00fcberpr\u00fcft werden.<\/p>\n

Geringes Kontaminationspotenzial<\/h3>\n

Quarz wird h\u00e4ufig f\u00fcr Halbleiterausr\u00fcstung ausgew\u00e4hlt, da es in kontrollierter Materialqualit\u00e4t und mit sauberen Oberfl\u00e4chen geliefert werden kann. Reinigungsverfahren und Verpackungsstandard k\u00f6nnen je nach dem vorgesehenen Prozess festgelegt werden.<\/p>\n

Anpassung anhand von Zeichnungen<\/h3>\n

Im Gegensatz zu herk\u00f6mmlichen Quarzringen kann diese Halterung passgenau an die Schnittstelle des Ger\u00e4ts angepasst gefertigt werden. Der Ringk\u00f6rper, die Rippen, Bohrungen, Schlitze, Kanten und die Oberfl\u00e4chenbeschaffenheit k\u00f6nnen vollst\u00e4ndig an die Vorgaben des Kunden angepasst werden.<\/p>\n

Individuelle Gestaltungsm\u00f6glichkeiten<\/h2>\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n
Gestaltungsbereich<\/td>\nAnpassbare Parameter<\/td>\n<\/tr>\n
Ringk\u00f6rper<\/td>\nAu\u00dfendurchmesser, Innendurchmesser und Gesamtdicke<\/td>\n<\/tr>\n
Radiale Rippen<\/td>\nAnzahl, Breite, H\u00f6he, L\u00e4nge, Winkel und Abstand<\/td>\n<\/tr>\n
Rippenverbindungen<\/td>\nVerbindungsposition, \u00dcbergangsradius und Verbindungsgeometrie<\/td>\n<\/tr>\n
Befestigungsschnittstelle<\/td>\nSchraubenl\u00f6cher, Passl\u00f6cher, Schlitze und Kerben<\/td>\n<\/tr>\n
Auflagefl\u00e4che<\/td>\nAufstandsfl\u00e4che, Stufenh\u00f6he und Lage der Auflagepunkte<\/td>\n<\/tr>\n
Ma\u00dfkontrolle<\/td>\nEbenheit, Rundheit, Konzentrizit\u00e4t und Lagetoleranz<\/td>\n<\/tr>\n
Kantengestaltung<\/td>\nFase, Abschr\u00e4gung, Rundung oder polierte Kante<\/td>\n<\/tr>\n
Oberfl\u00e4chenbeschaffenheit<\/td>\nTransparent, durchscheinend, geschliffen oder mattiert<\/td>\n<\/tr>\n
Quarzmaterial<\/td>\nQuarzqualit\u00e4t entsprechend den Prozessanforderungen ausgew\u00e4hlt<\/td>\n<\/tr>\n
Reinigung<\/td>\nStandardreinigung oder projektspezifische Reinigungsanforderungen<\/td>\n<\/tr>\n
Verpackung<\/td>\nEinzelschutz, saubere Verpackung oder Exportverpackung<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n

Scharfe Innenecken und abrupte Wanddicken\u00e4nderungen sollten nach M\u00f6glichkeit vermieden werden, da sie beim Erw\u00e4rmen, bei der Handhabung oder bei der Montage zu einer erh\u00f6hten lokalen Belastung f\u00fchren k\u00f6nnen.<\/p>\n

Typische Anwendungen<\/h2>\n

Ma\u00dfgefertigte Halteringe aus Quarzglas k\u00f6nnen f\u00fcr den Einsatz in folgenden Bereichen gepr\u00fcft werden:<\/p>\n

    \n
  • Halbleiter-Prozessanlagen<\/li>\n
  • Wafer-W\u00e4rmebehandlungsanlagen<\/li>\n
  • Diffusions\u00f6fen<\/li>\n
  • Oxidations\u00f6fen<\/li>\n
  • Anlagen zur chemischen Gasphasenabscheidung<\/li>\n
  • Quarzofen-Baugruppen<\/li>\n
  • Systeme zur Halterung und Positionierung von Wafern<\/li>\n
  • Hochtemperatur-Prozesskammern<\/li>\n
  • Laborger\u00e4te f\u00fcr die thermische Verarbeitung<\/li>\n
  • Optische und elektronische Materialbearbeitung<\/li>\n
  • Ma\u00dfgeschneiderte Vorrichtungen f\u00fcr die Halbleiterfertigung<\/li>\n<\/ul>\n

    Die Eignung muss unter Ber\u00fccksichtigung der Betriebstemperatur, der Prozessatmosph\u00e4re, der zu tragenden Last, der Temperaturwechsel und der Anlagenstruktur \u00fcberpr\u00fcft werden.<\/p>\n

    Herstellungsprozess<\/h2>\n

    1. Pr\u00fcfung der Zeichnung und des Antrags<\/h3>\n

    Vor der Angebotserstellung werden die Bauteilzeichnung, die Ma\u00dfe, die Anordnung der Rippen, die Toleranzen und die Betriebsbedingungen gepr\u00fcft. In dieser Phase lassen sich Bereiche mit hoher thermischer oder mechanischer Beanspruchung identifizieren.<\/p>\n

