{"id":2536,"date":"2026-06-08T05:27:34","date_gmt":"2026-06-08T05:27:34","guid":{"rendered":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/?post_type=product&p=2536"},"modified":"2026-08-22T09:53:53","modified_gmt":"2026-08-22T09:53:53","slug":"12-inch-glass-wafer-for-advanced-semiconductor-mems-applications","status":"publish","type":"product","link":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/de\/product\/12-inch-glass-wafer-for-advanced-semiconductor-mems-applications\/","title":{"rendered":"12-Zoll-Glaswafer f\u00fcr fortschrittliche Halbleiter- und MEMS-Anwendungen"},"content":{"rendered":"

\"12-Zoll-GlaswaferDer 12-Zoll-Glaswafer (300 mm) ist ein High-End-Substrat, das f\u00fcr die moderne Halbleiterfertigung, MEMS-Bauelemente, optische Systeme und die Wafer-Level-Verpackung (WLP \/ FOWLP) entwickelt wurde. Da die Integration von Bauelementen weiter zunimmt und die Verpackungsstrukturen immer komplexer werden, entwickeln sich Glaswafer mit gro\u00dfem Durchmesser zu einer wichtigen Alternative zu herk\u00f6mmlichen Siliziumsubstraten.<\/p>\n

Im Vergleich zu kleineren Waferformaten bieten 12-Zoll-Glaswafer eine deutlich h\u00f6here Produktionseffizienz, eine bessere Skalierbarkeit f\u00fcr die Massenproduktion sowie Kompatibilit\u00e4t mit fortschrittlichen Lithografie- und Verpackungsprozessen. Sie finden breite Anwendung in elektronischen Systemen der n\u00e4chsten Generation, die eine hohe Dimensionsstabilit\u00e4t, geringe dielektrische Verluste, hervorragende optische Transparenz und eine extrem glatte Oberfl\u00e4chenqualit\u00e4t erfordern.<\/p>\n

Diese Wafer werden je nach Anwendungsanforderungen aus hochreinen Materialien wie Borosilikatglas, Quarzglas, Quarz und alkalifreiem Glas hergestellt. Jeder Wafer durchl\u00e4uft pr\u00e4zise Schneide-, Schleif-, Polier- und Reinigungsprozesse, um eine strenge Kontrolle der Ebenheit, der Dickengleichm\u00e4\u00dfigkeit und der Oberfl\u00e4chenrauheit zu gew\u00e4hrleisten.<\/p>\n

\n

Verf\u00fcgbare Materialarten f\u00fcr 12-Zoll-Glaswafer<\/strong><\/span><\/h2>\n

Borosilikatglas (12-Zoll-Wafer)<\/strong><\/span><\/h3>\n
    \n
  • Hervorragende Anpassung der W\u00e4rmeausdehnung an Silizium (~3,2 ppm\/K)<\/li>\n
  • Ideal f\u00fcr Anodik-Bonding-Anwendungen<\/li>\n
  • Hohe chemische Best\u00e4ndigkeit<\/li>\n
  • Stabile mechanische Eigenschaften bei Temperaturwechselbeanspruchung<\/li>\n
  • Weit verbreitet in MEMS- und Verpackungsstrukturen<\/li>\n<\/ul>\n
    \n

    Quarzglas (12-Zoll-Wafer)<\/strong><\/span><\/h3>\n
      \n
    • Extrem hohe optische Durchl\u00e4ssigkeit (UV- bis IR-Bereich)<\/li>\n
    • Sehr geringer Gehalt an Verunreinigungen und OH-Gruppen<\/li>\n
    • Hohe Temperaturbest\u00e4ndigkeit<\/li>\n
    • Oberfl\u00e4chenrauheit bis zu Ra \u2264 0,5 nm<\/li>\n
    • Geeignet f\u00fcr optische MEMS und Photonik<\/li>\n<\/ul>\n
      \n

