{"id":2485,"date":"2026-05-21T02:52:59","date_gmt":"2026-05-21T02:52:59","guid":{"rendered":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/?p=2485"},"modified":"2026-05-21T03:08:52","modified_gmt":"2026-05-21T03:08:52","slug":"semiconductor-consumables-explained","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/de\/semiconductor-consumables-explained\/","title":{"rendered":"Halbleiter-Verbrauchsmaterialien im \u00dcberblick: Teile aus Quarz, Keramik und Saphir"},"content":{"rendered":"

Die Halbleiterfertigung geh\u00f6rt zu den anspruchsvollsten industriellen Prozessen weltweit. Moderne Waferfertigungsumgebungen erfordern extrem saubere Bedingungen, pr\u00e4zise Temperaturregelung, aggressive chemische Prozesse und mikroskopische Ma\u00dfgenauigkeit. Unter diesen Bedingungen h\u00e4ngt die Leistungsf\u00e4higkeit der Anlagen nicht allein von den Maschinen selbst ab, sondern in hohem Ma\u00dfe auch von den Verbrauchsmaterialien.<\/p>\n\n\n\n

Halbleiter-Verschlei\u00dfteile sind Spezialkomponenten, die sich im Laufe der Produktion allm\u00e4hlich abnutzen, erodieren oder regelm\u00e4\u00dfig ausgetauscht werden m\u00fcssen. Obwohl diese Komponenten oft weniger ins Auge fallen als gro\u00dfe Anlagensysteme, spielen sie eine entscheidende Rolle bei der Aufrechterhaltung der Prozessstabilit\u00e4t, der Verringerung von Verunreinigungen und der Gew\u00e4hrleistung einer hohen Waferausbeute.<\/p>\n\n\n\n

Zu den zahlreichen Materialien, die in Halbleiter-Verbrauchsmaterialien<\/mark><\/a>, Quarz, Hochleistungskeramik und Saphir sind aufgrund ihrer einzigartigen Kombination aus thermischer Stabilit\u00e4t, chemischer Best\u00e4ndigkeit, Reinheit und mechanischer Leistungsf\u00e4higkeit unverzichtbar geworden.<\/p>\n\n\n\n

Das Verst\u00e4ndnis der Funktionen und Unterschiede dieser Materialien tr\u00e4gt dazu bei, die Zuverl\u00e4ssigkeit von Halbleiterprozessen und die Effizienz der Anlagen zu optimieren.<\/p>\n\n\n\n

\"\"<\/figure>\n\n\n\n

Was sind Verbrauchsmaterialien f\u00fcr die Halbleiterindustrie?<\/h2>\n\n\n\n

Halbleiter-Verbrauchsmaterialien sind Komponenten, die in Fertigungsanlagen wiederholt zum Einsatz kommen und sich im Betrieb allm\u00e4hlich abnutzen.<\/p>\n\n\n\n

Im Gegensatz zu festen Bauteilen m\u00fcssen Verschlei\u00dfteile unter Umst\u00e4nden planm\u00e4\u00dfig ausgetauscht werden, und zwar aus folgenden Gr\u00fcnden:<\/p>\n\n\n\n

    \n
  • Plasmaerosion<\/li>\n\n\n\n
  • Temperaturwechselbeanspruchung<\/li>\n\n\n\n
  • Chemischer Angriff<\/li>\n\n\n\n
  • Oberfl\u00e4chenverschlei\u00df<\/li>\n\n\n\n
  • Partikelbildung<\/li>\n\n\n\n
  • Mechanische Belastung<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

    Beispiele hierf\u00fcr sind:<\/p>\n\n\n\n

      \n
    • Wafertr\u00e4ger<\/li>\n\n\n\n
    • Fokusringe<\/li>\n\n\n\n
    • Zylinderlaufbuchsen<\/li>\n\n\n\n
    • Prozessrohre<\/li>\n\n\n\n
    • Fenster<\/li>\n\n\n\n
    • D\u00fcsen<\/li>\n\n\n\n
    • Isolatoren<\/li>\n\n\n\n
    • Pr\u00e4zisions-Tragkonstruktionen<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

      Da die Kontaminationskontrolle von entscheidender Bedeutung ist, m\u00fcssen Verbrauchsmaterialien \u00e4u\u00dferst strenge Anforderungen erf\u00fcllen.<\/p>\n\n\n\n