    2. Material- und Verfahrensauswahl<\/h3>\n

    Die Wahl der Quarzsorte und des Herstellungsverfahrens richtet sich nach der Gr\u00f6\u00dfe der Halterung, ihrer Struktur und den Anforderungen an die Reinheit.<\/p>\n

    Je nach Konstruktion kann die Fertigung Quarzformung, Schwei\u00dfmontage, Schleifen und Pr\u00e4zisionsbearbeitung umfassen.<\/p>\n

    3. Stahlbau<\/h3>\n

    Der Ringk\u00f6rper, die Radialrippen und die zus\u00e4tzlichen Befestigungselemente werden gem\u00e4\u00df der genehmigten Zeichnung gefertigt. Die Position der Rippen und die Anschlussgeometrie werden so gesteuert, dass die erforderliche Struktur gew\u00e4hrleistet ist.<\/p>\n

    4. Kanten- und Oberfl\u00e4chenbearbeitung<\/h3>\n

    Kanten k\u00f6nnen geschliffen, abgeschr\u00e4gt, abgerundet oder poliert werden. Je nach Anwendungszweck kann die Oberfl\u00e4che transparent, durchscheinend oder matt sein.<\/p>\n

    5. Pr\u00fcfung und Verpackung<\/h3>\n

    Die fertigen Bauteile werden vor der Reinigung und der Schutzverpackung anhand der vereinbarten Zeichnung und der Abnahmekriterien gepr\u00fcft.<\/p>\n

    Qualit\u00e4tspr\u00fcfung<\/h2>\n

    Zu den verf\u00fcgbaren Pr\u00fcfpunkten geh\u00f6ren:<\/p>\n

      \n
    • Au\u00dfendurchmesser<\/li>\n
    • Innendurchmesser<\/li>\n
    • Gesamtdicke<\/li>\n
    • Rundheit des Rings<\/li>\n
    • Rundlaufgenauigkeit<\/li>\n
    • Ebenheit<\/li>\n
    • Anzahl und Lage der Rippen<\/li>\n
    • Rippenbreite und -h\u00f6he<\/li>\n
    • Bohrungsdurchmesser und -position<\/li>\n
    • Abmessungen von Nut und Feder<\/li>\n
    • Randbedingung<\/li>\n
    • Oberfl\u00e4chenkratzer<\/li>\n
    • Absplitterungen und Risse<\/li>\n
    • Aussehen der Schwei\u00dfnaht<\/li>\n
    • Optische Sauberkeit<\/li>\n
    • Verpackungszustand<\/li>\n<\/ul>\n

      Ma\u00dfpr\u00fcfberichte, Materialunterlagen und Produktfotos k\u00f6nnen bereitgestellt werden, sofern dies in den Auftragsanforderungen vorgesehen ist.<\/p>\n

      F\u00fcr die Angebotserstellung erforderliche Angaben<\/h2>\n

      F\u00fcr ein genaues Angebot und eine Pr\u00fcfung der Herstellbarkeit bitten wir Sie um folgende Angaben:<\/p>\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n
      Erforderliche Angaben<\/td>\nBeschreibung<\/td>\n<\/tr>\n
      Technische Zeichnung<\/td>\nPDF, DXF, DWG, STEP oder ein anderes verf\u00fcgbares Format<\/td>\n<\/tr>\n
      Hauptabmessungen<\/td>\nAu\u00dfendurchmesser, Innendurchmesser und Gesamtdicke<\/td>\n<\/tr>\n
      Rippenstruktur<\/td>\nAnzahl, Breite, H\u00f6he, L\u00e4nge und Winkelposition der Rippen<\/td>\n<\/tr>\n
      Befestigungsmerkmale<\/td>\nAngaben zu Bohrungen, Schlitzen, Kerben und Positionierungspunkten<\/td>\n<\/tr>\n
      Ma\u00dftoleranzen<\/td>\nKritische Ma\u00dfe und Lagetoleranzen<\/td>\n<\/tr>\n
      Geometrische Toleranzen<\/td>\nEbenheit, Rundheit, Konzentrizit\u00e4t und Parallelit\u00e4t<\/td>\n<\/tr>\n
      Anforderungen an die Oberfl\u00e4che<\/td>\nTransparent, durchscheinend, geschliffen oder mattiert<\/td>\n<\/tr>\n
      Kantenbearbeitung<\/td>\nFase, Radius, Abschr\u00e4gung oder polierte Kante<\/td>\n<\/tr>\n
      Betriebstemperatur<\/td>\nKontinuierliche und Spitzenprozesstemperatur<\/td>\n<\/tr>\n
      Temperaturzyklus<\/td>\nHeiz- und K\u00fchlbedingungen<\/td>\n<\/tr>\n
      Ladebedingungen<\/td>\nTragkraft, Belastungsrichtung und Auflagepunkte<\/td>\n<\/tr>\n
      Prozessumgebung<\/td>\nGas-, chemische, Vakuum- oder atmosph\u00e4rische Bedingungen<\/td>\n<\/tr>\n
      Ger\u00e4tetyp<\/td>\nOfen, Abscheidungsanlage, Prozesskammer oder andere Anlagen<\/td>\n<\/tr>\n
      Bestellmenge<\/td>\nProbemenge und gesch\u00e4tzter Chargenbedarf<\/td>\n<\/tr>\n
      Qualit\u00e4tsanforderungen<\/td>\nPr\u00fcfbericht, Materialzertifikat und Verpackungsnorm<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n