      Quarzglas (12-Zoll-Wafer)<\/strong><\/span><\/h3>\n
        \n
      • Extrem geringe W\u00e4rmeausdehnung (~0,5 ppm\/K)<\/li>\n
      • Synthetisches Material von hoher Reinheit<\/li>\n
      • Hervorragende Temperaturwechselbest\u00e4ndigkeit<\/li>\n
      • Optische Transmission >90% (Bereich 200\u20132000 nm)<\/li>\n
      • Ideal f\u00fcr anspruchsvolle Anwendungen in der Optik und Halbleiterindustrie<\/li>\n<\/ul>\n
        \n

        Alkalifreies Glas (12-Zoll-Wafer)<\/strong><\/span><\/h3>\n
          \n
        • Frei von Schwermetallverunreinigungen (As, Sb, Ba, Halogenide)<\/li>\n
        • Geringer Fluoreszenzhintergrund<\/li>\n
        • Hohe dielektrische Stabilit\u00e4t<\/li>\n
        • Kompatibel mit modernen Halbleiterfertigungsverfahren<\/li>\n
        • Hervorragende chemische Best\u00e4ndigkeit<\/li>\n<\/ul>\n
          \n

          Wichtige technische Daten (12-Zoll-Glaswafer)<\/strong><\/span><\/h2>\n

          Ma\u00dfparameter<\/strong><\/span><\/h3>\n
            \n
          • Waferdurchmesser: 300 mm (12 Zoll)<\/li>\n
          • Dickenbereich: 500 \u03bcm \u2013 2000 \u03bcm (individuell anpassbar)<\/li>\n
          • Dickentoleranz: \u00b15 \u03bcm bis \u00b120 \u03bcm<\/li>\n
          • Gesamtdickenabweichung (TTV): \u2264 10\u201315 \u03bcm (Hochpr\u00e4zisionsqualit\u00e4t)<\/li>\n<\/ul>\n
            \n

            Qualit\u00e4t der Oberfl\u00e4che<\/strong><\/span><\/h3>\n
              \n
            • Oberfl\u00e4chenrauheit (Ra): \u2264 1,0 nm (Standard)<\/li>\n
            • Option mit ultrahochglanzpolierter Oberfl\u00e4che: Ra \u2264 0,5 nm<\/li>\n
            • Oberfl\u00e4chenebenheit: \u2264 \u03bb\/10 (optionale hochwertige Spezifikation)<\/li>\n
            • Kantenbearbeitung: abgeschr\u00e4gt \/ abgerundet \/ individuelles Profil<\/li>\n
            • Erh\u00e4ltlich als beidseitig poliert (DSP) oder einseitig poliert (SSP)<\/li>\n<\/ul>\n

              \"\"<\/p>\n

              \n

              Materialleistung (Referenzwerte)<\/strong><\/span><\/h3>\n
              \n
              \n\n\n\n\n\n\n\n\n
              Material Typ<\/th>\nCTE (ppm\/K)<\/th>\nGetriebe<\/th>\nHauptmerkmal<\/th>\n<\/tr>\n<\/thead>\n
              Borosilikat<\/td>\n~3.2<\/td>\nMittel<\/td>\nKompatibilit\u00e4t beim Silizium-Bonding<\/td>\n<\/tr>\n
              Quarz<\/td>\n~0.55<\/td>\nHoch (UV\u2013IR)<\/td>\nLeistung auf optischem Niveau<\/td>\n<\/tr>\n
              Quarzglas<\/td>\n~0.5<\/td>\n>90%<\/td>\nHochrein und stabil<\/td>\n<\/tr>\n
              Alkalifreies Glas<\/td>\n~3\u20134<\/td>\nk. A.<\/td>\nGeringe Verunreinigung<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<\/div>\n<\/div>\n
              \n

              Fertigungskapazit\u00e4ten<\/strong><\/span><\/h2>\n

              Unsere 12-Zoll-Glaswafer werden unter hochmodernen Pr\u00e4zisionsfertigungsbedingungen hergestellt:<\/p>\n