      Warum die Materialauswahl wichtig ist<\/h2>\n\n\n\n

      In der Halbleiterfertigung sind Materialien gleichzeitig mehreren extremen Bedingungen ausgesetzt.<\/p>\n\n\n\n

      Zu den typischen betrieblichen Herausforderungen geh\u00f6ren:<\/p>\n\n\n\n

        \n
      • Temperaturen \u00fcber 1000 \u00b0C<\/li>\n\n\n\n
      • Vakuumbedingungen<\/li>\n\n\n\n
      • \u00e4tzende Gase<\/li>\n\n\n\n
      • Plasmabeschuss<\/li>\n\n\n\n
      • schnelle Temperaturwechsel<\/li>\n\n\n\n
      • Anforderungen an extrem niedrige Partikelkonzentrationen<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

        Materialverschlei\u00df kann folgende Folgen haben:<\/p>\n\n\n\n

          \n
        • Waferfehler<\/li>\n\n\n\n
        • Prozessinstabilit\u00e4t<\/li>\n\n\n\n
        • Ausfallzeiten<\/li>\n\n\n\n
        • geringere Produktionsausbeute<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

          Folglich ist die Auswahl geeigneter Verbrauchsmaterialien eine technische Notwendigkeit.<\/p>\n\n\n\n

          Quarz, Keramik und Saphir erf\u00fcllen jeweils unterschiedliche Leistungsanforderungen.<\/p>\n\n\n\n

          Quarz-Verbrauchsmaterialien<\/h1>\n\n\n\n

          Quarz geh\u00f6rt aufgrund seiner hohen Reinheit und seiner hervorragenden thermischen Eigenschaften nach wie vor zu den am h\u00e4ufigsten verwendeten Halbleitermaterialien.<\/p>\n\n\n\n

          Die meisten Verbrauchsmaterialien aus Quarz f\u00fcr die Halbleiterindustrie werden aus Quarzglas oder synthetischem Quarz hergestellt.<\/p>\n\n\n\n

          Zu den typischen Merkmalen geh\u00f6ren:<\/p>\n\n\n\n

          Eigentum<\/th>Hochreiner Quarz<\/th><\/tr><\/thead>
          SiO\u2082-Gehalt<\/td>>99,99\u201399,9999%<\/td><\/tr>
          W\u00e4rmeausdehnung<\/td>Sehr niedrig<\/td><\/tr>
          Optische Transparenz<\/td>Ausgezeichnet<\/td><\/tr>
          Chemische Best\u00e4ndigkeit<\/td>Ausgezeichnet<\/td><\/tr>
          Temperaturbereich<\/td>~1100\u20131250 \u00b0C<\/td><\/tr><\/tbody><\/table><\/figure>\n\n\n\n

          G\u00e4ngige Quarz-Verbrauchsmaterialien<\/h3>\n\n\n\n
            \n
          • Ofenrohre<\/li>\n\n\n\n
          • Wafer-Schiffchen<\/li>\n\n\n\n
          • Prozesstr\u00e4ger<\/li>\n\n\n\n
          • Quarzringe<\/li>\n\n\n\n
          • Kammerschilde<\/li>\n\n\n\n
          • Sichtfenster<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

            Quarz eignet sich besonders gut f\u00fcr Anwendungen in der thermischen Verarbeitung.<\/p>\n\n\n\n

            Sein geringer Verunreinigungsgehalt minimiert das Kontaminationsrisiko bei der Waferherstellung.<\/p>\n\n\n\n

            Allerdings kann die Erosionsbest\u00e4ndigkeit von Plasma bei bestimmten Anwendungen eingeschr\u00e4nkt sein.<\/p>\n\n\n\n

            Keramische Verbrauchsmaterialien<\/h1>\n\n\n\n

            Hochleistungskeramiken umfassen eine breite Palette von technischen Werkstoffen, die speziell f\u00fcr anspruchsvolle industrielle Umgebungen entwickelt wurden.<\/p>\n\n\n\n

            Zu den g\u00e4ngigen keramischen Halbleitermaterialien geh\u00f6ren:<\/p>\n\n\n\n

              \n
            • Aluminiumoxid (Al\u2082O\u2083)<\/li>\n\n\n\n
            • Siliziumkarbid (SiC)<\/li>\n\n\n\n
            • Aluminiumnitrid (AlN)<\/li>\n\n\n\n
            • Zirkonoxid (ZrO\u2082)<\/li>\n\n\n\n
            • Siliziumnitrid (Si\u2083N\u2084)<\/li>\n\n\n\n
            • Bornitrid (BN)<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