      Die Angabe der Betriebsbedingungen zus\u00e4tzlich zur Zeichnung hilft bei der Beurteilung, ob die Anordnung der Rippen, die Wandst\u00e4rke und die Verbindungsstruktur f\u00fcr den vorgesehenen Prozess geeignet sind.<\/p>\n

      Warum sollten Sie sich f\u00fcr ma\u00dfgefertigte Quarzkomponenten von ZMSH entscheiden?<\/h2>\n

      ZMSH unterst\u00fctzt die Fertigung von Quarzbauteilen nach Zeichnung f\u00fcr Halbleiterausr\u00fcstung, Laborsysteme und industrielle Hochtemperaturanwendungen.<\/p>\n

      Unser Sortiment an ma\u00dfgefertigten Quarzprodukten umfasst:<\/p>\n

        \n
      • Quarz-Befestigungsringe<\/li>\n
      • Quarz-St\u00fctzringe<\/li>\n
      • Quarz-Lehren<\/li>\n
      • Quarzplatten und -scheiben<\/li>\n
      • Quarzwafer-Tr\u00e4ger<\/li>\n
      • Quarzboote<\/li>\n
      • Quarzofenrohre<\/li>\n
      • Quarzflansche<\/li>\n
      • Quarzkammern<\/li>\n
      • Quarz-Schwei\u00dfbaugruppen<\/li>\n
      • Sonstige kundenspezifische Halbleiter-Quarz-Komponenten<\/li>\n<\/ul>\n

        Im Rahmen des Angebotsverfahrens k\u00f6nnen wir die Zeichnung, den Fertigungsablauf, die Ma\u00dfanforderungen, die Pr\u00fcfverfahren und die Verpackungsanforderungen pr\u00fcfen.<\/p>\n

        H\u00e4ufig gestellte Fragen<\/h2>\n

        K\u00f6nnen der Au\u00dfen- und der Innendurchmesser individuell angepasst werden?<\/h3>\n

        Ja. Au\u00dfendurchmesser, Innendurchmesser, Wandst\u00e4rke und die gesamte Ringgeometrie k\u00f6nnen gem\u00e4\u00df der Kundenzeichnung und der Anbindung an die Anlage gefertigt werden.<\/p>\n

        K\u00f6nnen die Anzahl und die Abmessungen der radialen Rippen ge\u00e4ndert werden?<\/h3>\n

        Ja. Die Anzahl, Breite, H\u00f6he, der Abstand und die Winkelposition der Rippen k\u00f6nnen individuell angepasst werden. Die Konstruktion sollte unter Ber\u00fccksichtigung der zu erwartenden Belastung und der Betriebstemperatur gepr\u00fcft werden.<\/p>\n

        K\u00f6nnen Sie die Vorrichtung anhand eines physischen Musters fertigen?<\/h3>\n

        Eine Nachbildung anhand eines Musters ist unter Umst\u00e4nden m\u00f6glich. Es wird jedoch dringend empfohlen, eine technische Zeichnung zu erstellen, um kritische Ma\u00dfe, Toleranzen und die Positionen der Rippen genau festzulegen.<\/p>\n

        Wird die Halterung aus einem St\u00fcck gefertigt oder als Schwei\u00dfkonstruktion hergestellt?<\/h3>\n

        Das Fertigungsverfahren h\u00e4ngt von der Ringgr\u00f6\u00dfe, der Rippenstruktur, den Toleranzen und der Fertigungsdurchf\u00fchrbarkeit ab. Geformte, bearbeitete und geschwei\u00dfte Konstruktionen k\u00f6nnen im Rahmen der Zeichnungspr\u00fcfung bewertet werden.<\/p>","protected":false},"excerpt":{"rendered":"

        ZMSH fertigt ma\u00dfgeschneiderte Halteringe aus Quarzglas f\u00fcr Halbleiterprozessanlagen, Wafer-W\u00e4rmebehandlungssysteme und andere hochtemperaturbehaftete, reinheitsempfindliche Anwendungen.<\/p>\n

        Das Bauteil besteht aus einem gro\u00dfen, ringf\u00f6rmigen Quarzk\u00f6rper mit einer zentralen \u00d6ffnung und mehreren radialen St\u00fctzrippen. Die gerippte Struktur dient dazu, die Steifigkeit zu verbessern und mechanische Belastungen zu verteilen, w\u00e4hrend gleichzeitig eine offene Innenkonfiguration erhalten bleibt. Au\u00dfendurchmesser, Innendurchmesser, Gesamtdicke, Anordnung der Rippen, Befestigungsl\u00f6cher und Positionierungsmerkmale k\u00f6nnen gem\u00e4\u00df den Zeichnungen des Kunden gefertigt 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