                \n
              • Hochpr\u00e4zises CNC-Fr\u00e4sen und -Schneiden<\/li>\n
              • Chemisch-mechanisches Polieren (CMP)<\/li>\n
              • Technologie zur Oberfl\u00e4chenbearbeitung im Subnanometerbereich<\/li>\n
              • Reinigung und Inspektion nach Reinraumstandards<\/li>\n
              • Messtechnische Kontrolle von Dicke und Ebenheit<\/li>\n
              • Kompatibilit\u00e4t mit den SEMI-\/JEIDA-Standards (sofern zutreffend)<\/li>\n<\/ul>\n

                Wir unterst\u00fctzen sowohl die Prototypenentwicklung als auch die Serienfertigung in gro\u00dfem Ma\u00dfstab.<\/p>\n

                \"\"<\/p>\n

                \n

                Anwendungsbereiche von 12-Zoll-Glaswafern<\/strong><\/span><\/h2>\n

                12-Zoll-Glaswafer finden in den hochmodernen Industrien der n\u00e4chsten Generation breite Anwendung:<\/p>\n

                  \n
                • Halbleiter-Wafer-Level-Verpackung (WLP \/ FOWLP)<\/li>\n
                • MEMS-Sensoren und -Aktoren<\/li>\n
                • Photonenintegrierte Schaltungen (PIC)<\/li>\n
                • Optische Kommunikationsmodule<\/li>\n
                • Fortschrittliche Display-Technologien (OLED \/ MicroLED)<\/li>\n
                • Sensorik f\u00fcr Kraftfahrzeuge (LiDAR, Radar, Bildverarbeitung)<\/li>\n
                • Biochips und medizinische Diagnoseger\u00e4te<\/li>\n
                • Hochfrequenz- und Mikrowellenkomponenten<\/li>\n
                • Pr\u00e4zisionsoptiksysteme und Lithografieplattformen<\/li>\n<\/ul>\n
                  \n

                  Vorteile von 12-Zoll-Glaswafern<\/strong><\/span><\/h2>\n
                    \n
                  • Volle Kompatibilit\u00e4t mit 300-mm-Halbleiter-Fertigungslinien<\/li>\n
                  • Hervorragende Dimensionsstabilit\u00e4t bei der Bearbeitung gro\u00dffl\u00e4chiger Werkst\u00fccke<\/li>\n
                  • Extrem geringe Oberfl\u00e4chenrauheit (<1 nm Ra)<\/li>\n
                  • Hohe optische Transparenz (je nach Materialart)<\/li>\n
                  • Hervorragende elektrische Isolationseigenschaften<\/li>\n
                  • Hohe chemische und thermische Best\u00e4ndigkeit<\/li>\n
                  • Geeignet f\u00fcr Produktionsumgebungen mit hohem Durchsatz<\/li>\n
                  • Individuell anpassbare Dicke, Material und Oberfl\u00e4chenbeschaffenheit<\/li>\n<\/ul>\n

                    FAQ (H\u00e4ufig gestellte Fragen)<\/strong><\/span><\/h2>\n

                    Frage 1: K\u00f6nnen 12-Zoll-Glaswafer Siliziumwafer in Halbleiteranwendungen ersetzen?<\/strong><\/span><\/h3>\n

                    12-Zoll-Glaswafer sind zwar kein vollst\u00e4ndiger Ersatz f\u00fcr Siliziumwafer bei der Herstellung aktiver Bauelemente, werden jedoch h\u00e4ufig als fortschrittliche Substrat- oder Tr\u00e4germaterialien<\/strong> in den Bereichen Halbleiterverpackung, MEMS und photonische Systeme. Glaswafer zeichnen sich durch hervorragende elektrische Isolierung, optische Transparenz und geringere dielektrische Verluste aus, wodurch sie sich ideal f\u00fcr Wafer-Level-Packaging (WLP), Fan-Out-WLP (FOWLP) und Anwendungen der optischen Integration eignen, bei denen Silizium nicht als aktive Halbleiterschicht ben\u00f6tigt wird.<\/p>\n

                    \n

                    Frage 2: Welchen Ebenheitsgrad und welche Oberfl\u00e4chenqualit\u00e4t k\u00f6nnen Sie bei 12-Zoll-Glaswafern erzielen?<\/strong><\/span><\/h3>\n