              Jedes Material bietet einzigartige Leistungsvorteile.<\/p>\n\n\n\n

              Typische Eigenschaften von Keramik<\/h3>\n\n\n\n
              Eigentum<\/th>Hochleistungskeramik<\/th><\/tr><\/thead>
              H\u00e4rte<\/td>Hoch<\/td><\/tr>
              Verschlei\u00dffestigkeit<\/td>Ausgezeichnet<\/td><\/tr>
              Thermische Stabilit\u00e4t<\/td>Ausgezeichnet<\/td><\/tr>
              Plasmabest\u00e4ndigkeit<\/td>Gut \u2013 Sehr gut<\/td><\/tr>
              Elektrische Leistung<\/td>Verstellbar<\/td><\/tr><\/tbody><\/table><\/figure>\n\n\n\n

              G\u00e4ngige keramische Verbrauchsmaterialien<\/h3>\n\n\n\n
                \n
              • Fokusringe<\/li>\n\n\n\n
              • Komponenten f\u00fcr elektrostatische Spannvorrichtungen<\/li>\n\n\n\n
              • Gasverteilerplatten<\/li>\n\n\n\n
              • Zylinderlaufbuchsen<\/li>\n\n\n\n
              • Isolatoren<\/li>\n\n\n\n
              • Teile f\u00fcr die Waferhandhabung<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

                Im Vergleich zu Quarz weisen Keramiken im Allgemeinen eine h\u00f6here Verschlei\u00dffestigkeit und mechanische Best\u00e4ndigkeit auf.<\/p>\n\n\n\n

                Sapphire-Verbrauchsmaterialien<\/h1>\n\n\n\n

                Saphir ist eine synthetische Einkristallform von Aluminiumoxid.<\/p>\n\n\n\n

                Obwohl Saphir chemisch der Aluminiumoxidkeramik \u00e4hnelt, weist er eine hochgradig geordnete Kristallstruktur auf, die ihm einzigartige Eigenschaften verleiht.<\/p>\n\n\n\n

                Zu den typischen Eigenschaften von Saphir geh\u00f6ren:<\/p>\n\n\n\n

                Eigentum<\/th>Sapphire<\/th><\/tr><\/thead>
                Kristalltyp<\/td>Einkristall<\/td><\/tr>
                H\u00e4rte<\/td>Mohs 9<\/td><\/tr>
                Transparenz<\/td>UV\u2013IR<\/td><\/tr>
                Qualit\u00e4t der Oberfl\u00e4che<\/td>Ausgezeichnet<\/td><\/tr>
                Chemische Best\u00e4ndigkeit<\/td>Ausgezeichnet<\/td><\/tr><\/tbody><\/table><\/figure>\n\n\n\n

                G\u00e4ngige Halbleiterbauelemente von Sapphire<\/h3>\n\n\n\n
                  \n
                • optische Fenster<\/li>\n\n\n\n
                • Sensorabdeckungen<\/li>\n\n\n\n
                • Pr\u00e4zisionslager<\/li>\n\n\n\n
                • Ansichtsfenster-Baugruppen<\/li>\n\n\n\n
                • Komponenten des Inspektionssystems<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

                  Saphir ist besonders wertvoll, wenn es auf Lichtdurchl\u00e4ssigkeit und Ma\u00dfgenauigkeit ankommt.<\/p>\n\n\n\n

                  Materialvergleich<\/h2>\n\n\n\n

                  Durch einen Vergleich werden die Unterschiede zwischen diesen Halbleiter-Verbrauchsmaterialien deutlicher.<\/p>\n\n\n\n

                  Eigentum<\/th>Quarz<\/th>Keramik<\/th>Sapphire<\/th><\/tr><\/thead>
                  Reinheit<\/td>Ausgezeichnet<\/td>Hoch<\/td>Ausgezeichnet<\/td><\/tr>
                  Temperaturbest\u00e4ndigkeit<\/td>Hoch<\/td>Sehr hoch<\/td>Hoch<\/td><\/tr>
                  Plasmabest\u00e4ndigkeit<\/td>M\u00e4\u00dfig<\/td>Ausgezeichnet<\/td>M\u00e4\u00dfig<\/td><\/tr>
                  Optische Transparenz<\/td>Ausgezeichnet<\/td>Begrenzt<\/td>Ausgezeichnet<\/td><\/tr>
                  Verschlei\u00dffestigkeit<\/td>M\u00e4\u00dfig<\/td>Ausgezeichnet<\/td>Ausgezeichnet<\/td><\/tr>
                  Mechanische Festigkeit<\/td>M\u00e4\u00dfig<\/td>Hoch<\/td>Hoch<\/td><\/tr>
                  Kosten<\/td>M\u00e4\u00dfig<\/td>M\u00e4\u00dfig bis hoch<\/td>Hoch<\/td><\/tr><\/tbody><\/table><\/figure>\n\n\n\n