                    Bei hochpr\u00e4zisen 12-Zoll-Glaswafern k\u00f6nnen wir eine \u00e4u\u00dferst strenge Oberfl\u00e4chenkontrolle gew\u00e4hrleisten. Zu den typischen Spezifikationen geh\u00f6ren:<\/p>\n

                      \n
                    • Oberfl\u00e4chenrauheit (Ra): \u2264 1,0 nm (Standardausf\u00fchrung), bis zu \u2264 0,5 nm (ultrapolierte Ausf\u00fchrung)<\/li>\n
                    • Gesamtdickenabweichung (TTV): \u2264 10\u201315 \u03bcm, je nach Material und Dicke<\/li>\n
                    • Oberfl\u00e4chenebenheit: bis zu \u03bb\/10 (optionale High-End-Spezifikation)<\/li>\n<\/ul>\n

                      Diese Parameter gew\u00e4hrleisten eine hervorragende Kompatibilit\u00e4t mit modernen Lithografie-, Bonding- und D\u00fcnnschichtabscheidungsverfahren.<\/p>\n

                      \n

                      Frage 3: K\u00f6nnen 12-Zoll-Glaswafer an bestimmte Anwendungen oder Prozessanforderungen angepasst werden?<\/strong><\/span><\/h3>\n

                      Ja. 12-Zoll-Glaswafer lassen sich in hohem Ma\u00dfe individuell anpassen. Wir k\u00f6nnen verschiedene Parameter entsprechend Ihren Prozessanforderungen anpassen, darunter:<\/p>\n

                        \n
                      • Materialart (Borosilikatglas, Quarz, Quarzglas, alkalifreies Glas)<\/li>\n
                      • Dicke (von 500 \u03bcm bis zu 2 mm oder mehr)<\/li>\n
                      • Oberfl\u00e4chenbearbeitung (SSP- oder DSP-Polieren)<\/li>\n
                      • Kantenprofil (abgeschr\u00e4gt, abgerundet oder individuelles Kanten-Design)<\/li>\n
                      • Ebenheit, TTV und Oberfl\u00e4chenrauheit<\/li>\n
                      • Spezielle Muster, Ausrichtungsmarkierungen oder Lasergravuren<\/li>\n<\/ul>\n

                        Die individuelle Anpassung ist besonders wichtig f\u00fcr MEMS, optische Systeme und fortschrittliche Verpackungsanwendungen, bei denen die Prozesskompatibilit\u00e4t von entscheidender Bedeutung ist.<\/p>","protected":false},"excerpt":{"rendered":"

                        Der 12-Zoll-Glaswafer ist ein entscheidendes Material f\u00fcr die Halbleiterverpackung der n\u00e4chsten Generation, die MEMS-Integration und die Entwicklung optischer Systeme. Dank seiner Kombination aus Skalierbarkeit bei gro\u00dfem Durchmesser, extrem hoher Oberfl\u00e4chenpr\u00e4zision und anpassbaren Materialeigenschaften findet er zunehmend Anwendung in fortschrittlichen Fertigungsbranchen, die nach Alternativen zu herk\u00f6mmlichen Siliziumwafern suchen.<\/p>","protected":false},"featured_media":2539,"comment_status":"open","ping_status":"closed","template":"","meta":{"site-sidebar-layout":"default","site-content-layout":"","ast-site-content-layout":"default","site-content-style":"default","site-sidebar-style":"default","ast-global-header-display":"","ast-banner-title-visibility":"","ast-main-header-display":"","ast-hfb-above-header-display":"","ast-hfb-below-header-display":"","ast-hfb-mobile-header-display":"","site-post-title":"","ast-breadcrumbs-content":"","ast-featured-img":"","footer-sml-layout":"","ast-disable-related-posts":"","theme-transparent-header-meta":"default","adv-header-id-meta":"","stick-header-meta":"default","header-above-stick-meta":"","header-main-stick-meta":"","header-below-stick-meta":"","astra-migrate-meta-layouts":"set","ast-page-background-enabled":"default","ast-page-background-meta":{"desktop":{"background-color":"var(--ast-global-color-4)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center 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