                  Anstatt direkt miteinander zu konkurrieren, erg\u00e4nzen sich diese Materialien in Halbleiteranlagen h\u00e4ufig gegenseitig.<\/p>\n\n\n\n

                  Anwendungsbeispiele in der Halbleiterausr\u00fcstung<\/h2>\n\n\n\n

                  Unterschiedliche Prozessumgebungen erfordern unterschiedliche Verbrauchsmaterialien.<\/p>\n\n\n\n

                  Diffusionsofensysteme<\/h3>\n\n\n\n

                  G\u00e4ngige Verbrauchsmaterialien:<\/p>\n\n\n\n

                    \n
                  • Quarzrohre<\/li>\n\n\n\n
                  • Quarzwafer-Tr\u00e4ger<\/li>\n\n\n\n
                  • St\u00fctzstangen<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

                    Hauptvoraussetzung:<\/p>\n\n\n\n

                    Reinheit bei hohen Temperaturen.<\/p>\n\n\n\n

                    Plasma\u00e4tzsysteme<\/h3>\n\n\n\n

                    G\u00e4ngige Verbrauchsmaterialien:<\/p>\n\n\n\n

                      \n
                    • SiC-Fokusringe<\/li>\n\n\n\n
                    • Keramik-Kammerauskleidungen<\/li>\n\n\n\n
                    • Plasmaschilde<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

                      Hauptvoraussetzung:<\/p>\n\n\n\n

                      Plasmabest\u00e4ndigkeit.<\/p>\n\n\n\n

                      Wafer-Pr\u00fcfger\u00e4te<\/h3>\n\n\n\n

                      G\u00e4ngige Verbrauchsmaterialien:<\/p>\n\n\n\n

                        \n
                      • Saphirfenster<\/li>\n\n\n\n
                      • Pr\u00e4zisions-Saphir-Lager<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

                        Hauptvoraussetzung:<\/p>\n\n\n\n

                        Optische Klarheit und Stabilit\u00e4t.<\/p>\n\n\n\n

                        Vakuumverarbeitungssysteme<\/h3>\n\n\n\n

                        G\u00e4ngige Verbrauchsmaterialien:<\/p>\n\n\n\n

                          \n
                        • Keramikisolatoren<\/li>\n\n\n\n
                        • Quarz-Sichtfenster<\/li>\n\n\n\n
                        • Pr\u00e4zisions-Tragkomponenten<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

                          Hauptvoraussetzung:<\/p>\n\n\n\n

                          Sauberkeit und Ma\u00dfgenauigkeit.<\/p>\n\n\n\n

                          Zuk\u00fcnftige Trends bei Verbrauchsmaterialien f\u00fcr die Halbleiterindustrie<\/h2>\n\n\n\n

                          Mit der Weiterentwicklung der Halbleitertechnologien hin zu fortschrittlicheren Strukturgr\u00f6\u00dfen und gr\u00f6\u00dferen Wafergr\u00f6\u00dfen werden auch die Verbrauchsmaterialien immer besser.<\/p>\n\n\n\n

                          Zu den zuk\u00fcnftigen Trends geh\u00f6ren:<\/p>\n\n\n\n

                            \n
                          • hochreine Materialien<\/li>\n\n\n\n
                          • plasma-best\u00e4ndige Beschichtungen<\/li>\n\n\n\n
                          • gr\u00f6\u00dfere Pr\u00e4zisionsbauteile<\/li>\n\n\n\n
                          • geringere Partikelbildung<\/li>\n\n\n\n
                          • Hybridkeramikstrukturen<\/li>\n\n\n\n
                          • fortschrittliche Einkristallmaterialien<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

                            Halbleiterhersteller legen zunehmend Wert darauf, die Lebensdauer von Verbrauchsmaterialien zu verl\u00e4ngern und gleichzeitig das Kontaminationsrisiko zu verringern.<\/p>\n\n\n\n

                            Schlussfolgerung<\/h2>\n\n\n\n

                            Halbleiter-Verbrauchsmaterialien tragen entscheidend zur Zuverl\u00e4ssigkeit der Anlagen und zur Prozessleistung bei. Obwohl sie oft als zweitrangige Komponenten betrachtet werden, haben Teile aus Quarz, Keramik und Saphir einen direkten Einfluss auf die Waferausbeute, die Kontaminationskontrolle und die Betriebseffizienz.<\/p>\n\n\n\n

                            Quarz ist nach wie vor unverzichtbar f\u00fcr thermische Anwendungen. Hochleistungskeramik setzt sich in anspruchsvollen Plasma- und Verschlei\u00dfumgebungen durch. Saphir eignet sich f\u00fcr pr\u00e4zise optische und ultrareine Anwendungen.<\/p>\n\n\n\n

                            Mit dem Fortschritt in der Halbleiterfertigung wird die Auswahl der richtigen Verbrauchsmaterialien immer wichtiger, um eine leistungsstarke und kosteneffiziente Produktion zu gew\u00e4hrleisten.<\/p>\n\n\n\n

                            FAQ<\/h2>\n\n\n
                            \n
                            \n
                            \n

                            Warum werden Verbrauchsmaterialien f\u00fcr Halbleiter regelm\u00e4\u00dfig ausgetauscht?<\/h3>\n
                            \n\n

                            Verbrauchsmaterialien verschlei\u00dfen allm\u00e4hlich durch Plasmaeinwirkung, Abnutzung, chemische Einfl\u00fcsse und Temperaturwechsel.<\/p>\n\n<\/div>\n<\/div>\n

                            \n

                            Warum wird Quarz h\u00e4ufig in Halbleiter\u00f6fen verwendet?<\/h3>\n
                            \n\n

                            Quarz vereint h\u00f6chste Reinheit mit ausgezeichneter thermischer Stabilit\u00e4t und einem geringen Kontaminationsrisiko.<\/p>\n\n<\/div>\n<\/div>\n

                            \n

                            Welches Material weist die beste Plasmabest\u00e4ndigkeit auf?<\/h3>\n
                            \n\n

                            Siliziumkarbid und spezielle Keramikwerkstoffe weisen im Allgemeinen eine hervorragende Plasmabest\u00e4ndigkeit auf.<\/p>\n\n<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/div>","protected":false},"excerpt":{"rendered":"

                            Semiconductor manufacturing is one of the most demanding industrial processes in the world. Modern wafer fabrication environments require ultra-clean conditions, precise temperature control, aggressive chemical processing, and microscopic dimensional accuracy. Under these conditions, equipment performance does not rely solely on machines themselves\u2014it also depends heavily on consumable components. Semiconductor consumables are specialized parts that gradually […]<\/p>\n","protected":false},"author":1,"featured_media":2404,"comment_status":"open","ping_status":"open","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"site-sidebar-layout":"default","site-content-layout":"","ast-site-content-layout":"default","site-content-style":"default","site-sidebar-style":"default","ast-global-header-display":"","ast-banner-title-visibility":"","ast-main-header-display":"","ast-hfb-above-header-display":"","ast-hfb-below-header-display":"","ast-hfb-mobile-header-display":"","site-post-title":"","ast-breadcrumbs-content":"","ast-featured-img":"","footer-sml-layout":"","ast-disable-related-posts":"","theme-transparent-header-meta":"","adv-header-id-meta":"","stick-header-meta":"","header-above-stick-meta":"","header-main-stick-meta":"","header-below-stick-meta":"","astra-migrate-meta-layouts":"set","ast-page-background-enabled":"default","ast-page-background-meta":{"desktop":{"background-color":"var(--ast-global-color-4)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"tablet":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"mobile":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""}},"ast-content-background-meta":{"desktop":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"tablet":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"mobile":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""}},"footnotes":""},"categories":[25],"tags":[67,1388,1392,1389,1390,40,36,195,1391,406],"class_list":["post-2485","post","type-post","status-publish","format-standard","has-post-thumbnail","hentry","category-technology-applications","tag-advanced-ceramics","tag-quartz-components","tag-quartz-wafer-boats","tag-sapphire-parts","tag-semiconductor-consumables","tag-semiconductor-equipment","tag-semiconductor-manufacturing","tag-semiconductor-materials","tag-sic-consumables","tag-wafer-processing"],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/2485","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/users\/1"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=2485"}],"version-history":[{"count":3,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/2485\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":2489,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/2485\/revisions\/2489"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/media\/2404"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=2485"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=2485"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.zmsh-semitech.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=2485"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}